專利名稱：非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種光學(xué)測量系統(tǒng)，特別涉及一種用于測量半導(dǎo)體等體積較小產(chǎn) 品的極微小間隙高低差的非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
近年來，電子產(chǎn)品、半導(dǎo)體產(chǎn)品越來越多，越來越小型化，這些產(chǎn)品的尺寸精度要 求越來越高，因此對這些產(chǎn)品的尺寸、高度、深度、微小間隙高低差、夾雜物以及微米以下的 突起、劃痕的檢測和測量就顯得十分重要。由于這類產(chǎn)品體積較小，特別是產(chǎn)品中的微小間隙高低差、深度等尺寸用一般的 測量儀器根本無法測量。對于這類產(chǎn)品的測量，現(xiàn)在一般選用光學(xué)測量儀器。常用的光學(xué)測 量儀器是用照明系統(tǒng)照射被測量產(chǎn)品，通過顯微鏡的物鏡來觀察目標樣品，找到基準位置， 因每只物鏡有不同的焦深，在調(diào)焦的過程中，會造成每個人調(diào)焦時產(chǎn)生的差異，導(dǎo)致基準位 置有偏差，進而導(dǎo)致被測量產(chǎn)品的測量數(shù)據(jù)存在偏差。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是為了解決現(xiàn)有的光學(xué)測量儀器測量半導(dǎo)體產(chǎn)品 尺寸存在個人因測量偏差的問題，提供了一種非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)，包 括底座以及安裝在底座上的XY工作臺和立柱，立柱上安裝有可上下移動的Z軸，Z軸上安 裝有可上下移動的支撐部，支撐部上設(shè)有目鏡、物鏡和LED照明系統(tǒng)，Z軸上安裝有光柵尺， 光柵尺的滑座與支撐部相連，支撐部上安裝有切換部，切換部內(nèi)設(shè)有至少兩種十字標記，十 字標記由上下兩部分組成。立柱上安裝有調(diào)節(jié)Z軸上下移動的粗動調(diào)節(jié)旋鈕。Z軸上安裝有調(diào)節(jié)支撐部上下移動的粗微動調(diào)節(jié)旋鈕。支撐部上還安裝有CXD圖像傳感器。本實用新型的有益效果是該測量系統(tǒng)采用光學(xué)焦點位置檢測方式進行非接觸高 低測量，不僅可以對準目標影像，還能觀察測量點的表面狀態(tài)、高度、深度、高低差等進行測 量；效率高，測量精度高，測量準確，無隨機誤差，不會因個人差異導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)存在偏差； 非接觸測量不使用時，可以切換掉十字標記，變?yōu)槌Ｓ媒鹣囡@微鏡來用。

圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖，對本實用新型做進一步說明。如圖1所示，一種非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)，包括底座1以及安裝在底座1上的XY工作臺2和立柱3，立柱3上安裝有可上下移動的Z軸4和調(diào)節(jié)Z軸4上下移動的粗動調(diào)節(jié) 旋鈕11，Z軸4上安裝有可上下移動的支撐部5和調(diào)節(jié)支撐部5上下移動的粗微動調(diào)節(jié)旋 鈕12，支撐部5上設(shè)有目鏡6、物鏡7和LED照明系統(tǒng)8，Z軸4上安裝有光柵尺9，光柵尺 9的滑座與支撐部5相連，支撐部5上安裝有切換部10，切換部10內(nèi)設(shè)有兩種十字標記，十 字標記由上下兩部分組成。支撐部5上還安裝有CCD圖像傳感器13，把光學(xué)影像轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號，傳輸?shù)诫娔X 上，以便觀察。該非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)是以影像法為測量原理，采用光學(xué)焦點位置測量方式進行 非接觸高低差的測量。測量時，首先通過目鏡觀察目標影像，找到基準位置。在調(diào)焦的過程 中注意十字標記上下兩部分是否在同一直線上，是否重合，從而知道焦點是否在基準位置 上。確認基準位置后，以同樣的方法可以對目標位置進行Z向定位，之間的高低差通過光柵 尺9傳輸?shù)綌?shù)字面板或電腦上，即得到了精確的測量數(shù)值。切換部10內(nèi)設(shè)有至少兩種十字標記，每種十字標記的圖像都不一樣，在測量不同 的目標樣品時，可切換不同的十字標記，以方便觀察焦點是否重合，進而確定基準位置。
權(quán)利要求1.一種非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)，包括底座⑴以及安裝在底座⑴上的XY工作臺⑵和 立柱(3)，立柱C3)上安裝有可上下移動的Z軸G)，Z軸(4)上安裝有可上下移動的支撐部 (5)，支撐部(5)上設(shè)有目鏡(6)、物鏡(7)和LED照明系統(tǒng)(8)，其特征在于Z軸(4)上安 裝有光柵尺(9)，光柵尺(9)的滑座與支撐部(5)相連，支撐部(5)上安裝有切換部(10)， 切換部(10)內(nèi)設(shè)有至少兩種十字標記，十字標記由上下兩部分組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)，其特征在于所述的立柱(3)上安裝 有調(diào)節(jié)Z軸(4)上下移動的粗動調(diào)節(jié)旋鈕(11)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)，其特在在于；所述的Z軸(4)上安裝 有調(diào)節(jié)支撐部( 上下移動的粗微動調(diào)節(jié)旋鈕(12)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)，其特征在于所述的支撐部(5)上還 安裝有CXD圖像傳感器(13)。
專利摘要本實用新型公開了一種非接觸光學(xué)測量系統(tǒng)，包括底座以及安裝在底座上的XY工作臺和立柱，立柱上安裝有可上下移動的Z軸，Z軸上安裝有可上下移動的支撐部，支撐部上設(shè)有目鏡、物鏡和LED照明系統(tǒng)，Z軸上安裝有光柵尺，光柵尺的滑座與支撐部相連，支撐部上安裝有切換部，切換部內(nèi)設(shè)有至少兩種十字標記，十字標記由上下兩部分組成。其采用光學(xué)焦點位置檢測方式進行非接觸高低測量，不僅可以對準目標影像，還能觀察測量點的表面狀態(tài)、高度、深度、高低差等進行測量；效率高，測量精度高，測量準確，無隨機誤差，不會因個人差異導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)存在偏差；非接觸測量不使用時，可以切換掉十字標記，變?yōu)槌Ｓ媒鹣囡@微鏡來用。
文檔編號G01B11/00GK201897466SQ20102064512
公開日2011年7月13日 申請日期2010年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月7日
發(fā)明者小坂春男 申請人:小坂春男