專利名稱：坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法及記錄介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種確定數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是否分布在特定的確定區(qū)域內(nèi)的識別方法及存儲使得計算機(jī)執(zhí)行該識別方法的程序的記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件(又稱芯片)是通過各種處理制造的。在各種處理過程中的多種缺陷都會導(dǎo)致質(zhì)量的降級和半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)率的降低。在這個方面，為了改善并穩(wěn)定生產(chǎn)率， 在預(yù)定處理之后執(zhí)行圖案缺陷檢查和顆粒(污染物)檢查以核對缺陷的存在。另外，在每個處理中，在形成了圖案之后，對晶圓上的每個芯片都執(zhí)行電特性測試 (晶圓測試)以檢測缺陷。對于作為檢查或測試的結(jié)果而獲得的信息，存在表示晶圓上的缺陷和缺陷芯片的分布的信息。在下面，晶圓上的缺陷或缺陷芯片的分布被稱為“缺陷分布”。缺陷分布可被分類成兩種類型在一種類型中，缺陷分布在晶圓上方實質(zhì)上是均勻地分布的，而沒有集中在晶圓上的特定區(qū)域；和在另一種類型中，缺陷分布是不均勻地分布的并可能集中在晶圓上的特定區(qū)域內(nèi)。缺陷均勻地分布的前一種類型的缺陷被稱為隨機(jī)缺陷。另一方面，缺陷集中在晶圓的一部分內(nèi)的后一種類型的缺陷被稱為群集缺陷 (clustering defect)0缺陷集中的缺陷分布(下面稱為“集中缺陷分布”)主要是由于制造處理、制造裝置等中的問題而導(dǎo)致的。由于這個特征，通過調(diào)查制造處理、制造裝置等，可檢測出生產(chǎn)率降低的原因。作為利用該信息的一個例子，首先分析晶圓上的缺陷分布的狀態(tài)，并基于該分析， 估計出在制造處理、制造裝置等中的缺陷的原因(例如，見專利文獻(xiàn)1和2)。專利文獻(xiàn)1描述了一種通過基于群集的缺陷分布的狀態(tài)來分組(分類)晶圓并隨后確定該狀態(tài)是否類似于缺陷分布的已知圖案來指定缺陷的原因的方法。專利文獻(xiàn)2描述了一種基于缺陷的分布狀態(tài)將缺陷的類型分類為重復(fù)缺陷、擁塞缺陷、線性缺陷、環(huán)狀/塊狀缺陷、隨機(jī)缺陷等。一般的，利用X軸和Y軸表示芯片的位置。為了表示用于指示晶圓上芯片位置的數(shù)據(jù)分組的信息，將這些數(shù)據(jù)表示在XY矩形坐標(biāo)平面上。如上所述，制造半導(dǎo)體器件的制造處理中的集中缺陷分布可以是由制造裝置等中的問題所導(dǎo)致的。因此，當(dāng)檢測到集中缺陷分布時，通過收集具有相似狀態(tài)的缺陷分布的大量晶圓的信息并隨后調(diào)查用于指示例如使用了哪種處理裝置及在制造處理中何時執(zhí)行了處理的相關(guān)記錄數(shù)據(jù)來估計缺陷處理。在這種情況下，基于缺陷分布是否存在于晶圓(坐標(biāo)平面)的特定區(qū)域內(nèi)來確定缺陷分布是否類似于已知圖案的缺陷分布。在專利文獻(xiàn)1和2的方法中，由指示缺陷和缺陷芯片的位置的處理數(shù)據(jù)來指定缺陷分布的位置。然而，缺陷分布的所有數(shù)據(jù)點都具有各自的數(shù)據(jù)(例如，位置信息)。即，在坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域內(nèi)包括的所有數(shù)據(jù)點都具有各自的數(shù)據(jù)的狀態(tài)下，確定數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是否分布在設(shè)置在坐標(biāo)平面上的指定的確定區(qū)域內(nèi)。專利文獻(xiàn)1 日本專利申請公開No. 06-61314專利文獻(xiàn)2 日本專利No. 403835
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個方面，在減少表示坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的信息量的同時，可確定數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是否分布在設(shè)置在坐標(biāo)平面上的指定的確定區(qū)域中。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法。所述識別方法包括分布代表點選擇步驟，包括以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成兩個或更多的分割區(qū)域，所述分割中心點是任意點和分割區(qū)域的中心，多個數(shù)據(jù)表示為坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點，所述多個數(shù)據(jù)構(gòu)成了要確定的數(shù)據(jù)分組，所述多個數(shù)據(jù)中的每一個數(shù)據(jù)包括成對的兩個變量，數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域; 和，在每個分割區(qū)域內(nèi)，從分割區(qū)域的數(shù)據(jù)點中選擇具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點作為數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的代表點；以及，確定步驟，包括確定是否存在分布代表點區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域，分布代表點區(qū)域是利用線條連接代表點來定義的，確定區(qū)域是在坐標(biāo)平面上設(shè)置的特定區(qū)域；和，當(dāng)存在重疊區(qū)域時，確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。


當(dāng)結(jié)合附圖來閱讀如下的具體實施方式
時可更加清楚地理解本發(fā)明的其他目的、 特征和優(yōu)點，其中圖1是描繪了本發(fā)明實施例的方法的處理過程的流程圖；圖2是描繪了設(shè)定在晶圓上的確定區(qū)域的示意圖；圖3是描繪了晶圓上的集中圖案缺陷分布的示意圖；圖4是描繪了集中圖案缺陷分布的分布代表點選擇步驟的流程圖；圖5是圖3中的集中圖案缺陷分布的放大圖，該放大圖包括將集中圖案缺陷分布分割成四(4)個區(qū)域的線條；圖6是顯示了彼此重疊的確定區(qū)域和集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域的示意圖；圖7是描繪了根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的方法的處理過程的流程圖；圖8是描繪了確定區(qū)域和集中圖案缺陷分布之間的位置關(guān)系的另一例子的示意圖；圖9是描繪了確定區(qū)域和集中圖案缺陷分布之間的位置關(guān)系的再一例子的示意圖；圖10是描繪了集中圖案缺陷分布的分布范圍顯示的例子的示意圖；圖11是描繪了集中圖案缺陷分布的分布范圍顯示的另一例子的示意圖；圖12是描繪了集中圖案缺陷分布中的數(shù)據(jù)點分布密度的例子的示意圖；圖13是描繪了集中圖案缺陷分布中的數(shù)據(jù)點分布密度的另一例子的示意圖；圖14是圖3中的圖案缺陷位置被缺陷芯片所取代的示意圖15是描繪了集中缺陷分布的代表點和代表點分布區(qū)域的示意圖；圖16是圖15中的集中缺陷分布的附近區(qū)域的放大圖；圖17是描繪了當(dāng)圖16中的位置信息被芯片的四(4)個角所取代時代表點和集中缺陷分布代表點區(qū)域的示意圖；圖18是描繪了確定區(qū)域的例子的示意圖；圖19是描繪了坐標(biāo)平面上的晶圓測試結(jié)果的示意圖；圖20是描繪了在坐標(biāo)平面上的金屬1形成處理的缺陷檢查結(jié)果的示意圖；圖21是描繪了在坐標(biāo)平面上的金屬2形成處理的缺陷檢查結(jié)果的示意圖；圖22是描繪了在坐標(biāo)平面上的金屬3形成處理的缺陷檢查結(jié)果的示意圖；圖23是以區(qū)域彼此重疊的方式描繪了圖19、圖20、圖21和圖22的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域和集中缺陷分布代表點區(qū)域；圖M是描繪了一個坐標(biāo)平面上的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域和確定區(qū)域的示意圖，其中集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域?qū)?yīng)于多個晶圓信息的集中圖案缺陷分布；圖25是描繪了具有圖5所示的集中圖案缺陷分布的坐標(biāo)平面上的線條的示意圖， 其中坐標(biāo)平面的區(qū)域被分割成八(8)個分割區(qū)域；圖沈是描繪了在圖25的坐標(biāo)平面上的集中圖案缺陷分布的、集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域的示意圖；圖27是描繪了坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布狀態(tài)的另一例子的示意圖；圖觀是通過將圖27的數(shù)據(jù)點分布分割成四(4)個分割區(qū)域而獲得的代表點和分布代表點區(qū)域的示意圖；圖四是通過將圖27的數(shù)據(jù)點分布分割成八(8)個分割區(qū)域而獲得的代表點和分布代表點區(qū)域的示意圖；圖30是描繪了獲取用于描述圖27的數(shù)據(jù)點分布的分布區(qū)域而追加的代表點的方法的示意圖；圖31是描繪了利用圖30所示的追加代表點定義的分布代表點區(qū)域的結(jié)果的示意圖；圖32是描繪了在顯示出圖5所示的集中圖案缺陷分布的坐標(biāo)平面上的線條、代表點和分布代表點區(qū)域的示意圖；圖33是僅僅描繪了圖32的分割區(qū)域All的一個數(shù)據(jù)點的示意圖；圖34是描繪了獲取向圖32的數(shù)據(jù)點分布追加代表點的結(jié)果的示意圖；圖35是描繪了利用圖34的追加代表點定義的分布代表點區(qū)域的結(jié)果的示意圖；圖36是描繪了在顯示圖5所示的集中圖案缺陷分布的坐標(biāo)平面上的、將區(qū)域分割成兩(2)個分割區(qū)域的線條、代表點和分布代表點區(qū)域的示意圖；圖37是描繪了利用向圖36的集中圖案缺陷分布的追加點追加的追加代表點定義的分布代表點區(qū)域的結(jié)果的示意圖；圖38是描繪了坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布狀態(tài)的再一例子的示意圖；圖39是描繪了通過將圖38的數(shù)據(jù)點的區(qū)域分割成八(8)個分割區(qū)域而得到分布代表點區(qū)域的結(jié)果的示意圖；圖40是描繪了通過額外地利用分割中心點作為向圖39的代表點追加的追加點而得到的分布代表點區(qū)域的結(jié)果的示意圖；圖41是由移動的車輛獲取(捕捉)的圖像；圖42是描繪了圖41的停車區(qū)域和路錐區(qū)域的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的代表點的示意圖；圖43是描繪了當(dāng)移動的車輛從路錐旁邊經(jīng)過時在坐標(biāo)上的路錐區(qū)域的確定區(qū)域和分布代表點區(qū)域的示意圖；圖44是描繪了當(dāng)移動的車輛從停車區(qū)域旁邊經(jīng)過時在坐標(biāo)平面上的停車區(qū)域的確定區(qū)域和分布代表點區(qū)域的示意圖；圖45是由移動的車輛所獲取的圖像的另一例子；圖46是描繪了指定在圖像中顯示的對象區(qū)域的處理的流程圖；圖47是描繪了圖45的路錐區(qū)域及該路錐區(qū)域的參考點和代表點的示意圖；圖48是描繪了路錐分布代表點區(qū)域和車輛確定區(qū)域的示意圖；圖49是描繪了路錐分布代表點區(qū)域和路錐確定區(qū)域的示意圖；圖50是描繪了路錐分布代表點區(qū)域和第一路標(biāo)確定區(qū)域的示意圖；圖51是描繪了路錐分布代表點區(qū)域和路錐確定區(qū)域的另一例子的示意圖；圖52是描繪了制作在圖像中顯示的對象區(qū)域的代表點信息的數(shù)據(jù)庫的處理的流程圖；以及圖53是描繪了基于數(shù)據(jù)庫中的代表點信息指定圖像中的對象的處理的流程圖。
具體實施例方式首先，參考圖案缺陷的結(jié)果數(shù)據(jù)描述本發(fā)明的實施例。圖1是描繪了根據(jù)本發(fā)明實施例的方法的流程圖。圖2描繪了設(shè)置在晶圓上的確定區(qū)域。圖3描繪了晶圓上的圖案缺陷位置。圖4是描繪了集中圖案缺陷分布的分布代表點選擇步驟的流程圖。圖5是圖案缺陷分組的放大圖，并且該放大圖進(jìn)一步描繪了沿著Y 軸將區(qū)域分割成八(8)個區(qū)域的分割直線。圖6描繪了在同一坐標(biāo)平面上彼此重疊的確定區(qū)域和集中圖案缺陷代表點區(qū)域。參考圖1至圖6來描述這個實施例。步驟S 1 在圖案缺陷檢查結(jié)果的坐標(biāo)平面上設(shè)置確定區(qū)域5。這里，假設(shè)當(dāng)如圖 2所示以晶圓1的缺口 3被排列在底側(cè)的方式設(shè)置晶圓1時，確定區(qū)域5被設(shè)置在右上角側(cè)的部分上。缺口 3是晶圓1的標(biāo)記，使得可以識別硅的晶向。晶圓1包括以矩陣方式排列的芯片7。步驟S2 接下來，從檢查裝置或存儲圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)庫讀取與目標(biāo)晶圓信息相關(guān)的圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)(即，要確定(檢查)的晶圓的信息)。圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)包括圖案缺陷的位置坐標(biāo)信息。圖3示出了晶圓1上的圖案缺陷位置。在圖3 中，圖案缺陷被表示為點。步驟S3 接下來，將圖案缺陷分組。在這個方面，例如，獲得代表圖案缺陷的數(shù)據(jù)點之間的相互距離。然后，具有相互距離小于預(yù)定的閾值的數(shù)據(jù)點被確定為包括在同一分組內(nèi)。然而，分組數(shù)據(jù)點的方法并不局限于這個方法，還可使用任何其他適當(dāng)?shù)姆椒?。步驟S4 接下來，從圖案缺陷的分組中選擇(確定)集中圖案缺陷分布。在這個方面，對于圖案缺陷的每個分組，確定圖案缺陷的數(shù)目是否等于或大于例如五(5)個。在這種情況下，當(dāng)確定圖案缺陷的數(shù)目等于或大于五( 個時，圖案缺陷分組被確定為集中圖案缺陷分布。在這種情況下，晶圓的右上角側(cè)處的圖案缺陷分組被確定為集中圖案缺陷分布9。在這個實施例中，集中圖案缺陷分布中包括的數(shù)據(jù)點是要確定的數(shù)據(jù)分組。然而，在這種情況下，所有的圖案缺陷數(shù)據(jù)將被按照要確定的數(shù)據(jù)分組來處理，或者僅是特定區(qū)域內(nèi)的圖案缺陷數(shù)據(jù)將被按照要確定的數(shù)據(jù)分組來處理。