專(zhuān)利名稱(chēng)：功能元件及其制造方法、物理量傳感器以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及功能元件、功能元件的制造方法、物理量傳感器以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為功能元件已知有物理量傳感器元件，其具有固定配置的固定電極和隔開(kāi)間隔與固定電極相對(duì)并且被設(shè)置為可位移的可動(dòng)電極，根據(jù)固定電極與可動(dòng)電極之間的靜電電容來(lái)檢測(cè)加速度、角速度等物理量(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。例如，采用單層半導(dǎo)體基板或SOI基板來(lái)配置專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的物理量傳感器元件，其中，固定電極和可動(dòng)電極分別具有排列成梳齒狀的多個(gè)電極指并相互嚙合。另外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的物理量傳感器元件中，固定電極的兩個(gè)電極指以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極的鄰接的兩個(gè)電極指之間，并且該固定電極的兩個(gè)電極指相互電絕緣。由此，可分別測(cè)定固定電極的該兩個(gè)電極指的一個(gè)電極指和與其相對(duì)的可動(dòng)電極的電極指之間的靜電電容、以及固定電極的該兩個(gè)電極指的另一個(gè)電極指和與其相對(duì)的可動(dòng)電極的電極指之間的靜電電容，根據(jù)它們的測(cè)定結(jié)果(采用所謂的差動(dòng)檢測(cè)方式)來(lái)檢測(cè)物理量。但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1所述的物理量傳感器元件中，為了使各個(gè)固定電極和可動(dòng)電極不導(dǎo)通而需要單獨(dú)地絕緣分離電極指，導(dǎo)致制造效率惡化。另外，在上述差動(dòng)檢測(cè)方式中，當(dāng)固定電極和可動(dòng)電極的厚度變大(縱橫比高)時(shí)靈敏度變高。但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1的情況下，需要在基板的厚度方向上實(shí)施第1蝕刻之后，在橫向上實(shí)施第2蝕刻，為了增大固定電極和可動(dòng)電極的厚度而需要使基板預(yù)先變厚，從制造效率的觀(guān)點(diǎn)來(lái)看，難以使電極的厚度增大。另外，SOI基板一般價(jià)格較高，從而具有產(chǎn)品成本變高的問(wèn)題。專(zhuān)利文獻(xiàn)1日本專(zhuān)利第4238437號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供實(shí)現(xiàn)了高靈敏度化、制造效率的改善、低成本化、高可靠性化的至少一個(gè)的功能元件、功能元件的制造方法、物理量傳感器以及具有該物理量傳感器的電子設(shè)備。通過(guò)下述的本發(fā)明來(lái)達(dá)成這樣的目的。本發(fā)明的功能元件，其特征在于，該功能元件具有絕緣基板；可動(dòng)部；可動(dòng)電極指，其設(shè)置在上述可動(dòng)部上；以及固定電極指，其設(shè)置在上述絕緣基板上，并且與上述可動(dòng)電極指相對(duì)地配置，上述固定電極指包含配置在上述可動(dòng)電極指的一側(cè)的第1固定電極指和配置在另一側(cè)的第2固定電極指，上述第1固定電極指與上述第2固定電極指相互離開(kāi)地配置。根據(jù)具有這種結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的功能元件，由于在絕緣基板上形成有固定電極指， 因此，不需要對(duì)可動(dòng)電極指和固定電極指分別填入絕緣膜進(jìn)行絕緣分離，制造效率非常好。 另外，由于不需要采用高價(jià)的SOI基板，因此能夠抑制產(chǎn)品成本。
另外，由于能夠從與絕緣基板不同的基板一起形成可動(dòng)部、可動(dòng)電極指以及固定電極指，因此制造效率非常良好，另外，可動(dòng)電極指和固定電極指都僅通過(guò)基板的厚度方向的蝕刻來(lái)形成，因此與專(zhuān)利文獻(xiàn)1相比電極指容易變厚，例如在將功能元件作為物理量傳感器元件使用的情況下可實(shí)現(xiàn)高靈敏度化。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，在上述絕緣基板上設(shè)置有固定部，上述可動(dòng)部經(jīng)由連接部與上述固定部連接。由此，例如只要連接部采用彈簧部件就能夠可位移地支持可動(dòng)部，能夠?qū)⒐δ茉?yīng)用于物理量傳感器元件等。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，在上述絕緣基板上設(shè)置有與上述第1固定電極指電連接的第1布線(xiàn)、以及與上述第2固定電極指電連接的第2布線(xiàn)中的至少一個(gè)布線(xiàn)。由此，例如在將功能元件作為物理量傳感器元件使用的情況下，利用第1布線(xiàn)和第2布線(xiàn)分別測(cè)定第1固定電極指與可動(dòng)電極指之間的靜電電容、以及第2固定電極指與可動(dòng)電極指之間的靜電電容，只要根據(jù)它們的測(cè)定結(jié)果來(lái)進(jìn)行例如差動(dòng)運(yùn)算，就能夠高精度地檢測(cè)物理量。另外，在絕緣基板的固定電極指?jìng)?cè)的表面上設(shè)置有這樣的第1布線(xiàn)、第2 布線(xiàn)等布線(xiàn)，因此能夠確保布線(xiàn)形成區(qū)域的面積較大，能夠防止布線(xiàn)彼此短路。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，在上述絕緣基板上設(shè)置有凹部，上述布線(xiàn)設(shè)置在上述凹部?jī)?nèi)。由此，能夠防止第1布線(xiàn)和第2布線(xiàn)從絕緣基板的表面突出。因此，能夠防止第1 布線(xiàn)和第2布線(xiàn)與其它部位的不經(jīng)意的電連接(短路)。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，上述第1固定電極指和上述第2固定電極指中的至少一方經(jīng)由具有導(dǎo)電性的突起與上述布線(xiàn)連接。由此，例如通過(guò)利用導(dǎo)電性的突起連接第1布線(xiàn)和第1固定電極指之間、利用導(dǎo)電性的突起連接第2布線(xiàn)和第2固定電極指之間，能夠在固定電極指與布線(xiàn)之間可靠地取得導(dǎo)通，能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的功能元件。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，上述布線(xiàn)具有設(shè)置有絕緣膜的部分。由此，能夠利用絕緣膜可靠地防止布線(xiàn)與其它部位的不經(jīng)意的電連接(短路)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的功能元件。