專利名稱：半導(dǎo)體測試儀及其半導(dǎo)體測試臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體測試領(lǐng)域，更具體的涉及一種半導(dǎo)體測試臺，本實用新型還涉及一種包括上述半導(dǎo)體測試臺的半導(dǎo)體測試儀。
背景技術(shù)：
隨 著經(jīng)濟的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品已進入到人們生活的方方面面，同時，半導(dǎo)體測試技術(shù)也日趨成熟。目前，市場上用于測試二極管、三極管等半導(dǎo)體元件的測試儀包括蓋板和設(shè)置于該蓋板下表面的測試座，通過與待測體相接觸以達到測試目的的若干測試針設(shè)置于該測試座上，且測試針豎直方向設(shè)置。測試臺設(shè)置于上述測試座的下方。若干待測體緊密排列于容置待測體的模板上，而后將該模板置于測試臺的上表面。測試前，需人工調(diào)整容置有待測體的模板位置，以使待測體與測試針一一對位。而后，驅(qū)動測試座下降，直至測試針與待測體充分接觸。顯然，現(xiàn)有技術(shù)中的半導(dǎo)體測試儀對待測體進行測試前，操作人員需調(diào)整容置有待測體的模板在水平面內(nèi)的具體位置。然而，依靠手工調(diào)整模板的具體位置，人手所能控制的精度不確定，誤差比較大。測試針與待測體較難實現(xiàn)一一對位，從而，經(jīng)常導(dǎo)致待測體卡于兩測試針之間或者測試針撥亂待測體的擺放位置等問題。此外，由上述可知，測試臺固定不動，測試針與待測體的接觸是通過測試座豎直方向的移動實現(xiàn)的。測試座上的線路布置相當復(fù)雜，測試座的上下移動，容易導(dǎo)致線路中斷等問題。且出現(xiàn)該問題后，對測試座的檢查維修是比較繁瑣的，需要拆卸測試針方可完成，而拆卸測試針的過程對其具有不可修復(fù)的破壞性。因此，如何提高測試針與待測試體一一對位的可靠性，成為本技術(shù)領(lǐng)域人員所要解決的重要技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型的目的是提供一種半導(dǎo)體測試臺，該半導(dǎo)體測試臺可顯著提高測試針與待測試體一一對位的可靠性，本實用新型的另一個目的是提供一種包括上述半導(dǎo)體測試臺的測試儀。本實用新型提供的半導(dǎo)體測試臺，包括平臺裝置、將所述平臺裝置限制于兩個水平且相互垂直的方向的導(dǎo)軌裝置及驅(qū)動所述平臺裝置沿所述導(dǎo)軌裝置位移的驅(qū)動裝置。優(yōu)選地，所述導(dǎo)軌裝置具體為水平設(shè)置且相互垂直的第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌可滑動的設(shè)置于固定設(shè)置的所述第二導(dǎo)軌的上表面，所述平臺裝置可滑動的設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌的上表面；且所述驅(qū)動裝置包括驅(qū)動所述平臺裝置沿所述第一導(dǎo)軌直線位移的第一驅(qū)動裝置及驅(qū)動所述第一導(dǎo)軌沿所述第二導(dǎo)軌直線位移的第二驅(qū)動裝置。優(yōu)選地，所述平臺裝置包括底盤、升降平臺、設(shè)置于所述底盤和所述升降平臺之間且與所述底盤固定連接的豎直導(dǎo)軌及驅(qū)動所述升降平臺沿所述豎直導(dǎo)軌上下位移的第三驅(qū)動裝置；且所述底盤與所述第一驅(qū)動裝置的動力輸出端相連接。優(yōu)選地，所述第一導(dǎo)軌的下表面設(shè)置有第一滑塊，所述第二導(dǎo)軌的上表面設(shè)置有與所述第一滑塊相適配的第一滑槽，所述第一導(dǎo)軌通過相適配的所述第一滑塊與所述第一滑槽可滑動的連接于所述第二導(dǎo)軌的上表面。優(yōu)選地，所 述底盤的下表面設(shè)置有第二滑塊，所述第一導(dǎo)軌的上表面設(shè)置有與所述第二滑塊相適配的第二滑槽，所述底盤通過相適配的所述第二滑塊與所述第二滑槽可滑動的連接于所述第一導(dǎo)軌的上表面。優(yōu)選地，還包括平行于所述第二導(dǎo)軌設(shè)置的輔助支撐滑軌，且所述第一導(dǎo)軌可滑動的設(shè)置于所述輔助支撐滑軌的上表面。優(yōu)選地，所述第一驅(qū)動裝置、所述第二驅(qū)動裝置和所述第三驅(qū)動裝置均為直線電動機。