專利名稱：電極探測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
電極探測裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及電學(xué)測試技術(shù)的裝置，尤其涉及一種電極探測裝置。
技術(shù)背景[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)及光電行業(yè)中，經(jīng)常需要使用探針臺對薄膜樣品進(jìn)行光電、鐵 電、介電、壓電或熱釋電等性能測試，被測薄膜樣品在測試前需鍍上電極，操作者通過 用探針臺的測試探針接觸被測薄膜樣品上的電極來進(jìn)行測試。由于被測薄膜樣品上的電 極面積都較小，因此當(dāng)電極的顏色與被測薄膜樣品的顏色相近時，操作者很難準(zhǔn)確的找 到電極，既影響測試精度，又會給測試操作帶來不便。[0003]目前，能幫助操作者準(zhǔn)確找到被測薄膜樣品上的電極的方法有兩種一種是利 用顯微鏡、CCD圖像傳感器和顯示屏對被測薄膜樣品的圖像進(jìn)行放大顯示，操作者通過 放大的圖像找出電極位置，這種方法的缺陷在于其成本較高；另外一種是利用放大鏡輔 助觀察，該方法雖然成本較低，但是其輔助效果有限，操作者利用該方法依然很難準(zhǔn)確 的找到電極。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]針對上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種 電極點(diǎn)查找效率高，且成本低廉的電極探測裝置。[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所提供的一種電極探測裝置，其特征在 于，包括支撐桿、基座和透光板；所述透光板是板面透光且不透明的平板，其側(cè)邊中 有一條側(cè)邊能衍射光線，該側(cè)邊為衍射邊，透光板通過其側(cè)邊中的非衍射邊固定在基座 上，所述支撐桿與基座固接。[0006]本實(shí)用新型電極探測裝置中，所述透光板的衍射邊是光柵狀的毛邊，或是從內(nèi) 向外逐漸變薄的刀刃狀薄邊。[0007]本實(shí)用新型電極探測裝置中，所述透光板是透光且不透明的塑料板、塑料薄 膜、玻璃板或紙板。[0008]本實(shí)用新型電極探測裝置中，所述基座上設(shè)有一直桿狀的衍射邊保護(hù)件，所述 衍射邊保護(hù)件與透光板位于同一平面上，且位于透光板的衍射邊外側(cè)，其軸線平行于透 光板的衍射邊。[0009]本實(shí)用新型電極探測裝置中，所述衍射邊保護(hù)件與透光板之間的間距為1 2cm ο[0010]本實(shí)用新型電極探測裝置中，還包括一底座、一調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述支撐桿的另一 端與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)連接，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由三個調(diào)節(jié)單元組成，分別為左右調(diào)節(jié)單元、前后調(diào) 節(jié)單元、上下調(diào)節(jié)單元，每個調(diào)節(jié)單元包括一絲桿、一滑塊、一旋鈕；[0011]所述左右調(diào)節(jié)單元的滑塊滑動安裝在底座上，所述前后調(diào)節(jié)單元的滑塊滑動安 裝在左右調(diào)節(jié)單元的滑塊上，所述上下調(diào)節(jié)單元的滑塊滑動安裝在前后調(diào)節(jié)單元的滑塊上，并與支撐桿的另一端固定連接；[0012]所述左右調(diào)節(jié)單元的絲桿轉(zhuǎn)動安裝在底座上，所述前后調(diào)節(jié)單元的絲桿轉(zhuǎn)動安 裝在左右調(diào)節(jié)單元的滑塊上，所述上下調(diào)節(jié)單元的絲桿轉(zhuǎn)動安裝在前后調(diào)節(jié)單元的滑塊 上；每個調(diào)節(jié)單元中的絲桿與本單元的滑塊螺紋連接，每個調(diào)節(jié)單元中的旋鈕同軸固定 在本單元的絲桿的一端；所述三個調(diào)節(jié)單元的絲桿的軸線兩兩垂直。[0013]本實(shí)用新型提供的電極探測裝置，利用穿過透光板板面的光線與透光板衍射邊 的衍射光線，使薄膜樣品表面出現(xiàn)光亮差異，并在電極處形成亮點(diǎn)，能方便地幫助操作 者準(zhǔn)確找到被測薄膜樣品上的電極，其電極點(diǎn)查找效率較高且成本低廉。


[0014]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的電極探測裝置的主視圖；[0015]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的電極探測裝置的俯視圖。
具體實(shí)施方式
[0016]