另外，在這個實施例中，在集中圖案缺陷分布9中包括的數(shù)據(jù)點是被選擇作為數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的代表點的候選。步驟S5 接下來，確定(選擇)集中圖案缺陷分布9的代表點。在這個方面，代表集中圖案缺陷分布9的分布區(qū)域的輪廓(外形)的多個數(shù)據(jù)點被確定(選擇)為集中圖案缺陷分布9的代表點。參考圖4和圖5，描述選擇分布區(qū)域的代表點的步驟(在下文中，被稱為“分布代表點選擇步驟”)。步驟S5-1 設(shè)置用于分割集中圖案缺陷分布9的分布區(qū)域的分割中心點。在這個實施例中，集中圖案缺陷分布9中的數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域的重心被設(shè)置為分割中心點。步驟S5-2 以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將區(qū)域分割成分割區(qū)域。在這個實施例中，作為將區(qū)域分割成分割區(qū)域的線條，使用了經(jīng)過分割中心點并與X軸平行的線條和經(jīng)過分割中心點并與Y軸平行的線條，從而將區(qū)域分割成四(4)個分割區(qū)域(見圖5)。步驟S5-3 在每個分割區(qū)域內(nèi)，將具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點選擇作為集中圖案缺陷分布9的代表點。在圖5中，利用白色圓圈顯示出代表點的數(shù)據(jù)點，而利用黑色圓圈顯示出除代表點之外的數(shù)據(jù)點。存在獲取分割區(qū)域的代表點的各種方法。例如，首先，計算第一數(shù)據(jù)點和分割中心點之間的距離，并獲取包括第一數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域。然后，將該數(shù)據(jù)點的坐標(biāo)和所計算的到分割中心點的距離存儲為代表點候選。接下來，計算第二數(shù)據(jù)點和分割中心點之間的距離，并獲取包括第二數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域。如果在包括第二數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域內(nèi)存在代表點候選，則確定第二數(shù)據(jù)點和分割中心點之間的距離是否大于代表點候選和分割中心點之間的距離。當(dāng)確定了第二數(shù)據(jù)點和分割中心點之間的距離大于代表點候選和分割中心點之間的距離時，將第二數(shù)據(jù)點的坐標(biāo)和所計算的到分割中心點的距離存儲作為新的代表點候選。當(dāng)確定了第二數(shù)據(jù)點和分割中心點之間的距離小于代表點候選和分割中心點之間的距離時，維持(不改變)代表點候選的信息。當(dāng)確定了第二數(shù)據(jù)點和分割中心點之間的距離等于代表點候選和分割中心點之間的距離時，將第二數(shù)據(jù)點的坐標(biāo)和所計算的到分割中心點的距離存儲作為新的代表點候選并且維持先前的代表點候選的信息不改變。如果在包括第二數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域內(nèi)不存在代表點候選， 則將第二數(shù)據(jù)點的坐標(biāo)和所計算的到分割中心點的距離存儲作為代表點候選。在這之后， 對所有的數(shù)據(jù)點執(zhí)行上述處理，以便獲取各分割區(qū)域的代表點候選。在完成了對所有的數(shù)據(jù)點的處理之后，將代表點候選存儲為各分割區(qū)域的代表點。然而，獲取各分割區(qū)域的代表點的方法并不局限于上述方法。例如，對數(shù)據(jù)點獲取到分割中心點的距離，并且在每個分割區(qū)域內(nèi)，將具有到分割中心點的最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點選擇作為分割區(qū)域的代表點。另外，例如，基于分割區(qū)域?qū)?shù)據(jù)點進(jìn)行分組。然后，在每個分割區(qū)域內(nèi)，獲取數(shù)據(jù)點和分割中心點之間的距離。然后，將具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點選擇作為分割區(qū)域的代表點。在這種情況下，可以假設(shè)不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域不具有代表點，并可以基于這個假設(shè)執(zhí)行隨后的處理。另外，在將數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域的重心設(shè)置為分割中心點并且以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將分布區(qū)域均勻地分割成四(4)個分割區(qū)域的情況下，當(dāng)存在有不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域時，將分割中心點的坐標(biāo)設(shè)置為不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域的代表點。另外，在參考圖3的上述描述中，描述了集中圖案缺陷分布9的數(shù)目是一個的情況。然而，在步驟S4中，當(dāng)確定了對晶圓信息的圖案缺陷檢查數(shù)據(jù)檢測出多個集中圖案缺陷分布9時，對多個集中圖案缺陷分布9中的每一個執(zhí)行步驟S5的分布代表點選擇步驟。再次參考圖1，進(jìn)一步描述圖1的流程圖中的方法。步驟S6 確定是否存在集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11與確定區(qū)域5重疊的重疊區(qū)域13，集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11是通過利用線條順序地連接集中圖案缺陷分布9的代表點而形成的。在這種情況下，集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11是通過利用線條以線條之間彼此不交叉的方式連接十六(16)個代表點來定義的。例如，這樣的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11是通過利用線條連接從作為起始點的代表點到鄰近區(qū)域的下一個代表點并且還在順時針或逆時針方向以相同方式連接來定義的。在圖6中，描繪了代表點之間的線條是直線的情況。然而，本發(fā)明并不局限于這種配置。例如，通過利用 VisualBasic (微軟公司的注冊商標(biāo))的“DrawClosedCurve”方法等，可以利用經(jīng)過代表點的平滑曲線連接集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的代表點。這種替換的連接方法還可應(yīng)用于下面描述的其他實施例。如圖6所示，集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11重疊確定區(qū)域5，形成重疊區(qū)域13。 因此，可確定集中圖案缺陷分布9被確定為要獲取的數(shù)據(jù)分組(在下文中，稱為“相關(guān)數(shù)據(jù)分組”)。另外，對應(yīng)于包括集中圖案缺陷分布9的圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)的晶圓信息被確定為要獲取的具有圖案缺陷分布的晶圓信息。另外，在步驟S4中確定了在一個晶圓信息中存在多個集中圖案缺陷分布的情況下，并且當(dāng)在步驟S5中對每個集中圖案缺陷分布選擇了代表點的選擇處理時，對每個集中圖案缺陷分布定義分布代表點數(shù)據(jù)，并對每個分布代表點區(qū)域確定是否存在分布代表點區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域。在這個實施例中，利用四(4)個代表點表示集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。由于這個特征，用于表示集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的信息量小于用于表示集中圖案缺陷分布9的信息量。即，在這個實施例中，可確定集中圖案缺陷分布9是否分布在特定的確定區(qū)域5中，同時通過利用集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11取代集中圖案缺陷分布9，還可減少用于表示集中圖案缺陷分布9的信息量。在參考圖1的流程圖描述的實施例中，當(dāng)每次執(zhí)行確定步驟S6時，形成圖案缺陷數(shù)據(jù)點分組(步驟S3)，確定集中圖案缺陷分布(步驟S4)，并選擇集中圖案缺陷分布的代表點(步驟S5)。然而，當(dāng)對存儲數(shù)據(jù)執(zhí)行上述處理并利用相同的參考執(zhí)行處理時，更合理的可以是當(dāng)收集數(shù)據(jù)時對數(shù)據(jù)點(要確定的數(shù)據(jù)分組)執(zhí)行代表點選擇處理，該數(shù)據(jù)點包括在集中圖案缺陷分布中，以使得代表點信息與晶圓信息(要確定的數(shù)據(jù)分組的識別信息)相關(guān)聯(lián)并作為數(shù)據(jù)存儲在數(shù)據(jù)庫中。參考圖7描述實施例。圖7是描繪了根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的方法的流程圖。在這個實施例中，以簡單的方式來描述參考圖1已經(jīng)描述的步驟。步驟Sll至S14 與圖1的步驟S2至S5相類似，讀取與晶圓信息相關(guān)聯(lián)的圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)(步驟Sll)；對圖案缺陷進(jìn)行分組(步驟SU)；確定圖案缺陷是否為集中圖案缺陷分布(步驟Si;3)；以及選擇集中圖案缺陷分布的代表點，其中代表點代表了集中圖案缺陷分布的輪廓(步驟S14)。步驟S15 步驟S14中將獲取的代表點信息與晶圓信息相關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中。 在這種情況下，將集中圖案缺陷分布的分布范圍和特性信息也與晶圓信息相關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中，其中特性信息包括分布代表點區(qū)域的面積(大小)、圓度率(roundness rate)和分布密度中的至少一個，該分布代表點區(qū)域是利用線條以線條彼此不交叉的方式連續(xù)地連接代表點而定義的。另外，存在有與晶圓信息相關(guān)聯(lián)的各種信息，這樣的各種信息包括用于識別晶圓的批號、制造方法、產(chǎn)品類型名稱、處理名稱、檢查完成日期等。另外，當(dāng)完成了晶圓測試時，還可以將諸如芯片的確定測試結(jié)果(通過或失敗)的信息和對應(yīng)于失敗測試結(jié)果的測試類別作為晶圓測試結(jié)果信息，與晶圓信息相關(guān)聯(lián)。步驟S16 確定是否存在下一個晶圓信息。當(dāng)確定存在下一個晶圓信息時(步驟 S16中的是)，處理返回步驟Sll并對下一個晶圓信息執(zhí)行步驟Sll至S15的處理。當(dāng)確定不存在晶圓信息時(步驟S16中的否)，處理轉(zhuǎn)到步驟S17。步驟S17 在坐標(biāo)平面上設(shè)置確定區(qū)域。步驟S18 從在數(shù)據(jù)庫中注冊的晶圓信息中，將要確定的晶圓信息選擇為要確定的晶圓信息。例如，選擇具有在步驟S17中設(shè)置在確定區(qū)域中的代表點的要確定的晶圓信息。否則，如果在步驟S15中特性信息與晶圓信息關(guān)聯(lián)注冊，則可以基于特性信息選擇要確定的晶圓信息。否則，基于表示批號、產(chǎn)品類型名稱、檢查執(zhí)行日期等選擇要確定的晶圓信肩、ο步驟S19 讀取在步驟S18中選擇的晶圓信息的代表點信息。步驟S20 與圖1的步驟S6相類似，確定是否存在集中圖案缺陷分布區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域。當(dāng)確定存在這樣的重疊區(qū)域時，將集中圖案缺陷分布區(qū)域確定為具有包括要獲取的圖案缺陷分布的圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)的晶圓信息。步驟S21 確定是否剩下了在步驟S18中選擇的要確定的晶圓信息。當(dāng)確定剩下了在步驟S18中選擇的要確定的晶圓信息時(步驟S21中的是)，處理返回步驟S19以便對要確定的下一個晶圓信息執(zhí)行步驟S19和S20的處理。當(dāng)確定沒有剩下在步驟S18中選擇的要確定的晶圓信息時(步驟S21中的否)，結(jié)束處理。在步驟S15中，將代表點信息與要確定的晶圓信息相關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中。如此可通過從數(shù)據(jù)庫讀取代表點信息而跳過步驟Sll至S14的分布代表點選擇步驟來執(zhí)行晶圓確定(在步驟S20中)。結(jié)果，可減少處理時間。另外，集中圖案缺陷分布的代表點的信息量少于在集中圖案缺陷分布9中包括的所有缺陷數(shù)據(jù)點的信息量。因此，可減少讀取時間和處理時間。在上述實施例中，在確定晶圓的步驟S6和S20中，可基于集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積是否等于或大于預(yù)定的缺陷分布代表點面積閾值來作出該確定。在這種情況下，在步驟S6和S20中，當(dāng)確定了集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積小于預(yù)定的缺陷分布代表點面積閾值時，可以確定集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11不是要確定的晶圓信息(相關(guān)晶圓信息)。如此可去除具有小于要獲取的晶圓信息的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的大小的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的晶圓信息。因此，可提高要獲取的晶圓信息的確定準(zhǔn)確度。可以在確定是否存在重疊區(qū)域的確定處理之前或之后執(zhí)行對分布代表點區(qū)域的面積的確定處理。當(dāng)在確定是否存在重疊區(qū)域的確定處理之前執(zhí)行對分布代表點區(qū)域的面積的確定處理時，對于具有小面積并且必須被去除的分布代表點區(qū)域可不執(zhí)行確定是否存在重疊區(qū)域的確定處理。另外，在確定晶圓的步驟S6和S20中，還可確定重疊區(qū)域13是否等于或大于預(yù)定的重疊區(qū)域閾值。在步驟S6和S20中，當(dāng)確定重疊區(qū)域13等于或大于預(yù)定的重疊區(qū)域閾值時，可確定集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11是要確定的晶圓信息(相關(guān)晶圓信息)。