優(yōu)選地，所述第一驅(qū)動裝置、所述第二驅(qū)動裝置和所述第三驅(qū)動裝置均具體為包括液壓泵及由所述液壓泵提供油壓的液壓缸的驅(qū)動裝置。本實用新型還提供一種半導(dǎo)體測試儀，包括蓋板、測試座及固定設(shè)置于所述測試座的下表面的測試針，所述測試座固定設(shè)置于所述蓋板的下方，且所述測試座的下方設(shè)置有上述任一項所述的半導(dǎo)體測試臺。優(yōu)選地，所述蓋板設(shè)置有判斷所述測試針是否與待測體相對位的光檢測裝置，所述半導(dǎo)體測試儀還包括對所述光檢測裝置提供的判斷信號作出處理并形成控制信號以控制三個所述直線電動機的信號處理裝置。本實用新型所提供的半導(dǎo)體測試臺包括平臺裝置、導(dǎo)軌裝置及驅(qū)動裝置。容置有若干待測體的模板置于該平臺裝置的上表面，且平臺裝置受導(dǎo)軌裝置的約束只能沿水平且相互垂直的兩個方向直線位移，所述驅(qū)動裝置提供所述平臺裝置位移的驅(qū)動力。如此設(shè)置， 平臺裝置受導(dǎo)軌裝置的約束，只可在水平面內(nèi)相垂直的兩個方向位移，相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型完全限制了平臺裝置以豎直直線為轉(zhuǎn)軸而轉(zhuǎn)動的自由度，從而有效限制了待測體在該平臺裝置的轉(zhuǎn)動。在上述基礎(chǔ)之上，本實用新型用驅(qū)動裝置代替現(xiàn)有技術(shù)中人手操作， 從而有效提高了驅(qū)動位移精度，可有效規(guī)避人手操作精度不確定、誤差比較大的缺陷。如此，可顯著提高測試針與待測試體一一對位的可靠性。本實用新型還提供了一種半導(dǎo)體測試儀，包括蓋板、下表面設(shè)置有若干測試針的測試座，該測試座固定設(shè)置于所述蓋板的下方，所述測試座的下表面與上述任一種的半導(dǎo)體測試臺相對應(yīng)。如此設(shè)置，測試座固定設(shè)置，相對于現(xiàn)有技術(shù)中測試座可上下位移，其內(nèi)部的線路避免了因測試座的上下位移而產(chǎn)生中斷的問題，從而有效避免了因拆卸測試座而對測試針帶來的不可修復(fù)的損壞。

圖1為具體實施方式
中所述半導(dǎo)體測試臺結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為具體實施方式
中所述測試臺A部放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為具體實施方式
中所述半導(dǎo)體測試儀結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0023]本實用新型的核心是提供一種半導(dǎo)體測試臺，其能夠有效提高測試針與待測體一一對位的可靠性，本實用新型還提供了一種包括該半導(dǎo)體測試臺的半導(dǎo)體測試儀。為了使本技術(shù)領(lǐng)域人員更好的理解本實用新型方案，
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進一步的詳細說明。請參考圖1， 圖1為具體實施方式
中所述半導(dǎo)體測試臺結(jié)構(gòu)示意圖。本具體實施方式
中所提供的半導(dǎo)體測試臺具有平臺裝置11、導(dǎo)軌裝置12及驅(qū)動裝置(圖中未示出)。需要指出的是，該導(dǎo)軌裝置12的作用是限制平臺裝置11令其在水平面內(nèi)只可沿相互垂直的兩個方向運動。平臺裝置11的平臺表面111用于托放容置有若干待測體的模板(圖中未示出)。平臺裝置11在導(dǎo)軌裝置12產(chǎn)生位移的驅(qū)動力是由驅(qū)動裝置所提供。如此設(shè)置，平臺裝置11受導(dǎo)軌裝置12的約束，平臺裝置11只可在水平面內(nèi)相垂直的兩個方向位移，相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型完全限制了平臺裝置11以豎直直線為轉(zhuǎn)軸而轉(zhuǎn)動的自由度，從而有效限制了待測體在該平臺裝置的轉(zhuǎn)動。在上述基礎(chǔ)上，本實用新型用驅(qū)動裝置代替現(xiàn)有技術(shù)中人手操作，需要指出的是，有關(guān)驅(qū)動裝置的技術(shù)領(lǐng)域已相對成熟，本技術(shù)領(lǐng)域人員完全可根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)使驅(qū)動裝置的驅(qū)動位移達到一定精度，且該“一定精度”可以比人手操作達到的精度更加精密。如此，可顯著提高測試針與待測試體一一對位的可靠性。本具體實施方式
