專利名稱：空氣樣品收集器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種空氣樣品收集器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域內(nèi)，經(jīng)常需要對(duì)空氣成分進(jìn)行檢測。通常分析取樣空氣的成分及各個(gè)成分的含量來判斷空氣狀況是否符合工藝制程的要求，從而確保工藝制程的精確控制。現(xiàn)有的的空氣樣品收集器以及分析方法只能分析取樣空氣中的N03_、F_、CL_、 HN4離子等等，但不能分析其中是否具有金屬離子。即目前還沒有一種可以收集取
樣空氣中的金屬離子的辦法，以至于還沒有一種行之有效的可以檢測空氣中是否含有金屬離子的裝置和方法。因此，如何提供一種用于檢測空氣中是否含有金屬離子的空氣樣品收集器是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種空氣樣品收集器，可以將空氣樣品和酸性溶液混合，以便于檢測測空氣樣品中是否含有金屬離子。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種空氣樣品收集器，包括用于容納超純水的容器、輸送管、抽吸管、液壓泵、雙向開關(guān)和電源，所述容器通過容器蓋密封，所述抽吸管伸至所述容器內(nèi)上部，所述輸送管伸入所述容器內(nèi)底部，所述抽吸管上還設(shè)有液壓泵，所述液壓泵與雙向開關(guān)和電源構(gòu)成回路。進(jìn)一步，所述液壓泵為齒輪泵，所述齒輪泵包括馬達(dá)、泵齒輪和泵缸，所述泵齒輪設(shè)于所述泵缸內(nèi)且與所述泵缸嚙合，所述馬達(dá)的輸出軸與所述泵齒輪固定連接并帶動(dòng)所述泵齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步，所述輸送管的位于容器內(nèi)的管段上設(shè)有攪拌輪。進(jìn)一步，所述輸送管的上部還固設(shè)有從動(dòng)齒輪，所述馬達(dá)的輸出軸上還固設(shè)有主動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪和所述從動(dòng)齒輪相嚙合。進(jìn)一步，所述液壓泵和從動(dòng)齒輪位于容器蓋內(nèi)部。進(jìn)一步，所述電源是直流電池。進(jìn)一步，所述空氣樣品收集器還包括一個(gè)取樣瓶，所述輸送管的另一端伸入所述取樣瓶內(nèi)底部。進(jìn)一步，所述輸送管位于所述容器蓋的上方的管段設(shè)有轉(zhuǎn)接頭。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以將取樣空氣和酸性溶液在容器內(nèi)部充分混合，使得取樣空氣中的金屬離子和酸性溶液反應(yīng)，從而被酸性溶液吸收。通過檢測該酸性溶液中的金屬離子的種類和含量來簡介判別該取樣空氣中的金屬離子的種類和含量。
本實(shí)用新型的空氣樣品收集器由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖(使用時(shí)進(jìn)行第一步的示意圖)。圖2為本實(shí)用新型使用時(shí)進(jìn)行第二步的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型使用時(shí)進(jìn)行第三步的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1-容器、2-輸送管、21-轉(zhuǎn)接頭、3-抽吸管、4-齒輪泵、41-馬達(dá)、42-泵齒輪、 43-泵缸、5-雙向開關(guān)、6-電源、7-主動(dòng)齒輪、8-從動(dòng)齒輪、9-攪拌輪、10-容器蓋、11-取樣瓶。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的空氣樣品收集器作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參閱圖1-圖3，圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖(使用時(shí)進(jìn)行第一步的示意圖)。圖2為本實(shí)用新型使用時(shí)進(jìn)行第二步的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型使用時(shí)進(jìn)行第三步的結(jié)構(gòu)示意圖。