如此可提高晶圓信息的確定準(zhǔn)確度。另外，在確定晶圓的步驟S6和S20中，還可確定確定區(qū)域5的面積與重疊區(qū)域13 的面積之間的比率是否等于或大于預(yù)定的第一比率閾值。在步驟S6和S20中，當(dāng)確定了該比率等于或大于第一比率閾值時，可確定集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11是要確定的晶圓信息(相關(guān)晶圓信息)。如此可提高晶圓信息的確定準(zhǔn)確度。例如，如圖8所示，確定區(qū)域5與集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11重疊。然而，當(dāng)確定區(qū)域5的面積與重疊區(qū)域13的面積之間的比率小于例如50%時，可確定集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11不是要確定的晶圓信息(相關(guān)晶圓信息)。如此可提高晶圓信息的確定準(zhǔn)確度。另外，在確定晶圓的步驟S6和S20中，還可確定重疊區(qū)域13的面積與集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積之間的比率是否等于或大于預(yù)定的第二比率閾值。在步驟S6 和S20中，當(dāng)確定了該比值等于或大于第二比率閾值時，可確定集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11是要確定的晶圓信息(相關(guān)晶圓信息)。例如，如圖8所示，確定區(qū)域5與集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11重疊。然而，當(dāng)確定重疊區(qū)域13的面積與集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積之間的比率小于例如 50%時，可確定集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11不是要確定的晶圓信息(相關(guān)晶圓信息)。 如此可提高晶圓信息的確定準(zhǔn)確度。另外，在圖7的步驟S18中，當(dāng)從在數(shù)據(jù)庫中注冊的要確定的晶圓信息中選擇要確定的晶圓信息時，與處理數(shù)據(jù)庫中注冊的要確定的所有晶圓信息的情況相比較可減少處理時間。然而，本發(fā)明并不局限于這種配置。即，還可讀取在數(shù)據(jù)庫中注冊的所有的要確定的晶圓信息。在步驟S18中，當(dāng)選擇要確定的晶圓信息時，晶圓信息被確定為具有位于在步驟 S17中設(shè)置的確定區(qū)域中的集中圖案缺陷分布的代表點，可選擇具有如圖6所示的確定區(qū)域5和代表點(白色圓圈)之間的關(guān)系的要確定的晶圓信息。然而，基于確定區(qū)域5的所處位置，例如，如圖9所示，存在圖案缺陷數(shù)據(jù)點(黑色圓圈)處于確定區(qū)域5內(nèi)但是不是所有的代表點(白色圓圈)都處于確定區(qū)域5內(nèi)的情況。 在如圖9所示的確定區(qū)域5和代表點之間的位置關(guān)系的情況下，在步驟S18中不選擇具有代表點的要確定的晶圓信息。如果這不是所期望的，在步驟S15中，可將特性信息與要確定的晶圓信息關(guān)聯(lián)注
11冊，該特性信息包括集中缺陷分布的分布范圍，以及分布代表區(qū)域的面積、圓度率和數(shù)據(jù)點分布密度中的至少一個。另外，在步驟S18中，可基于特性信息選擇要確定的晶圓信息。下面描述特性信息的具體例子。例如，要確定的晶圓信息與集中缺陷分布的分布范圍相關(guān)聯(lián)。圖10描繪了集中缺陷分布的分布范圍的一個例子。從集中圖案缺陷分布包括的所有數(shù)據(jù)點的XY坐標(biāo)值中，利用以下四個值來表示集中圖案缺陷分布9的分布范圍的信息x軸的最大值》11和最小值Xii以及Y軸的最大值和最小值Y11。另一方面，利用以下四個值來表示確定區(qū)域5的范圍X軸的最大值)(h0和最小值XlO以及Y軸的最大值 YhO和最小值YlO。在這種情況下，作出要確定的晶圓信息的短列表(縮小(narrow down)，減少候選的數(shù)目(選項))的搜索條件是xhl > X10, Xll < XhO, Yhl > YlO和Yll < YhO0通過以這種方式設(shè)置條件，可選擇具有如圖10所示的集中圖案缺陷分布9的晶圓
fn息ο在這種情況下，利用集中圖案缺陷分布9中包括的所有數(shù)據(jù)點來獲得這四⑷個值，即X軸的最大值》11和最小值Xii以及Y軸的最大值和最小值Y11。然而，可選的， 還可只利用作為表示集中圖案缺陷分布9的分布范圍的信息的代表點來獲取這些最大值和最小值。圖11描繪了集中圖案缺陷分布9的分布范圍的另一例子。在圖10中，使用XY坐標(biāo)系。然而，還可使用極坐標(biāo)系來表示集中圖案缺陷分布9 的分布范圍。當(dāng)使用極坐標(biāo)系時，從集中圖案缺陷分布9中包括的所有數(shù)據(jù)點的“R”值和“ θ，， 值當(dāng)中，通過以下四個值來表示集中圖案缺陷分布9的分布范圍的信息R值的最大值
和最小值mi以及θ值的最大值θ hi和最小值θ 11。另一方面，通過以下四個值來表示確定區(qū)域5的范圍R值的最大值IihO和最小值IUO以及θ值的最大值9h0和最小值θ 10。在這種情況下，作出要確定的晶圓信息的短列表(縮小)的搜索條件是Mil > RIO, Rll < RhO, θ hi > θ 10 禾口 θ 11 < θ h0。通過以這種方式設(shè)置條件，可選擇具有圖11所示的集中圖案缺陷分布9的晶圓信肩、ο在這種情況下，利用集中圖案缺陷分布9中包括的所有數(shù)據(jù)點來獲得這四⑷個值，即R值的最大值Mil和最小值mi以及θ值的最大值9hl和最小值θ 11。然而，可選的，還可只利用作為表示集中圖案缺陷分布9的分布范圍的信息的代表點來獲取這些最大值和最小值。另外，集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積是表示集中圖案缺陷分布9的特征的信息之一。因此，利用步驟S14中選擇的代表點，可獲得集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11 的面積(見圖12)。然后，在步驟S15中，將面積信息與晶圓信息相關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中。 然后，在步驟S18中，基于集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積來選擇要確定的晶圓信息。通過這種方法，在確定晶圓信息的步驟S20中，可省略關(guān)于具有小于閾值的面積的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11不是要確定的晶圓信息的確定處理。另外，還可獲取并注冊用于表示集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的形狀特征的信息，以便使用該信息來選擇要確定的晶圓信息。例如，作為表示集中圖案曲線分布代表點區(qū)域11的形狀近似于圓圈的程度的值，獲取通過利用具有與圍繞集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的線條長度相等的周長的圓圈的面積來分割集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積所得到的值，并且使該值(在下文中，稱為“圓度率”)與晶圓信息相關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中。在這種情況下，當(dāng)圍繞集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的線條長度為“L”時，具有等于“L”的周長的圓圈的半徑“r”為“L/2JI ”。另外，具有周長等于“L”的圓圈的面積為“ π 一 = π (l/2 π )2 = L2/4 π ”。當(dāng)假設(shè)集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的面積是“S” 時，則“圓度率”被表示為S/ (L2/4 π) =4π S/L2。當(dāng)圓度率接近1時，形狀接近于圓形，而當(dāng)圓度率接近0時，形狀接近于線條。因此，利用這個特征，當(dāng)根據(jù)需要在分布識別目標(biāo)晶圓選擇步驟中確定晶圓信息時可使用“圓
度率”。另外，集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11中圖案曲線數(shù)據(jù)點的數(shù)目，即分布密度可以是表示集中圖案缺陷分布的特征的信息之一。當(dāng)將圖12中的集中圖案缺陷分布9的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11與圖13 的集中圖案缺陷分布9的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11相比較時，集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的大小彼此相同；然而，圖案缺陷數(shù)據(jù)點的數(shù)目彼此不同。即，圖12中的圖案缺陷數(shù)據(jù)點的密度高于圖13中的圖案缺陷數(shù)據(jù)點的密度。因此，可預(yù)先獲取集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的數(shù)據(jù)點分布密度，將集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的數(shù)據(jù)點分布密度與晶圓信息相關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中。如此，可排除(去除)具有圖13所示的集中圖案缺陷分布9的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域內(nèi)的較小數(shù)據(jù)點分布密度的集中圖案缺陷分布9，并只選擇具有圖12所示的集中圖案缺陷分布9的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域內(nèi)的較大數(shù)據(jù)點分布密度的集中圖案缺陷分布9，從而可用這種特征來選擇要確定的晶圓信息。在上述實施例中，使用了指示圖案缺陷位置的數(shù)據(jù)點。然而，利用指示基于顆粒 (污染物)檢查結(jié)果的(外來物質(zhì)的)顆粒位置的數(shù)據(jù)點，可以執(zhí)行與上述實施例中的處理相類似的處理。另外，與指示圖案缺陷位置和顆粒位置的數(shù)據(jù)點位置對應(yīng)的芯片位置可被認(rèn)為是缺陷芯片的位置。然后，利用指示缺陷芯片位置的數(shù)據(jù)，執(zhí)行與上述實施例中的處理相類似的處理。然而，在鏡像表面晶圓的顆粒(污染物)檢查結(jié)果數(shù)據(jù)中不存在芯片的概念。在這種情況下，在晶圓上設(shè)置“虛擬”芯片。例如，圖14描繪了利用缺陷芯片位置取代圖3的晶圓上的圖案缺陷位置的情況。 在圖14中，通過附圖標(biāo)記15表示缺陷芯片。與參考圖1描述的步驟S3相類似，以具有小于預(yù)定的閾值的相互距離的缺陷芯片 15被確定為包括在相同的分組中的方式對缺陷芯片15進(jìn)行分組。然而，對缺陷芯片15進(jìn)行分組的方法并不局限于這個方法，還可使用任何其他的適當(dāng)方法。例如，可基于在日本專利申請公開No. 2009-10303中公開的方法來對缺陷芯片15進(jìn)行分組。與參考圖1描述的步驟S4相類似，對于缺陷芯片15的每個分組，當(dāng)缺陷芯片的數(shù)目是五( 個或更多時，可確定該分組是否為集中圖案分布。在圖14的情況下，缺陷芯片分組17被確定為集中缺陷分布。芯片位置信息稱為表示芯片7在晶圓1上的位置的信息。因此，例如，芯片位置信息可被表示芯片7的中心點的位置信息所取代。利用表示缺陷芯片15的中心點的位置信息，執(zhí)行與參考圖1描述的步驟S5和參考圖4描述的步驟S5-1相類似的處理。結(jié)果，如圖 15所示，獲得了集中缺陷分布17的代表點(白色圓圈)。在圖15中，黑色圓圈和白色圓圈表示集中缺陷分布17的缺陷芯片15的中心點。圖15進(jìn)一步描繪了通過線條順序地連接集中缺陷分布17的代表點而獲得的集中缺陷分布代表點區(qū)域19。在這之后，與參考圖1描述的步驟S6相類似，基于是否存在集中缺陷分布代表點區(qū)域19與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域，確定集中缺陷分布代表點區(qū)域19是否為要確定的晶圓信息。在圖14中，如上所述，芯片位置信息被表示芯片7的中心點的位置信息所取代。另一方面，晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)包括芯片位置信息和芯片的測試結(jié)果(通過或失敗)。因此，可對晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)執(zhí)行與參考圖14和圖15描述的處理相類似的處理。圖16是圖15的集中缺陷分布17的附近區(qū)域的放大圖。在這種情況下，當(dāng)通過利用芯片7和缺陷芯片15的中心的中心點(黑色圓圈和白色圓圈)獲取代表點(白色圓圈)來獲取與集中缺陷分布17對應(yīng)于集中缺陷分布代表點區(qū)域19時，集中缺陷分布17的缺陷芯片15的大部分面積會從集中缺陷分布代表點區(qū)域19 的面積中突出(protrude)。當(dāng)這不是期望的時，表示晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)的芯片7的位置信息被表示芯片7的四個角的位置信息所取代，然后獲取集中缺陷分布17的代表點。圖17描繪了當(dāng)圖16中的表示晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)的芯片7的位置信息被表示芯片 7的四個角的位置信息所取代時的代表點和集中缺陷分布代表點區(qū)域19。如圖17所示，當(dāng)通過利用表示缺陷芯片15的四(4)個角的位置信息(黑色圓圈和白色圓圈)獲取代表點(白色圓圈)來獲得與集中缺陷分布17對應(yīng)的集中缺陷分布代表點區(qū)域19時，集中缺陷分布17的缺陷芯片15的從集中缺陷分布代表點區(qū)域19的面積中突出的那部分面積將會變小。在上述實施例中，如在例如圖2中所示，當(dāng)以晶圓1的缺口 3排列在底側(cè)的方式設(shè)置晶圓1時，確定區(qū)域5被設(shè)置在右上角側(cè)部分。然而，確定區(qū)域5可被設(shè)置在任意的位置和區(qū)域。例如，假設(shè)缺口 3排列在下側(cè)(底側(cè))，則確定區(qū)域5可設(shè)置為晶圓1的上半部或右半部。另外，并不一定總需要確定區(qū)域5具有框的形狀。例如，確定區(qū)域5可具有除框形狀之外的其他形狀并可表示為在XY坐標(biāo)平面中由X > 0和Y > 0定義的區(qū)域或由X < 2 定義的區(qū)域。圖18描繪了確定區(qū)域5的一些例子。