專利名稱：薄膜探針測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種測(cè)試裝置，且特別是有關(guān)于一種薄膜探針測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
在集成電路(Integrated Circuits5IC)的制作過程中，于其制程的不同階段皆會(huì)進(jìn)行產(chǎn)品的測(cè)試步驟，并同時(shí)利用精密的分析儀器在整個(gè)制程中進(jìn)行有關(guān)于質(zhì)量管理的各項(xiàng)檢驗(yàn)，藉以確保制程合格率及芯片質(zhì)量能夠達(dá)到最佳水平，并檢測(cè)集成電路在制造過程中所發(fā)生的瑕疵。然后，找出造成產(chǎn)品產(chǎn)生瑕疵的原因，以進(jìn)一步地確保產(chǎn)品質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)，達(dá)到提升制程合格率的目的。因此，在集成電路的制造過程中，測(cè)試實(shí)為提升集成電路組件的合格率，并建立有效數(shù)據(jù)以供工程分析使用的重要步驟。舉例而言，在液晶顯示面板中，隨著液晶顯示面板的顯示質(zhì)量的提升，液晶顯示面板內(nèi)像素間的間距會(huì)越來越小。在對(duì)液晶顯示面板進(jìn)行點(diǎn)燈測(cè)試時(shí)，是在安裝完驅(qū)動(dòng)電路以及面板接合之后，以點(diǎn)燈測(cè)試機(jī)臺(tái)對(duì)此液晶顯示面板進(jìn)行測(cè)試，以確保產(chǎn)品妥善。然而， 由于高顯示度的液晶顯示面板其終端電極相當(dāng)密集，使用傳統(tǒng)的探針測(cè)試進(jìn)行點(diǎn)測(cè)試時(shí)會(huì)遇到相當(dāng)大的困難，亦無法單獨(dú)測(cè)試各原色的子像素。因此，多是采用薄膜探針卡來進(jìn)行此種高密度電極的測(cè)試。然而，以現(xiàn)有的薄膜探針卡而言，若是其中的一個(gè)探針凸塊(bump)磨損或是脫落，將會(huì)導(dǎo)致整片薄膜探針卡無法繼續(xù)使用，造成測(cè)試效率低落與成本的負(fù)擔(dān)。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的就是在提供一種薄膜探針測(cè)試裝置，用以解決過去因單一探針凸塊損毀便導(dǎo)致整塊薄膜探針卡無法繼續(xù)使用的情形。依照本發(fā)明的一個(gè)方面，提出一種薄膜探針測(cè)試裝置，包含一薄膜探針卡，薄膜探針卡包含一可撓性基材，其具有第一表面與第二表面，第一表面上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)電條，導(dǎo)電條上設(shè)置有一探針單元。探針單元包含多個(gè)探針凸塊，每一導(dǎo)電條上的探針凸塊等間距排列，可撓性基材上具有一預(yù)定裁切線，從每一導(dǎo)電條的該相鄰的兩探針凸塊之間穿過。優(yōu)選地，導(dǎo)電條上的探針凸塊可以為平行排列或是交錯(cuò)排列。優(yōu)選地，薄膜探針測(cè)試裝置更包含一測(cè)試基臺(tái)，測(cè)試基臺(tái)包含一基臺(tái)本體與設(shè)置于基臺(tái)本體上的一彈性凸條。在本發(fā)明一實(shí)施例中，可撓性基材可具有兩圓孔，測(cè)試基臺(tái)具有復(fù)數(shù)多個(gè)螺絲孔， 螺絲孔之間的之間距與探針凸塊之間的間距相同，兩圓孔選擇性地鎖合于螺絲孔之其中二者。在本發(fā)明另一實(shí)施例中或者，可撓性基材可具有復(fù)數(shù)多個(gè)長(zhǎng)圓孔，測(cè)試基臺(tái)上具有復(fù)數(shù)多個(gè)螺絲孔與復(fù)數(shù)多個(gè)定位柱，對(duì)應(yīng)于長(zhǎng)圓孔配置。優(yōu)選地，基臺(tái)本體上可更具有一凹陷部。依據(jù)本發(fā)明的另一方面，提出了一種薄膜探針測(cè)試裝置的使用方法，該方法包括 固定一薄膜探針卡于一測(cè)試基臺(tái)上，薄膜探針卡具有多排探針凸塊，其中一排的探針凸塊對(duì)齊測(cè)試基臺(tái)上的一彈性凸條。優(yōu)選地，薄膜探針測(cè)試裝置的使用方法更包含沿一預(yù)定裁切線裁切薄膜探針卡， 以切除其中一排的探針凸塊。采用本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置，其薄膜探針卡上具有多排探針凸塊，當(dāng)其中一排探針凸塊磨損或是脫落之后，可以裁切掉該排探針凸塊，使用其他排探針凸塊繼續(xù)進(jìn)行薄膜探針測(cè)試，有效提升測(cè)試效率與降低成本。


