專利名稱：可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種微機(jī)電電路，尤指一種通過補(bǔ)償電路補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，因?yàn)榧铀俣扔媰?nèi)的微機(jī)電差動電容與讀取電路的制程變異所造成的電容變異，所以加速度計具有零G偏移，導(dǎo)致感應(yīng)器因具有零G偏移的加速度計，產(chǎn)生錯誤的感測結(jié)果。由于加速度計的設(shè)計者無法避免加速度計具有零G偏移，因此，如何設(shè)計一個不受微機(jī)電差動電容與讀取電路的制程變異影響的加速度計，成為加速度計的設(shè)計者的一個
重要課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一實(shí)施例提供一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路。該微機(jī)電電路包含微機(jī)電差動電容、讀取電路、控制電路及補(bǔ)償電路。該微機(jī)電差動電容包含第一電容與第二電容；該讀取電路是耦接于該微機(jī)電差動電容，用以讀取該第一電容與該第二電容之間在零G情況時的差值，并根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號；該控制電路是耦接于該讀取電路，用以接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；該補(bǔ)償電路是耦接于該控制電路，用以根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。本發(fā)明的還一實(shí)施例提供一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法。該方法包含讀取微機(jī)電差動電容中的第一電容與第二電容之間在零G情況時的差值；根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號；接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。本發(fā)明提供一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路。該微機(jī)電電路是利用讀取電路讀取第一電容與第二電容之間在零G情況時的差值，以及產(chǎn)生輸出信號。然后，控制電路可根據(jù)查閱表及該輸出信號，產(chǎn)生控制信號。而補(bǔ)償電路可根據(jù)該控制信號，以補(bǔ)償微機(jī)電差動電容。另外，該微機(jī)電差動電容還可通過第一耦接開關(guān)關(guān)閉以及第二耦接開關(guān)開啟和該補(bǔ)償電路隔離。由于本發(fā)明可利用該補(bǔ)償電路補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容與該讀取電路的制程變異所造成的電容變異，所以本發(fā)明可改善該讀取電路因?yàn)樵撾娙葑儺愃斐傻牧鉍偏移，而產(chǎn)生錯誤的輸出信號。


圖I是為本發(fā)明的一實(shí)施例說明一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路的示意圖。圖2是為本發(fā)明的還一實(shí)施例說明一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路的不意圖。圖3是為本發(fā)明的還一實(shí)施例說明一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法的流程圖。圖4是為本發(fā)明的還一實(shí)施例說明一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法的流程圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下100、200微機(jī)電電路102微機(jī)電差動電容104讀取電路106控制電路108補(bǔ)償電路 110查閱表202第一耦接開關(guān)204第二耦接開關(guān)1022第一電容1024第二電容1082第一開關(guān)1084第二開關(guān)1086第三開關(guān)1088可變電容10881-10884電容單元108812、108822、108832、108842 電容108814,108824,108834,108844 開關(guān)Diff差值CS控制信號GND地端OS輸出信號VDD第一電壓300 至 310、400 至 420步驟
具體實(shí)施例方式請參照圖1，圖I是為本發(fā)明的一實(shí)施例說明一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路100的示意圖。微機(jī)電電路100包含微機(jī)電差動電容102、讀取電路104、控制電路106及補(bǔ)償電路108。微機(jī)電差動電容102包含第一電容1022與第二電容1024，其中第一電容1022是與第二電容1024在零G情況時可為相同或相異。讀取電路104是耦接于微機(jī)電差動電容102，用以讀取第一電容1022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff，并根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS ;控制電路106是耦接于讀取電路104，用以接收輸出信號OS，并根據(jù)微機(jī)電電路100還包含的查閱表110及輸出信號OS，產(chǎn)生控制信號CS，其中控制信號CS是為4位信號。但4位的控制信號CS僅是用以說明本發(fā)明，因此本發(fā)明并不受限于控制信號CS是為4位信號。補(bǔ)償電路108是耦接于控制電路106，用以根據(jù)控制信號CS，補(bǔ)償微機(jī)電差動電容102。如圖I所示，第一電容1022具有第一端，耦接于讀取電路104，及第二端，耦接于讀取電路104 ;第二電容1024具有第一端，耦接于第一電容1022的第二端，及第二端，耦接于讀取電路104。如圖I所示，補(bǔ)償電路108包含第一開關(guān)1082、第二開關(guān)1084、第三開關(guān)1086及可變電容1088。第一開關(guān)1082具有第一端,稱接于第一電容1022的第一端,及第二端，用以接收控制信號CS，及第三端；第二開關(guān)1084具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于第二電容1024的第二端；第三開關(guān)1086具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于地端GND ;可變電容1088是耦接于第一開關(guān)1082的第三端與第一電容1022的第二端之間，其中可變電容1088是根據(jù)控制信號CS，改變可變電容1088的電容值，以補(bǔ)償微機(jī)電差動電容102。如圖I所示，可變電容1088包含4個電容單元10881-10884，每一電容單元1088i包含電容1088i2具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，及第二端；開關(guān)1088i4具有第一端，耦接于電容1088i2的第二端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三