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的實(shí)施例作進(jìn)一步詳細(xì)描述，但本實(shí)施例并不用于 限制本實(shí)用新型，凡是采用本實(shí)用新型的相似結(jié)構(gòu)及其相似變化，均應(yīng)列入本實(shí)用新型 的保護(hù)范圍。[0017]如圖1、圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的一種電極探測裝置，包括支撐桿 1、基座2和透光板3 ；所述透光板3塑料板。透光板3中有一條側(cè)邊為衍射邊4，用來 衍射光線，透光板3通過其側(cè)邊中的其他非衍射邊固定在基座2上，支撐桿1的一端與基 座2固定連接。[0018]本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述透光板3的衍射邊4是光柵狀的毛邊，也可以是從內(nèi) 向外逐漸變薄的刀刃狀薄邊。[0019]本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述透光板3是板面透光且不透明的平板，例如可以是 塑料板、塑料薄膜、玻璃板或紙板等等。[0020]本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述基座2上設(shè)有一直桿狀的衍射邊保護(hù)件5，用于保護(hù) 透光板3的衍射邊4，有效避免透光板3的衍射邊4因受外部物體碰撞而受損；所述衍射 邊保護(hù)件5與透光板3位于同一平面上，且位于透光板3的衍射邊4外側(cè)，其軸線平行于 透光板3的衍射邊4。[0021]本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述衍射邊保護(hù)件5是塑料桿，衍射邊保護(hù)件5與透光板 3之間的間距為1cm。衍射保護(hù)件5也可以是金屬桿。衍射保護(hù)件5與透光板3之間的 間距可以為1 2cm。[0022]本實(shí)用新型實(shí)施例還包括底座6、設(shè)置在底座6中的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由三個 調(diào)節(jié)單元組成，分別為左右調(diào)節(jié)單元、前后調(diào)節(jié)單元、上下調(diào)節(jié)單元，用來調(diào)節(jié)支撐桿 1左右方向、前后方向以及上下方向的位置。三個調(diào)節(jié)單元包括絲桿72、82、92、滑塊 71、81、91、及旋鈕 73、83、93。[0023]左右調(diào)節(jié)單元的滑塊71滑動安裝在底座6上，所述前后調(diào)節(jié)單元的滑塊81滑動 安裝在左右調(diào)節(jié)單元的滑塊71上，所述上下調(diào)節(jié)單元的滑塊91滑動安裝在前后調(diào)節(jié)單元 的滑塊81上，滑塊81與支撐桿1固定連接。[0024]所述左右調(diào)節(jié)單元的絲桿72轉(zhuǎn)動安裝在底座6上，所述前后調(diào)節(jié)單元的絲桿82 轉(zhuǎn)動安裝在左右調(diào)節(jié)單元的滑塊71上，所述上下調(diào)節(jié)單元的絲桿92轉(zhuǎn)動安裝在前后調(diào)節(jié) 單元的滑塊81上；每個調(diào)節(jié)單元中的絲桿72、82、92分別與本單元的滑塊71、81、91 螺紋連接，左右調(diào)節(jié)單元的旋鈕73同軸固定在本單元的絲桿72的一端，前后調(diào)節(jié)單元的 旋鈕83同軸固定在本單元的絲桿82的一端，上下調(diào)節(jié)單元的旋鈕93同軸固定在本單元 的絲桿92的一端，各旋鈕分別用來轉(zhuǎn)動與其固定的絲桿，從而帶動各自的滑塊滑動，調(diào) 節(jié)支撐桿1各個方向的位置。[0025]所述三個調(diào)節(jié)單元的絲桿的軸線兩兩垂直。[0026]調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)也可以采用其他的單元或方式，或者不設(shè)置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，而通過手工調(diào) 節(jié)也可，但手工調(diào)節(jié)的精度不能保證。[0027]本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述基座2是塑料框，也可以選擇金屬框，在基座2上設(shè) 有用于固定透光板3的凹槽(未顯示)。[0028]本實(shí)用新型實(shí)施例的使用方法如下[0029]對薄膜樣品進(jìn)行光電、鐵電、介電、壓電或熱釋電等性能測試時，先將透光板 3伸入光源與薄膜樣品之間，然后由操作者操作調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的三個旋鈕73、83、93，分別 帶動各自的絲桿72、82、92及滑塊71、81、91，調(diào)節(jié)支撐桿1的位置，控制基座2的移 動，進(jìn)而帶動透光板3移動，穿過透光板3板面的光線與透光板3衍射邊4的衍射光線照 射到薄膜樣品后，會使薄膜樣品表面出現(xiàn)光亮差異，并在電極處形成亮點(diǎn)，從而幫助操 作者準(zhǔn)確找到被測薄膜樣品上的電極。[0030]綜上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型的實(shí)施范 圍。即凡依本實(shí)用新型申請專利范圍的內(nèi)容所作的等效變化與修飾，都應(yīng)屬于本實(shí)用新 型的技術(shù)范疇。