如圖19所示，確定區(qū)域5可以是具有三角形形狀的確定區(qū)域如、利用平滑曲線連接多個點形成的確定區(qū)域恥、具有橢圓形狀的確定區(qū)域5c、或包括從晶圓1突出的區(qū)域的確定區(qū)域5d等。接下來，參考圖19至圖23描述根據(jù)本發(fā)明的實施例的具體使用。圖19描繪了坐標(biāo)平面上的晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)。具體的，圖19描繪了集中缺陷分布17和對應(yīng)于集中缺陷分布17的集中缺陷分布代表點區(qū)域19，其中集中缺陷分布17包括多個缺陷芯片15。圖20描繪了在坐標(biāo)平面上的金屬1形成處理的缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)。具體的，圖20 描繪了表示圖案缺陷位置的數(shù)據(jù)點(黑色圓圈)、集中圖案缺陷分布9-1、以及對應(yīng)于集中圖案缺陷分布9-1的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11-1。圖21描繪了在坐標(biāo)平面上的金屬2形成處理的缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)。具體的，圖21 描繪了表示圖案缺陷位置的數(shù)據(jù)點(黑色圓圈)、集中圖案缺陷分布9-2、以及對應(yīng)于集中圖案缺陷分布9-2的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11-2。圖22描繪了在坐標(biāo)平面上的金屬3形成處理的缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)。具體的，圖22 描繪了表示圖案缺陷位置的數(shù)據(jù)點(黑色圓圈)、集中圖案缺陷分布9-3、以及對應(yīng)于集中圖案缺陷分布9-3的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11-3。在圖23中，以重疊方式分別描繪了圖19、圖20、圖21和圖22的集中缺陷分布代表點區(qū)域19和集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11-1、11-2和11-3。在晶圓測試結(jié)果中，當(dāng)獲取如圖19所示的集中缺陷分布17時，通過將對應(yīng)于集中缺陷分布17的集中缺陷分布代表點區(qū)域19設(shè)置為確定區(qū)域，可對每個圖案缺陷檢查結(jié)果確定集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域是金屬形成處理的要確定的晶圓信息。當(dāng)金屬形成處理的圖案缺陷檢查結(jié)果是缺陷的時，缺陷的圖案缺陷檢查結(jié)果包括作為金屬2形成處理的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11-2的、與集中缺陷分布代表點區(qū)域19重疊的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域(確定區(qū)域幻。通過利用這個特征，可選擇包括用于表示集中缺陷分布17 的發(fā)生原因的信息的要確定的晶圓信息?？衫糜嬎銠C(jī)執(zhí)行程序來實現(xiàn)如上所述的實施例的步驟，生成程序來執(zhí)行如上所述的步驟。另外，作為程序的功能，優(yōu)選地繪制已經(jīng)被確定為一個坐標(biāo)平面上的晶圓信息的多個晶圓信息的分布的缺陷分布代表點區(qū)域或集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域，并允許選擇不必要的分布的缺陷分布代表點區(qū)域或集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域，以便從所有的晶圓信息中去除這樣的晶圓信息。通過具有這個功能，可恰當(dāng)?shù)剡x擇晶圓信息。S卩，如圖M所示，當(dāng)期望從晶圓信息中去除包括與具有在遠(yuǎn)離確定區(qū)域5的區(qū)域的分布的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域例如圖M中的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域21對應(yīng)的集中圖案缺陷分布的晶圓信息時，優(yōu)選地顯示在一個坐標(biāo)平面上描繪了多個晶圓信息的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域的視圖，并允許利用鼠標(biāo)等選擇特殊的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域，以便去除具有與所選擇的特殊的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域?qū)?yīng)的集中圖案缺陷分布的晶圓信息。另外，當(dāng)使用參考圖8描述的第一比率閾值和第二比率閾值時，可自動地去除與圖M中的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域21對應(yīng)的晶圓信息。接下來，描述選擇代表點的步驟的變形例。圖25描繪了圖5的集中圖案缺陷分布9和用于將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成八(8) 個區(qū)域的、沿X軸延伸的第二分割直線。圖沈描繪了向圖25的坐標(biāo)平面追加的集中圖案缺陷分布9的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。參考圖4、圖25和圖26，描述選擇代表點的步驟的變形例。與參考圖4描述的步驟S5-1相類似，設(shè)置用于將圖案缺陷分布區(qū)域分割成分割區(qū)域的分割中心點。在步驟S5-2中，以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將圖案缺陷分布區(qū)域分割成八(8)個分割區(qū)域。這里，作為用于分割圖案缺陷分布區(qū)域的線條，可使用經(jīng)過分割中心點并與X軸方向平行的線條、經(jīng)過分割中心點并與Y軸方向平行的線條、以及經(jīng)過分割中心點并與X軸呈+/-45度的線條，如圖25所示。在步驟S5-3中，在每個分割區(qū)域中，獲取(選擇)具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點作為分割區(qū)域的代表點。在圖25中，以白色圓圈顯示代表點的數(shù)據(jù)點，而以黑色圓圈顯示除代表點之外的其他數(shù)據(jù)點。作為圖1和圖7所示的確定步驟S6和S20，分別對于圖25所示的集中圖案缺陷分布9和代表點，圖沈所示的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11是通過利用線條連接從作為起始點的代表點到鄰近區(qū)域的下一個代表點并且還在順時針或逆時針方向上以相同方式連接來定義的。當(dāng)用于分割區(qū)域的線條之間的夾角大時，基于數(shù)據(jù)點的分布狀態(tài)，通過僅僅執(zhí)行如上步驟不能充分地表示數(shù)據(jù)分布。例如，存在如圖27所示的數(shù)據(jù)分布的分布狀態(tài)。圖觀描繪了通過將圖27的數(shù)據(jù)分布的重心設(shè)置為分割中心點，以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將區(qū)域分割成四(4) 個分割區(qū)域，獲取各個分割區(qū)域的代表點并連接代表點，來獲得的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。在圖觀中，白色圓圈代表分割區(qū)域的代表點。在這種情況下，如圖觀所示，存在與集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11分得很開的數(shù)據(jù)點。為了解決這個問題，可存在將定義分割區(qū)域的線條的夾角變窄的方法。換句話說， 增加分割區(qū)域的數(shù)目。例如，可將分割區(qū)域分割成八(8)個分割區(qū)域。當(dāng)應(yīng)用這個方法時， 例如，通過與圖觀的情況相比較變窄定義分割區(qū)域的線條之間的夾角將分割區(qū)域分割成八(8)個分割區(qū)域。在圖四的這個情況下，白色圓圈代表各分割區(qū)域的代表點。當(dāng)圖四中的定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11與圖觀相比較時，可更加適當(dāng)?shù)囟x圖四中的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。另外，為了解決這個問題，可存在追加用于定義合適的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11所需的代表點的方法。接下來描述獲取要追加的代表點的方法。將彼此連接的兩(2)個分割區(qū)域定義為關(guān)注區(qū)域(consideration area)。當(dāng)獲取要追加的代表點時，使用從分割中心點到數(shù)據(jù)點的位置的矢量。將在與處在關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域之間并且經(jīng)過分割中心點的線條的延伸方向平行的方向上的矢量的分量的大小(長度)用作(比較作為)索引。在關(guān)注區(qū)域內(nèi)，從具有矢量的分量的大小大于任何代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點中，將具有最大的矢量的分量的大小的數(shù)據(jù)點選擇為要追加的代表點。如果關(guān)注區(qū)域內(nèi)存在兩個或更多滿足這樣的條件的數(shù)據(jù)點，則將具有最靠近分割中心點的坐標(biāo)的數(shù)據(jù)點選擇為要追加的代表點。作為獲取矢量的分量的大小的方法，例如存在提供如下線條的方法，該線條與在關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域之間的經(jīng)過分割中心點的線條正交。在這里將該線條稱為“關(guān)注線條”。在這個方法中，在數(shù)據(jù)點和關(guān)注線條之間的最短長度表示分量的大小。然而，獲取分量的大小的方法并不局限于此。
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另外，在關(guān)注區(qū)域內(nèi)的代表點中，使用具有最大分量的代表點并將其稱為比較代表點。在這種情況下，從分量的大小比比較代表點的分量的大小更大的數(shù)據(jù)點中，追加具有最大的分量的大小的數(shù)據(jù)點作為代表點。參考圖30，描述獲取要追加的代表點以利用關(guān)注線條和比較代表點來表示數(shù)據(jù)點分布23的方法。在圖30中，存在四(4)個分割區(qū)域Al至A4，且分割區(qū)域Al至A4的代表點分別被表示為Tl至T4。首先，描述圖30中的分割區(qū)域Al和A2是關(guān)注區(qū)域的情況。在這種情況下，關(guān)注線條是線條Li。線條Ll與用于分割區(qū)域的線條一致。在圖30中，假設(shè)與代表點Tl相比， 代表點T2與關(guān)注線條Ll分得更開。即，關(guān)于從分割中心點到代表點Tl和T2的矢量的分量的大小，其中該分量的方向與接觸關(guān)注區(qū)域的分割區(qū)域Al和A2并起始于分割中心點的線條的延伸方向平行，代表點T2具有比代表點Tl更大的大小，從而代表點T2是比較代表點。在分割區(qū)域Al和A2的關(guān)注區(qū)域內(nèi)與比較代表點T2相比與關(guān)注線條Ll分得更開的數(shù)據(jù)點(即，具有分量大于比較代表點T2的分量的數(shù)據(jù)點)是除兩個代表點Tl和T2之外的其他所有數(shù)據(jù)點。從該數(shù)據(jù)點中，選擇到關(guān)注線條Ll最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點，即將具有最大的分量的大小的數(shù)據(jù)點T5選擇作為追加代表點。接下來，描述假設(shè)分割區(qū)域A2和A3構(gòu)成了關(guān)注區(qū)域并執(zhí)行如上所述的相同處理的情況。在這種情況下，關(guān)注線條是線條L2。線條L2與用于分割區(qū)域的線條一致。在分割區(qū)域A2和A3中，具有到關(guān)注線條L2的最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點是代表點T3。因此，在這個關(guān)注區(qū)域內(nèi)部不存在要追加的代表點。接下來，描述假設(shè)分割區(qū)域A3和A4構(gòu)成了關(guān)注區(qū)域并執(zhí)行如上所述的相同處理的情況。在這種情況下，關(guān)注線條是線條Li。與代表點T3相比較，代表點T4與關(guān)注線條 Ll分得更開。因此，代表點T4是比較代表點。從與代表點T4相比較與關(guān)注線條Ll分得更開的數(shù)據(jù)點中，具有到關(guān)注線條Ll的最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點是數(shù)據(jù)點T6。因此，數(shù)據(jù)點T6是在這個關(guān)注區(qū)域內(nèi)的追加代表點。接下來，描述假設(shè)分割區(qū)域Al和A4構(gòu)成了關(guān)注區(qū)域并執(zhí)行如上所述的相同處理的情況。在這種情況下，關(guān)注線條是線條L2。在分割區(qū)域Al和A4中，具有到關(guān)注線條L2 的最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點是代表點T4。因此，在這個關(guān)注區(qū)域內(nèi)部不存在要追加的代表點。最后，在這個實施例中，確定要追加兩( 個代表點T5和T6。圖31描繪了通過從作為起始點的任一個代表點開始到鄰近區(qū)域的下一個代表點以線條連接包括追加代表點 T5和T6的代表點Tl至T6并還在順時針或逆時針方向以相同方式連接而定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的結(jié)果。如圖31所示，可定義包括數(shù)據(jù)點分布23內(nèi)的大部分?jǐn)?shù)據(jù)點的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。在上述實施例中，描述了在兩個分割區(qū)域的關(guān)注區(qū)域內(nèi)的兩個代表點中使用相比另一點代表點與關(guān)注線條分得更開的一個代表點作為比較代表點的情況。然而，在分布代表點選擇步驟中，不必獲取比較代表點。當(dāng)沒有獲取比較代表點時，通過比較從關(guān)注區(qū)域內(nèi)的代表點到關(guān)注線條的距離，可獲取相比其他任何數(shù)據(jù)點與關(guān)注線條分得更開的數(shù)據(jù)點。另外，在根據(jù)本發(fā)明實施例的上述方法中，描述了通過追加必要的代表點來定義合適的分布代表點區(qū)域的方法將數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域分割成四(4)個分割區(qū)域的情況。然而，本發(fā)明并不局限于這種配置。即，分割區(qū)域的數(shù)目并不局限于四(4)個。下面，描述將數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域分割成三(3)個分割區(qū)域的另一示例性情況。圖32描繪了用于將區(qū)域分割成三(3)個分割區(qū)域的線條、分割區(qū)域的代表點、以及在表示圖5的集中圖案缺陷分布9的坐標(biāo)平面上的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。在圖32中，數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的重心就是分割中心點，以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將分布區(qū)域分割成三(3)個分割區(qū)域All至A13，并且對每個分割區(qū)域All至A13獲取代表
