專利名稱：一種光學(xué)顯微－原子力顯微雙探頭成像方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本 發(fā)明涉及一種光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像方法及裝置。用于對(duì)樣品同時(shí) 進(jìn)行大范圍的實(shí)時(shí)光學(xué)顯微觀察和局部區(qū)域的高分辨納米結(jié)構(gòu)的觀察和測(cè)量。
背景技術(shù)：
科學(xué)技術(shù)的一個(gè)重要趨勢(shì)是朝小尺寸、大容量、高速度和低能耗方向快速發(fā)展，人 類對(duì)微觀世界的探索已逐漸由微米技術(shù)向納米技術(shù)延伸，由此推動(dòng)了國(guó)民經(jīng)濟(jì)和人類社會(huì) 的進(jìn)步。微納米技術(shù)是新世紀(jì)各主要國(guó)家優(yōu)先規(guī)劃發(fā)展的核心科技，隨著微納米技術(shù)的飛 速發(fā)展，對(duì)微納米顯微檢測(cè)的要求也越來(lái)越高。由于光學(xué)顯微鏡具有非接觸、無(wú)損傷、可探 測(cè)樣品內(nèi)部的特點(diǎn)，在許多科學(xué)領(lǐng)域中都是離不開光學(xué)顯微鏡，事實(shí)上，對(duì)固定樣品和活體 樣品的生物結(jié)構(gòu)和過(guò)程的觀察，使得光學(xué)顯微鏡成為絕大多數(shù)生命科學(xué)研究的必備儀器。 但是，由于受到光波長(zhǎng)及衍射極限的限制，傳統(tǒng)遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的分辨率僅能達(dá)到可見(jiàn)光 (380 780 nm)的半波長(zhǎng)數(shù)量級(jí)，即0.2 mm左右。近幾十年發(fā)展起來(lái)的以原子力顯微鏡 (AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)等掃描探針顯微鏡(SPM)技術(shù)為主要代表的微納米檢測(cè)技 術(shù)，分辨率都已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)光學(xué)顯微鏡，但它們所獲得的是經(jīng)過(guò)掃描檢測(cè)并重建的樣品圖 像，無(wú)法實(shí)現(xiàn)像光學(xué)顯微鏡那樣的直接而實(shí)時(shí)的觀察和圖像獲取。為了解決這些局限性，本 發(fā)明采用一種光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像方法，對(duì)樣品同時(shí)進(jìn)行實(shí)時(shí)大范圍的顯微 觀察，以及局部區(qū)域的高分辨的微納米結(jié)構(gòu)的觀察和檢測(cè)，滿足我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展、 科學(xué)技術(shù)及國(guó)防等領(lǐng)域的國(guó)家需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成 像方法及裝置。光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像方法是同時(shí)采用光學(xué)顯微和原子力顯微檢測(cè) 方法，對(duì)同一樣品進(jìn)行大范圍的實(shí)時(shí)光學(xué)顯微觀察和局部區(qū)域的高分辨微納米結(jié)構(gòu)的觀察 和測(cè)量；調(diào)節(jié)光學(xué)顯微探頭的Z向移動(dòng)軌道和物鏡的放大倍數(shù)，把捕獲到的光學(xué)顯微圖通 過(guò)CCD探測(cè)頭采集，再經(jīng)過(guò)圖像采集卡輸入計(jì)算機(jī)，最后經(jīng)圖像顯示屏實(shí)時(shí)顯示；同時(shí)在光 學(xué)顯微探頭的監(jiān)控下，移動(dòng)原子力顯微探頭到所需區(qū)域進(jìn)行高分辨微納米檢測(cè)。