專利名稱:一種檢測器件有無鍍層的方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā) 明涉及材料的成份分析技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
在金屬或者其他材料制件的表面附有一層金屬膜的鍍層,可以起到防止腐蝕,提高機械性能,增進美觀等作用。在檢測器件表面是否有金屬鍍層時,常用的方法是先做切片,然后用光學(xué)顯微鏡觀察器件表面是否有鍍層,但該方法對鍍層較厚的比較容易分辨,對于鍍層小于2微米的就很難分辨出有無鍍層。因此,如何快速準確分辨出器件表面是否有鍍層成為材料成份分析領(lǐng)域亟待解決的問題。
發(fā)明內(nèi)容
為解決現(xiàn)有技術(shù)很難分辨出器件表面是否有小于2微米的鍍層的問題,本發(fā)明提供以下技術(shù)方案
一種檢測器件有無鍍層的方法,該方法包括以下步驟
A、使用掃描電鏡和能譜儀對器件的表面元素進行成份分析;
B、將器件的表層去除,使用俄歇電子能譜儀對器件的基材元素成份進行分析;
C、比較器件表面元素成份和基材的元素成份,如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同,則說明沒有鍍層,否則說明有鍍層。作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案,所述步驟A分析得到器件表面元素的種類及其含量百分比。作為本發(fā)明的另一種優(yōu)選方案,所述步驟B分析得到器件基材元素的種類及其含
量百分比。本發(fā)明有如下優(yōu)點本發(fā)明方法操作步驟少,操作簡便,可快速準確判斷出器件表面是否有鍍層。
圖1本發(fā)明表面成份分析能譜圖。
具體實施例方式
下面對該工藝實施例作詳細闡述,以使本發(fā)明的優(yōu)點和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解,從而對本發(fā)明的保護范圍作出更為清楚明確的界定。本實施例對某種金屬器件是否存在鍍層進行檢測,具體檢測步驟如下
A、使用掃描電鏡和能譜儀對器件的表面元素進行成份分析,得到能譜圖如圖1所示, 各元素成份及含量如表一;
權(quán)利要求
1.一種檢測器件有無鍍層的方法,其特征在于該方法包括以下步驟A、使用掃描電鏡和能譜儀對器件的表面元素進行成份分析;B、將器件的表層去除,使用俄歇電子能譜儀對器件的基材元素成份進行分析;C、比較器件表面元素成份和基材的元素成份,如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同,則說明沒有鍍層,否則說明有鍍層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種檢測器件有無鍍層的方法,其特征在于所述步驟A分析得到器件表面元素的種類及其含量百分比。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種檢測器件有無鍍層的方法,其特征在于所述步驟B分析得到器件基材元素的種類及其含量百分比。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種檢測器件有無鍍層的方法,該方法包括以下步驟A、使用掃描電鏡和能譜儀對器件的表面元素進行成份分析;B、將器件的表層去除,使用俄歇電子能譜儀對器件的基材元素成份進行分析;C、比較器件表面元素成份和基材的元素成份,如果器件表面的元素成份和基材的元素成份相同,則說明沒有鍍層,否則說明有鍍層。本發(fā)明有如下優(yōu)點本發(fā)明方法操作步驟少,操作簡便,可快速準確判斷出器件表面是否有鍍層。
文檔編號G01V9/00GK102323625SQ20111025165
公開日2012年1月18日 申請日期2011年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月30日
發(fā)明者閆武杰 申請人:上海華碧檢測技術(shù)有限公司