讀者在參照附圖閱讀了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
以后，將會(huì)更清楚地了解本發(fā)明的各個(gè)方面。其中，
圖1繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置一實(shí)施例的立體視圖。 圖2繪示圖1中的薄膜探針卡100的局部剖面圖。 圖3繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置另一實(shí)施例的爆炸圖。 圖4繪示圖3的薄膜探針測(cè)試裝置1于測(cè)試階段的示意5為本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置進(jìn)行薄膜探針測(cè)試時(shí)的剖面放大圖。 圖6繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置另一實(shí)施例的立體視圖。 圖7繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置又一實(shí)施例的爆炸圖。 圖8繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置再一實(shí)施例的爆炸圖。主要組件符號(hào)說明
1 薄膜探針測(cè)試裝置10 可撓性基材
11 固定孔
12 定位孔
13 第一表面
14 第二表面
15 預(yù)定裁切線
20 探針單元
21 導(dǎo)電條
22 探針凸塊
100薄膜探針卡
200電子裝置
201待測(cè)電極
300測(cè)試基臺(tái)
301基臺(tái)本體
302螺絲
303基座
304彈性凸條
305定位柱
306螺絲孔
308螺絲
400測(cè)試基臺(tái)
401基臺(tái)本體
402延伸部
403彈性凸條
404定位柱
405螺絲孔
406螺絲
407凹陷部
具體實(shí)施例方式以下將以圖式及詳細(xì)敘述清楚說明本發(fā)明的精神，任何本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在了解本發(fā)明的較佳實(shí)施例后，當(dāng)可由本發(fā)明所教示的技術(shù)，加以改變及修飾，其并不脫離本發(fā)明的精神與范圍。參照?qǐng)D1，其繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置一實(shí)施例的立體視圖。薄膜探針裝置 1包含有薄膜探針卡100，薄膜探針卡100包含有可撓性基材10，其具有相對(duì)的第一表面13 與第二表面14。第一表面13上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)電條21，導(dǎo)電條21上設(shè)置有一探針單元20。 探針單元20包含多個(gè)探針凸塊22。每一個(gè)導(dǎo)電條21上分布有多個(gè)探針凸塊22。每一導(dǎo)電條21上的探針凸塊22呈等間距排列，即每一導(dǎo)電條21上相鄰兩探針凸塊22的間距相寸。可撓性基材10上具有至少一預(yù)定裁切線15，預(yù)定裁切線15從每一個(gè)導(dǎo)電條21上的相鄰的兩探針凸塊22之間穿過。探針凸塊22被預(yù)定裁切線15分隔成多排。本實(shí)施例中，每一個(gè)導(dǎo)電條21上具有兩個(gè)探針凸塊22，在預(yù)定裁切線15—側(cè)的為其中一排探針凸塊 22，預(yù)定裁切線15另一側(cè)的為另一排探針凸塊22。