端，耦接于第一電容1022的第二端，其中O < i < 4，且i是為正整數(shù)。例如，電容單元10881包含電容108812具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，及第二端；開關(guān)108814具有第一端，耦接于電容108812的第二端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于第一電容1022的第二端。但4個電容單元10881-10884僅是用以說明本發(fā)明，因此本發(fā)明并不受限于4個電容單元10881-10884。另外，在本發(fā)明的還丨實(shí)施例，開關(guān)1088i4的第一端是耦接于第一開關(guān)1082的第三端；電容1088i2的第一端是耦接于開關(guān)1088i4的第二端，以及電容1088i2的第二端是耦接于第一電容1022的第二端。如圖I所示，當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是等于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100沒有零G偏移)時，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS。控制電路106即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082與第二開關(guān)1084根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈谌_關(guān)1086開啟，所以可變電容1088中的電容108812-108842的第一端皆耦接于地端GND。亦即可變電容1088被視為讀取電路104內(nèi)的寄生電容，且不補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022與第二電容1024。另外，如果第一電容1022與第二電容1024相同，則默認(rèn)值是為零；如果第一電容1022與第二電容1024不同，則默認(rèn)值是為定值，例如10fF。但本發(fā)明并不受限于默認(rèn)值是為10fF。當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是大于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100具有零G偏移)時，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS?？刂齐娐?06即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082與第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第二開關(guān)1084根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈诙_關(guān)1084開啟，所以可變電容1088是和第二電容1024并聯(lián)。亦即可變電容1088補(bǔ)償?shù)诙娙?024。當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是小于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100具有零G偏移)時，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS?？刂齐娐?06即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第二開關(guān)1084與第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第一開關(guān)1082根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈谝婚_關(guān)1082開啟，所以可變電容1088是和第一電容1022并聯(lián)。亦即可變電容1088補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022。
但本發(fā)明并不受限于當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是大于默認(rèn)值時，微機(jī)電電路100利用可變電容1088補(bǔ)償?shù)诙娙?024，以及當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是小于默認(rèn)值時，微機(jī)電電路100利用可變電容1088補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022。亦即在本發(fā)明的還一實(shí)施例中，當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是小于默認(rèn)值時，微機(jī)電電路100利用可變電容1088補(bǔ)償?shù)诙娙?024，以及當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是大于默認(rèn)值時，微機(jī)電電路100利用可變電容1088補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022。補(bǔ)償過微機(jī)電差動電容102之后，當(dāng)使用者移動微機(jī)電電路100時，第一電容1022可根據(jù)所包含的第一質(zhì)量塊的位移，改變第一電容1022的電容值；第二電容1024可根據(jù)所包含的第二質(zhì)量塊的位移，改變第二電容1024的電容值。因此，讀取電路104即可根據(jù)第一電容1022與第二電容1024之間的新差值，產(chǎn)生新輸出信號至加速度計。請參照圖2,圖2是為本發(fā)明的還一實(shí)施例說明一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路200的示意圖。微機(jī)電電路200和微機(jī)電電路100的差別在于微機(jī)電電路200還包含第·一耦接開關(guān)202與第二耦接開關(guān)204。第一耦接開關(guān)202具有第一端，耦接于補(bǔ)償電路108，及第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于第一電容1022的第二端；第二耦接開關(guān)204具有第一端，耦接于補(bǔ)償電路108，及第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于地端GND。如圖2所示，可變電容1088是耦接于第一開關(guān)1082的第三端與第一耦接開關(guān)202的第一端之間，其中可變電容1088是根據(jù)控制信號CS，改變可變電容1088的電容值，以補(bǔ)償微機(jī)電差動電容102。