專利名稱：半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體基片參數(shù)測試設(shè)備，特別是公開一種半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備。
背景技術(shù)：
在集成電路制造、LED生產(chǎn)以及太陽能電池芯片的生產(chǎn)過程中，對基片的平整度、 翹曲度有很高的要求，半導(dǎo)體基片參數(shù)測試設(shè)備就是用于測試半導(dǎo)體基片表面平整度、翹曲度等的檢測設(shè)備。在國內(nèi)，目前尚沒有單位生產(chǎn)、提供類似的設(shè)備。國內(nèi)大部分企業(yè)都是根據(jù)產(chǎn)品設(shè)計要求和技術(shù)規(guī)格，通過人工進(jìn)行相關(guān)的測試， 速度和精確度均存在很多問題，而且容易造成污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，公開一種半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，實現(xiàn)對半導(dǎo)體基片的檢測，并對數(shù)據(jù)進(jìn)行動態(tài)處理，實時顯示。本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的一種半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，包括主控計算機(jī)、伺服驅(qū)動系統(tǒng)、機(jī)械手、X向工作臺、Y向工作臺、測試頭和信號處理系統(tǒng)，設(shè)備的運行過程通過機(jī)械手將基片放置在X向工作臺上，然后運行至測試頭下方，依照主控程序設(shè)定的測試模式移動，而測試頭則根據(jù)設(shè)定的采樣方式進(jìn)行檢測，采樣數(shù)據(jù)經(jīng)過信號處理系統(tǒng)處理后傳輸至主控計算機(jī)，由主控計算機(jī)保存至數(shù)據(jù)庫，并在顯示器上實時顯示相關(guān)曲線，其特征在于 還包括人機(jī)交互軟件模塊、運動控制模塊和數(shù)據(jù)處理模塊，各模塊之間緊密關(guān)聯(lián)，相互進(jìn)行數(shù)據(jù)交換和共享；所述的人機(jī)交互軟件模塊主要實現(xiàn)參數(shù)的輸入、報警信息的提示；所述的運動控制模塊對設(shè)備設(shè)有的10個馬達(dá)通過運功控制板卡進(jìn)行相應(yīng)的控制，協(xié)調(diào)各馬達(dá)的穩(wěn)定運行，并帶有自診斷功能，將出現(xiàn)的異常情況數(shù)據(jù)實時傳輸至主屏幕顯示；所述的數(shù)據(jù)處理模塊處理激光干涉儀采集的大量數(shù)據(jù)，并實時傳輸至主屏幕顯示給用戶。采用多線程控制方式進(jìn)行實時控制，提升機(jī)器運行效率，采用集散式的采樣方式滿足設(shè)備實時性需求。采用激光干涉儀進(jìn)行基片檢測，并設(shè)有與激光干涉儀相配合的測試夾具。所設(shè)的設(shè)備兼容2寸 4寸基片的檢測，數(shù)據(jù)處理模塊采用動態(tài)處理技術(shù)，對數(shù)據(jù)實時進(jìn)行相應(yīng)處理。同時，為了保證用戶能使用多臺設(shè)備，在多臺機(jī)器之間配置數(shù)據(jù)交換共享模塊(此模塊是可選的)，借助一根網(wǎng)線，即能滿足用戶在多臺機(jī)器間進(jìn)行數(shù)據(jù)庫資源共享。本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明有效實現(xiàn)了半導(dǎo)體基片生產(chǎn)過程中的機(jī)械化和自動化測量，不僅提高了生產(chǎn)效率，也無污染，而且測試結(jié)果精確，能實時的為用戶提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)，便于用戶處置。