點ο如圖32所示，通過連接各個分割區(qū)域All至A13的三( 個代表點而定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11代表了數(shù)據(jù)點分布。然而，為了定義更加適合的分布代表區(qū)域，可優(yōu)選地獲取額外的代表點。作為獲取額外的代表點的方法，可使用與上述方法相類似的方法，其中彼此鄰近的兩(2)個分割區(qū)域被定義為關(guān)注區(qū)域并且使用從分割中心點到數(shù)據(jù)點的位置的矢量。在與處在關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域之間并且經(jīng)過分割中心點的線條的延伸方向平行的方向上的矢量的分量的大小(長度)被用作(比較作為)索引。在這種情況下，在獲取分量的大小的方法中，可使用如上所述的關(guān)注線條。然而，僅通過加減數(shù)據(jù)點的坐標(biāo)信息和分割中心點的坐標(biāo)信息不可能計算出與接觸分割區(qū)域All和A13的并且起始于分割中心點的線條的延伸方向平行的方向上的數(shù)據(jù)點的分量。在這樣的情況下，例如，可使用三角函數(shù)來計算分量。圖33描繪了圖32的數(shù)據(jù)點當(dāng)中的、在分割區(qū)域All中的數(shù)據(jù)點的一個數(shù)據(jù)。在從分割中心點開始并終止于數(shù)據(jù)點的矢量中，與起始于分割中心點并接觸分割區(qū)域All和A13的線條(第一線條)的延伸方向平行的方向上的矢量的分量等同于起始于分割中心點并終止于在第一線條和從數(shù)據(jù)點到第一線條的垂直線條之間的交叉點的矢量。 給出分割區(qū)域All至A13，基于數(shù)據(jù)點的坐標(biāo)信息獲取矢量和坐標(biāo)軸之間的夾角，該矢量起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點。因此，可獲得在接觸分割區(qū)域All和A13的線條與起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點的矢量之間的夾角“ θ ”(見圖33)。因此，還可基于分割中心點和數(shù)據(jù)點之間的距離和夾角“ θ ”利用三角函數(shù)獲得上述分量。S卩，(分量的大小)=(分割中心點和數(shù)據(jù)點之間的距離)Xcos θ基于在如上所述獲得的關(guān)注區(qū)域中的數(shù)據(jù)點的分量的大小，從分量的大小比關(guān)注區(qū)域內(nèi)的代表點的分量大小更大的數(shù)據(jù)點中，將所有的數(shù)據(jù)點中具有最大的分量的大小的數(shù)據(jù)點追加作為(追加)代表點。圖34描繪了向圖32的集中圖案缺陷分布9追加額外的代表點的結(jié)果。圖35描繪了利用圖34的代表點定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的結(jié)果。如圖34所示，在分割區(qū)域All和Α12的關(guān)注區(qū)域內(nèi)不存在要追加的代表點。類似的，在分割區(qū)域A12和A13 的關(guān)注區(qū)域內(nèi)也不存在要追加的代表點。另一方面，在分割區(qū)域All和A13的關(guān)注區(qū)域內(nèi)， 數(shù)據(jù)點Tll是要追加的代表點。當(dāng)從作為起始點的代表點到下一個代表點利用線條順序地連接圖34中用白色圓圈表示的四(4)個代表點時，定義了圖35所示的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。按照如上方式，可定義更加適合的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。另外，在上述實施例中，當(dāng)獲取與接觸兩個分割區(qū)域并起始于分割中心點的線條的延伸方向平行的方向上的矢量的分量的大小時使用關(guān)注線條，該矢量起始于分割中心點并終止于各個數(shù)據(jù)點。然而，在本發(fā)明的實施例中，可不使用關(guān)注線條。作為獲取分量的大小的方法，可使用其他各種方法。例如，如圖30所示，當(dāng)用于將區(qū)域分割成分割區(qū)域的兩條線條分別平行于X軸和Y軸時，利用在與接觸關(guān)注區(qū)域內(nèi)的兩個分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向上的數(shù)據(jù)點和分割中心點的坐標(biāo)分量獲得分量的大小。然而，獲取分量的大小的方法并不局限于上述方法，還可使用任何其他合適的方法。另外，存在獲取要追加的代表點的另一方法。下面描述獲取要追加的代表點的另一(第二)方法。當(dāng)要獲取要追加的代表點時，將在與起始于分割中心點并接觸分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向上的矢量的分量的大小用作索引，該矢量起始于分割中心點并終止于各個數(shù)據(jù)點。在這種情況下，不存在關(guān)注區(qū)域的概念。另外，從分量的大小大于其他任何代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點中，追加具有最大分量的大小的數(shù)據(jù)點作為代表點。另外，存在有多個線條的方向，其中每條線條起始于分割中心點并接觸分割區(qū)域。因此，對于每個方向，利用數(shù)據(jù)點的分量的大小作為索引可追加代表點。當(dāng)在任意方向上存在滿足上述條件的兩個或更多數(shù)據(jù)點時，可將最靠近分割中心點的數(shù)據(jù)點選擇作為代表點。圖36描繪了在顯示圖5的集中圖案缺陷分布9的坐標(biāo)平面上的用于將區(qū)域分割成兩(2)個分割區(qū)域的線條、分割區(qū)域的代表點、以及集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。如圖36所示，通過連接兩( 個分割區(qū)域中每個分割區(qū)域的兩( 個代表點而定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11表示了集中圖案缺陷分布9的數(shù)據(jù)點分布狀態(tài)。然而，可優(yōu)選地獲取額外的代表點用于定義更加適合的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。圖37描繪了利用向圖36的集中圖案缺陷分布9的代表點追加額外的表點來定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的結(jié)果。在這個實施例中，使用了獲取要追加的代表點的第二方法。具體的，在圖37中，對方向B和方向C，分別獲取額外的代表點Tb和Tc。方向B和方向C對應(yīng)于與起始于分割中心點并用于區(qū)域分割的線條的延伸方向平行的方向。在獲取要追加的代表點的第二方法中，類似于如上所述的獲取要追加的代表點的方法，可以使用關(guān)注線條。然而，如圖36和圖37所示，即當(dāng)分割區(qū)域的線條既不與坐標(biāo)軸正交又不與坐標(biāo)軸平行時，僅通過數(shù)據(jù)點的坐標(biāo)信息和分割中心點的坐標(biāo)信息的增加和減少無法計算數(shù)據(jù)點的分量的大小。在這樣的情況下，可優(yōu)選地利用如在具有三C3)個分割區(qū)域的情況中描述的三角函數(shù)來計算分量的大小?；诶萌呛瘮?shù)對分量的大小的計算，將數(shù)據(jù)點Tb確定(選擇)為在B方向上要追加的代表點。此外，將數(shù)據(jù)點Tc確定(選擇)為在C方向上要追加的代表點。圖37 描繪了通過利用線條從作為起始點的任一代表點開始到相鄰區(qū)域的下一個代表點連接四 (4)個代表點并且還在順時針或逆時針方向上以相同的方式連接來定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的結(jié)果，該四(4)個代表點包括圖36中的兩(2)個代表點和圖37中的兩 (2)個代表點Tb和Tc。通過這種方式，可定義更加適合的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域 11。
另外，在獲取要追加的代表點的第二方法中，從數(shù)據(jù)點分布區(qū)域分割得到的分割區(qū)域的數(shù)目不局限于兩(2)個。當(dāng)分割區(qū)域的數(shù)目是三(3)個或更多時，也可以使用這樣
的第二方法。另外，在參考圖1和圖4關(guān)于步驟S5的上面描述中，描述了在不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域中，確定了沒有代表數(shù)據(jù)的情況或者分割中心點的坐標(biāo)是分割區(qū)域的代表點的情況。下面參考圖38至圖40描述這些情況的具體例子。圖38描繪了坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布狀態(tài)的再一例子。圖39描繪了通過對圖38的數(shù)據(jù)點分布25執(zhí)行與圖4的步驟S5_1、S5_2和S5_3 相類似的步驟來獲得的代表點并利用線條連接這些點而定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的結(jié)果。在圖39中，將區(qū)域分割成八(8)個分割區(qū)域A21至A28。在圖39中，分割區(qū)域A21和A22不具有數(shù)據(jù)點。因此，在分割區(qū)域A21和A22中不具有代表點。在這樣的情況下，當(dāng)生成(設(shè)置)了不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域時，可不必增加所定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11的大小(面積)。圖40描繪了除圖39的代表點之外還通過追加作為分割中心點的代表點而定義的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。如圖40所示，通過將分割中心點設(shè)定為不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域A21和A22的代表點，可對數(shù)據(jù)點分布25定義適合的集中圖案缺陷分布代表點區(qū)域11。另外，本發(fā)明的實施例還可應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造的信息處理之外的其他處理。例如，本發(fā)明的實施例還可應(yīng)用于圖像數(shù)據(jù)的處理。例如，存在有從圖像數(shù)據(jù)中識別各種對象的技術(shù)。作為例子，存在有基于像素色彩將彩色圖像分割成區(qū)域的方法(例如，見專利文獻(xiàn) 4至專利文獻(xiàn)7)。專利文獻(xiàn)4 日本專利申請公開No. 06-348991專利文獻(xiàn)5 日本專利No. 3659914專利文獻(xiàn)6 日本專利申請公開No. 2007-072987專利文獻(xiàn)7 日本專利No. 3709879圖41描繪了由移動車輛獲取的道路上的停放車輛和路錐的圖像。當(dāng)使用從圖像數(shù)據(jù)得知各種對象的公知技術(shù)時，可知曉(檢測到)停車區(qū)域27和路錐區(qū)域29 (見圖41)。描繪停車區(qū)域27和路錐區(qū)域四的像素是分組XY坐標(biāo)數(shù)據(jù)并且可以是要確定的數(shù)據(jù)分組。因此，根據(jù)本發(fā)明實施例的方法的上述步驟還可應(yīng)用于這樣的分組XY坐標(biāo)數(shù)據(jù)。另外，當(dāng)僅基于色彩或灰階值分割圖像數(shù)據(jù)的區(qū)域時，可能不能知曉對應(yīng)于圖像數(shù)據(jù)的實際對象是什么。然而，當(dāng)目的在于例如確保(確定)檢測對象和移動車輛之間接觸的可能性時，不總是必須知曉對應(yīng)于圖像數(shù)據(jù)的實際對象是什么。這里，例如，假設(shè)移動車輛的占用區(qū)域是確定區(qū)域并且未知的檢測對象是障礙物。 首先，獲取表示障礙物的占用區(qū)域(對應(yīng)于要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域)的代表點。然后，通過利用線條連接已獲得的代表點，獲取分布代表點區(qū)域。接下來，確定是否存在確定區(qū)域與分布代表點區(qū)域重疊的重疊區(qū)域。例如，在圖41的圖像的情況下，當(dāng)車輛從?？寇囕v或路錐旁邊經(jīng)過時為了確保停靠車輛或路錐(即，檢測對象)和移動車輛之間接觸的可能性，假設(shè)在圖像中由移動車輛占據(jù)的區(qū)域就是確定區(qū)域。首先，獲取停車區(qū)域27和路錐區(qū)域四的代表點。然后，利用線條連接所獲得的代表點來定義分布代表點區(qū)域。接下來，確定是否存在確定區(qū)域與分布代表點區(qū)域重疊的重疊區(qū)域。圖42描繪了停車區(qū)域27和路錐區(qū)域四的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的代表點。這里，將區(qū)域分割成八(8)個分割區(qū)域，然后獲取代表點(以白色圓圈顯示)。另外，假設(shè)移動車輛在箭頭方向上移動。圖43描繪了當(dāng)移動車輛在路錐旁邊經(jīng)過時坐標(biāo)平面上的路錐區(qū)域的確定區(qū)域和分布代表區(qū)域。在這種情況下，不存在對應(yīng)于移動車輛的確定區(qū)域31a與對應(yīng)于路錐區(qū)域 29的分布代表點區(qū)域29a重疊的重疊區(qū)域。因此，確定移動車輛不接觸路錐。圖44描繪了當(dāng)移動車輛在?？寇囕v旁邊經(jīng)過時坐標(biāo)平面上的停車區(qū)域27的確定區(qū)域和分布代表區(qū)域。在這種情況下，存在對應(yīng)于移動車輛的確定區(qū)域31a與對應(yīng)于停車區(qū)域27的分布代表點區(qū)域27a重疊的重疊區(qū)域。因此，可確定移動車輛接觸路錐。