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，在上述第1固定電極指和上述第2固定電極指中的至少一方設(shè)置有在厚度方向貫通的導(dǎo)體部，上述導(dǎo)體部與上述布線(xiàn)連接。由此，例如在絕緣基板上接合固定電極指之后，只要在貫通固定電極指的孔的內(nèi)部形成導(dǎo)體部，進(jìn)行第1固定電極指與第1布線(xiàn)的電連接以及第2固定電極指與第2布線(xiàn)的電連接，就能夠更可靠地連接固定電極指與布線(xiàn)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)可靠性高的功能元件。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，上述布線(xiàn)由透光性的電極材料構(gòu)成。由此，在絕緣基板是例如玻璃等透明基板的情況下，可從與絕緣基板的固定電極指相反的表面?zhèn)?，容易地視覺(jué)識(shí)別存在于絕緣基板的固定電極指?jìng)?cè)的表面上的異物等。因此，能夠提供可靠性良好的功能元件。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，上述絕緣基板由包含堿金屬離子的材料構(gòu)成， 上述固定電極指由半導(dǎo)體構(gòu)成，上述固定電極指通過(guò)陽(yáng)極接合法與上述絕緣基板接合。由此，例如只要在通過(guò)陽(yáng)極接合來(lái)接合絕緣基板和半導(dǎo)體基板之后實(shí)施蝕刻處理，就能夠一起形成可動(dòng)部、可動(dòng)電極指以及固定電極指，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)制造效率良好的 功能元件。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，上述固定電極指由単一的部件構(gòu)成。由此，例如只要采用半導(dǎo)體基板一體地形成第1固定電極指彼此或第2固定電極 指彼此，就能夠降低固定電極指間的電阻。結(jié)果，在將功能元件作為物理量傳感器元件使用 的情況下，能夠提高檢測(cè)精度。在本發(fā)明的功能元件中優(yōu)選的是，分別設(shè)置多個(gè)上述第1固定電極指和上述第2 固定電極指，一體地設(shè)置上述第1固定電極指彼此和上述第2固定電極指彼此中的至少ー方。由此，不需要如專(zhuān)利文獻(xiàn)1那樣在固定電極指和可動(dòng)電極指的一部分中填入絕緣 膜進(jìn)行絕緣分離，能夠?qū)崿F(xiàn)制造效率良好的功能元件。本發(fā)明的功能元件的制造方法，其特征在于，該功能元件的制造方法具有以下步 驟在第1基板上形成空洞部；在上述第1基板上載置第2基板；以及通過(guò)蝕刻上述第2 基板，形成固定部、可動(dòng)部、連接部以及固定電極指，其中，上述固定部設(shè)置在上述第1基板 上，上述可動(dòng)部具有可動(dòng)電極指，并且配置在上述空洞部上，上述連接部連接上述可動(dòng)部和 上述固定部，上述固定電極指設(shè)置在上述第1基板上，并且與上述可動(dòng)電極指相對(duì)地配置。由此，能夠通過(guò)蝕刻處理一起形成固定部、可動(dòng)部、連接部、固定電極指以及可動(dòng) 電極指，因此，能夠提供制造效率良好的功能元件的制造方法。本發(fā)明的物理量傳感器，其特征在于，該物理量傳感器具有本發(fā)明的功能元件。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)具有上述效果的物理量傳感器。本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在干，該電子設(shè)備具有本發(fā)明的功能元件。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)具有上述效果的電子設(shè)備。


圖1是示出本發(fā)明第1實(shí)施方式的功能元件的立體圖。圖2是示出圖1所示的功能元件的俯視圖。圖3是圖2中的A-A線(xiàn)剖視圖。圖4是圖3的部分放大圖(部分放大剖視圖)。圖5是圖2中的B-B線(xiàn)剖視圖。圖6是圖5的部分放大圖(部分放大剖視圖)。圖7是用于說(shuō)明圖1所示的功能元件的制造方法的圖。圖8是用于說(shuō)明圖1所示的功能元件的制造方法的圖。圖9是用于說(shuō)明圖7(c)所示的步驟(形成布線(xiàn)、觸點(diǎn)、絕緣膜的步驟)的圖。圖10是示出本發(fā)明第2實(shí)施方式的功能元件的俯視圖。圖11是示出本發(fā)明第3實(shí)施方式的功能元件的俯視圖。圖12是圖11所示的功能元件的部分放大剖視圖。圖13是示出本發(fā)明的物理量傳感器的一例的示意圖。圖14是本發(fā)明的電子設(shè)備(筆記本型個(gè)人計(jì)算機(jī))。圖15是本發(fā)明的電子設(shè)備(移動(dòng)電話(huà)機(jī))。
圖16是本發(fā)明的電子設(shè)備(數(shù)碼相機(jī))。
符號(hào)說(shuō)明
1 功能元件IA 功能元件IB 功能元件2 絕緣基板3 元件片3A 元件片元件片4:導(dǎo)體圖形5 蓋部件6 絕緣膜21 空洞部22 凹部23 凹部M 凹部31 固定部32 固定部33 可動(dòng)部34 連接部35 連接部36 可動(dòng)電極部37 可動(dòng)電極部38 固定電極部 38A 固定電極部38B 固定電極部39 固定電極部39A 固定電極部39B 固定電極部41 布線(xiàn)42 布線(xiàn)43 布線(xiàn)44 電極45 電極46 電極50 突起51 凹部71 導(dǎo)體部72 導(dǎo)體部73 導(dǎo)體部74 導(dǎo)體部101 接合體102 基板102A 基板103 基板103A 基板105 蓋部件106 絕緣膜106A 絕緣膜200 物理量傳感器201 電子部件221 間隙222 間隙341、342 梁 351,352 梁361 365 可動(dòng)電極指371 375 可動(dòng)電極指381 388 固定電極指391 398 固定電極指38IA 388A 固定電極指39IA 398A 固定電極指38IB 388B 固定電極指391B 398B 固定電極指389、399 基部471 突起472 突起481 突起482 突起 1100 個(gè)人計(jì)算機(jī)1102 鍵盤(pán)1104 主體部1106 顯示單元1200 移動(dòng)電話(huà)機(jī)1202 操作按鈕1204 受話(huà)口 1206 送話(huà)口 1300 數(shù)碼相機(jī)1302 殼體1304 受光單元1306 快門(mén)按鈕 1308 存儲(chǔ)器1312 視頻信號(hào)輸出端子1314 輸入輸出端子1430 電視監(jiān)視器1440 個(gè)人計(jì)算機(jī)3911 貫通孔。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的功能元件、功能元件的制造方法、物理量傳感器以及電子設(shè)備的優(yōu)選實(shí)施方式。
<第1實(shí)施方式>