如圖2所示，可變電容1088包含4個電容單元10881-10884，每一電容單元1088i包含電容1088i2具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，及第二端；開關(guān)1088i4具有第一端，耦接于電容1088i2的第二端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于第一耦接開關(guān)202的第一端，其中O < i < 4，且i是為正整數(shù)。但4個電容單元10881-10884僅是用以說明本發(fā)明，因此本發(fā)明并不受限于4個電容單元10881-10884。另外，在本發(fā)明的還丨實(shí)施例，開關(guān)1088i4的第一端是耦接于第一開關(guān)1082的第三端；電容1088i2的第一端是耦接于開關(guān)1088i4的第二端，以及電容1088i2的第二端是耦接于第一耦接開關(guān)202的第一端。如圖2所示，當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是等于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100沒有零G偏移)時，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS。控制電路106即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082、第二開關(guān)1084與第一耦接開關(guān)202根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，第三開關(guān)1086與第二耦接開關(guān)204根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈诙罱娱_關(guān)204開啟，所以可變電容1088通過第二耦接開關(guān)204耦接至地端GND，而沒有與微機(jī)電差動電容102連結(jié)。當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是大于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100具有零G偏移)時，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS。控制電路106即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082、第三開關(guān)1086與第二耦接開關(guān)204根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第二開關(guān)1084與第一耦接開關(guān)202根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈诙_關(guān)1084開啟，所以可變電容1088是和第二電容1024并聯(lián)。亦即可變電容1088補(bǔ)償?shù)诙娙?024。
當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是小于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100具有零G偏移)時，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS?？刂齐娐?06即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第二開關(guān)1084、第三開關(guān)1086與第二耦接開關(guān)204根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第一開關(guān)1082與第一耦接開關(guān)202根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈谝婚_關(guān)1082開啟，所以可變電容1088是和第一電容1022并聯(lián)。亦即可變電容1088補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022。另外，微機(jī)電電路200的其余操作原理皆和微機(jī)電電路100相同，在此不再贅述。請參照圖3，圖3是為本發(fā)明的還一實(shí)施例說明一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法的流程圖。圖3的方法是利用圖I的微機(jī)電電路100說明，詳細(xì)步驟如下步驟300:開始；步驟302 :讀取微機(jī)電差動電容102中的第一電容1022與第二電容1024之間在 零G情況時的差值DifT ；步驟304 :根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS ；步驟306 :接收輸出信號OS，并產(chǎn)生控制信號CS ；步驟308 :根據(jù)控制信號CS，補(bǔ)償微機(jī)電差動電容102 ；步驟310:結(jié)束。在步驟302與步驟304中，讀取電路104讀取第一電容1022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff，并根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS。在步驟306中，控制電路106接收輸出信號OS后，根據(jù)控制電路106查閱表110及輸出信號OS，產(chǎn)生控制信號CS，其中控制信號CS是為4位信號。但本發(fā)明并不受限于控制信號CS是為4位信號。在步驟308中，當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是等于默認(rèn)值時，補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082與第二開關(guān)1084根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS開啟。因此可變電容1088被視為讀取電路104內(nèi)的寄生電容，且可變電容1088不補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022與第二電容1024。另外，如果第一電容1022與第二電容1024相同，則默認(rèn)值是為零；如果第一電容1022與第二電容1024不同，則默認(rèn)值是為定值。當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是大于默認(rèn)值時，補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082與第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第二開關(guān)1084根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈诙_關(guān)1084開啟，所以可變電容1088可補(bǔ)償?shù)诙娙?024。