專利名稱：測試系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
測試系統(tǒng)
技術領域：
本實用新型涉及半導體工業(yè)中的測試技術，特別是涉及一種測試系統(tǒng)。背景技術：
BC3196D是北京新潤泰思特測控技術有限公司生產的一款數模混合集成電路測試 儀，其具有覆蓋面寬、性能穩(wěn)定、操作使用方便等特點。測試儀內置一個高精度的數字電壓 表(DVM)，可差分測量，其具體技術指標如下表 其中分辨率是指測試系統(tǒng)理論上能夠分辨的最小(電壓)值，精確度是指測試系 統(tǒng)的測試值與真實值之間的誤差。從表中可以看出，BC3196D在測試電壓值為個位數的模擬集成電路時，精確度只能 達到mV數量級。然而隨著半導體技術的發(fā)展，有些模擬集成電路對測試時精確度的要求已 經達到了 0. ImV。

實用新型內容為了解決傳統(tǒng)的集成電路測試儀電壓的測試精確度不夠高的問題，有必要提供一 種電壓測量精確度高的測試系統(tǒng)?！N測試系統(tǒng)，包括相互連接的集成電路測試儀和數據處理裝置，還包括與數據 處理裝置連接的電壓測量模塊；所述數據處理裝置控制集成電路測試儀和電壓測量模塊對 待測器件進行測試；所述集成電路測試儀為待測器件提供測試條件，包括施加一定的電壓、 電流，并測量待測器件的電流、頻率以及精確度要求> 1毫伏的電壓參數；所述電壓測量模 塊測量待測器件的測量精確度要求<1毫伏的電壓參數。優(yōu)選的，所述電壓測量模塊包括PXI接口的數字萬用表以及提供PXI接口插槽的 機箱，所述數字萬用表插入機箱的PXI接口插槽內；所述機箱與數據處理裝置連接，交換數 據。優(yōu)選的，所述數字萬用表是NI PXI-4070，所述機箱是NI PXI-1033。優(yōu)選的，所述電壓測量模塊在對待測器件進行測試時采用的是差分測量的連接方 式，電壓測量模塊的高電平端口與待測器件的高電平端相連接，電壓測量模塊的低電平端口與待測器件的低電平端相連接。優(yōu)選的，所述集成電路測試儀為BC3196D。上述測試系統(tǒng)在傳統(tǒng)的集成電路測試儀上外掛一個高精確度的電壓測量模塊，提 升了測試系統(tǒng)測量電壓的精確度。

圖1是一個實施例中測試系統(tǒng)的結構示意圖。
具體實施方式
為了解決集成電路測試系統(tǒng)電壓的測試精確度不夠高的問題，本實用新型通過在 傳統(tǒng)的集成電路測試儀上外掛一個高精確度的電壓測量模塊來滿足更高的電壓精確度測 量要求。圖1是測試系統(tǒng)的結構示意圖。測試系統(tǒng)100包括數據處理裝置110、集成電路測 試儀120以及電壓測量模塊130。數據處理裝置110與集成電路測試儀120、電壓測量模塊130連接，控制集成電路 測試儀120和電壓測量模塊130對待測器件(Device Under Test, DUT) 200進行測試。數 據處理裝置110對集成電路測試儀120下達施加測試條件指令，為待測器件200施加測試 條件(一定的電壓、電流、繼電器控制等)。數據處理裝置110還用于對集成電路測試儀120 和電壓測量模塊130下達開始測試指令，令集成電路測試儀120測量待測器件200的電流、 頻率以及精確度要求不高(》ImV)的電壓等參數；令電壓測量模塊130測量待測器件200 的高精確度要求(< ImV)的電壓。在優(yōu)選的實施例中，數據處理裝置110采用個人電腦 (PersonalComputer, PC)0集成電路測試儀120與待測器件200連接，接收數據處理裝置110的施加測試條 件指令，為待測器件200施加測試條件；以及開始測試指令，測量待測器件200的電流、頻 率以及精確度要求不高(》ImV)的電壓等參數，并將測試結果返回數據處理裝置110。集 成電路測試儀120可以是北京新潤泰思特測控技術有限公司生產的BC3196D，由于其采用 Visual C++編程環(huán)境，因此具有良好的可擴展性。電壓測量模塊130與待測器件200連接，接收數據處理裝置110的開始測試指令， 測量待測器件200的高測量精確度要求(< ImV)的電壓，并將測試結果返回數據處理裝置 110。電壓測量模塊130與待測器件200的連接采用差分測量的連接方式，高電平端口與待 測器件200的高電平端相連接，低電平端口與低電平端相連接。在一個優(yōu)選的實施例中，電壓測量模塊130采用National Instruments (Ni，美國 國家儀器)公司生產的數字萬用表(digital multimeter，DMM)NI PXI-4070，并將該數字 萬用表接入National Instruments (Ni)公司生產的專用機箱(chassis)NI PXI-1033內， 即將數字萬用表插入機箱的PXI接口插槽內；機箱與數據處理裝置110連接，交換數據。