圖1是示出本發(fā)明第1實(shí)施方式的功能元件的立體圖，圖2是示出圖1所示的功能元件的俯視圖，圖3是圖2中的A-A線(xiàn)剖視圖，圖4是圖3的部分放大圖(部分放大剖視圖)，圖5是圖2中的B-B線(xiàn)剖視圖，圖6是圖5的部分放大圖(部分放大剖視圖)。此外， 以下為了便于說(shuō)明，將圖2中的紙面近前側(cè)稱(chēng)為“上”，紙面里側(cè)稱(chēng)為“下”，右側(cè)稱(chēng)為“右”， 左側(cè)稱(chēng)為“左”。另外，在圖1 3、5中，作為相互垂直的3個(gè)軸圖示了 X軸、Y軸以及Z軸。 另外，以下將與X軸平行的方向(左右方向)稱(chēng)為“X軸方向”，將與Y軸平行的方向稱(chēng)為“Y 軸方向”，將與Z軸平行的方向(上下方向)稱(chēng)為“Z軸方向”。另外，在圖1 3、5、7、8中， 為了便于說(shuō)明而省略了后述的絕緣膜6以及與其對(duì)應(yīng)的絕緣膜(絕緣膜106、106A)的圖示。此外，在本實(shí)施方式中說(shuō)明將功能元件作為用于測(cè)定加速度、角速度等物理量的物理量傳感器元件使用時(shí)的例子。
(功能元件)
圖1所示的功能元件1具有絕緣基板2、與該絕緣基板2接合并支持的元件片 (基體)3、與元件片3電連接的導(dǎo)體圖形4以及被設(shè)置為覆蓋元件片3的蓋部件5。
以下，依次詳細(xì)說(shuō)明構(gòu)成功能元件1的各部。
(絕緣基板)
絕緣基板2具有支持元件片3的功能。
該絕緣基板2構(gòu)成板狀，在其上表面(一個(gè)面)設(shè)置有空洞部21。在俯視絕緣基板2時(shí)，該空洞部21形成為包含后述元件片3的可動(dòng)部33、可動(dòng)電極部36、37以及連接部734、35，且具有內(nèi)底。這樣的空洞部21構(gòu)成退讓部，該退讓部用于防止元件片3的可動(dòng)部 33、可動(dòng)電極部36、37以及連接部34、35與絕緣基板2接觸。由此，可容許元件片3的可動(dòng)部33的位移。
此外，該退讓部也可以是將絕緣基板2在其厚度方向上貫通的開(kāi)口部而取代空洞部21(凹部)。另外，在本實(shí)施方式中，空洞部21的俯視形狀構(gòu)成四邊形(具體地說(shuō)是長(zhǎng)方形)，但不僅限于此。
另外，在絕緣基板2的上表面，沿著上述空洞部21外側(cè)的外周設(shè)置有凹部22、23、 24。該凹部22、23、M在俯視圖中構(gòu)成與導(dǎo)體圖形4對(duì)應(yīng)的形狀。具體地說(shuō)，凹部22構(gòu)成與后述導(dǎo)體圖形4的布線(xiàn)41和電極44對(duì)應(yīng)的形狀，凹部23構(gòu)成與后述導(dǎo)體圖形4的布線(xiàn) 42和電極45對(duì)應(yīng)的形狀，凹部M構(gòu)成與后述導(dǎo)體圖形4的布線(xiàn)43和電極46對(duì)應(yīng)的形狀。
另外，凹部22的設(shè)置有電極44的部位的深度比凹部22的設(shè)置有布線(xiàn)41的部位深。同樣，凹部23的設(shè)置有電極45的部位的深度比凹部23的設(shè)置有布線(xiàn)42的部位深。另外，凹部M的設(shè)置有電極46的部位的深度比凹部M的設(shè)置有布線(xiàn)43的部位深。
這樣，通過(guò)使凹部22、23、M的一部分的深度變深，在后述的功能元件1的制造過(guò)程中，可以防止在將形成元件片3之前的基板103與基板102A接合時(shí)(參照?qǐng)D7)，該基板 103與電極44、45、46接合。
作為這樣的絕緣基板2的構(gòu)成材料，具體地說(shuō)優(yōu)選采用高電阻的硅材料、玻璃材料，尤其在將硅材料作為主材料構(gòu)成元件片3的情況下，優(yōu)選采用包含堿金屬離子(可動(dòng)離子)的玻璃材料(例如，耐熱玻璃、c\v、y 0卞力巧卞注冊(cè)商標(biāo))這樣的硼硅酸玻璃)。 由此，在將硅作為主材料構(gòu)成元件片3的情況下，可以將絕緣基板2與元件片3陽(yáng)極接合。
另外，絕緣基板2的構(gòu)成材料與元件片3的構(gòu)成材料的熱膨脹系數(shù)差優(yōu)選盡量小， 具體地說(shuō)，絕緣基板2的構(gòu)成材料與元件片3的構(gòu)成材料的熱膨脹系數(shù)差優(yōu)選是3ppm/°C以下。由此，即使在絕緣基板2與元件片3接合時(shí)成為高溫，也能夠降低絕緣基板2與元件片 3之間的殘留應(yīng)力。
(元件片)
元件片3由固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部；34、35、可動(dòng)電極部36、37以及固定電極部38、39構(gòu)成。
關(guān)于這樣的元件片3，例如可動(dòng)部33和可動(dòng)電極部36、37根據(jù)加速度、角速度等物理量的變化來(lái)使連接部34、35彈性變形，并且在X軸方向(+X方向或-X方向)位移。伴隨這樣的位移，可動(dòng)電極部36與固定電極部38之間的間隙以及可動(dòng)電極部37與固定電極部 39之間的間隙的大小分別變化。即，伴隨著這樣的位移，可動(dòng)電極部36與固定電極部38之間的靜電電容、以及可動(dòng)電極部37與固定電極部39之間的靜電電容的大小分別變化。因此，可根據(jù)這些靜電電容來(lái)檢測(cè)加速度、角速度等物理量。
該固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部34、35以及可動(dòng)電極部36、37 —體地形成。
固定部31、32分別與上述絕緣基板2的上表面接合。具體地說(shuō)，固定部31相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與-X方向側(cè)(圖中左側(cè))的部分接合，另外，固定部32相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與+X方向側(cè)(圖中右側(cè))的部分接合。另外，固定部 31,32在俯視時(shí)分別被設(shè)置為跨越空洞部21的外周緣。
此外，固定部31、32的位置、形狀等是根據(jù)連接部34、35和導(dǎo)體圖形4等的位置、形狀等來(lái)決定的，但不僅限于此。
在這樣的兩個(gè)固定部31、32之間設(shè)置有可動(dòng)部33。在本實(shí)施方式中，可動(dòng)部33構(gòu)成在X軸方向延伸的長(zhǎng)邊形狀。此外，可動(dòng)部33的形狀是根據(jù)構(gòu)成元件片3的各部的形狀、 大小等來(lái)決定的，但不僅限于此。
這樣的可動(dòng)部33經(jīng)由連接部34與固定部31連接，并且經(jīng)由連接部35與固定部 32連接。更具體地說(shuō)，可動(dòng)部33左側(cè)的端部經(jīng)由連接部34與固定部31連接，并且可動(dòng)部 33右側(cè)的端部經(jīng)由連接部35與固定部32連接。
該連接部34、35將可動(dòng)部33相對(duì)于固定部31、32可位移地連接。在本實(shí)施方式中，連接部34、35如圖2箭頭a所示構(gòu)成為，使可動(dòng)部33可在X軸方向(+X方向或-X方向)位移。
當(dāng)具體進(jìn)行說(shuō)明時(shí)，連接部34由兩個(gè)梁341、342構(gòu)成。并且，梁341、342分別構(gòu)成在Y軸方向彎折并且在X軸方向延伸的形狀。換言之，梁341、342分別構(gòu)成在Y軸方向折返多次(在本實(shí)施方式中為3次)的形狀。此外，各梁341、342的折返次數(shù)可以是1次或2次，也可以是4次以上。