另一方面，作為圖像的識別方法，存在有諸如圖案匹配的公知方法。然而，在根據(jù)本發(fā)明實施例的方法中，也可識別圖像的對象。描述一個例子。在數(shù)據(jù)庫中注冊與屏幕上顯示的道路上的各種對象的形狀對應(yīng)的代表點的信息。例如，從移動車輛獲取的圖像包括但不局限于停車區(qū)域27，路錐區(qū)域四和路標(biāo)區(qū)域33、35。圖46是描繪了指定圖像上顯示的對象區(qū)域的處理的流程圖。步驟S31 讀取圖像數(shù)據(jù)。步驟S32 識別圖像數(shù)據(jù)中的對象區(qū)域(即，要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域)。例如，在圖45的圖像中，識別出停車區(qū)域27，路錐區(qū)域四和路標(biāo)區(qū)域33、35。步驟S33 縮小或放大第一對象區(qū)域以使得第一對象區(qū)域的高度或?qū)挾鹊扔陬A(yù)定長度。例如，如圖47所示，以當(dāng)參考點“0”具有分別等于路錐區(qū)域四中的數(shù)據(jù)點的最小X 坐標(biāo)值和最小Y坐標(biāo)值的X坐標(biāo)值和Y坐標(biāo)值時路錐區(qū)域四的高度方向上的長度等于長度L的方式來縮小或放大路錐區(qū)域四。步驟S34 在步驟S33中確定的參考點“0”被設(shè)置為坐標(biāo)平面的原點的坐標(biāo)平面中，獲取對象區(qū)域的代表點。以上描述了獲取代表點的方法。例如，對象區(qū)域的重心是分割中心點，和將坐標(biāo)平面的區(qū)域分割成八(8)個分割區(qū)域以確定代表點。在圖47中，以白色圓圈顯示路錐區(qū)域四的代表點。步驟S35 對于預(yù)先已經(jīng)注冊的多個確定區(qū)域中的每一個確定區(qū)域，獲取分布代表點區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域的面積，該分布代表點區(qū)域是利用線條連接代表點而獲得的。例如，如果存在對應(yīng)于如下情況的對象，則將該對象的名稱確定為對應(yīng)于分布代表點區(qū)域的對象的名稱重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積的比率等于或大于第一比率閾值，這里是80 %，并且重疊區(qū)域的面積與分布代表點的面積的比率等于或大于第二比率閾值，這里是80%。在這種情況下，例如，注冊包括但不局限于車輛確定區(qū)域、路錐確定區(qū)域、 第一路標(biāo)確定區(qū)域、第二路標(biāo)確定區(qū)域等的確定區(qū)域。圖48描繪了路錐分布代表點區(qū)域和車輛確定區(qū)域。圖49描繪了路錐分布代表點區(qū)域和路錐確定區(qū)域。圖50描繪了路錐分布代表點區(qū)域和第一路標(biāo)確定區(qū)域。將圖48中的車輛確定區(qū)域27b、圖49中的路錐確定區(qū)域^b、以及第一路標(biāo)確定區(qū)域3 的高度設(shè)置為等于長度L。如圖48所示，通過連接路錐區(qū)域四的代表點而得到的大部分路錐確定區(qū)域29b 與車輛確定區(qū)域27b重疊。另外，在這種情況下，區(qū)域27b和四&之間的重疊區(qū)域的面積與路錐分布代表點區(qū)域^a的面積之間的比率例如是大約95%，大于預(yù)定的第二比率閾值(80% )。然而，區(qū)域27b和29a之間的重疊區(qū)域的面積與車輛確定區(qū)域27b的面積之間的比率例如是大約25%，小于預(yù)定的第一比率閾值(80% )。因此，路錐區(qū)域四的數(shù)據(jù)分組(要確定的數(shù)據(jù)分組)不是與車輛確定區(qū)域27b (確定區(qū)域)對應(yīng)的相關(guān)數(shù)據(jù)。如圖49所示，大多數(shù)路錐確定區(qū)域29a與路錐確定區(qū)域29b重疊。另外，在這種情況下，區(qū)域四3和29b之間的重疊區(qū)域的面積與路錐分布代表點區(qū)域^a的面積之間的比率例如是大約95%，大于預(yù)定的第二比率閾值(80% )。另外，區(qū)域29a和29b之間的重疊區(qū)域的面積與路錐確定區(qū)域^b的面積之間的比率例如是大約90%，大于預(yù)定的第一比率閾值(80% )。因此，路錐區(qū)域四的數(shù)據(jù)分組(要確定的數(shù)據(jù)分組)是與路錐確定區(qū)域29b (確定區(qū)域)對應(yīng)的相關(guān)數(shù)據(jù)。如圖50所示，路錐分布代表點區(qū)域29a和第一路標(biāo)確定區(qū)域3 之間的重疊區(qū)域當(dāng)與圖49的情況相比較時是較小的。另外，在這種情況下，區(qū)域四8和3 之間的重疊區(qū)域的面積與路錐分布代表點區(qū)域^a的面積之間的比率例如是大約15%，小于預(yù)定的第二比率閾值(80% )。另外，區(qū)域29a和3 之間的重疊區(qū)域的面積與第一路標(biāo)確定區(qū)域33b的面積之間的比率例如是大約40%，小于預(yù)定的第一比率閾值(80% )。因此，路錐區(qū)域四的數(shù)據(jù)分組(要確定的數(shù)據(jù)分組)不是與第一路標(biāo)確定區(qū)域 33b (確定區(qū)域)對應(yīng)的相關(guān)數(shù)據(jù)。類似的，路錐分布代表點區(qū)域29a和第二路標(biāo)確定區(qū)域之間的重疊區(qū)域的面積具有與圖50的情況相似的值。因此，路錐區(qū)域四的數(shù)據(jù)分組(要確定的數(shù)據(jù)分組)不是與第二路標(biāo)確定區(qū)域(確定區(qū)域)對應(yīng)的相關(guān)數(shù)據(jù)。另外，例如，基于圖像獲取的角度，甚至如圖51所示當(dāng)路錐區(qū)域四的形狀特別是路錐分布代表點區(qū)域^a的形狀略微不同于路錐確定區(qū)域^b的形狀時，大多數(shù)的路錐分布區(qū)域29b與路錐確定區(qū)域29b重疊。例如，在圖51中，區(qū)域29a和29b之間的重疊區(qū)域的面積與路錐分布代表點區(qū)域^a的面積之間的比率例如是大約90%，大于預(yù)定的第一比率閾值(80% )0如上所述，即使在圖51的情況下，路錐區(qū)域四的數(shù)據(jù)分組(要確定的數(shù)據(jù)分組) 也是與路錐確定區(qū)域(確定區(qū)域)對應(yīng)的相關(guān)數(shù)據(jù)。結(jié)果，指定路錐區(qū)域四代表路錐。步驟S36 確定是否存在在步驟S32中被識別并且尚未被處理的對象區(qū)域。例如， 當(dāng)存在包括停車區(qū)域27、路標(biāo)區(qū)域33和35等尚未被處理的對象區(qū)域時(步驟S36中的是)，處理返回到步驟S33以執(zhí)行步驟S33和S34的處理來指定對象區(qū)域中的對象名稱。另一方面，當(dāng)不存在要處理的對象區(qū)域時(步驟S36中的否)，結(jié)束處理。如上所述，本發(fā)明實施例還可應(yīng)用于圖像的識別。
另外，當(dāng)對象區(qū)域的代表信息與對象名稱信息相關(guān)聯(lián)并首先被記錄在數(shù)據(jù)庫中時，代表點信息可用來指定對象名稱。圖52是描繪了制作圖像中顯示的對象信息的代表點信息的數(shù)據(jù)庫的處理的流程圖。步驟S41至S44 類似于參考圖46描述的步驟S31至S34，讀取圖像數(shù)據(jù)，識別圖像數(shù)據(jù)中的對象區(qū)域(要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域)，縮小或放大對象區(qū)域，并選擇對象區(qū)域的代表點。步驟S45 將步驟S44中獲得的代表點信息與對象名稱信息(要確定的數(shù)據(jù)分組的識別信息)相關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中。步驟S46:確定是否存在尚未被注冊的對象區(qū)域。當(dāng)確定存在尚未注冊的對象區(qū)域(下一個區(qū)域)時(步驟S46中的是)，處理返回步驟S43以便對下一個區(qū)域執(zhí)行步驟 S43至S45的處理。另一方面，當(dāng)確定不存在尚未注冊的對象區(qū)域(下一個區(qū)域)時(步驟 S46中的否)，結(jié)束處理。圖53是描繪了基于數(shù)據(jù)庫中的代表點信息指定圖像中的對象的處理的流程圖。步驟S51 讀取圖像數(shù)據(jù)。步驟S52 識別圖像數(shù)據(jù)中的對象區(qū)域。步驟S53 縮小或放大對象區(qū)域以使得第一對象區(qū)域的高度或?qū)挾鹊扔陬A(yù)定長度。例如，通過設(shè)置X和y坐標(biāo)值等于對象區(qū)域中的數(shù)據(jù)點的最小X和Y坐標(biāo)值的參考點使得對象區(qū)域的高度方向上的長度等于預(yù)定長度的方式來縮小或放大對象區(qū)域。將縮小或放大的對象區(qū)域設(shè)置為預(yù)定區(qū)域。步驟S54 讀取在數(shù)據(jù)庫中注冊的每個對象名稱信息的代表點。步驟S55 對于每個對象名稱信息，通過連接所讀取的對象名稱信息的代表點來定義分布代表點區(qū)域。對于每個對象名稱信息，獲取在步驟S53中得到的確定區(qū)域和分布代表點區(qū)域之間的重疊區(qū)域的面積。將具有最大面積的重疊區(qū)域的對象名稱信息的對象名稱指定為與確定區(qū)域?qū)?yīng)的對象區(qū)域的對象名稱。步驟S56 確定是否存在尚未確定的對象區(qū)域。當(dāng)確定存在尚未確定的對象區(qū)域 (下一個對象區(qū)域)時(步驟S56中的是)，處理返回步驟S53并對下一個對象區(qū)域執(zhí)行步驟S53至S55的處理。另一方面，當(dāng)確定不存在尚未確定的對象區(qū)域(下一個對象區(qū)域) 時(步驟S56中的否)，結(jié)束處理。如上所述，數(shù)據(jù)庫中注冊的代表點信息還可用于指定對象名稱。在如上的描述中，當(dāng)要獲取代表對象區(qū)域的形狀的點時，參考點的XY坐標(biāo)值是對象區(qū)域的數(shù)據(jù)點的最小X值和最小Y值。然而，參考值并不局限于這種配置。例如，參考值可具有分別等于對象區(qū)域的最小X、Y值與最大X、Y值之間的中間值的X、Y坐標(biāo)值。可基于制作數(shù)據(jù)庫時和獲取確定區(qū)域時的相同定義來確定參考點。在如上的描述中，利用XY坐標(biāo)系來表示代表點。然而，還可利用極坐標(biāo)系來表示代表點。另外，當(dāng)制作對象區(qū)域的代表點的數(shù)據(jù)庫時，優(yōu)選地注冊除代表點信息之外的表示分布代表點區(qū)域的特征的信息。例如，表示分布代表點區(qū)域的特征的信息包括表示分布代表點區(qū)域的形狀是垂直方向上長還是水平方向上長的索引、如上所述的圓度率等，以關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中。另外，對象區(qū)域的色彩信息也可在數(shù)據(jù)庫中注冊為表示對象區(qū)域的特征的信息。如上所述，當(dāng)注冊表示對象區(qū)域的特征的信息時，可利用指定對象區(qū)域的信息來限制識別目標(biāo)。另外，在上述實施例中，可指定所獲取的圖像數(shù)據(jù)中的對象。此外，本發(fā)明的實施例還可應(yīng)用于檢測所獲取的圖像數(shù)據(jù)中具有特定形狀的區(qū)域。使用本發(fā)明實施例的特定技術(shù)領(lǐng)域是檢測二維條形碼的對準(zhǔn)標(biāo)記和當(dāng)在半導(dǎo)體制造處理中測量大小時檢測對準(zhǔn)標(biāo)記。如上所述，本發(fā)明實施例還可應(yīng)用于除在半導(dǎo)體制造中對信息執(zhí)行的處理之外的其他處理?？赏ㄟ^生成用于執(zhí)行步驟并使得計算機(jī)執(zhí)行所生成的程序的程序來實現(xiàn)如上所述的實施例中的每個步驟。根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了一種識別方法，用于識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域。該識別方法包括分布代表點選擇步驟，以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成兩個或更多的分割區(qū)域，并在每個分割區(qū)域中從分割區(qū)域中的數(shù)據(jù)點中選擇具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點作為數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的代表點，其中，該分割中心點是任意點和分割的中心，多個數(shù)據(jù)表示為坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點，該多個數(shù)據(jù)構(gòu)成了要確定的數(shù)據(jù)分組，該多個數(shù)據(jù)中的每個數(shù)據(jù)包括成對的兩個變量，數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域；以及確定步驟，確定是否存在分布代表點區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域，并且當(dāng)確定存在重疊區(qū)域時確定要確定的數(shù)據(jù)分組是否為相關(guān)數(shù)據(jù)分組，其中該分布代表點區(qū)域是通過線條連接代表點來定義的，該確定區(qū)域是在坐標(biāo)平面上設(shè)置的特定區(qū)域。這里，作為坐標(biāo)平面，還可使用任何合適的坐標(biāo)平面，例如直角坐標(biāo)平面、斜角坐標(biāo)平面、極坐標(biāo)平面等。另外，坐標(biāo)平面上的分割區(qū)域的數(shù)目是兩個或更多。另外，兩個鄰近分割區(qū)域之間的邊界線上的數(shù)據(jù)點可作為兩個分割區(qū)域中的每一個分割區(qū)域的數(shù)據(jù)點或兩個分割區(qū)域的任一個分割區(qū)域的數(shù)據(jù)點來對待。在后一種情況下，可預(yù)先定義作為哪一個鄰接分割區(qū)域的數(shù)據(jù)點來對待邊界線上的數(shù)據(jù)點。例如，當(dāng)坐標(biāo)平面的區(qū)域被分割成三(3)個或更多分割區(qū)域時，可預(yù)先確定作為順時針或逆時針方向上的前進(jìn)方向側(cè)的那個分割區(qū)域的數(shù)據(jù)點來對待邊界線上的數(shù)據(jù)點。另外，要確定的數(shù)據(jù)分組可以是半導(dǎo)體器件制造處理中的圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)、顆粒檢查結(jié)果數(shù)據(jù)和晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)。然而，要確定的數(shù)據(jù)分組并不局限于這些數(shù)據(jù)。