由于是在BC3196D上外掛一個高精確度的電壓測量模塊130，為了兼容并與 BC3196D配合工作，外掛的電壓測量模塊130必須要有足夠快的測量速度和數據傳輸速度。 NI PXI-4070 是一款六位半數字萬用表，采用 PXI(PCI extensionsfor Instrumentation, 面向儀器系統(tǒng)的PCI擴展，PCI是Peripheral ComponentInterconnect的縮寫，中文意思 為外圍組件互連)接口，可測量士 300V電壓和士 IA電流，具有10位到23位的可調節(jié)分辨率，采樣速率彡100采樣點/秒，精確度為士6ppm V(ppm指parts per million，百萬分 之)，也就是測量IOV的電壓時精確度為士0. 06mV,能夠滿足精確度要求達到0. ImV級別的 集成電路測試。NI PXI-1033是一款有5個接口 PXI插槽的機箱，集成了 MXI-Express控制器，數 據傳輸速度可達llOMB/s。其為NI PXI-4070提供總線控制、工作電源、與數據處理裝置110 的數據交換及其他支持。上述測試系統(tǒng)在傳統(tǒng)的集成電路測試儀上外掛一個高精確度的電壓測量模塊，提 升了測試系統(tǒng)測量電壓的精確度。采用BC3196D作為集成電路測試儀，由于其采用Visual C++編程環(huán)境，因此具有良好的可擴展性，保證了外掛的電壓測量模塊能與原有測試系統(tǒng)兼 容。采用PXI接口的數字萬用表及機箱，保證了足夠快的測量速度和數據傳輸速度。以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細， 但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通 技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬 于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應以所附權利要求為準。
權利要求一種測試系統(tǒng)，包括相互連接的集成電路測試儀和數據處理裝置，其特征在于，還包括與數據處理裝置連接的電壓測量模塊；所述數據處理裝置控制集成電路測試儀和電壓測量模塊對待測器件進行測試；所述集成電路測試儀為待測器件提供測試條件，包括施加一定的電壓、電流，并測量待測器件的電流、頻率以及精確度要求≥1毫伏的電壓參數；所述電壓測量模塊測量待測器件的測量精確度要求＜1毫伏的電壓參數。
2.根據權利要求1所述的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述電壓測量模塊包括PXI接口的數 字萬用表以及提供PXI接口插槽的機箱，所述數字萬用表插入機箱的PXI接口插槽內；所述 機箱與數據處理裝置連接，交換數據。
3.根據權利要求2所述的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述數字萬用表是OTPXI-4070，所述 機箱是 NI PXI-1033。
4.根據權利要求3所述的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述電壓測量模塊在對待測器件進 行測試時采用的是差分測量的連接方式，電壓測量模塊的高電平端口與待測器件的高電平 端相連接，電壓測量模塊的低電平端口與待測器件的低電平端相連接。
5.根據權利要求1所述的測試系統(tǒng)，其特征在于，所述集成電路測試儀為BC3196D。
專利摘要本實用新型涉及一種測試系統(tǒng)，包括相互連接的集成電路測試儀和數據處理裝置，還包括與數據處理裝置連接的電壓測量模塊；數據處理裝置控制集成電路測試儀和電壓測量模塊對待測器件進行測試；集成電路測試儀為待測器件提供測試條件，包括施加一定的電壓、電流，并測量待測器件的電流、頻率以及精確度要求≥1毫伏的電壓參數；電壓測量模塊測量待測器件的測量精確度要求＜1毫伏的電壓參數。上述測試系統(tǒng)在傳統(tǒng)的集成電路測試儀上外掛一個高精確度的電壓測量模塊，提升了測試系統(tǒng)測量電壓的精確度。
文檔編號G01R15/12GK201637817SQ201020148359
公開日2010年11月17日 申請日期2010年3月25日 優(yōu)先權日2010年3月25日
發(fā)明者顧漢玉 申請人:華潤賽美科微電子(深圳)有限公司