同樣，連接部35由在Y軸方向彎折并且在X軸方向延伸的形狀的兩個(gè)梁351、352 構(gòu)成。
此外，連接部34、35只要可相對(duì)于絕緣基板2位移地支持可動(dòng)部33，就不限于上述內(nèi)容，例如，可以由從可動(dòng)部33的兩端部在+Y方向和-Y方向分別延伸的1對(duì)梁構(gòu)成。
在這樣可相對(duì)于絕緣基板2在X軸方向位移地支持的可動(dòng)部33的寬度方向的一側(cè)(+Y方向側(cè))設(shè)置有可動(dòng)電極部36，在另一側(cè)(-Y方向側(cè))設(shè)置有可動(dòng)電極部37。
可動(dòng)電極部36具有從可動(dòng)部33向+Y方向突出并且排列成梳齒狀的多個(gè)可動(dòng)電極指361 365。該可動(dòng)電極指361、362、363、364、365從-X方向側(cè)向+X方向側(cè)依次排列。 同樣，可動(dòng)電極部37具有從可動(dòng)部33向-Y方向突出并且排列成梳齒狀的多個(gè)可動(dòng)電極指 371 375。該可動(dòng)電極指371、372、373、374、375從-X方向側(cè)向+X方向側(cè)依次排列。
這樣，多個(gè)可動(dòng)電極指361 365和多個(gè)可動(dòng)電極指371 375分別在可動(dòng)部33 的位移方向(即Y軸方向)上并排設(shè)置。由此，可使后述的固定電極指382、384、386、388與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容、以及固定電極指381、383、385、387與可動(dòng)電極部36的靜電電容，根據(jù)可動(dòng)部33的位移而有效地變化。同樣，可使后述的固定電極指392、394、396、 398與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容、以及固定電極指391、393、395、397與可動(dòng)電極部36 的靜電電容，根據(jù)可動(dòng)部33的位移而有效地變化。因此，在將功能元件1用作物理量傳感器元件的情況下，可使檢測(cè)精度良好。
這樣的可動(dòng)電極部36隔開(kāi)間隔與固定電極部38相對(duì)。另外，可動(dòng)電極部37隔開(kāi)間隔與固定電極部39相對(duì)。
固定電極部38具有隔開(kāi)間隔與上述可動(dòng)電極部36的多個(gè)可動(dòng)電極指361 365 嚙合的排列成梳齒狀的多個(gè)固定電極指381 388。這樣的多個(gè)固定電極指381 388的可動(dòng)部33相反側(cè)的端部分別相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與+Y方向側(cè)的部分接合。并且，將各固定電極指381 388的固定側(cè)端作為固定端，自由端向-Y方向延伸。
該固定電極指381 388從-X方向側(cè)向+X方向側(cè)依次排列。并且，固定電極指 381、382成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在上述可動(dòng)電極指361、362之間，固定電極指383、384成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指362、363之間，固定電極指385、386成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指363、364之間，固定電極指387、388成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指364、365之間。
這里，固定電極指382、384、386、388分別是第1固定電極指，固定電極指381、383、 385,387分別是在絕緣基板2上與該第1固定電極指隔著空隙(間隙)相離的第2固定電極指。這樣，多個(gè)固定電極指381 388由交替排列的多個(gè)第1固定電極指和多個(gè)第2固定電極指構(gòu)成。換言之，在可動(dòng)電極指的一側(cè)配置有第1固定電極指，在另一側(cè)配置有第2 固定電極指。
這樣的第1固定電極指382、384、386、388與第2固定電極指381、383、385、387在絕緣基板2上相互分離。換言之，第1固定電極指382、384、386、388和第2固定電極指381、383、385、387在絕緣基板2上不相互連接而孤立成島狀。由此，能夠使第1固定電極指382、384、386、388與第2固定電極指381、383、385、387電絕緣。因此，可分別測(cè)定第1固定電極指382、384、386、388與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容、以及第2固定電極指381、383、385、 387與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容，并根據(jù)它們的測(cè)定結(jié)果來(lái)高精度地檢測(cè)物理量。
在本實(shí)施方式中，固定電極指381 388在絕緣基板2上相互分離。換言之，固定電極指381 388在絕緣基板2上不相互連接而分別孤立成島狀。由此，能夠使固定電極指381 388在Y軸方向的長(zhǎng)度一致。因此，既能夠確保為了獲得各固定電極指381 388 與絕緣基板2的各接合部的充分接合強(qiáng)度所需的面積，又能夠?qū)崿F(xiàn)固定電極指381 388 的小型化。因此，能夠使功能元件1的耐沖擊性良好，并且實(shí)現(xiàn)功能元件1的小型化。
同樣，固定電極部39具有隔開(kāi)間隔與上述可動(dòng)電極部37的多個(gè)可動(dòng)電極指 371 375嚙合的排列成梳齒狀的多個(gè)固定電極指391 398。這樣的多個(gè)固定電極指 391 398的可動(dòng)部33相反側(cè)的端部分別相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與-Y方向側(cè)的部分接合。并且，將各固定電極指391 398的固定側(cè)端作為固定端，自由端向+Y方向延伸。
該固定電極指391、392、393、394、395、396、397、398從-X方向側(cè)向+X方向側(cè)依次排列。并且，固定電極指391、392成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在上述可動(dòng)電極指371、372之間， 固定電極指393、394成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指372、373之間，固定電極指395、 396成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指373、374之間，固定電極指397、398成對(duì)，以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指374、375之間。
這里，固定電極指392、394、396、398分別是第1固定電極指，固定電極指391、393、 395,397分別是在絕緣基板2上與該第1固定電極指隔著空隙(間隙)相離的第2固定電極指。這樣，多個(gè)固定電極指391 398由交替排列的多個(gè)第1固定電極指和多個(gè)第2固定電極指構(gòu)成。換言之，在可動(dòng)電極指的一側(cè)配置有第1固定電極指，在另一側(cè)配置有第2 固定電極指。
