專(zhuān)利名稱(chēng)：氯硅烷氣體取樣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種氯硅烷氣體取樣裝置。
背景技術(shù)：
當(dāng)今世界信息技術(shù)飛速發(fā)展，太陽(yáng)能技術(shù)的發(fā)展也是如雨后春筍，所以硅片的使 用更加廣泛，多晶硅市場(chǎng)有更大的發(fā)展空間，對(duì)多晶硅的質(zhì)量要求也有所提高，生產(chǎn)過(guò)程中 合成氯硅烷的檢驗(yàn)也顯得尤為重要。目前國(guó)內(nèi)外氯硅烷含量檢驗(yàn)分析一般是采用液體進(jìn)樣，使用氣相色譜儀就能夠準(zhǔn) 確分析其含量。但是在國(guó)內(nèi)大多數(shù)企業(yè)中由于生產(chǎn)工藝的限制，要取液樣分析合成氯硅烷 的含量有一定困難，檢測(cè)得出的數(shù)據(jù)不夠準(zhǔn)確，不能準(zhǔn)確得出具體含量值，對(duì)于計(jì)算轉(zhuǎn)化率 有一定困難，進(jìn)而不能合理指導(dǎo)生產(chǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述情況，設(shè)計(jì)一種合成氯硅烷氣體樣品的取樣裝置， 該裝置不通過(guò)合成氯硅烷的液化，可直接取氣態(tài)樣品，然后通過(guò)氣相色譜進(jìn)行分析，從而得 出合成氯硅烷的百分比，計(jì)算出轉(zhuǎn)化率來(lái)指導(dǎo)生產(chǎn)。根據(jù)所取樣品的性質(zhì)，需要解決的技術(shù)問(wèn)題有a.氯硅烷與空氣接觸，容易水解產(chǎn)生SiO2堵塞進(jìn)樣口和進(jìn)樣管道，所以應(yīng)減少氯 硅烷的水解、方便對(duì)進(jìn)樣口進(jìn)行清洗；b.設(shè)計(jì)合理的取樣裝置結(jié)構(gòu)以便更好、更快地置換氣體完成取樣；c.使取樣裝置耐壓、耐高溫、防腐蝕；本實(shí)用新型的目的通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種氯硅烷氣體取樣裝置，包括封閉的取樣桶、固定在桶內(nèi)的進(jìn)樣管和出樣管、固 定在桶外的針型閥、以及連接在桶頂?shù)膲毫Ρ?，所述桶?nèi)的進(jìn)樣管、出樣管分別與桶外的針 型閥連通，所述針型閥的出口 5與氣象色譜儀的進(jìn)樣口適配，所述連接體進(jìn)口 1與標(biāo)氣瓶的 出口適配。作為優(yōu)選方式，所述桶內(nèi)的進(jìn)樣管和出樣管各為兩只，固定在桶外的針型閥為4
P作為優(yōu)選方式，所述取樣桶為圓桶，底部為球形。作為優(yōu)選方式，所述取樣桶為不銹鋼桶。作為優(yōu)選方式，所述針型閥與桶頂螺紋連接。作為優(yōu)選方式，所述壓力表與桶頂螺紋連接。本實(shí)用新型的工作流程連接體進(jìn)口連接與其適配的標(biāo)氣瓶的出口，取樣前從標(biāo) 氣瓶中向取樣桶中通入惰性氣體，置換出桶內(nèi)的空氣，防止氯硅烷與空氣中的水份接觸發(fā) 生水解而堵塞取樣口、進(jìn)樣管和出樣管，為取樣做準(zhǔn)備。需要取樣分析時(shí)，針型閥的出口連 接與其適配的氣象色譜儀的進(jìn)樣口，針型閥使氯硅烷氣體通過(guò)進(jìn)樣管進(jìn)入取樣桶，達(dá)到一
3定壓力的氯硅烷氣體通過(guò)出樣管、經(jīng)針型閥通入氣象色譜儀進(jìn)行分析，完成取樣過(guò)程。本實(shí)用新型采用兩組共4只針型閥，每組中1只為進(jìn)口針型閥，另一只為出口針型 閥，這樣多一組載氣的進(jìn)、出口，在樣品濃度高時(shí)可以按一定比例用載氣稀釋?zhuān)奖?、?zhǔn)確分 析樣品濃度，平常不需要稀釋時(shí)，可封閉一組針型閥做備用，如果樣品進(jìn)、出口堵塞，也可以 做進(jìn)、出口用。閥門(mén)采用針型閥，分析進(jìn)樣時(shí)可保持氣流穩(wěn)定；針型閥與取樣桶采用螺紋連 接，方便調(diào)節(jié)流速和清洗，頂部中心的壓力表和取樣桶采取螺紋連接，如果壓力表壞了，可 以方便更換，還可根據(jù)不同工藝壓力要求，更換不同的壓力表。