原子力顯 微探頭采用樣品固定、微探針掃描的方法，引入一個(gè)隨掃描器一起掃描的一小透鏡，其XY 掃描移動(dòng)量與微探針始終一樣，實(shí)現(xiàn)光路的跟蹤，在光電探測(cè)器前的另一小透鏡，實(shí)現(xiàn)高精 度的Z向反饋控制和高分辨率的XY掃描成像，利用針尖與樣品之間的微弱原子力，使微懸 臂產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，通過(guò)光電檢測(cè)方法檢測(cè)偏轉(zhuǎn)量的大小，從而在針尖與樣品作相對(duì)掃描的過(guò)程 中獲取樣品表面的三維高分辨納米結(jié)構(gòu)形貌。原子力顯微檢測(cè)探頭包括第一 L型固定塊、第一 Z向移動(dòng)軌道、第一三角形固定 塊、原子力顯微探頭橫梁、單管壓電掃描器、激光器、光電探測(cè)筒、第三固定塊、第四固定塊、 微懸臂探針、第一小透鏡、第二小透鏡、光電探測(cè)器、前置放大器、信號(hào)處理與控制放大模塊、A/D&D/A接口卡、計(jì)算機(jī)、圖像顯示屏；第一 L型固定塊上依次安裝有第一 Z向移動(dòng)軌 道、第一三角形固定塊、原子力顯微探頭橫梁，原子力顯微探頭橫梁上依次安裝有單管壓電 掃描器、激光器、光電探測(cè)筒，單管壓電掃描器上依次安裝第三固定塊、第四固定塊、微懸臂 探針，第三固定塊右側(cè)安裝第一小透鏡，光電探測(cè)筒內(nèi)依次安裝第二小透鏡和光電探測(cè)器， 光電探測(cè)器依次連接前置放大器、信號(hào)處理與控制放大模塊，A/D&D/A接口卡、計(jì)算機(jī)和圖 像顯示屏，單管壓電掃描器同時(shí)通過(guò)導(dǎo)線和信號(hào)處理與控制放大模塊相連，掃描器控制信 號(hào)由計(jì)算機(jī)產(chǎn)生，通過(guò)A/D&D/A接口卡再到信號(hào)處理與控制放大模塊。所述的光學(xué)顯微探頭包括第二 L型固定塊、第二 Z向移動(dòng)軌道、第二個(gè)三角形固定 塊、光學(xué)顯微探頭橫梁、光學(xué)顯微物鏡筒、物鏡、反射鏡、光學(xué)顯微目鏡筒、目鏡組、CXD探測(cè) 頭、圖象采集卡、計(jì)算機(jī)、圖像顯示屏；第二 L型固定塊上依次安裝第二 Z向移動(dòng)軌道、第二 個(gè)三角形固定塊和光學(xué)顯微探頭橫梁，光學(xué)顯微探頭橫梁下方依次安裝光學(xué)顯微物鏡筒和 物鏡，光學(xué)顯微探頭橫梁上方依次安裝反射鏡、光學(xué)顯微目鏡筒、目鏡組和CXD探測(cè)頭，CXD 探測(cè)頭通過(guò)圖象采集卡和計(jì)算機(jī)相連，最終通過(guò)圖像顯示屏顯示。本發(fā)明的光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像方法及裝置，其優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，技 術(shù)條件易于實(shí)現(xiàn)?？朔藛我还鈱W(xué)顯微鏡分辨率低、常規(guī)樣品掃描式AFM無(wú)法實(shí)時(shí)觀察和 探測(cè)樣品內(nèi)部且僅適用于小樣品的小范圍檢測(cè)的局限性?？赏谖⒓{米檢測(cè)、微納米加工 制備及微納米操控等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。