中導(dǎo)軌裝置12可具體為水平設(shè)置且相互垂直的第一導(dǎo)軌121和第二導(dǎo)軌122，第一導(dǎo)軌121可滑動的設(shè)置于第二導(dǎo)軌122的上表面。需要指出的是，第二導(dǎo)軌122的位置必須為固定的，如此，方可保證平臺裝置11位移具有一定的精度。第一導(dǎo)軌121和第二導(dǎo)軌122之間的連接方式可如下設(shè)置，第二導(dǎo)軌122上表面設(shè)置有第一滑槽 1221，第一導(dǎo)軌121的下表面設(shè)置有第一滑塊(圖中未示出)。需要指出的是，為了保證第一導(dǎo)軌121在第二導(dǎo)軌122上表面滑動的穩(wěn)定性，避免第一導(dǎo)軌121出現(xiàn)晃動等問題，在可實現(xiàn)第一導(dǎo)軌121可正?；瑒拥那疤嵯拢捎诘诙?dǎo)軌122上表面設(shè)置兩個相互平行的第一滑槽1221。相應(yīng)地，與第一滑槽1221相適配的第一滑塊的數(shù)量也可為兩個。當然，在不影響第一導(dǎo)軌121正?；瑒拥那闆r下，第一滑槽1221和第一滑塊的數(shù)量還可相應(yīng)增加。如此設(shè)置，平臺裝置11可滑動的設(shè)置于第一導(dǎo)軌121的上表面，即可實現(xiàn)平臺裝置11在水平面內(nèi)兩個相互垂直的方向的移動。如圖所示，平臺裝置11可在第一導(dǎo)軌121 上左右滑動，同時，平臺裝置11可通過第一導(dǎo)軌121在第二導(dǎo)軌122上表面的滑動實現(xiàn)其前后運動。需要指出的是，驅(qū)動第一導(dǎo)軌121在第二導(dǎo)軌122上表面滑動的驅(qū)動力可由第二驅(qū)動裝置(圖中未示出)提供。如此設(shè)置，第一導(dǎo)軌121在第二導(dǎo)軌122上表面的移動即可實現(xiàn)。上述內(nèi)容介紹了本具體實施方式
中所提供的半導(dǎo)體測試臺能夠水平位移以實現(xiàn)待測體與測試針一一對位。而后，平臺裝置11的平臺表面111部分需上升以實現(xiàn)待測體與測試針的相接觸，方可實現(xiàn)測試目的。下面內(nèi)容將對平臺裝置11進行詳細介紹。平臺裝置11可包括底盤112、升降平臺113及設(shè)置于二者之間的豎直導(dǎo)軌114.。 需要指出的是，該豎直導(dǎo)軌114可以和底盤112為一體式結(jié)構(gòu)，升降平臺112可滑動的裝配于該豎直導(dǎo)軌114即可。當然，豎直導(dǎo)軌114也可和升降平臺113為一體式結(jié)構(gòu)，只需保證升降平臺113可相對底盤112上下位移即可。同樣，升降平臺113可由第三驅(qū)動裝置(圖中未示出)驅(qū)動其實現(xiàn)相對底盤112的上下位移。根據(jù)以上內(nèi)容所述，平臺裝置11可通過底盤112與第一導(dǎo)軌121的相配合實現(xiàn)平臺裝置11可滑動的設(shè)置于第一導(dǎo)軌121的上表面，其具體實施方式
可如下所述。請參考圖2，圖2為具體實施方式
中所述測試臺A部放大結(jié)構(gòu)示意圖。底盤112的下表面可設(shè)置有第二滑塊1121，第一導(dǎo)軌121的上表面設(shè)置有與該第二滑塊1121相適配的第二滑槽1211。如此，底盤112通過第二滑塊1121與第二滑槽1211 可滑動的設(shè)置于第一 導(dǎo)軌121的上表面。當然，為了增加平臺裝置11與第一導(dǎo)軌121相配合的穩(wěn)定性，第二滑槽1211可設(shè)置為兩個相互平行的滑槽，當然，也可以為多個，只需能保證平臺裝置11可在第一導(dǎo)軌121的上表面正?；瑒蛹纯?。需要指出的是，如圖所示的平臺裝置11可在第一導(dǎo)軌121的上表面左右滑動，第一導(dǎo)軌121可在第二導(dǎo)軌122的上表面前后滑動。為了減小第一導(dǎo)軌121的下表面與第二導(dǎo)軌122的上表面之間的摩擦力可將兩導(dǎo)軌具體設(shè)置為長條形板狀結(jié)構(gòu)，以盡量減少二者之間的摩擦面積。然而，當平臺裝置11豎直方向的投影在第二導(dǎo)軌122的邊側(cè)的時候，測試臺容易失去平衡而發(fā)生傾斜。為解決上述問題，可平行于第二導(dǎo)軌122方向設(shè)置一輔助支撐滑軌123，第一導(dǎo)軌 121可滑動的支撐于該輔助支撐滑軌123的上表面。如此設(shè)置，平臺裝置11及第一導(dǎo)軌121 可有效避免傾斜現(xiàn)象的發(fā)生。需要指出的是，本具體實施方式