圖1是本實(shí)用新型的俯視圖。圖2為圖1中的A-A向視圖。圖中，1為進(jìn)樣針型閥，2為取樣桶，3為進(jìn)樣管，4為出樣管，5為壓力表，6為出樣 針型閥，7為針型閥出口，8為連接體進(jìn)口。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。如圖1、圖2所示，一種氯硅烷氣體取樣裝置，包括封閉的取樣桶2、固定在桶內(nèi)的2 只進(jìn)樣管3和2只出樣管4、固定在桶外的2只進(jìn)樣針型閥1和2只出樣針型閥6、以及連 接在桶頂?shù)膲毫Ρ?，所述取樣桶為不銹鋼圓桶，底部為球形，桶內(nèi)的進(jìn)樣管3與桶外的進(jìn) 樣針型閥1連通，桶內(nèi)的出樣管4與桶外的出樣針型閥6連通，針型閥的出口 7與氣象色譜 儀的進(jìn)樣口適配，連接體進(jìn)口 8與標(biāo)氣瓶的出口適配，進(jìn)樣針型閥1、出樣針型閥6與桶頂螺 紋連接，壓力表5與桶頂螺紋連接。本實(shí)用新型的工作流程連接體進(jìn)口連接與其適配的標(biāo)氣瓶的出口，取樣前從標(biāo) 氣瓶中向取樣桶中通入惰性氣體，置換出桶內(nèi)的空氣，防止氯硅烷與空氣中的水份接觸發(fā) 生水解而堵塞取樣口、進(jìn)樣管和出樣管，為取樣做準(zhǔn)備。需要取樣分析時(shí)，針型閥的出口連 接與其適配的氣象色譜儀的進(jìn)樣口，針型閥使氯硅烷氣體通過(guò)進(jìn)樣管進(jìn)入取樣桶，達(dá)到一 定壓力的氯硅烷氣體通過(guò)出樣管、經(jīng)針型閥通入氣象色譜儀進(jìn)行分析，完成取樣過(guò)程。本實(shí)用新型采用兩組共4只針型閥，每組中1只為進(jìn)口針型閥，另一只為出口針型 閥，這樣多一組載氣的進(jìn)、出口，在樣品濃度高時(shí)可以按一定比例用載氣稀釋?zhuān)奖?、?zhǔn)確分 析樣品濃度，平常不需要稀釋時(shí)，可封閉一組針型閥做備用，如果樣品進(jìn)、出口堵塞，也可以 做進(jìn)、出口用。閥門(mén)采用針型閥，分析進(jìn)樣時(shí)可保持氣流穩(wěn)定；針型閥與取樣桶采用螺紋連 接，方便調(diào)節(jié)流速和清洗，頂部中心的壓力表和取樣桶采取螺紋連接，如果壓力表壞了，可 以方便更換，還可根據(jù)不同工藝壓力要求，更換不同的壓力表。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本 實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型 的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種氯硅烷氣體取樣裝置，其特征在于包括封閉的取樣桶(2)、固定在桶內(nèi)的進(jìn)樣 管(3)和出樣管(4)、固定在桶外的針型閥(1、6)、以及連接在桶頂?shù)膲毫Ρ?5)，所述桶內(nèi) 的進(jìn)樣管、出樣管分別與桶外的針型閥(1、6)連通，所述針型閥的出口(7)與氣象色譜儀的 進(jìn)樣口適配，所述連接體進(jìn)口( 8 )與標(biāo)氣瓶的出口適配。
2.如權(quán)利要求1所述的氯硅烷氣體取樣裝置，其特征在于所述的桶內(nèi)的進(jìn)樣管和出 樣管各為兩只，固定在桶外的針型閥為4只。
3.如權(quán)利要求1或2所述的氯硅烷氣體取樣裝置，其特征在于所述取樣桶為圓桶，底 部為球形。
4.如權(quán)利要求3所述的氯硅烷氣體取樣裝置，其特征在于所述取樣桶為不銹鋼桶。
5.如權(quán)利要求1或4所述的氯硅烷氣體取樣裝置，其特征在于所述針型閥(1、6)與桶 頂螺紋連接。
6.如權(quán)利要求5所述的氯硅烷氣體取樣裝置，其特征在于所述壓力表(5)與桶頂螺紋 連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氯硅烷氣體取樣裝置，包括封閉的取樣桶、固定在桶內(nèi)的進(jìn)樣管和出樣管、固定在桶外的針型閥、以及連接在桶頂?shù)膲毫Ρ?，所述桶?nèi)的進(jìn)樣管、出樣管分別與桶外的針型閥連通，針型閥的出口與氣象色譜儀的進(jìn)樣口適配，連接體進(jìn)口與標(biāo)氣瓶的出口適配；本實(shí)用新型采用兩組共4只針型閥，這樣多一組載氣的進(jìn)、出口，在樣品濃度高時(shí)可以按一定比例用載氣稀釋?zhuān)奖恪?zhǔn)確分析樣品濃度，平常不需稀釋時(shí)，可封閉一組針型閥做備用，針型閥分析進(jìn)樣時(shí)可保持氣流穩(wěn)定，針型閥與取樣桶采用螺紋連接，方便調(diào)節(jié)流速和清洗，壓力表和取樣桶采取螺紋連接，方便更換，還可根據(jù)不同工藝壓力要求，更換不同的壓力表。
文檔編號(hào)G01N30/22GK201788109SQ201020544879
公開(kāi)日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月28日
發(fā)明者余國(guó)慶, 余江, 易征, 陳丹, 黃磊 申請(qǐng)人:峨嵋半導(dǎo)體材料研究所