圖1是光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像裝置示意圖； 圖2是原子力顯微探頭的截面視圖及其工作框圖3是光學(xué)顯微探頭的截面視圖及其工作框圖中原子力顯微探頭1、光學(xué)顯微探頭2、第一滑動(dòng)塊3、第二滑動(dòng)塊4、光學(xué)平臺(tái)5、Y 向步進(jìn)電控平移臺(tái)6、樣品臺(tái)7、待測(cè)樣品8、第1固定塊9、第2固定塊10、第一支撐柱11、 第二支撐柱12、支撐梁13、X向步進(jìn)電控平移臺(tái)14、第一 L型固定塊15、第一 Z向移動(dòng)軌道 16、第一三角形固定塊17、原子力顯微探頭橫梁18、單管壓電掃描器19、激光器20、光電探 測(cè)筒21、第三固定塊22、第四固定塊23、微懸臂探針24、第一小透鏡25、第二小透鏡26、光 電探測(cè)器27、前置放大器28、信號(hào)處理與控制放大模塊29、A/D&D/A接口卡30、計(jì)算機(jī)31、 圖像顯示屏32、第二 L型固定塊33、第二 Z向移動(dòng)軌道34、第二個(gè)三角形固定塊35、光學(xué)顯 微探頭橫梁36、光學(xué)顯微物鏡筒37、物鏡38、反射鏡39、光學(xué)顯微目鏡筒40、目鏡組41、(XD 探測(cè)頭42、圖象采集卡43。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明采用光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像方法對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)大范圍的光 學(xué)顯微觀察的同時(shí)在樣品的局部區(qū)域進(jìn)行高分辨的微納米性能測(cè)量。如圖1所示，光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像裝置包括原子力顯微探頭1、光學(xué) 顯微探頭2、第一滑動(dòng)塊3、第二滑動(dòng)塊4、光學(xué)平臺(tái)5、Y向步進(jìn)電控平移臺(tái)6、樣品臺(tái)7、待 測(cè)樣品8、第1固定塊9、第2固定塊10、第一支撐柱11、第二支撐柱12、支撐梁13、X向步 進(jìn)電控平移臺(tái)14 ；原子力顯微探頭1和光學(xué)顯微探頭2，分別固定在第一滑動(dòng)塊3和第二滑動(dòng)塊4上，然后安裝在X向步進(jìn)電控平移臺(tái)14上，X向步進(jìn)電控平移臺(tái)14固定在支撐梁13 上，光學(xué)平臺(tái)5上依次安裝有Y向步進(jìn)電控平移臺(tái)6、樣品臺(tái)7、以及由第一固定塊9、第2固 定塊10、第一支 撐柱11、第二支撐柱12、支撐梁13構(gòu)成的支撐架。如圖2所示，所述的原子力顯微探頭1包括第一 L型固定塊15、第一 Z向移動(dòng)軌道
16、第一三角形固定塊17、原子力顯微探頭橫梁18、單管壓電掃描器19、激光器20、光電探 測(cè)筒21、第三固定塊22、第四固定塊23、微懸臂探針24、第一小透鏡25、第二小透鏡26、光 電探測(cè)器27、前置放大器28、信號(hào)處理與控制放大模塊29、A/D&D/A接口卡30、計(jì)算機(jī)31、 圖像顯示屏32 ；第一 L型固定塊15上依次安裝有第一 Z向移動(dòng)軌道16、第一三角形固定塊
17、原子力顯微探頭橫梁17，原子力顯微探頭橫梁18上依次安裝有單管壓電掃描器19、激 光器20、光電探測(cè)筒21，單管壓電掃描器19上依次安裝第三固定塊22、第四固定塊23、微 懸臂探針24，第三固定塊22右側(cè)安裝第一小透鏡25，光電探測(cè)筒21內(nèi)依次安裝第二小透 鏡26和光電探測(cè)器27，光電探測(cè)器27依次連接前置放大器28、信號(hào)處理與控制放大模塊 29，A/D&D/A接口卡30、計(jì)算機(jī)31和圖像顯示屏32，單管壓電掃描器19同時(shí)通過(guò)導(dǎo)線和 信號(hào)處理與控制放大模塊29相連，掃描器控制信號(hào)由計(jì)算機(jī)31產(chǎn)生，通過(guò)A/D&D/A接口卡 30再到信號(hào)處理與控制放大模塊29。