中底盤112相對第一導(dǎo)軌121滑動、升降平臺113 相對底盤112上下位移及第一導(dǎo)軌121相對第二導(dǎo)軌122滑動，其驅(qū)動力分別由與之對應(yīng)第一驅(qū)動裝置、第三驅(qū)動裝置及第二驅(qū)動裝置提供，該三種驅(qū)動裝置均可以為直線電動機 (圖中未示出)。需要指出的是，本具體實施方式
中所提供的半導(dǎo)體測試臺可通過上述直線電動機分別控制第一導(dǎo)軌121、底盤112及升降平臺112以實現(xiàn)待測體(圖中未示出)與測試針的一一對位及二者之間的接觸。由于現(xiàn)有技術(shù)中，直線電動機的控制精度較相對成熟， 本技術(shù)領(lǐng)域人員完全可通過現(xiàn)有技術(shù)實現(xiàn)，故本具體實施方式
不再贅述。當然，上述三種驅(qū)動裝置也可為其它驅(qū)動裝置，只需能夠精確控制上述第一導(dǎo)軌 121、底盤112及升降平臺113的位移即可。比如，上述三種驅(qū)動裝置還可具體為由液壓泵 (圖中未示出)提供液壓油的液壓缸裝置(圖中未示出)，通過液壓缸裝置驅(qū)動上述第一導(dǎo)軌121、底盤112及升降平臺112也可方便實現(xiàn)其精確位移的目的。本具體實施方式
還提供了一種包括上述任一種半導(dǎo)體測試臺的半導(dǎo)體測試儀。請參考圖3，圖3為具體實施方式
中所述半導(dǎo)體測試儀結(jié)構(gòu)示意圖。該半導(dǎo)體測試儀還包括蓋板13、測試座14及設(shè)置于該測試座下表面的測試針 141。需要指出的是，平臺裝置11的上表面與測試座14的下表面相對應(yīng)，且測試座14的位置固定。如此設(shè)置，測試座14固定設(shè)置，待測體與測試針141的接觸是由平臺裝置11位移而實現(xiàn)的。相對于現(xiàn)有技術(shù)中測試座可上下位移，其內(nèi)部的線路避免了因測試座14的上下位移而產(chǎn)生中斷的問題，從而有效避免了因拆卸測試座14而對測試針141帶來的不可修復(fù)的損壞。本具體實施方式
所提供的半導(dǎo)體測試儀，還包括光檢測裝置15，該光檢測裝置15可識別置于平臺裝置11上表面的待測體的具體位置，且可發(fā)出判斷信號，該光檢測裝置 15可通信的連接于信號處理裝置(圖中未示出)，該信號處理裝置可根據(jù)光檢測裝置15提供的判斷信號作出反應(yīng)，并形成控制信號，上述三個直線電動機可通信的連接于該信號處理裝置，從而，實現(xiàn)對直線電動機的控制以實現(xiàn)待測體與測試針141的一一對位。 如此設(shè)置，當待測體與測試針141對位不準確時，光檢測裝置15發(fā)出判斷信號給信號處理裝置，信號處理裝置形成控制信號控制三個直線電動機繼續(xù)動作，直至待測體與測試針141對位準確，光檢測裝置15發(fā)出判斷信號給信號處理裝置，信號處理裝置發(fā)出控制信號控制三個直線電動機停止動作。如此，完全可通過自動化設(shè)置取代人工操作，既節(jié)省了人力又較好實現(xiàn)了定位精度。至于光檢測裝置15與信號處理裝置具體如何實施，現(xiàn)有技術(shù)已相對成熟，本領(lǐng)域人員完全可根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)實現(xiàn)上述功能，故本文不再贅述。以上對本實用新型所提供的一種半導(dǎo)體測試儀及其半導(dǎo)體測試臺進行了詳細介紹，本文中應(yīng)用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以對本實用新型進行若干改進和修飾，這些改進和修飾也落入本實用新型權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，包括平臺裝置、將所述平臺裝置限制于兩個水平且相互垂直的位移方向的導(dǎo)軌裝置及驅(qū)動所述平臺裝置沿所述導(dǎo)軌裝置位移的驅(qū)動裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