圖1是本發(fā)明方框原理圖。圖2是本發(fā)明工作流程圖。
具體實施例方式根據(jù)附圖1，一種半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，包括主控計算機(jī)、伺服驅(qū)動系統(tǒng)、機(jī)械手、X向工作臺、Y向工作臺、測試頭、信號處理系統(tǒng)、人機(jī)交互軟件模塊、運動控制模塊和數(shù)據(jù)處理模塊，各模塊之間緊密關(guān)聯(lián)，相互進(jìn)行數(shù)據(jù)交換和共享。人機(jī)交互軟件模塊主要實現(xiàn)參數(shù)的輸入、報警信息的提示。運動控制模塊對設(shè)備設(shè)有的10個馬達(dá)通過運功控制板卡進(jìn)行相應(yīng)的控制，協(xié)調(diào)各馬達(dá)的穩(wěn)定運行，并帶有自診斷功能，將出現(xiàn)的異常情況數(shù)據(jù)實時傳輸至主屏幕顯示。數(shù)據(jù)處理模塊處理激光干涉儀采集的大量數(shù)據(jù)，并實時傳輸至主屏幕顯示給用戶。本發(fā)明設(shè)備的運行過程通過機(jī)械手將基片放置在X向工作臺上，然后運行至測試頭下方，依照主控程序設(shè)定的測試模式移動，而測試頭則根據(jù)設(shè)定的采樣方式進(jìn)行檢測， 采樣數(shù)據(jù)經(jīng)過信號處理系統(tǒng)處理后傳輸至主控計算機(jī)，由主控計算機(jī)保存至數(shù)據(jù)庫，并在顯示器上實時顯示相關(guān)曲線，
本發(fā)明設(shè)備采用多線程控制方式進(jìn)行實時控制，提升機(jī)器運行效率，采用集散式的采樣方式滿足設(shè)備實時性需求。采用激光干涉儀進(jìn)行基片檢測，并設(shè)有與激光干涉儀相配合的測試夾具。本發(fā)明設(shè)備兼容2寸 4寸基片的檢測，數(shù)據(jù)處理模塊采用動態(tài)處理技術(shù)，對數(shù)據(jù)實時進(jìn)行相應(yīng)處理。根據(jù)附圖2，本發(fā)明工作流程如下
1、初始化時，各馬達(dá)回零。如果有任何異常，會將相應(yīng)的報警信息顯示在屏幕，同時指示燈的紅燈閃爍、蜂鳴器報警。操作者會根據(jù)相應(yīng)的提示去進(jìn)行故障排除。2、按照用戶的工藝要求進(jìn)行相應(yīng)的參數(shù)設(shè)定。3、對操作面板上按鈕進(jìn)行掃描，是否有“開始”按鈕按下如果有按下，機(jī)器開始運行。如果沒有按下，繼續(xù)掃描操作面板。4、上片臺上有相應(yīng)的傳感器，有無放片盒，能夠檢測出來。通過機(jī)械手從片盒取出一個基片到X工作臺的承片臺上。5、承片臺上有真空傳感器，檢測有基片后，會移動至檢測裝置下方，依照程序設(shè)定的運行方式運行。6、檢測頭開始依照設(shè)置模式采樣。計算機(jī)后臺數(shù)據(jù)處理。數(shù)據(jù)庫處理，圖形實時顯不。7、掃描是否有“停止”鍵按下。如果沒有，繼續(xù)下一個基片的檢測，否則停止。同時屏幕有相應(yīng)的提示。本發(fā)明采用多線程控制方式來進(jìn)行實時的控制，有效提升機(jī)器的運行效率。由于同時有10個馬達(dá)實時需要控制，所以對相應(yīng)多個傳感器的檢測就更為重要，因此采用集散式的采樣方式來滿足設(shè)備實時性的需求。本發(fā)明采用激光干涉儀來進(jìn)行基片的檢測，該技術(shù)目前在國內(nèi)還沒有類似應(yīng)用，通過一系列的實驗，設(shè)備安裝一些相配合的夾具，實現(xiàn)了采用激光干涉儀進(jìn)行基片的參數(shù)檢測功能。本發(fā)明設(shè)備兼容2寸到4寸基片的檢測，隨著基片尺寸的不同，對應(yīng)處理的參數(shù)的多少也差異比較大，所以本發(fā)明在數(shù)據(jù)庫處理上采用動態(tài)處理技術(shù)，不會有數(shù)據(jù)溢出或當(dāng)機(jī)現(xiàn)象出現(xiàn)。