專利名稱：非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用樣品室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光伏發(fā)電應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用
樣品室。
背景技術(shù)：
非晶硅薄膜電池的技術(shù)核心之一是CVD法沉積非晶硅薄膜。在對(duì)薄膜的測(cè)量中， 受光時(shí)的電阻率的測(cè)量是重要的組成部分。電阻率的測(cè)量需要用一定劑量的光照射已知尺寸的非晶硅薄膜，并在兩側(cè)加一偏壓，測(cè)量電路中電流，求得電阻值，再根據(jù)材料尺寸計(jì)算電阻率。由于非晶硅材料電阻率很大，而偏壓不能加得很高，因此樣品都比較小，而且要求尺寸較準(zhǔn)確；同時(shí)，測(cè)量信號(hào)微弱，要求測(cè)量環(huán)境要排除干擾，再現(xiàn)性好。而目前尚未發(fā)現(xiàn)專用樣品室。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，提供一種非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用樣品室。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題是采取以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用樣品室，為一用合頁連接的中空可開閉方盒，包括盒蓋和盒體，其特征在于在盒蓋上制有一安裝凸起，在該安裝凸起內(nèi)嵌裝有做為引出電極的金屬彈簧片，在對(duì)應(yīng)該安裝凸起的盒體上制有與安裝凸起相配合的凹槽，在凹槽上方的盒體上安裝有一光強(qiáng)恒定的燈泡，在正對(duì)燈泡的兩個(gè)金屬彈簧片之間制有放置樣品的凹槽。而且，所述金屬彈簧片由螺釘固定在盒蓋上。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是1、本實(shí)用新型的樣品室在合上后可隔斷外界雜散光的污染，彈簧片和透光孔定位精確，限定被測(cè)樣品和光源的相對(duì)位置。因此，只要保證光源強(qiáng)度恒定，在每次實(shí)驗(yàn)中可以確定被測(cè)樣品表面照度恒定。2、本實(shí)用新型規(guī)范了太陽電池材料測(cè)試，提供一個(gè)穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，使實(shí)驗(yàn)有較好的重復(fù)性，提高了科研效率。

圖1為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面通過具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述，以下實(shí)施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。一種非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用樣品室，為一用合頁6連接的中空可開閉方盒，包括盒蓋1和盒體9，在盒蓋上制有一安裝凸起5，在該安裝凸起內(nèi)嵌裝有做為引出電極的金屬彈簧片2，該金屬彈簧片由螺釘固定在盒蓋上，在金屬彈簧片下部的盒蓋上嵌裝有柵狀金屬電極4;在對(duì)應(yīng)該安裝凸起的盒體上制有與安裝凸起相配合的凹槽7，在凹槽上方的盒體上安裝有一光強(qiáng)恒定的燈泡8，在正對(duì)燈泡的兩個(gè)金屬彈簧片之間制有放置樣品3的凹槽。本實(shí)用新型用屏蔽線將彈簧片和測(cè)量電路(穩(wěn)壓電源、靈敏電流計(jì))連接，彈簧片兩極與穩(wěn)壓電源、靈敏電流計(jì)串聯(lián)形成測(cè)量電路，測(cè)量是根據(jù)歐姆定律進(jìn)行的。本實(shí)用新型的使用方法是用測(cè)試儀掩模板在被測(cè)樣品上蒸鍍柵狀金屬電極，將被測(cè)樣品插入樣品室凹槽內(nèi)，被測(cè)薄膜兩側(cè)電極由彈簧片壓緊。合上樣品室，此時(shí)被測(cè)薄膜正對(duì)透光孔，打開光源和穩(wěn)壓電源，固定電源電壓，測(cè)量電路中的電流強(qiáng)度。測(cè)量結(jié)束關(guān)光源和穩(wěn)壓電源，打開樣品室取出樣品。根據(jù)電路中電流和電極兩側(cè)電壓可計(jì)算出被測(cè)薄膜電阻值，再根據(jù)薄膜的長(zhǎng)、 寬、厚(長(zhǎng)、寬由掩模板確定，厚度需預(yù)先測(cè)量出來)計(jì)算薄膜的電導(dǎo)率。
權(quán)利要求1.一種非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用樣品室，為一用合頁連接的中空可開閉方盒，包括盒蓋和盒體，其特征在于在盒蓋上制有一安裝凸起，在該安裝凸起內(nèi)嵌裝有做為引出電極的金屬彈簧片，在對(duì)應(yīng)該安裝凸起的盒體上制有與安裝凸起相配合的凹槽，在凹槽上方的盒體上安裝有一光強(qiáng)恒定的燈泡，在正對(duì)燈泡的兩個(gè)金屬彈簧片之間制有放置樣品的凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用樣品室，其特征在于所述金屬彈簧片由螺釘固定在盒蓋上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種非晶硅材料電阻測(cè)量?jī)x專用樣品室，為一用合頁連接的中空可開閉方盒，包括盒蓋和盒體，在盒蓋上制有一安裝凸起，在該安裝凸起內(nèi)嵌裝有做為引出電極的金屬彈簧片，在對(duì)應(yīng)該安裝凸起的盒體上制有與安裝凸起相配合的凹槽，在凹槽上方的盒體上安裝有一光強(qiáng)恒定的燈泡，在正對(duì)燈泡的兩個(gè)金屬彈簧片之間制有放置樣品的凹槽。本實(shí)用新型的樣品室在合上后可隔斷外界雜散光的污染，彈簧片和透光孔定位精確，限定被測(cè)樣品和光源的相對(duì)位置。因此，只要保證光源強(qiáng)度恒定，在每次實(shí)驗(yàn)中可以確定被測(cè)樣品表面照度恒定。
文檔編號(hào)G01R27/14GK201935960SQ20102065751
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2010年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月14日
發(fā)明者張?chǎng)? 李寶瑛, 郭增良 申請(qǐng)人:天津市津能電池科技有限公司