，所述導(dǎo)軌裝置具體為水平設(shè)置且相互垂直的第一導(dǎo)軌和第二導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌可滑動的設(shè)置于固定設(shè)置的所述第二導(dǎo)軌的上表面，所述平臺裝置可滑動的設(shè)置于所述第一導(dǎo)軌的上表面；且所述驅(qū)動裝置包括驅(qū)動所述平臺裝置沿所述第一導(dǎo)軌直線位移的第一驅(qū)動裝置及驅(qū)動所述第一導(dǎo)軌沿所述第二導(dǎo)軌直線位移的第二驅(qū)動裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，所述平臺裝置包括底盤、升降平臺、設(shè)置于所述底盤和所述升降平臺之間且與所述底盤固定連接的豎直導(dǎo)軌及驅(qū)動所述升降平臺沿所述豎直導(dǎo)軌上下位移的第三驅(qū)動裝置；且所述底盤與所述第一驅(qū)動裝置的動力輸出端相連接。
4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，所述第一導(dǎo)軌的下表面設(shè)置有第一滑塊，所述第二導(dǎo)軌的上表面設(shè)置有與所述第一滑塊相適配的第一滑槽，所述第一導(dǎo)軌通過相適配的所述第一滑塊與所述第一滑槽可滑動的連接于所述第二導(dǎo)軌的上表面。
5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，所述底盤的下表面設(shè)置有第二滑塊，所述第一導(dǎo)軌的上表面設(shè)置有與所述第二滑塊相適配的第二滑槽，所述底盤通過相適配的所述第二滑塊與所述第二滑槽可滑動的連接于所述第一導(dǎo)軌的上表面。
6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，還包括平行于所述第二導(dǎo)軌設(shè)置的輔助支撐滑軌，且所述第一導(dǎo)軌可滑動的設(shè)置于所述輔助支撐滑軌的上表面。
7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，所述第一驅(qū)動裝置、所述第二驅(qū)動裝置和所述第三驅(qū)動裝置均為直線電動機。
8.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體測試臺，其特征在于，所述第一驅(qū)動裝置、所述第二驅(qū)動裝置和所述第三驅(qū)動裝置均具體為包括液壓泵及由所述液壓泵提供油壓的液壓缸的驅(qū)動裝置。
9.一種半導(dǎo)體測試儀，包括蓋板、測試座及固定設(shè)置于所述測試座的下表面的測試針， 其特征在于，所述測試座固定設(shè)置于所述蓋板的下方，且所述測試座的下方設(shè)置有如權(quán)利要求1-7任一項所述的半導(dǎo)體測試臺。
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體測試儀，其特征在于，所述蓋板設(shè)置有判斷所述測試針是否與待測體相對位的光檢測裝置，所述半導(dǎo)體測試儀還包括對所述光檢測裝置提供的判斷信號作出處理并形成控制信號以控制三個所述直線電動機的信號處理裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種半導(dǎo)體測試儀及其半導(dǎo)體測試臺。本實用新型提供了一種半導(dǎo)體測試臺，包括平臺裝置、將所述平臺裝置限制于兩個水平且相互垂直的位移方向的導(dǎo)軌裝置及驅(qū)動所述平臺裝置沿所述導(dǎo)軌裝置位移的驅(qū)動裝置。如此設(shè)置，可有效提高測試針與待測試體一一對位的可靠性。本實用新型還提供了一種包括上述半導(dǎo)體測試臺的半導(dǎo)體測試儀，其能夠避免因測試座的上下位移而導(dǎo)致其內(nèi)部的線路產(chǎn)生中斷的問題，從而有效避免了因拆卸測試座而對測試針帶來的不可修復(fù)的損壞。
文檔編號G01R31/26GK202066940SQ201020663768
公開日2011年12月7日 申請日期2010年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月16日
發(fā)明者張巍巍 申請人:江陰格朗瑞科技有限公司