為了能給用戶以較直觀的操作理念，本發(fā)明還采用動態(tài)實時顯示技術(shù)，能夠動態(tài)地顯示檢測出的基片的各項參數(shù)，并有相應(yīng)的圖像模擬顯示。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，包括主控計算機(jī)、伺服驅(qū)動系統(tǒng)、機(jī)械手、X向工作臺、Y向工作臺、測試頭和信號處理系統(tǒng)，設(shè)備的運行過程通過機(jī)械手將基片放置在X向工作臺上，然后運行至測試頭下方，依照主控程序設(shè)定的測試模式移動，而測試頭則根據(jù)設(shè)定的采樣方式進(jìn)行檢測，采樣數(shù)據(jù)經(jīng)過信號處理系統(tǒng)處理后傳輸至主控計算機(jī)，由主控計算機(jī)保存至數(shù)據(jù)庫，并在顯示器上實時顯示相關(guān)曲線，其特征在于還包括人機(jī)交互軟件模塊、運動控制模塊和數(shù)據(jù)處理模塊，各模塊之間緊密關(guān)聯(lián)，相互進(jìn)行數(shù)據(jù)交換和共享；所述的人機(jī)交互軟件模塊主要實現(xiàn)參數(shù)的輸入、報警信息的提示；所述的運動控制模塊對設(shè)備設(shè)有的10個馬達(dá)通過運功控制板卡進(jìn)行相應(yīng)的控制，協(xié)調(diào)各馬達(dá)的穩(wěn)定運行，并帶有自診斷功能，將出現(xiàn)的異常情況數(shù)據(jù)實時傳輸至主屏幕顯示；所述的數(shù)據(jù)處理模塊處理激光干涉儀采集的大量數(shù)據(jù)，并實時傳輸至主屏幕顯示給用戶。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，其特征在于采用多線程控制方式進(jìn)行實時控制，提升機(jī)器運行效率，采用集散式的采樣方式滿足設(shè)備實時性需求。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，其特征在于采用激光干涉儀進(jìn)行基片檢測，并設(shè)有與激光干涉儀相配合的測試夾具。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，其特征在于所設(shè)的設(shè)備兼容2 寸 4寸基片的檢測，數(shù)據(jù)處理模塊采用動態(tài)處理技術(shù)，對數(shù)據(jù)實時進(jìn)行相應(yīng)處理。
全文摘要
本發(fā)明為一種半導(dǎo)體基片自動測試設(shè)備，包括主控計算機(jī)、伺服驅(qū)動系統(tǒng)、機(jī)械手、X向工作臺、Y向工作臺、測試頭和信號處理系統(tǒng)，其特征在于還包括人機(jī)交互軟件模塊、運動控制模塊和數(shù)據(jù)處理模塊，各模塊之間緊密關(guān)聯(lián)，相互進(jìn)行數(shù)據(jù)交換和共享；所述的人機(jī)交互軟件模塊主要實現(xiàn)參數(shù)的輸入、報警信息的提示；所述的運動控制模塊對設(shè)備設(shè)有的10個馬達(dá)通過運功控制板卡進(jìn)行相應(yīng)的控制，協(xié)調(diào)各馬達(dá)的穩(wěn)定運行，并帶有自診斷功能，將出現(xiàn)的異常情況數(shù)據(jù)實時傳輸至主屏幕顯示；所述的數(shù)據(jù)處理模塊處理激光干涉儀采集的大量數(shù)據(jù)，并實時傳輸至主屏幕顯示給用戶。本發(fā)明有效實現(xiàn)了半導(dǎo)體基片生產(chǎn)過程中的機(jī)械化和自動化測量。
文檔編號G01B11/16GK102288138SQ20111017512
公開日2011年12月21日 申請日期2011年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月27日
發(fā)明者李正賢 申請人:上海卓晶半導(dǎo)體科技有限公司