這種空氣樣品收集器，包括用于容納超純水的容器1、輸送管2、抽吸管3、液壓泵 4、雙向開關(guān)5和電源6，所述容器1通過容器蓋10密封，所述抽吸管3伸至所述容器1內(nèi)上部，所述輸送管2伸入所述容器1內(nèi)底部，所述抽吸管3上還設(shè)有液壓泵4，所述液壓泵4 與雙向開關(guān)5和電源6構(gòu)成回路。所述電源是直流電池。所述雙向開關(guān)5具有兩種工作狀態(tài)，分別對(duì)應(yīng)馬達(dá)41的正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)。所述液壓泵為齒輪泵4，所述齒輪泵4包括馬達(dá)41、泵齒輪42和泵缸43，所述泵齒輪42設(shè)于所述泵缸43內(nèi)且與所述泵缸43嚙合，所述馬達(dá)41的輸出軸與所述泵齒輪42固定連接并帶動(dòng)所述泵齒輪42轉(zhuǎn)動(dòng)。所述液壓泵4位于容器蓋10內(nèi)部。齒輪泵4是依靠泵缸與泵齒輪間所形成的工作容積變化和移動(dòng)來輸送液體或使之增壓的回轉(zhuǎn)泵。齒輪泵的工作原理一對(duì)相互嚙合的齒輪和泵缸把吸入腔和排出腔隔開。齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，吸入腔側(cè)輪齒相互脫開處的齒間容積逐漸增大，壓力降低，液體在壓差作用下進(jìn)入齒間。隨著齒輪的轉(zhuǎn)動(dòng)， 一個(gè)個(gè)齒間的液體被帶至排出腔。這時(shí)排出腔側(cè)輪齒嚙合處的齒間容積逐漸縮小，而將液體排出。齒輪泵4結(jié)構(gòu)簡單緊湊，制造容易，維護(hù)方便，有自吸能力，但流量、壓力脈動(dòng)較大且噪聲大。所述輸送管2的上部還固設(shè)有從動(dòng)齒輪8，所述馬達(dá)41的輸出軸上還固設(shè)有主動(dòng)齒輪7，所述主動(dòng)齒輪7和所述從動(dòng)齒輪8相嚙合。所述輸送管2的位于容器1內(nèi)的管段上設(shè)有攪拌輪9。所述攪拌輪9轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可以帶動(dòng)容器內(nèi)的物質(zhì)轉(zhuǎn)動(dòng)，使得容器內(nèi)的物質(zhì)包括取樣空氣、超純水和酸性溶液充分混合反應(yīng)。所述從動(dòng)齒輪8位于容器蓋10內(nèi)部。攪拌輪9 通過馬達(dá)41帶動(dòng)，取代了人力攪拌，自動(dòng)化程度高。所述空氣樣品收集器還包括一個(gè)取樣瓶11，所述輸送管2的另一端伸入所述取樣瓶11內(nèi)底部。所述取樣品內(nèi)用于放置酸性溶液，所述酸性溶液可以是鹽酸和硝酸的混合溶液，所述鹽酸和硝酸的質(zhì)量比可以選用1 3。這種混合比的濃度的酸性溶液更加容易吸收
金屬1 子。本實(shí)施例中，所述輸送管2位于所述容器蓋10的上方的管段中設(shè)有轉(zhuǎn)接頭21，使得轉(zhuǎn)接頭21兩邊的輸送管管道可以相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型空氣樣品收集器的使用方法如下預(yù)先，在容器1內(nèi)通過輸送管2輸入一部分超純水。第一步，請(qǐng)參閱圖1，將輸送管2接通取樣空氣源，然后，通過雙向開關(guān)5使得液壓泵4的馬達(dá)41順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)(即正轉(zhuǎn))，使得抽吸管3不段從容器1向外排氣，容器1內(nèi)的氣壓越來越小，使得輸送管2將一部分取樣空氣吸入容器1內(nèi)部。第二步，請(qǐng)參閱圖2，將輸送管2的一端輸入含有酸性溶液的取樣瓶11中，然后，通過雙向開關(guān)5繼續(xù)使得液壓泵4的馬達(dá)41順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)(即正轉(zhuǎn))，使得抽吸管3不段從容器1向外排氣，容器1內(nèi)的氣壓越來越小，使得輸送管2將取樣瓶11中的酸性溶液吸入容器1內(nèi)部。同時(shí)，液壓泵4的馬達(dá)41 通過主動(dòng)輪帶動(dòng)輸送管2上的主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)輸送管2上的攪拌輪9轉(zhuǎn)動(dòng)，使得酸性溶液和取樣空氣充分混合反應(yīng)。