換言之，薄膜探針卡100上具有多排探針凸塊22，成排的探針凸塊22之間以預(yù)定裁切線15分隔。本實(shí)施例中多個(gè)導(dǎo)電條21上的探針凸塊22為平行排列。薄膜探針卡100上具有多排探針凸塊22。當(dāng)進(jìn)行薄膜探針測(cè)試時(shí)，一次僅使用一排探針凸塊22 ( 一般是最外側(cè)一排的探針凸塊22)。若是該排探針凸塊22中有任何一個(gè)出現(xiàn)磨損或是脫落的情形，則可以沿著預(yù)定裁切線15裁切可撓性基材10，將出現(xiàn)磨損或是脫落的該排探針凸塊22切除，即可繼續(xù)使用下一排探針凸塊22繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試。參照?qǐng)D2，其繪示圖1中的薄膜探針卡100的局部剖面圖?？蓳闲曰?0具有相對(duì)的第一表面13與第二表面14。第一表面13上埋設(shè)有導(dǎo)電條21，導(dǎo)電條21上設(shè)置有一探針單元20。探針單元20包含多個(gè)探針凸塊22。每一個(gè)導(dǎo)電條21上分布有多個(gè)探針凸塊22，探針凸塊22凸出于導(dǎo)電條21。參照?qǐng)D3，其繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置另一實(shí)施例的爆炸圖。由于在進(jìn)行測(cè)試時(shí)，僅需要單排的探針凸塊22接觸待測(cè)物，其余的探針凸塊22較佳地為懸空不與待測(cè)物接觸，因此，薄膜探針測(cè)試裝置1除前述的薄膜探針卡100之外，還包含有測(cè)試基臺(tái)300，使得未使用的探針凸塊22可以懸空。薄膜探針卡100上具有多排探針凸塊22。測(cè)試基臺(tái)300包含有基臺(tái)本體301以及設(shè)置于基臺(tái)本體301上的彈性凸條304。彈性凸條304為突出于基座303上，基座303再透過螺絲302與基臺(tái)本體301鎖合，使得彈性凸條304凸出于基臺(tái)本體301上。彈性凸條 304的材料較佳地為橡膠或是具有彈性的塑料。在進(jìn)行薄膜探針測(cè)試時(shí)，薄膜探針卡100需要固定于測(cè)試基臺(tái)300上。薄膜探針卡100上具有固定孔11與定位孔12。測(cè)試基臺(tái)300上具有設(shè)置于基臺(tái)本體301的螺絲孔 306以及凸設(shè)于基臺(tái)本體301上的定位柱305。螺絲孔306與定位柱305分別對(duì)應(yīng)于固定孔 11與定位孔12配置。螺絲308可以穿過固定孔11鎖合于基臺(tái)本體301上的螺絲孔306， 定位孔12可以卡合于定位柱305，以將薄膜探針卡100固定在測(cè)試基臺(tái)300上。如前所述，由于薄膜探針卡100可在需要時(shí)沿預(yù)定裁切線15裁切掉最前排的探針凸塊22，因此，固定孔11與定位孔12較佳地為長(zhǎng)圓孔，以提供薄膜探針卡100裁切前后定位所需的空間，使得薄膜探針卡100可以往前移動(dòng)，以便下一排的探針凸塊22可以位于彈性凸條304上。同時(shí)參照?qǐng)D4與圖5，圖4繪示圖3的薄膜探針測(cè)試裝置1于測(cè)試階段的示意圖， 圖5為進(jìn)行薄膜探針測(cè)試時(shí)的剖面放大圖。電子裝置200例如是液晶顯示面板上具有待測(cè)電極201。薄膜探針卡100固定于測(cè)試基臺(tái)300上，此時(shí)，其中一排的探針凸塊22位于彈性凸條304上。彈性凸條304為朝著電子裝置200的方向凸起，而薄膜探針卡100上未被彈性凸條304頂住的探針凸塊22則是相對(duì)地懸空于電子裝置200上，以避免與待測(cè)電極201 接觸。彈性凸條304除了用以頂高使用中的探針凸塊22之外，由于彈性凸條304具彈性，因此可以緩沖探針凸塊22抵壓于待測(cè)電極201上的力道，防止過大的抵壓力道導(dǎo)致探針凸塊22損毀，延長(zhǎng)探針凸塊22的使用壽命。參照?qǐng)D6，其繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置另一實(shí)施例的立體視圖。