這樣的第1固定電極指392、394、396、398和第2固定電極指391、393、395、397與上述固定電極部38同樣，在絕緣基板2上相互分離。由此，可分別測(cè)定第1固定電極指392、 394、396、398與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容、以及第2固定電極指391、393、395、397與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容，并根據(jù)它們的測(cè)定結(jié)果來(lái)高精度地檢測(cè)物理量。
在本實(shí)施方式中，多個(gè)固定電極指391 398與上述固定電極部38相同，在絕緣基板2上相互分離。由此，各固定電極指391 398與絕緣基板2的各接合部的面積充分， 并且能夠?qū)崿F(xiàn)固定電極指391 398的小型化。因此，能夠使功能元件1的耐沖擊性良好， 并且實(shí)現(xiàn)功能元件1的小型化。
這樣的元件片3( S卩，固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部34、35、多個(gè)固定電極指 381 388、391 398以及多個(gè)可動(dòng)電極指361 365、371 375)通過(guò)對(duì)后述的1個(gè)基板 103進(jìn)行蝕刻來(lái)形成。
由此，能夠使固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部34、35、多個(gè)固定電極指381 388、 391 398以及多個(gè)可動(dòng)電極指361 365、371 375的厚度變厚。另外，能夠使它們的厚度簡(jiǎn)單地且高精度地一致。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)功能元件1的高靈敏度化，并且能夠提高功能元件1的耐沖擊性。
另外，作為元件片3的構(gòu)成材料，只要能夠根據(jù)如上所述的靜電電容的變化來(lái)檢測(cè)物理量，就沒(méi)有特別地限定，但優(yōu)選是半導(dǎo)體，具體地說(shuō)，優(yōu)選采用例如單晶硅、多晶硅等硅材料。
S卩，固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部34、35、多個(gè)固定電極指381 388、391 398 以及多個(gè)可動(dòng)電極指361 365、371 375分別優(yōu)選以硅為主材料構(gòu)成。
硅可以通過(guò)蝕刻高精度地進(jìn)行加工。因此，通過(guò)以硅為主材料來(lái)構(gòu)成元件片3，使元件片3的尺寸精度良好，結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)物理量傳感器元件即功能元件1的高靈敏度化。 另外，硅由于疲勞較少，因此能夠提高功能元件1的耐久性。
另外，在構(gòu)成元件片3的硅材料中優(yōu)選摻雜磷、硼等雜質(zhì)。由此，能夠使元件片3 的導(dǎo)電性良好。
另外，如上所述，通過(guò)在絕緣基板2的上表面接合固定部31、32和固定電極部38、 39，在絕緣基板2上支持元件片3。在本實(shí)施方式中，絕緣基板2和元件片3經(jīng)由后述的絕緣膜6進(jìn)行接合。
對(duì)這樣的元件片3 (具體地說(shuō)，是上述的固定部31、32和各固定電極指381 388、 391 398)與絕緣基板2的接合方法沒(méi)有特別限定，但優(yōu)選采用陽(yáng)極接合法。由此，可以將固定部31、32和固定電極部38、39(各固定電極指381 388、391 398)與絕緣基板2 牢固地接合。從而，能夠提高功能元件1的耐沖擊性。另外，能夠?qū)⒐潭ú?1、32和固定電極部38、39 (各固定電極指381 388、391 398)高精度地接合在絕緣基板2的期望位置上。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)物理量傳感器元件即功能素子1的高靈敏度化。在該情況下，如上所述將硅作為主材料構(gòu)成元件片3，并且由包含堿金屬離子的玻璃材料構(gòu)成絕緣基板2。
(導(dǎo)體圖形)
將導(dǎo)體圖形4設(shè)置在上述絕緣基板2的上表面(固定電極部38、39側(cè)的表面)上。
該導(dǎo)體圖形4由布線(xiàn)41、42、43和電極44、45、46構(gòu)成。
布線(xiàn)41設(shè)置在上述絕緣基板2的空洞部21的外側(cè)，形成為沿著空洞部21的外周。 并且，布線(xiàn)41的一端部在絕緣基板2上表面的外周部(絕緣基板2上的蓋部件5的外側(cè)部分)上與電極44連接。
這樣的布線(xiàn)41與上述元件片3的第1固定電極指即各固定電極指382、384、386、 388和各固定電極指392、394、396、398電連接。這里，布線(xiàn)41是與各第1固定電極指電連接的第1布線(xiàn)。
另外，在上述布線(xiàn)41的內(nèi)側(cè)且上述絕緣基板2的空洞部21的外側(cè)沿著其外周緣設(shè)置布線(xiàn)42。并且，布線(xiàn)42的一端部以與上述電極44隔開(kāi)間隔排列的方式，在絕緣基板2 上表面的外周部(絕緣基板2上的蓋部件5的外側(cè)部分)上與電極45連接。
布線(xiàn)43被設(shè)置為從與絕緣基板2上的固定部31結(jié)合的接合部向絕緣基板2上表面的外周部(絕緣基板2上的蓋部件5的外側(cè)部分)上延伸。并且，布線(xiàn)43的固定部31相反側(cè)的端部以與上述電極44、45隔開(kāi)間隔排列的方式，在絕緣基板2上表面的外周部(絕緣基板2上的蓋部件5的外側(cè)部分)上與電極46連接。
作為這樣的布線(xiàn)41 43的構(gòu)成材料，只要分別具有導(dǎo)電性，就沒(méi)有特別地限定， 可采用各種電極材料，例如可舉出ITOandium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide)、 In3O3, SnO2、含有Sb的SnO2、含有Al的ZnO等氧化物(透明電極材料)、Au、Pt、Ag、Cu、Al 或包含它們的合金等，可組合使用其中的1種或2種以上。
其中，作為布線(xiàn)41 43的構(gòu)成材料，優(yōu)選采用透明電極材料(特別是ΙΤ0)。在布線(xiàn)41、42分別由透明電極材料構(gòu)成時(shí)，絕緣基板2是透明基板的情況下，可以從絕緣基板2 的固定電極部38、39相反的表面?zhèn)?，容易地視覺(jué)識(shí)別絕緣基板2的固定電極部38、39側(cè)的表面上存在的異物等。因此，能夠更可靠地提供功能元件1作為高靈敏度的物理量傳感器元件。
另外，作為電極44 46的構(gòu)成材料，與上述布線(xiàn)41 43同樣，只要分別具有導(dǎo)電性，就沒(méi)有特別地限定，可采用各種電極材料。在本實(shí)施方式中，作為電極44 46的構(gòu)成材料，可采用與后述突起471、472、481、482的構(gòu)成材料相同的構(gòu)成材料。