當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時的差值Diff是小于默認(rèn)值時，補(bǔ)償電路108中的第二開關(guān)1084與第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第一開關(guān)1082根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈谝婚_關(guān)1082開啟，所以可變電容1088可補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022。請參照圖4，圖4是為本發(fā)明的還一實(shí)施例說明一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法的流程圖。圖4的方法是利用圖2的微機(jī)電電路200說明，詳細(xì)步驟如下步驟400:開始；步驟402 :讀取微機(jī)電差動電容102中的第一電容1022與第二電容1024之間在零G情況時的差值DifT ；步驟404 :當(dāng)差值Diff等于默認(rèn)值時，進(jìn)行步驟406 ;當(dāng)差值Diff不等于默認(rèn)值時，進(jìn)行步驟412 ；步驟406 :根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS ；
步驟408 :接收輸出信號OS，并產(chǎn)生控制信號CS ；步驟410 :第一耦接開關(guān)202根據(jù)控制信號CS關(guān)閉以及第二耦接開關(guān)204根據(jù)控制信號CS開啟，跳至步驟418 ；步驟412 :根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS ；步驟414 :接收輸出信號OS，并產(chǎn)生控制信號CS ；步驟416 :第一耦接開關(guān)202根據(jù)控制信號CS開啟以及第二耦接開關(guān)204根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，進(jìn)行步驟418;步驟418 :根據(jù)控制信號CS，補(bǔ)償微機(jī)電差動電容102 ；步驟420:結(jié)束。 圖4的實(shí)施例和圖3的實(shí)施例的差別在于，當(dāng)差值Diff等于默認(rèn)值時，進(jìn)行步驟406至步驟410。亦即因?yàn)榈谝获罱娱_關(guān)202根據(jù)控制信號CS關(guān)閉以及第二耦接開關(guān)204根據(jù)控制信號CS開啟，所以可變電容1088通過第二耦接開關(guān)204耦接至地端GND，而沒有與微機(jī)電差動電容102連結(jié)。當(dāng)差值Diff不等于默認(rèn)值時，進(jìn)行步驟412至步驟416。亦即因?yàn)榈谝获罱娱_關(guān)202根據(jù)控制信號CS開啟以及第二耦接開關(guān)204根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，所以可變電容1088可根據(jù)控制信號CS補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022或第二電容1024。綜上所述，本發(fā)明所提供的可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路是利用讀取電路讀取第一電容與第二電容之間在零G情況時的差值，以及產(chǎn)生輸出信號。然后，控制電路可根據(jù)查閱表及輸出信號，產(chǎn)生控制信號。而補(bǔ)償電路可根據(jù)控制信號，以補(bǔ)償微機(jī)電差動電容。另夕卜，微機(jī)電差動電容還可通過第一耦接開關(guān)關(guān)閉以及第二耦接開關(guān)開啟和補(bǔ)償電路隔離。由于本發(fā)明可利用補(bǔ)償電路補(bǔ)償微機(jī)電差動電容與讀取電路的制程變異所造成的電容變異，所以本發(fā)明可改善讀取電路因?yàn)殡娙葑儺愃斐傻牧鉍偏移，而產(chǎn)生錯誤的輸出信號。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，凡依本發(fā)明權(quán)利要求所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權(quán)利要求
1.一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路，包含 微機(jī)電差動電容，包含第一電容與第二電容； 讀取電路，耦接于該微機(jī)電差動電容，用以讀取該第一電容與該第二電容之間在零G情況時的差值，并根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號； 該微機(jī)電電路的特征在于還包括 控制電路，耦接于該讀取電路，用以接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號 '及 補(bǔ)償電路，耦接于該控制電路，用以根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。
2.如權(quán)利要求I所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該第一電容與該第二電容相同。
3.如權(quán)利要求I所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該第一電容與該第二電容不同。
4.如權(quán)利要求I所述的微機(jī)電電路，其特征在于，還包含 查閱表，其中該控制電路是根據(jù)該查閱表及該輸出信號，產(chǎn)生該控制信號。
5.如權(quán)利要求I所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該第一電容是根據(jù)所包含的第一質(zhì)量塊的位移，改變該第一電容的電容值；該第二電容是根據(jù)所包含的第二質(zhì)量塊的位移，改變該第二電容的電容值。
6.如權(quán)利要求I所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該第一電容具有第一端，稱接于該讀取電路，及第二端，耦接于該讀取電路；該第二電容具有第一端，耦接于該第一電容的第二端，及第二端，耦接于該讀取電路。
7.如權(quán)利要求6所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該補(bǔ)償電路包含 第一開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一電容的第一端，及第二端，用以接收該控制信號，及第三端； 第二開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于該第二電容的第二端； 第三開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于地端；及 可變電容，耦接于該第一開關(guān)的第三端與該第一電容的第二端之間，其中該可變電容是根據(jù)該控制信號，改變該可變電容的電容值，以補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。