薄膜探針測(cè)試裝置1包含有薄膜探針卡100，薄膜探針卡100包含有可撓性基材10，其具有相對(duì)的第一表面13與第二表面14。第一表面13上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)電條21，導(dǎo)電條21上設(shè)置有一探針單元20。探針單元20包含多個(gè)探針凸塊22。每一個(gè)導(dǎo)電條21上分布有多個(gè)探針凸塊22。 每一導(dǎo)電條21上的探針凸塊22呈等間距排列，即每一導(dǎo)電條21上相鄰兩探針凸塊22的間距相等。本實(shí)施例中多個(gè)導(dǎo)電條21上的探針凸塊22為因應(yīng)液晶顯示面板上的待測(cè)電極的布局而呈交錯(cuò)排列?？蓳闲曰?0上具有至少一預(yù)定裁切線15，預(yù)定裁切線15從每一個(gè)導(dǎo)電條21上的相鄰的兩探針凸塊22之間穿過。探針凸塊22被預(yù)定裁切線15分隔成多排。本實(shí)施例中，每一個(gè)導(dǎo)電條21上具有兩個(gè)探針凸塊22，在預(yù)定裁切線15—側(cè)的為其中一排探針凸塊 22，預(yù)定裁切線15另一側(cè)的為另一排探針凸塊22。換言之，薄膜探針卡100上具有多排交錯(cuò)排列的探針凸塊22，成排的探針凸塊22之間以預(yù)定裁切線15分隔。參照?qǐng)D7，其繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置又一實(shí)施例的爆炸圖。彈性凸條304 可以透過灌注制程等一體成形于基座303上，基座303再利用螺絲302鎖固在基臺(tái)本體301 上。薄膜探針卡100包含設(shè)置于可撓性基材10上的兩固定孔11，本實(shí)施例中固定孔11為圓孔。測(cè)試基臺(tái)300上則包含有多個(gè)螺絲孔306。其中螺絲孔306的數(shù)量大于固定孔11的數(shù)量，螺絲孔306的數(shù)量等于探針凸塊22的排數(shù)。前后兩個(gè)螺絲孔306之間的間距與前后兩排的探針凸塊22之間的間距相同。
由于薄膜探針卡100在需要時(shí)會(huì)切除最前排的探針凸塊22與部分可撓性基材10， 螺絲308為穿過固定孔11并選擇性地鎖合于螺絲孔306之其中二者。更具體地說，當(dāng)部分的薄膜探針卡100被切除后，薄膜探針卡100可以向前移動(dòng)，使探針凸塊22對(duì)齊測(cè)試基臺(tái) 300上的彈性凸條304，螺絲308穿過固定孔11后與前排的螺絲孔306鎖合，以將薄膜探針卡100固定在測(cè)試基臺(tái)300上。參照?qǐng)D8，其繪示本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置再一實(shí)施例的爆炸圖。薄膜探針測(cè)試裝置1包含有薄膜探針卡100與測(cè)試基臺(tái)400。薄膜探針卡100包含有設(shè)置于可撓性基材 10上的多排探針凸塊22。可撓性基材10上具有固定孔11與定位孔12。預(yù)定裁切線15則是穿過探針凸塊22。測(cè)試基臺(tái)400包含有基臺(tái)本體401以及延伸自基臺(tái)本體401的延伸部402。彈性凸條403為形成在延伸部402上。測(cè)試基臺(tái)400包含有對(duì)應(yīng)于固定孔11設(shè)置的螺絲孔405 以及對(duì)應(yīng)于定位孔12設(shè)置的定位柱404。螺絲406穿過固定孔11與螺絲孔405鎖合，定位孔12與定位柱404卡合，以將薄膜探針卡100固定在測(cè)試基臺(tái)400上。當(dāng)薄膜探針卡100固定在測(cè)試基臺(tái)400上時(shí)，其中一排的探針凸塊22 ( —般是但不限于最外側(cè)的探針凸塊2 對(duì)齊測(cè)試基臺(tái)400上的彈性凸條403。固定孔11與定位孔 12較佳地為長(zhǎng)圓孔，以提供裁切其中一排的探針凸塊22后薄膜探針卡100定位位移的緩沖空間。為了避免薄膜探針卡100上的導(dǎo)電條21與待測(cè)電路之間產(chǎn)生不必要的接觸，或是在一些情況下，導(dǎo)電條21的位置可能會(huì)接觸到待測(cè)物上的電路接點(diǎn)而短路，測(cè)試基臺(tái)400 上可更具有凹陷部407，以在必要時(shí)容置部分的薄膜探針卡100，用以解決前述不希望出現(xiàn)的情形。