通過(guò)在絕緣基板2的上表面設(shè)置這樣的布線(xiàn)41、42(第1布線(xiàn)和第2布線(xiàn))，經(jīng)由布線(xiàn)41測(cè)定第1固定電極指382、384、386、388與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容、以及第 1固定電極指392、394、396、398與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容，并且，經(jīng)由布線(xiàn)42可測(cè)定第2固定電極指381、383、385、387與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容、以及第2固定電極指391、393、395、397與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容。
在本實(shí)施方式中，通過(guò)采用電極44和電極46，能夠測(cè)定第1固定電極指382、384、 386,388與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容、以及第1固定電極指392、394、396、398與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容。另外，通過(guò)采用電極45和電極46，能夠測(cè)定第2固定電極指 381、383、385、387與可動(dòng)電極部36之間的靜電電容、以及第2固定電極指391、393、395、 397與可動(dòng)電極部37之間的靜電電容。
另外，由于在絕緣基板2的上表面(即固定電極部38、39側(cè)的表面上)設(shè)置有這樣的布線(xiàn)41、42，因此，可容易地對(duì)固定電極部38、39進(jìn)行電連接和定位。因此，能夠提高功能元件1的可靠性(特別是耐沖擊性和檢測(cè)精度)。
另外，在上述絕緣基板2的凹部(第1凹部)22內(nèi)設(shè)置布線(xiàn)41和電極44，在上述絕緣基板2的凹部(第2凹部)23內(nèi)設(shè)置布線(xiàn)42和電極45，在上述絕緣基板2的凹部(第 3凹部)24內(nèi)設(shè)置布線(xiàn)43和電極46。由此，能夠防止布線(xiàn)41 43從絕緣基板2的板面突出。因此，可以使各固定電極指381 388、391 398與絕緣基板2的接合(固定)可靠， 并且進(jìn)行固定電極指382、384、386、388、392、394、396、398與布線(xiàn)41的電連接、以及固定電極指381、383、385、387、391、393、395、397與布線(xiàn)42的電連接。同樣，可以使固定部31與絕緣基板2的接合(固定)可靠，并且進(jìn)行固定部31與布線(xiàn)43的電連接。這里，在將布線(xiàn)41 43的厚度分別設(shè)為t，將上述凹部22 M的設(shè)置有布線(xiàn)41的部分的深度分別設(shè)為 d時(shí)，滿(mǎn)足t < d的關(guān)系。
尤其，在第1布線(xiàn)即布線(xiàn)41上設(shè)置有具有導(dǎo)電性的第1突起即多個(gè)突起481和多個(gè)突起482。與多個(gè)第1固定電極指即固定電極指382、384、386、388對(duì)應(yīng)地設(shè)置多個(gè)突起 481，與多個(gè)第1固定電極指即固定電極指392、394、396、398對(duì)應(yīng)地設(shè)置多個(gè)突起482。
并且，經(jīng)由多個(gè)突起481使固定電極指382、384、386、388與布線(xiàn)41電連接，并且， 經(jīng)由多個(gè)突起482使固定電極指392、394、396、398與布線(xiàn)41電連接。
由此，能夠防止布線(xiàn)41與其它部位的不經(jīng)意的電連接(短路)，并且進(jìn)行各固定電極指 382、384、386、388、392、394、396、398 與布線(xiàn) 41 的電連接。
同樣，在第2布線(xiàn)即布線(xiàn)42上設(shè)置有具有導(dǎo)電性的第2突起即多個(gè)突起471和多個(gè)突起472。與多個(gè)第2固定電極指即固定電極指381、383、385、387對(duì)應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)突起 471，與多個(gè)第2固定電極指即固定電極指391、393、395、397對(duì)應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)突起472。
然后，固定電極指381、383、385、387與布線(xiàn)42經(jīng)由多個(gè)突起471電連接，固定電極指391、393、395、397與布線(xiàn)42經(jīng)由多個(gè)突起472電連接。
由此，能夠防止布線(xiàn)42與其它部位的不經(jīng)意的電連接(短路)，并且進(jìn)行各固定電極指 381、383、385、387、391、393、395、397 與布線(xiàn) 42 的電連接。
作為這樣的突起471、472、481、482的構(gòu)成材料，只要分別具有導(dǎo)電性，就沒(méi)有特別地限定，可采用各種電極材料，例如，可適當(dāng)采用Au、Pt、Ag、Cu、Al等金屬單體或包含它們的合金等金屬。通過(guò)采用這樣的金屬構(gòu)成突起471、472、481、482，能夠減小布線(xiàn)41、42與固定電極部38，39之間的觸點(diǎn)電阻。
另外，在將布線(xiàn)41 43的厚度分別設(shè)為t，將上述凹部22 M的設(shè)置有布線(xiàn)41 的部分的深度分別設(shè)為d，將突起471、472、481、482的高度分別設(shè)為h時(shí)，滿(mǎn)足d^t+h的關(guān)系。
另外，如圖4、6所示，在布線(xiàn)41 43上設(shè)置有絕緣膜6。并且，上述各突起471、 472、481、482、50上的絕緣膜6未形成，露出突起的表面。該絕緣膜6具有防止導(dǎo)體圖形4 與元件片3的不經(jīng)意的電連接(短路)的功能。由此，能夠更可靠地防止布線(xiàn)41、42與其它部位的不經(jīng)意的電連接(短路)，并且進(jìn)行各第1固定電極指382、384、386、388、392、394、 396,398與布線(xiàn)41的電連接、以及各第2固定電極指381、383、385、387、391、393、395、397 與布線(xiàn)42的電連接。另外，能夠更可靠地防止布線(xiàn)43與其它部位的不經(jīng)意的電連接(短路)，并且能夠進(jìn)行固定部31與布線(xiàn)43的電連接。
在本實(shí)施方式中，除了后述突起471、472、481、482、50和電極44 46的形成區(qū)域之外，在絕緣基板2上表面的大致整個(gè)區(qū)域都形成有絕緣膜6。此外，如果絕緣膜6的形成區(qū)域能夠覆蓋布線(xiàn)41 43，則不限于此，例如，可以構(gòu)成去除與絕緣基板2上表面的元件片 3接合的接合部位、與蓋部件5接合的接合部位的形狀。
另外，在將布線(xiàn)41 43的厚度分別設(shè)為t，將上述凹部22 M的設(shè)置有布線(xiàn)41 的部分的深度分別設(shè)為d時(shí)，滿(mǎn)足(1 > t的關(guān)系。由此，例如圖4所示，在固定電極指391與布線(xiàn)41上的絕緣膜6之間形成間隙221。雖未圖示，與該間隙221同樣的間隙形成在其它各固定電極指與布線(xiàn)41、42上的絕緣膜6之間。這樣的間隙在后述功能元件1的制造中， 同樣形成到基板102與基板103之間，能夠排出在陽(yáng)極接合時(shí)產(chǎn)生的氣體。13