第三步，請(qǐng)參閱圖3，通過雙向開關(guān)5使得液壓泵4的馬達(dá)41逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)(即反轉(zhuǎn))，使得抽吸管3不段向容器1內(nèi)充氣，容器1內(nèi)的氣壓越來越大，使得輸送管2將容器1 內(nèi)的酸性溶液送回到取樣瓶11中。最后，通過對(duì)酸性溶液進(jìn)行檢測，可以很容易獲知酸性溶液中是否含有金屬離子以及所含金屬離子的種類和含量，進(jìn)而可以獲知所檢測的空氣樣品中是否含有金屬離子以及所含金屬離子的種類和含量。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以將取樣空氣和酸性溶液在容器內(nèi)部充分混合，使得取樣空氣中的金屬離子和酸性溶液反應(yīng)，從而被酸性溶液吸收。通過檢測該酸性溶液中的金屬離子的種類和含量來簡介判別該取樣空氣中的金屬離子的種類和含量。
權(quán)利要求1.一種空氣樣品收集器，其特征在于，包括用于容納超純水的容器、輸送管、抽吸管、液壓泵、雙向開關(guān)和電源，所述容器通過容器蓋密封，所述抽吸管伸至所述容器內(nèi)上部，所述輸送管伸入所述容器內(nèi)底部，所述抽吸管上還設(shè)有液壓泵，所述液壓泵與雙向開關(guān)和電源構(gòu)成回路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述空氣樣品收集器，其特征在于所述液壓泵為齒輪泵，所述齒輪泵包括馬達(dá)、泵齒輪和泵缸，所述泵齒輪設(shè)于所述泵缸內(nèi)且與所述泵缸嚙合，所述馬達(dá)的輸出軸與所述泵齒輪固定連接并帶動(dòng)所述泵齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述空氣樣品收集器，其特征在于所述輸送管的位于容器內(nèi)的管段上設(shè)有攪拌輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述空氣樣品收集器，其特征在于所述輸送管的上部還固設(shè)有從動(dòng)齒輪，所述馬達(dá)的輸出軸上還固設(shè)有主動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪和所述從動(dòng)齒輪相嚙合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述空氣樣品收集器，其特征在于所述液壓泵和從動(dòng)齒輪位于容器蓋內(nèi)部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述空氣樣品收集器，其特征在于所述電源是直流電池。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述空氣樣品收集器，其特征在于所述空氣樣品收集器還包括一個(gè)取樣瓶，所述輸送管的另一端伸入所述取樣瓶內(nèi)底部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述空氣樣品收集器，其特征在于所述輸送管位于所述容器蓋的上方的管段設(shè)有轉(zhuǎn)接頭。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種空氣樣品收集器。這種空氣樣品收集器，包括用于容納超純水的容器、輸送管、抽吸管、液壓泵、雙向開關(guān)和電源，所述容器通過容器蓋密封，所述抽吸管伸至所述容器內(nèi)上部，所述輸送管伸入所述容器內(nèi)底部，所述抽吸管上還設(shè)有液壓泵，所述液壓泵與雙向開關(guān)和電源構(gòu)成回路。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以將取樣空氣和酸性溶液在容器內(nèi)部充分混合，使得取樣空氣中的金屬離子和酸性溶液反應(yīng)，從而被酸性溶液吸收。通過檢測該酸性溶液中的金屬離子的種類和含量來簡介判別該取樣空氣中的金屬離子的種類和含量。
文檔編號(hào)G01N1/38GK201965044SQ20102068318
公開日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2010年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月27日
發(fā)明者吳良輝, 胡婷芳 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司