如圖3所示，所述的光學(xué)顯微探頭2包括第二 L型固定塊33、第二 Z向移動(dòng)軌道 34、第二個(gè)三角形固定塊35、光學(xué)顯微探頭橫梁36、光學(xué)顯微物鏡筒37、物鏡38、反射鏡39、 光學(xué)顯微目鏡筒40、目鏡組41、(XD探測(cè)頭42、圖象采集卡43、計(jì)算機(jī)31和圖像顯示屏32 ； 第二 L型固定塊33上依次安裝第二 Z向移動(dòng)軌道34、第二個(gè)三角形固定塊35和光學(xué)顯微 探頭橫梁36，光學(xué)顯微探頭橫梁36下方依次安裝光學(xué)顯微物鏡筒37和物鏡38，光學(xué)顯微 探頭橫梁36上方依次安裝反射鏡39、光學(xué)顯微目鏡筒40、目鏡組41和CXD探測(cè)頭42，CXD 探測(cè)頭42通過(guò)圖象采集卡43和計(jì)算機(jī)31相連，最終通過(guò)圖像顯示屏32實(shí)時(shí)顯示圖像。光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像方法是同時(shí)采用光學(xué)顯微和原子力顯微檢測(cè) 方法，對(duì)同一樣品進(jìn)行大范圍的實(shí)時(shí)光學(xué)顯微觀察和局部區(qū)域的高分辨微納米結(jié)構(gòu)的觀察 和測(cè)量；調(diào)節(jié)光學(xué)顯微探頭的Z向移動(dòng)軌道和物鏡的放大倍數(shù)，把捕獲到的光學(xué)顯微圖通 過(guò)CCD探測(cè)頭采集，再經(jīng)過(guò)圖像采集卡輸入計(jì)算機(jī)，最后經(jīng)圖像顯示屏實(shí)時(shí)顯示；同時(shí)在光 學(xué)顯微探頭的監(jiān)控下，移動(dòng)原子力顯微探頭到所需區(qū)域進(jìn)行高分辨微納米檢測(cè)。原子力顯 微探頭采用樣品固定、微探針掃描的方法，引入一個(gè)隨掃描器一起掃描的一小透鏡，其XY 掃描移動(dòng)量與微探針始終一樣，實(shí)現(xiàn)光路的跟蹤，在光電探測(cè)器前的另一小透鏡，實(shí)現(xiàn)高精 度的Z向反饋控制和高分辨率的XY掃描成像，利用針尖與樣品之間的微弱原子力，使微懸 臂產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，通過(guò)光電檢測(cè)方法檢測(cè)偏轉(zhuǎn)量的大小，從而在針尖與樣品作相對(duì)掃描的過(guò)程 中獲取樣品表面的三維高分辨納米結(jié)構(gòu)形貌。本發(fā)明采用光學(xué)顯微探頭對(duì)樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)大范圍的光學(xué)顯微觀察，尤其是活體樣 品的生物結(jié)構(gòu)和過(guò)程的觀察。調(diào)節(jié)光學(xué)顯微探頭的Z向移動(dòng)軌道和物鏡的放大倍數(shù)，把捕 獲到的光學(xué)顯微圖通過(guò)CXD探測(cè)頭采集，再經(jīng)過(guò)圖像采集卡輸入計(jì)算機(jī)，最后經(jīng)圖像顯示 屏顯示。同時(shí)在光學(xué)顯微探頭的監(jiān)控下，移動(dòng)原子力顯微探頭到所需區(qū)域進(jìn)行高分辨、掃描 范圍在4umX4 um 100 umXIOO um的微納米結(jié)構(gòu)和性能的檢測(cè)。原子力顯微探頭采用樣 品固定、微探針掃描的方法，引入一個(gè)隨掃描器一起掃描的一小透鏡，其XY掃描移動(dòng)量與 微探針始終一樣，即微探針始終位于小透鏡的焦點(diǎn)處，在較大范圍(如100 um XlOO um)掃描過(guò)程中，通過(guò)小透鏡聚焦而成的激光光斑始終對(duì)準(zhǔn)微懸臂，從而有效地實(shí)現(xiàn)了光路的跟 蹤，在光電探測(cè)器前的另一小透鏡，既避免了 Z向反饋造成的系統(tǒng)誤差，又同時(shí)保持了光束 偏轉(zhuǎn)法的高靈敏度及高分辨率，從而實(shí)現(xiàn)較大范圍高精度的Z向反饋控制和高分辨率的XY 