另外，如圖6所示，在蓋部件5與布線(xiàn)43上的絕緣膜6之間形成有間隙222。雖未圖示，與該間隙222同樣的間隙還形成在蓋部件5與布線(xiàn)41、42上的絕緣膜6之間。這些間隙可用于對(duì)蓋部件5內(nèi)減壓，或者填充惰性氣體。此外，這些間隙在利用粘接劑接合蓋部件5與絕緣基板2時(shí)，也可以利用粘接劑堵塞。
作為這樣的絕緣膜6的構(gòu)成材料，沒(méi)有特別地限定，可使用具有絕緣性的各種材料，但在絕緣基板2由玻璃材料(特別是添加有堿金屬離子的玻璃材料)構(gòu)成的情況下，優(yōu)選使用二氧化珪(SiO2)。由此，能夠防止上述不經(jīng)意的電連接，并且即使絕緣膜6存在于與絕緣基板2上表面的元件片3接合的接合部位，也能夠?qū)⒔^緣基板2與元件片3陽(yáng)極接合。
另外，絕緣膜6的厚度(平均厚度)沒(méi)有特別地限定，但優(yōu)選10 IOOOnm左右， 更優(yōu)選10 200nm左右。當(dāng)在這樣的厚度范圍內(nèi)形成絕緣膜6時(shí)，可防止上述不經(jīng)意的電連接。另外，在絕緣基板2由包含堿金屬離子的玻璃材料構(gòu)成且元件片3以硅為主材料構(gòu)成時(shí)，即使絕緣膜6存在于與絕緣基板2上表面的元件片3接合的接合部位，也能夠經(jīng)由絕緣膜6將絕緣基板2與元件片3陽(yáng)極接合。
(蓋部件)
蓋部件5具有保護(hù)上述元件片3的功能。
該蓋部件5構(gòu)成板狀，在其一個(gè)表面(下表面)上設(shè)置有凹部51。該凹部51形成為容許元件片3的可動(dòng)部33和可動(dòng)電極部36、37等的位移。
并且，蓋部件5下表面的凹部51的外側(cè)部分與上述絕緣基板2的上表面接合。在本實(shí)施方式中，經(jīng)由上述絕緣膜6接合絕緣基板2與蓋部件5。
蓋部件5與絕緣基板2的接合方法沒(méi)有特別地限定，例如可采用使用粘接劑的接合方法、陽(yáng)極接合法、直接接合法等。
另外，作為蓋部件5的構(gòu)成材料，只要能夠發(fā)揮上述功能，就沒(méi)有特別地限定，例如可適當(dāng)采用硅材料、玻璃材料等。
(功能元件的制造方法)
接著，說(shuō)明本發(fā)明的功能元件的制造方法。此外，以下說(shuō)明制造上述功能元件1時(shí)的一例。
圖7和圖8分別是用于說(shuō)明圖1所示的功能元件的制造方法的圖，圖9是用于說(shuō)明圖7(c)所示的步驟(形成布線(xiàn)、觸點(diǎn)、絕緣膜的步驟)的圖。此外，圖7和圖8分別示出與圖1中的A-A線(xiàn)剖面對(duì)應(yīng)的剖面。
此外，以下以絕緣基板2由包含堿金屬離子的玻璃材料構(gòu)成且元件片3由硅構(gòu)成的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。
[1]
首先，如圖7(a)所示，準(zhǔn)備第1基板即基板102。
該基板102經(jīng)過(guò)后述的步驟成為絕緣基板2。
另外，基板102由包含堿金屬的玻璃材料構(gòu)成。
[2]
接著，如圖7(b)所示，通過(guò)蝕刻基板102的上表面來(lái)形成空洞部21和凹部22、23。 此時(shí)，在圖7(b)中雖未圖示，但通過(guò)上述蝕刻還同時(shí)形成凹部M。由此，獲得形成有空洞部 21和凹部22 M的基板102A。
這樣的空洞部21與凹部22 M的形成方法(蝕刻方法)沒(méi)有特別地限定，但例如可以組合使用等離子蝕刻、反應(yīng)離子蝕刻、光束蝕刻、光輔助蝕刻等物理蝕刻法、濕蝕刻等化學(xué)蝕刻法等中的1種或2種以上。此外，即使在以下各個(gè)步驟的蝕刻中也可以使用同樣的方法。
另外，在進(jìn)行上述這樣的蝕刻時(shí)，例如可適當(dāng)采用由光刻法形成的掩模。另外，可多次反復(fù)掩模形成、蝕刻、掩模去除，依次形成空洞部21和凹部22 24。并且，在蝕刻后去除該掩模。作為該掩模的去除方法，例如在掩模由抗蝕材料構(gòu)成的情況下，可使用抗蝕剝離液，在掩模由金屬材料構(gòu)成的情況下，可采用磷酸溶液這樣的金屬剝離液等。
此外，作為掩模例如可以采用灰度掩模，由此一起形成空洞部21和凹部22 24(深度不同的多個(gè)凹部)。
[3]
接著，如圖7(c)所示，在基板102A的上表面上形成導(dǎo)體圖形4。然后，在圖7(c) 中雖未圖示，但形成絕緣膜106A。
這里，絕緣膜106A經(jīng)過(guò)后述的單片化成為絕緣膜6。
以下，根據(jù)圖9對(duì)導(dǎo)體圖形4和絕緣膜106A的形成進(jìn)行詳細(xì)敘述。此外，在圖9 中有代表性地圖示基板102A與固定電極指391的接合部附近的導(dǎo)體圖形4和絕緣膜106A 的形成。
在形成導(dǎo)體圖形4時(shí)，首先如圖9 (a)所示在凹部22內(nèi)形成布線(xiàn)41，并且，在凹部 23內(nèi)形成布線(xiàn)42。此時(shí)，在圖9中雖未圖示，但在凹部M內(nèi)與布線(xiàn)41、42同時(shí)形成布線(xiàn) 43。
作為布線(xiàn)41、42、43的形成方法(成膜方法)，沒(méi)有特別地限定，例如，可舉出真空蒸鍍、濺射(低溫濺射)、離子鍍等干式電鍍法、電解電鍍、無(wú)電解電鍍等濕式電鍍法、溶射法、薄膜的接合等。此外，在以下各個(gè)步驟的成膜中也可以使用同樣的方法。
并且，如圖9(b)所示，在布線(xiàn)42上形成(成膜)多個(gè)突起472。此時(shí)，在圖9(b) 中雖未圖示，但在布線(xiàn)42上與突起472同時(shí)形成多個(gè)突起471和電極45。另外，在布線(xiàn)41 上與突起472同時(shí)形成多個(gè)突起481、多個(gè)突起482以及電極44。另外，在布線(xiàn)43上與突起472同時(shí)形成突起50和電極46。
接著，如圖9 (c)所示，在基板102A的上表面形成(成膜)絕緣膜106，以覆蓋布線(xiàn) 41,42 等。
接著，如圖9(d)所示，去除絕緣膜106的與各個(gè)突起472對(duì)應(yīng)的部分。另外，在圖 9(d)中雖未圖示，但還去除絕緣膜106的與各突起471、突起50以及電極44 46對(duì)應(yīng)的部分。由此，使電極44 46露出，并且獲得各突起471、472、50貫通的絕緣膜106A。
如以上這樣地獲得導(dǎo)體圖形4和絕緣膜106A。
[4]
接著，如圖7(d)所示，在基板102A的上表面利用陽(yáng)極接合法來(lái)接合第2基板即基板103。由此，連接基板103與各突起471、472、50。
該基板103經(jīng)過(guò)后述的薄壁化、構(gòu)圖以及單片化來(lái)構(gòu)成元件片3。
另外，基板103是硅基板。
另外，基板103的厚度比元件片3的厚度厚。由此，能夠提高基板103的使用性。此外，基板103的厚度可以與元件片3的厚度相同。在該情況下，省略后述的薄壁化步驟 [5]即可。
[5]
接著，使基板103薄壁化，如圖7(e)所示獲得基板103A。
為了使基板103A的厚度與元件片3的厚度相同，進(jìn)行該薄壁化。
另外，對(duì)基板103的薄壁化方法沒(méi)有特別地限定，但例如可適當(dāng)采用CMP法、干拋光法。
[6]
接著，通過(guò)對(duì)基板103A進(jìn)行蝕刻，如圖8(a)所示獲得元件片3。
[7]