8.如權(quán)利要求7所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該可變電容包含N個電容單元，每一電容單元包含 電容，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，及第二端，耦接于該第一電容的第二端；及 開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于該第一電容的第二端；其中該開關(guān)是以串聯(lián)方式耦接該電容。
9.如權(quán)利要求I所述的微機(jī)電電路，其特征在于，還包含 第一耦接開關(guān)，具有第一端，耦接于該補(bǔ)償電路，及第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于該第一電容的第二端；及 第二耦接開關(guān)，具有第一端，耦接于該補(bǔ)償電路，及第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于地端； 其中當(dāng)該差值不等于默認(rèn)值時，該第一耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號開啟以及該第二耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號關(guān)閉；當(dāng)該差值等于該默認(rèn)值時，該第一耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號關(guān)閉以及該第二耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號開啟。
10.如權(quán)利要求9所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該補(bǔ)償電路包含 第一開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一電容的第一端，及第二端，用以接收該控制信號，及第三端； 第二開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于該第二電容的第二端； 第三開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于該地端；及 可變電容，耦接于該第一開關(guān)的第三端與該第一耦接開關(guān)的第一端之間，其中該可變電容是根據(jù)該控制信號，改變該可變電容的電容值，以補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。
11.如權(quán)利要求10所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該可變電容包含N個電容單元，每一電容單元包含 電容，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，及第二端，耦接于該第一耦接開關(guān)的第一端；及 開關(guān)，具有第一端，耦接于該第一開關(guān)的第三端，第二端，用以接收該控制信號，及第三端，耦接于該第一耦接開關(guān)的第一端；其中該開關(guān)是以串聯(lián)方式耦接該電容。
12.如權(quán)利要求9或11所述的微機(jī)電電路，其特征在于，該控制信號是為N位信號，且N是為正整數(shù)。
13.—種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法，包含 讀取微機(jī)電差動電容中的第一電容與第二電容之間在零G情況時的差值； 該方法的特征在于還包括 根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號； 接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；及 根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，接收該輸出信號，并產(chǎn)生該控制信號是為接收該輸出信號后，根據(jù)查閱表及該輸出信號，產(chǎn)生該控制信號。
15.如權(quán)利要求13所述的方法,其特征在于,根據(jù)該控制信號,補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容是為根據(jù)該控制信號，改變可變電容的電容值，以補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。
16.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，還包含 根據(jù)該控制信號，第一耦接開關(guān)與第二耦接開關(guān)做出相對應(yīng)的動作。
17.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，當(dāng)該差值不等于默認(rèn)值時，第一耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號開啟以及第二耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號關(guān)閉。
18.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，當(dāng)該差值等于默認(rèn)值時，第一耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號關(guān)閉以及第二耦接開關(guān)根據(jù)該控制信號開啟。
19.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，該控制信號是為N位信號，且N是為正整數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路及其方法。該微機(jī)電電路包含微機(jī)電差動電容、讀取電路、控制電路及補(bǔ)償電路。該微機(jī)電差動電容包含第一電容與第二電容；該讀取電路是耦接于該微機(jī)電差動電容，用以讀取該第一電容與該第二電容之間在零G情況時的差值，并根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號；該控制電路是耦接于該讀取電路，用以接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；該補(bǔ)償電路是耦接于該控制電路，用以根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。由于本發(fā)明可利用該補(bǔ)償電路補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容與該讀取電路的制程變異所造成的電容變異，所以本發(fā)明可改善該讀取電路因?yàn)樵撾娙葑儺愃斐傻牧鉍偏移，而產(chǎn)生錯誤的輸出信號。
文檔編號G01P15/125GK102955044SQ201110271978
公開日2013年3月6日 申請日期2011年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月22日
發(fā)明者吳家岱 申請人:立積電子股份有限公司