另外，識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法還包括代表點信息注冊步驟，代表點信息注冊步驟將在分布代表點選擇步驟中獲取的代表點的信息與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組的信息關(guān)聯(lián)并注冊在數(shù)據(jù)庫中，其中在執(zhí)行確定步驟之前執(zhí)行代表點信息注冊步驟，并且在確定步驟中，通過從數(shù)據(jù)庫讀取與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組的信息相關(guān)聯(lián)的代表點的信息來確定是否存在重疊區(qū)域。另外，在代表點信息注冊步驟中，可將特性信息與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組的信息相關(guān)聯(lián)并存儲在數(shù)據(jù)庫中，該特性信息包括數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的分布范圍，分布代表點區(qū)域的分布范圍，以及分布代表點區(qū)域的面積、圓度率和數(shù)據(jù)點分布密度中的至少一個；并且在確定步驟中，在基于特性信息制作要確定的數(shù)據(jù)分組的短列表之后，可確定是否存在重疊區(qū)域。這里，通過數(shù)據(jù)點分布區(qū)域中包括的數(shù)據(jù)點的XY坐標(biāo)值中的X軸上的最大值和最小值以及Y軸上的最大值和最小值，或是通過極坐標(biāo)值的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的最大r值、最小 r值、最大θ值和最小θ值來表示用于表示數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的分布范圍的信息。另外，還可通過分布代表點區(qū)域中包括的數(shù)據(jù)點的XY坐標(biāo)值中的X軸上的最大值和最小值以及Y軸上的最大值和最小值，或是通過極坐標(biāo)值的分布代表點區(qū)域的最大r值、 最小r值、最大θ值和最小θ值來表示用于表示分布代表點區(qū)域的分布范圍的信息。另外，在確定步驟中，可確定分布代表點區(qū)域的面積是否等于或大于預(yù)定的分布代表點面積閾值，并且當(dāng)確定分布代表點區(qū)域的面積小于該分布代表點面積閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組不是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。另外，在確定步驟中，還可確定重疊區(qū)域的面積是否等于或大于預(yù)定的重疊區(qū)域點面積閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積等于或大于該重疊區(qū)域閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。另外，在確定步驟中，還可確定重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積之間的比率是否等于或大于預(yù)定的第一比率閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積之間的比率等于或大于預(yù)定的第一比率閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。另外，在確定步驟中，還可確定重疊區(qū)域的面積與分布代表點區(qū)域的面積之間的比率是否等于或大于預(yù)定的第二比率閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積與分布代表點區(qū)域的面積之間的比率等于或大于預(yù)定的第二比率閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。另外，還可執(zhí)行利用預(yù)定的分布代表點面積閾值的處理、利用預(yù)定的重疊區(qū)域點面積閾值的處理、利用預(yù)定的第一比率閾值的處理、以及利用預(yù)定的第二比率閾值的處理的組合。即，例如，可執(zhí)行這些處理中的某些處理，或是執(zhí)行這些處理中的所有的處理。另外，在確定步驟中，通過以線條彼此之間不交叉的方式利用線條順序地連接代表點來定義分布代表點區(qū)域。另外，在代表點信息注冊步驟中，可將要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的中心或重心確定為分割中心點。這里，要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的中心是指具有要確定的數(shù)據(jù)點中包括的數(shù)據(jù)點的各個變量的值的點，該值中的每個值是通過獲取最大值和最小值的總和并隨后將該總和除以2而獲得的。另外，要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的重心是指具有要確定的數(shù)據(jù)點中包括的數(shù)據(jù)點的每個變量的值的點，該值中的每個值是變量的平均值。另外，在分布代表點選擇步驟中，當(dāng)存在不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域時，可將分割中心點選擇作為代表點。然而，即使當(dāng)存在不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域時，也不總是必然選擇分割中心點作為代表點。
另外，在分布代表點選擇步驟中，在選擇了代表點之后，可將兩個彼此鄰接的分割區(qū)域設(shè)置為關(guān)注區(qū)域，在關(guān)注區(qū)域中，從具有矢量的分量的大小大于代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點，可以提供起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點的矢量，該分量指向與起始于分割中心點并接觸關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向，具有最大的大小的數(shù)據(jù)點可被追加為代表點。另外，當(dāng)在關(guān)注區(qū)域內(nèi)存在具有最大的分量的大小的兩個或更多數(shù)據(jù)點時，可將最靠近分割中心點的數(shù)據(jù)點追加為代表點。另外，在分布代表點選擇步驟中，在選擇了代表點之后，在與起始于分割中心點并用于將坐標(biāo)平面的區(qū)域分割成分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的每個方向上，可以提供起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點的矢量，從具有矢量的分量的大小大于代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點中，可將具有最大的大小的數(shù)據(jù)點追加為代表點。另外，當(dāng)在與起始于分割中心點并用于將坐標(biāo)平面的區(qū)域分割成分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向上存在兩個或更多的具有最大的大小的數(shù)據(jù)點時，可將最靠近分割中心點的數(shù)據(jù)點追加為代表點。根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了非易失性計算機(jī)可讀記錄介質(zhì)，其中包括被以計算機(jī)可讀格式編碼并存儲以使得計算機(jī)執(zhí)行上述步驟的程序。在根據(jù)本發(fā)明實施例的識別方法中，以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成兩個或更多的分割區(qū)域，分割中心點是任意的點和分割的中心點，多個數(shù)據(jù)表示為坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點，該多個數(shù)據(jù)構(gòu)成了要確定的數(shù)據(jù)分組，該多個數(shù)據(jù)中的每個數(shù)據(jù)都包括成對的兩個變量，數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域，并且在每個分割區(qū)域中，從分割區(qū)域中的數(shù)據(jù)點中，選擇具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點作為數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的代表點(分布代表點選擇步驟)。另外，還確定是否存在分布代表點區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域，該分布代表點區(qū)域是利用線條連接代表點而定義的，該確定區(qū)域是在坐標(biāo)平面上設(shè)置的特定區(qū)域，并且當(dāng)確定存在重疊區(qū)域時，確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組(確定步驟)。通過如上方式，當(dāng)數(shù)據(jù)點分布區(qū)域已經(jīng)被分布代表點區(qū)域所取代時，換句話說，當(dāng)減少了用于表示數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的信息量時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是否分布在特定的確定區(qū)域中。另外，在根據(jù)本發(fā)明實施例的識別方法中，要確定的數(shù)據(jù)分組可以是半導(dǎo)體器件制造處理中的圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)、顆粒檢查結(jié)果數(shù)據(jù)、以及晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)中的任一個。如此，可提取具有類似圖案缺陷分布狀態(tài)、顆粒(污染物、外來物質(zhì))缺陷分布狀態(tài)、或缺陷芯片分布狀態(tài)的大量晶圓，以便估計由于制造裝置和制造處理所導(dǎo)致的缺陷的成因。另外，在根據(jù)本發(fā)明的實施例的識別方法中，所獲取的代表點的信息可與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組相關(guān)聯(lián)并注冊到數(shù)據(jù)庫中(代表點信息注冊步驟)。在這種情況下，在執(zhí)行確定步驟之前執(zhí)行代表點信息注冊步驟，并且在確定步驟中，通過從數(shù)據(jù)庫讀取與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組的信息相關(guān)聯(lián)的代表點的信息來確定是否存在重疊區(qū)域。通過上述方式，不必每次都執(zhí)行分布代表點選擇步驟的處理來執(zhí)行諸如圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)、顆粒檢查結(jié)果數(shù)據(jù)和晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)的要確定的數(shù)據(jù)分組的確定步驟的處理，由此能減少處理時間。另外，在代表點信息注冊步驟中，可將特性信息與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組相關(guān)聯(lián)并存儲在數(shù)據(jù)庫中，該特性信息包括數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的分布范圍，分布代表點區(qū)域的分布范圍，以及分布代表點區(qū)域的面積、圓度率和數(shù)據(jù)點分布密度中的至少一個；并且在確定步驟中，在基于特性信息制作了要確定的數(shù)據(jù)分組的短列表之后，可確定是否存在重疊區(qū)域。通過上述方式，可減少要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)目，由此能減少處理時間。另外，在根據(jù)本發(fā)明實施例的識別方法中，在確定步驟中，可確定分布代表點區(qū)域的面積是否等于或大于預(yù)定的分布代表點面積閾值，并且當(dāng)確定分布代表點區(qū)域的面積小于預(yù)定的分布代表點面積閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組不是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。通過上述方式，當(dāng)不期望將具有較小分布代表點區(qū)域或較小數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的要確定的數(shù)據(jù)分組確定為相關(guān)數(shù)據(jù)分組時，可去除這樣的要確定的數(shù)據(jù)分組。另外，當(dāng)在確定是否存在重疊區(qū)域之前執(zhí)行上述利用分布代表點面積閾值的處理時，可不必執(zhí)行該處理來確定在具有較小分布代表點區(qū)域或較小數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的要確定的數(shù)據(jù)分組上是否存在重疊區(qū)域。另外，在確定步驟中，還可確定重疊區(qū)域的面積是否等于或大于預(yù)定的重疊區(qū)域點面積閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積等于或大于重疊區(qū)域點面積閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。通過上述方式，當(dāng)不期望將具有較小重疊區(qū)域的要確定的數(shù)據(jù)分組確定為相關(guān)數(shù)據(jù)分組時，可去除這樣的要確定的數(shù)據(jù)分組。另外，在確定步驟中，還可確定重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積的比率是否等于或大于預(yù)定的第一比率閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積的比率等于或大于預(yù)定的第一比率閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。通過上述方式，當(dāng)不期望將具有重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積的較小比率的要確定的數(shù)據(jù)分組確定為相關(guān)數(shù)據(jù)分組時，可去除這樣的要確定的數(shù)據(jù)分組。另外，在確定步驟中，還可確定重疊區(qū)域的面積與分布代表點區(qū)域的面積的比率是否等于或大于預(yù)定的第二比率閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積與分布代表點區(qū)域的面積的比率等于或大于預(yù)定的第二比率閾值時，可確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。