權(quán)利要求1.一種電極探測裝置，其特征在于，包括支撐桿(1)、基座(2)、透光板(3)； 所述透光板(3)的一條側(cè)邊為衍射邊(4)，透光板(3)通過其他側(cè)邊中的非衍射邊 固定在基座(2)上，所述支撐桿(1)的一端與基座(2)固定連接。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述透光板的衍射邊(4)是光柵狀的毛 邊，或是逐漸變薄的刀刃狀薄邊。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述透光板(3)是板面透光但不透明的 平板，所述透光板(3)可以是塑料板、塑料薄膜、玻璃板或紙板。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述基座(2)上設(shè)有一直桿狀的衍射邊 保護(hù)件(5)，所述衍射邊保護(hù)件(5)與透光板(3)位于同一平面上，且位于透光板(3)的衍射邊(4)外側(cè)，其軸線平行于透光板(3)的衍射邊(4)。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述衍射邊保護(hù)件(5)與衍射邊(4) 之間的間距為1 2cm。
6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述支撐桿(1)的另一端與調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 連接，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由三個調(diào)節(jié)單元組成，分別為左右調(diào)節(jié)單元、前后調(diào)節(jié)單元、上下 調(diào)節(jié)單元，每個調(diào)節(jié)單元包括絲桿(72、82、92)、滑塊(71、81、91)和旋鈕(73、 83、 93)。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述左右調(diào)節(jié)單元的滑塊(71)滑動 安裝在底座(6)上，所述前后調(diào)節(jié)單元的滑塊(81)滑動安裝在左右調(diào)節(jié)單元的滑塊(71)上，所述上下調(diào)節(jié)單元的滑塊(91)滑動安裝在前后調(diào)節(jié)單元的滑塊上(81)， 并與支撐桿(1)的另一端固定連接。
8.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述左右調(diào)節(jié)單元的絲桿(72)轉(zhuǎn)動 安裝在底座(6)上，所述前后調(diào)節(jié)單元的絲桿(82)轉(zhuǎn)動安裝在左右調(diào)節(jié)單元的滑塊(71)上，所述上下調(diào)節(jié)單元的絲桿(92)轉(zhuǎn)動安裝在前后調(diào)節(jié)單元的滑塊(81)上。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述每個調(diào)節(jié)單元中的絲桿(72、82、92)與本單元的滑塊(71、81、91)螺紋連接。
10.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述每個調(diào)節(jié)單元中的旋鈕(73、83、93)同軸固定在本單元的絲桿(72、82、92)的一端；所述三個調(diào)節(jié)單元的絲桿(72、 82、92)的軸線兩兩垂直。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種電極探測裝置，該裝置特征在于包括支撐桿、基座、透光板；所述透光板是板面透光且不透明的平板，其側(cè)邊中有一條側(cè)邊為衍射邊，透光板通過其側(cè)邊中的非衍射邊固定在基座上，所述支撐桿與基座固定連接。本實(shí)用新型提供的裝置，能幫助操作者準(zhǔn)確找到被測薄膜樣品上的電極，提高電極點(diǎn)查找效率，且成本低廉。
文檔編號G01N21/57GK201811918SQ20102056985
公開日2011年4月27日 申請日期2010年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月21日
發(fā)明者孔慧, 朱麗萍, 楊平雄, 沈育德, 田建軍, 褚君浩 申請人:華東師范大學(xué)