由上述本發(fā)明較佳實(shí)施例可知，應(yīng)用本發(fā)明具有下列優(yōu)點(diǎn)。薄膜探針卡上具有多排探針凸塊，當(dāng)其中一排探針凸塊磨損或是脫落之后，可以裁切掉該排探針凸塊，使用其他排探針凸塊繼續(xù)進(jìn)行薄膜探針測(cè)試，有效提升測(cè)試效率與降低成本。雖然本發(fā)明已以一較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種薄膜探針測(cè)試裝置，包含一薄膜探針卡，該薄膜探針卡包含一可撓性基材，其具有第一表面與第二表面，該第一表面上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)電條，該導(dǎo)電條上設(shè)置有一探針單元， 其特征在于該探針單元包含多個(gè)探針凸塊，每一導(dǎo)電條上的探針凸塊等間距排列，該可撓性基材上具有一預(yù)定裁切線，從每一導(dǎo)電條的該相鄰的兩探針凸塊之間穿過。
2.如權(quán)利要求1所述的薄膜探針測(cè)試裝置，其特征在于，該導(dǎo)電條上的該探針凸塊平行排列。
3.如權(quán)利要求1所述的薄膜探針測(cè)試裝置，其特征在于，該導(dǎo)電條上的該探針凸塊交錯(cuò)排列。
4.如權(quán)利要求1所述的薄膜探針測(cè)試裝置，其特征在于，該薄膜探針測(cè)試裝置更包含一測(cè)試基臺(tái)，該測(cè)試基臺(tái)包含一基臺(tái)本體與設(shè)置于該基臺(tái)本體上的一彈性凸條。
5.如權(quán)利要求4所述的薄膜探針測(cè)試裝置，其特征在于，該可撓性基材具有兩圓孔，該測(cè)試基臺(tái)具有多個(gè)螺絲孔，所述螺絲孔之間的間距與該探針凸塊之間的間距相同，該兩圓孔選擇性地鎖合于所述螺絲孔之其中二者。
6.如權(quán)利要求4所述的薄膜探針測(cè)試裝置，其特征在于，該可撓性基材具有多個(gè)長(zhǎng)圓孔，該測(cè)試基臺(tái)上具有多個(gè)螺絲孔與多個(gè)定位柱，對(duì)應(yīng)于該長(zhǎng)圓孔配置。
7.如權(quán)利要求4所述的薄膜探針測(cè)試裝置，其特征在于，該基臺(tái)本體上具有一凹陷部。
8.一種薄膜探針測(cè)試裝置的使用方法，其特征在于，該方法包括固定一薄膜探針卡于一測(cè)試基臺(tái)上，該薄膜探針卡具有多排探針凸塊，其中一排的該探針凸塊對(duì)齊該測(cè)試基臺(tái)上的一彈性凸條。
9.如權(quán)利要求8所述的薄膜探針測(cè)試裝置的使用方法，其特征在于，該方法還包括沿一預(yù)定裁切線裁切該薄膜探針卡，以切除其中一排的該探針凸塊。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種薄膜探針測(cè)試裝置，包含一薄膜探針卡，薄膜探針卡包含一可撓性基材，其具有第一表面與第二表面，該第一表面上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)電條，該導(dǎo)電條上設(shè)置有一探針單元，其中，該探針單元包含多個(gè)探針凸塊，每一導(dǎo)電條上的探針凸塊等間距排列，該可撓性基材上具有一預(yù)定裁切線，從每一導(dǎo)電條的該相鄰的兩探針凸塊之間穿過。采用本發(fā)明的薄膜探針測(cè)試裝置，其薄膜探針卡上具有多排探針凸塊，當(dāng)其中一排探針凸塊磨損或是脫落之后，可以裁切掉該排探針凸塊，使用其他排探針凸塊繼續(xù)進(jìn)行薄膜探針測(cè)試，有效提升測(cè)試效率與降低成本。
文檔編號(hào)G01R1/073GK102243384SQ20111019214
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2011年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月5日
發(fā)明者王健, 矯遠(yuǎn)君, 胡瓊 申請(qǐng)人:友達(dá)光電(蘇州)有限公司, 友達(dá)光電股份有限公司