通過上述方式，當(dāng)不期望將具有重疊區(qū)域的面積與分布代表點區(qū)域的面積的較小比率的要確定的數(shù)據(jù)分組確定為相關(guān)數(shù)據(jù)分組時，可去除這樣的要確定的數(shù)據(jù)分組。另外，在確定步驟中，通過以線條彼此不交叉的方式利用線條順序地連接代表點的方式定義分布代表點區(qū)域。通過上述方式，可根據(jù)數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的輪廓來定義分布代表點區(qū)域。另外，在分布代表點選擇步驟，可將要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的中心或重心選擇作為分割中心點。通過上述方式，當(dāng)通過計算機(jī)執(zhí)行本發(fā)明實施例的步驟時， 可自動地設(shè)置適用于要確定的數(shù)據(jù)分組的分割中心點，而無需操作員手動地設(shè)置分割中心點。另外，在分布代表點選擇步驟中，當(dāng)存在不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域時，可將分割中心點選擇作為代表點。通過上述方式，當(dāng)與沒有將分割中心點選擇作為代表點的情況相比較，可根據(jù)數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的輪廓來定義更加適合的分布代表點區(qū)域。另外，在分布代表點選擇步驟中，在選擇了代表點之后，可將兩個彼此鄰接的分割區(qū)域設(shè)置為關(guān)注區(qū)域，在關(guān)注區(qū)域內(nèi)，從具有矢量的分量的大小大于代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點，可以提供起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點的矢量，該分量指向與起始于分割中心點并接觸關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向；具有最大的大小的數(shù)據(jù)點被追加為代表點。通過上述方式，可根據(jù)數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的輪廓定義更加適合的分布代表點區(qū)域。另外，當(dāng)在關(guān)注區(qū)域內(nèi)存在具有最大的分量的大小的兩個或更多數(shù)據(jù)點時，可將最靠近分割中心點的數(shù)據(jù)點追加為代表點。通過上述方式，從關(guān)注區(qū)域內(nèi)具有最大的分量的大小的兩個或更多數(shù)據(jù)點中，可選擇最靠近接觸關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域的線條的數(shù)據(jù)點，由此能根據(jù)數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的輪廓定義更加適合的分布代表點區(qū)域。另外，在分布代表點選擇步驟中，在選擇了代表點之后，在與起始于分割中心點并用來將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的每個方向上，提供起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點的矢量，從具有矢量的分量的大小大于代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點中，可將具有最大的大小的數(shù)據(jù)點追加為代表點。同樣通過上述方式，可根據(jù)數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的輪廓定義更加適合的分布代表點區(qū)域。另外，當(dāng)在與起始于分割中心點并用來將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向上存在兩個或更多的具有最大的大小的數(shù)據(jù)點時，可將最靠近分割中心點的數(shù)據(jù)點追加為代表點。通過上述方式，從關(guān)注區(qū)域內(nèi)具有最大的分量大小的兩個或更多數(shù)據(jù)點中，可選擇最靠近接觸關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域的線條的數(shù)據(jù)點，由此能根據(jù)數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的輪廓定義更加適合的分布代表點區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了非易失性計算機(jī)可讀記錄介質(zhì)，其中包括被以計算機(jī)可讀格式編碼并存儲以使得計算機(jī)執(zhí)行上述步驟的程序。利用記錄介質(zhì)，通過程序，可使計算機(jī)執(zhí)行根據(jù)本發(fā)明實施例的識別方法的步驟。盡管已經(jīng)參考具體實施例對本發(fā)明作出完整而清楚的公開，但是所附的權(quán)利要求并不應(yīng)該局限于此而是可被解釋為落入這里提出的基本教示之內(nèi)本發(fā)明技術(shù)人員可以想到的所有變形和修改構(gòu)造。例如，附圖可用來描述本發(fā)明的實施例。然而，并不總是在任何步驟中附圖這些步驟都是必要的。即，利用確定區(qū)域的信息和具有成對的兩個變量的多個數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)分組，可執(zhí)行每個步驟。另外，在上述實施例中，使用了 XY直角坐標(biāo)平面。然而，作為本發(fā)明中使用的坐標(biāo)平面，還可使用斜角坐標(biāo)平面。本發(fā)明還可用于識別數(shù)據(jù)分組是否分布在特定區(qū)域內(nèi)，該數(shù)據(jù)分組包括具有成對的兩個變量的多個數(shù)據(jù)。
權(quán)利要求
1.一種識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，所述識別方法包括 分布代表點選擇步驟，包括以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成兩個或更多的分割區(qū)域，所述分割中心點是任意點和分割區(qū)域的中心，多個數(shù)據(jù)表示為坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點， 所述多個數(shù)據(jù)構(gòu)成了要確定的數(shù)據(jù)分組，所述多個數(shù)據(jù)中的每一個數(shù)據(jù)包括成對的兩個變量，數(shù)據(jù)點分布區(qū)域是數(shù)據(jù)點的分布區(qū)域，和在每個分割區(qū)域內(nèi)，從分割區(qū)域的數(shù)據(jù)點中選擇具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點作為數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的代表點；以及確定步驟，包括確定是否存在分布代表點區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域，分布代表點區(qū)域是利用線條連接代表點來定義的，確定區(qū)域是在坐標(biāo)平面上設(shè)置的特定區(qū)域，和當(dāng)存在重疊區(qū)域時，確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，要確定的數(shù)據(jù)分組是半導(dǎo)體制造處理中的圖案缺陷檢查結(jié)果數(shù)據(jù)、顆粒檢查結(jié)果數(shù)據(jù)、以及晶圓測試結(jié)果數(shù)據(jù)中的任一個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，進(jìn)一步包括代表點信息注冊步驟，將在分布代表點選擇步驟中獲取的代表點的信息與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組的信息關(guān)聯(lián)并注冊到數(shù)據(jù)庫中，其中， 在執(zhí)行確定步驟之前執(zhí)行代表點信息注冊步驟，并且在確定步驟中，通過從數(shù)據(jù)庫讀取與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組的信息相關(guān)聯(lián)的代表點的信息來確定是否存在重疊區(qū)域。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在代表點信息注冊步驟中，將特性信息與用來識別要確定的數(shù)據(jù)分組的信息相關(guān)聯(lián)并存儲在數(shù)據(jù)庫中，所述特性信息包括數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的分布范圍，分布代表點區(qū)域的分布范圍，以及分布代表點區(qū)域的面積、圓度率和數(shù)據(jù)點分布密度中的至少一個，并且在確定步驟中，在基于特性信息制作要確定的數(shù)據(jù)分組的短列表之后，確定是否存在重疊區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在確定步驟中，確定分布代表點區(qū)域的面積是否等于或大于預(yù)定的分布代表點面積閾值，并且當(dāng)確定分布代表點區(qū)域的面積小于分布代表點面積閾值時，確定要確定的數(shù)據(jù)分組不是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中， 在確定步驟中，還確定重疊區(qū)域的面積是否等于或大于預(yù)定的重疊面積閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積等于或大于重疊面積閾值時，確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在確定步驟中，還確定重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積的比率是否等于或大于預(yù)定的第一比率閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積與確定區(qū)域的面積的比率等于或大于預(yù)定的第一比率閾值時， 確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在確定步驟中，還確定重疊區(qū)域的面積與分布代表點區(qū)域的面積的比率是否等于或大于預(yù)定的第二比率閾值，并且當(dāng)確定重疊區(qū)域的面積與分布代表點區(qū)域的面積的比率等于或大于預(yù)定的第二比率閾值時，確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在確定步驟中，通過以線條彼此不交叉的方式利用線條順序地連接代表點來定義分布代表點區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在分布代表點選擇步驟中，將要確定的數(shù)據(jù)分組的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的中心或重心選擇作為分割中心點。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在分布代表點選擇步驟中，當(dāng)存在不包括數(shù)據(jù)點的分割區(qū)域時，將分割中心點選擇作為代表點。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在分布代表點選擇步驟中，在選擇了代表點之后，將兩個彼此鄰接的分割區(qū)域設(shè)置為關(guān)注區(qū)域；在該關(guān)注區(qū)域中，從具有矢量的分量的大小大于代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點中，提供起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點的矢量，所述分量指向與起始于分割中心點并接觸關(guān)注區(qū)域的兩個分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向；并且將具有最大的大小的數(shù)據(jù)點追加為代表點。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，當(dāng)在關(guān)注區(qū)域內(nèi)存在具有最大的分量的大小的兩個或更多數(shù)據(jù)點時，將最靠近分割中心點的數(shù)據(jù)點追加為代表點。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，在分布代表點選擇步驟中，在選擇了代表點之后，在與起始于分割中心點并用來將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的每個方向上提供起始于分割中心點并終止于數(shù)據(jù)點的矢量；并且從具有所述矢量的分量的大小大于代表點的分量的大小的數(shù)據(jù)點中，將具有最大的大小的數(shù)據(jù)點追加為代表點。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的識別坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法，其中，當(dāng)在與起始于分割中心點并用來將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成分割區(qū)域的線條的延伸方向平行的方向上存在兩個或更多的具有最大的大小的數(shù)據(jù)點時，將最靠近分割中心點的數(shù)據(jù)點追加為代表點。
16.一種非易失性計算機(jī)可讀記錄介質(zhì)，包括以計算機(jī)可讀取形式編碼并存儲的程序以使得計算機(jī)執(zhí)行權(quán)利要求1中所述的步驟。
全文摘要
本發(fā)明涉及坐標(biāo)平面上的數(shù)據(jù)點分布區(qū)域的識別方法及記錄介質(zhì)，其中，識別方法包括以分割區(qū)域從分割中心點輻射的方式將坐標(biāo)平面上的區(qū)域分割成兩個或更多的分割區(qū)域；在每個分割區(qū)域內(nèi)，從分割區(qū)域的數(shù)據(jù)點中選擇具有到分割中心點最遠(yuǎn)距離的數(shù)據(jù)點作為代表點；確定是否存在分布代表點區(qū)域與確定區(qū)域重疊的重疊區(qū)域；以及，當(dāng)存在重疊區(qū)域時，確定要確定的數(shù)據(jù)分組是相關(guān)數(shù)據(jù)分組。
文檔編號G01N21/956GK102194725SQ201110068578
公開日2011年9月21日 申請日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月18日
發(fā)明者柳井裕和 申請人:株式會社理光