掃描成像，利用針尖與樣品之間的微弱原子力，使微懸臂產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，通 過(guò)光電檢測(cè)方法檢測(cè) 偏轉(zhuǎn)量的大小，從而在針尖與樣品作相對(duì)掃描的過(guò)程中獲取樣品表面的三維高分辨納米結(jié) 構(gòu)形貌；采用開放式的樣品臺(tái)和χ、γ步進(jìn)移動(dòng)平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)對(duì)大尺寸、大重量樣品任意區(qū)域表 面進(jìn)行微納米掃描檢測(cè)。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭成像方法，其特征在于同時(shí)采用光學(xué)顯微和原子 力顯微檢測(cè)方法，對(duì)同一樣品進(jìn)行大范圍的實(shí)時(shí)光學(xué)顯微觀察和局部區(qū)域的高分辨微納米 結(jié)構(gòu)的觀察和測(cè)量；調(diào)節(jié)光學(xué)顯微探頭的Z向移動(dòng)軌道和物鏡的放大倍數(shù)，把捕獲到的光 學(xué)顯微圖通過(guò)CXD探測(cè)頭采集，再經(jīng)過(guò)圖像采集卡輸入計(jì)算機(jī)，最后經(jīng)圖像顯示屏實(shí)時(shí)顯 示；同時(shí)在光學(xué)顯微探頭的監(jiān)控下，移動(dòng)原子力顯微探頭到所需區(qū)域進(jìn)行高分辨微納米檢 測(cè)，原子力顯微探頭采用樣品固定、微探針掃描的方法，引入一個(gè)隨掃描器一起掃描的一小 透鏡，其XY掃描移動(dòng)量與微探針始終一樣，實(shí)現(xiàn)光路的跟蹤，在光電探測(cè)器前的另一小透 鏡，實(shí)現(xiàn)高精度的Z向反饋控制和高分辨率的XY掃描成像，利用針尖與樣品之間的微弱原 子力，使微懸臂產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，通過(guò)光電檢測(cè)方法檢測(cè)偏轉(zhuǎn)量的大小，從而在針尖與樣品作相對(duì) 掃描的過(guò)程中獲取樣品表面的三維高分辨納米結(jié)構(gòu)形貌。
2.一種光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭顯微檢測(cè)裝置，其特征在于包括原子力顯微探頭(1)、光學(xué)顯微探頭(2)、第一滑動(dòng)塊(3)、第二滑動(dòng)塊(4)、光學(xué)平臺(tái)(5)、Y向步進(jìn)電控平移 臺(tái)(6)、樣品臺(tái)(7)、待測(cè)樣品(8)、第一固定塊(9)、第2固定塊(10)、第一支撐柱(11)、第二 支撐柱(12)、支撐梁(13)、X向步進(jìn)電控平移臺(tái)(14);原子力顯微探頭(1)和光學(xué)顯微探頭(2)分別固定在第一滑動(dòng)塊(3)和第二滑動(dòng)塊(4)上，然后安裝在X向步進(jìn)電控平移臺(tái)(14) 上，X向步進(jìn)電控平移臺(tái)(14)固定在支撐梁(13)上，光學(xué)平臺(tái)(5)上依次安裝有Y向步進(jìn) 電控平移臺(tái)(6)和樣品臺(tái)(7)，以及由第一固定塊(9)、第2固定塊(10)、第一支撐柱(11)、 第二支撐柱(12)、支撐梁(13)構(gòu)成的支撐架。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭顯微檢測(cè)裝置，其特征在 于所述的原子力顯微探頭(1)包括第一 L型固定塊(15)、第一 Z向移動(dòng)軌道(16)、第一三角 形固定塊(17)、原子力顯微探頭橫梁(18)、單管壓電掃描器(19)、激光器(20)、光電探測(cè)筒 (21)、第三固定塊(22)、第四固定塊(23)、微懸臂探針(24)、第一小透鏡(25)、第二小透鏡 (26)、光電探測(cè)器(27)、前置放大器(28)、信號(hào)處理與控制放大模塊(29)、A/D&D/A接口卡 (30)、計(jì)算機(jī)(31)、圖像顯示屏(32);第一 L型固定塊(15)上依次安裝有第一 Z向移動(dòng)軌道 (16)、第一三角形固定塊(17)、原子力顯微探頭橫梁(17)，原子力顯微探頭橫梁(18)上依 次安裝有單管壓電掃描器(19)、激光器(20)、光電探測(cè)筒(21)，單管壓電掃描器(19)上依 次安裝第三固定塊(22)、第四固定塊(23)、微懸臂探針(24)，第三固定塊(22)右側(cè)安裝第 一小透鏡(25 )，光電探測(cè)筒(21)內(nèi)依次安裝第二小透鏡(26 )和光電探測(cè)器(27 )，光電探測(cè) 器(27)依次連接前置放大器(28)、信號(hào)處理與控制放大模塊(29)，A/D&D/A接口卡(30)、 計(jì)算機(jī)(31)和圖像顯示屏(32)，單管壓電掃描器(19)同時(shí)通過(guò)導(dǎo)線和信號(hào)處理與控制放 大模塊(29)相連，掃描器控制信號(hào)由計(jì)算機(jī)(31)產(chǎn)生，通過(guò)A/D&D/A接口卡(30)再到信號(hào) 處理與控制放大模塊(29)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光學(xué)顯微一原子力顯微雙探頭顯微檢測(cè)裝置，其特征在 于所述的光學(xué)顯微探頭(2)包括第二 L型固定塊(33)、第二 Z向移動(dòng)軌道(34)、第二個(gè)三 角形固定塊(35)、光學(xué)顯微探頭橫梁(36)、光學(xué)顯微物鏡筒(37)、物鏡(38)、反射鏡(39)、 光學(xué)顯微目鏡筒(40)、目鏡組(41)、CXD探測(cè)頭(42)、圖象采集卡(43)、計(jì)算機(jī)(31)、圖像 顯示屏(32)；第二 L型固定塊(33)上依次安裝第二 Z向移動(dòng)軌道(34)、第二個(gè)三角形固 定塊(35 )和光學(xué)顯微探頭橫梁(36 )，光學(xué)顯微探頭橫梁(36 )下方依次安裝光學(xué)顯微物鏡 筒(37)和物鏡(38)，光學(xué)顯微探頭橫梁(36)上方依次安裝反射鏡(39)、光學(xué)顯微目鏡筒(40)、目鏡組(41)和CCD探測(cè)頭(42), CCD探測(cè)頭(42)通過(guò)圖象采集卡(43)和計(jì)算機(jī)(31) 相連，通過(guò)圖像顯示屏(32)顯示。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光學(xué)顯微－原子力顯微雙探頭成像方法及裝置。它具有激光器、微透鏡和單管壓電陶瓷及微懸臂探針組成的掃描器、位置敏感探測(cè)單元和光電檢測(cè)與反饋測(cè)量控制系統(tǒng)等構(gòu)成的原子力顯微探頭，以及顯微物鏡組和顯微目鏡組組成的光學(xué)顯微探頭，CCD檢測(cè)頭和數(shù)據(jù)圖像采集系統(tǒng)、Z向移動(dòng)機(jī)構(gòu)、XY步進(jìn)移動(dòng)機(jī)構(gòu)和開放式大樣品臺(tái)。本發(fā)明的光學(xué)顯微-原子力顯微雙探頭系統(tǒng)可以同時(shí)解決大范圍的實(shí)時(shí)光學(xué)顯微觀察和局部的高分辨納米結(jié)構(gòu)和性能的觀察和測(cè)量。
文檔編號(hào)G01N21/84GK102095898SQ201110022879
公開日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2011年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月20日
發(fā)明者吳蘭, 張冬仙, 李方浩, 章海軍 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)