接著，如圖8(b)所示，在基板102A的上表面接合具有凹部51的蓋部件105。由此，可獲得接合體101，該接合體101以收納元件片3的方式接合基板102A和蓋部件105。
該蓋部件105經(jīng)過(guò)后述的單片化，構(gòu)成蓋部件5。
[8]
接著，通過(guò)使接合體101單片化，如圖8(c)所示獲得功能元件1。
根據(jù)以上說(shuō)明的第1實(shí)施方式的功能元件1，由于多個(gè)第1固定電極指(固定電極指382、384、386、388、392、394、396、398)與多個(gè)第2固定電極指(固定電極指381、383、 385、387、391、393、395、397)相互電絕緣，因此，可分別測(cè)定第1固定電極指與可動(dòng)電極部 36、37之間的靜電電容、以及第2固定電極指與可動(dòng)電極部36、37的靜電電容，并根據(jù)它們的測(cè)定結(jié)果來(lái)高精度地檢測(cè)物理量。
另外，可從與絕緣基板2分體的基板形成(特別是一起形成)固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部34、35、多個(gè)固定電極指381 388、391 398以及多個(gè)可動(dòng)電極指361 365,371 375。因此，能夠使這些各可動(dòng)電極指和各固定電極指的厚度變厚，實(shí)現(xiàn)功能元件1的高靈敏度化。另外，能夠使固定部31、32、可動(dòng)部33以及連接部34、35的厚度變厚， 使功能元件1的耐沖擊性良好。
〈第2實(shí)施方式〉
接著，說(shuō)明本發(fā)明的功能元件的第2實(shí)施方式。
圖10是示出本發(fā)明第2實(shí)施方式的功能元件的俯視圖。
本實(shí)施方式的功能元件除了固定電極部的結(jié)構(gòu)不同以外，都與上述第1實(shí)施方式的功能元件相同。
此外，在以下的說(shuō)明中，關(guān)于第2實(shí)施方式的功能元件，以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，針對(duì)同樣的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。另外，在圖10中對(duì)與上述第1實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注同一符號(hào)。
本實(shí)施方式的功能元件IA在絕緣基板2的上表面接合元件片3A。
元件片3A由固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部；34、35、可動(dòng)電極部36、37以及固定電極部38A、39A構(gòu)成。
固定電極部38A具有基部389，該基部389同隔開(kāi)間隔與可動(dòng)電極部36的多個(gè)可動(dòng)電極指361 365嚙合的排列成梳齒狀的多個(gè)固定電極指381A 388A和固定電極指 382A、384A、386A、388A —體地形成。
這樣的多個(gè)固定電極指38IA 388A的可動(dòng)部33相反側(cè)的端部和基部389分別相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與+Y方向側(cè)的部分接合。并且，將各固定電極指381A 388A的固定側(cè)端作為固定端，將自由端向-Y方向延伸。
該固定電極指38ΙΑ、382A、383A、384A、385A、386A、387A、388A 從-X 方向側(cè)向 +X 方向側(cè)依次排列。并且，固定電極指381A、382A以面對(duì)的方式設(shè)置在上述可動(dòng)電極指361、362 之間，固定電極指383A、384A以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指362、363之間，固定電極指 385A、386A以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指363、364之間，固定電極指387A、388A以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指364、365之間。
這里，固定電極指382A、384A、386A、388A分別是第1固定電極指，固定電極指 381A、383A、385A、387A分別是在絕緣基板2上隔著空隙與該第1固定電極指相離的第2固定電極指。這樣，多個(gè)固定電極指381A 388A由交替排列的多個(gè)第1固定電極指和多個(gè)第2固定電極指構(gòu)成。
同樣，固定電極部39A具有基部399，該基部399同隔開(kāi)間隔與上述可動(dòng)電極部37 的多個(gè)可動(dòng)電極指371 375嚙合的排列成梳齒狀的多個(gè)固定電極指391A 398A和固定電極指392A、394A、396A、398A —體地形成。這樣的多個(gè)固定電極指391A 398A的可動(dòng)部 33相反側(cè)的端部和基部399分別相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與-Y方向側(cè)的部分接合。并且，將各固定電極指391A 398A的固定側(cè)端作為固定端，將自由端向+Y方向延伸。
該固定電極指39ΙΑ、392A、393A、394A、395A、396A、397A、398A 從-X 方向側(cè)向 +X 方向側(cè)依次排列。并且，固定電極指391A、392A以面對(duì)的方式設(shè)置在上述可動(dòng)電極指371、372 之間，固定電極指393A、394A以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指372、373之間，固定電極指 395A、396A以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指373、374之間，固定電極指397A、398A以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指374、375之間。
這里，固定電極指392A、394A、396A、398A分別是第1固定電極指，固定電極指 391A、393A、395A、397A分別是在絕緣基板2上隔開(kāi)空隙與該第1固定電極指相離的第2固定電極指。這樣，多個(gè)固定電極指391A 398A由交替排列的多個(gè)第1固定電極指和多個(gè)第2固定電極指構(gòu)成。
在這樣的元件片3A中，第1固定電極指即固定電極指382A、384A、386A、388A從基部389突出而一體地形成。由此，能夠減小固定電極指382A、384A、386A、388A之間的電阻。 結(jié)果，能夠提高功能元件IA的檢測(cè)精度。同樣，第1固定電極指即固定電極指392A、394A、 396A、398A從基部399突出而一體地形成。由此，能夠減小固定電極指392A、394A、396A、 398A之間的電阻。結(jié)果，能夠提高功能元件IA的檢測(cè)精度。
即使通過(guò)以上說(shuō)明的第2實(shí)施方式的功能元件1A，也能夠與上述第1實(shí)施方式的功能元件1同樣地實(shí)現(xiàn)高靈敏度化，并且使耐沖擊性良好。
〈第3實(shí)施方式〉
接著，說(shuō)明本發(fā)明的功能元件的第3實(shí)施方式。
圖11是示出本發(fā)明第3實(shí)施方式的功能元件的俯視圖，圖12是圖11所示的功能元件的部分放大剖視圖。
本實(shí)施方式的功能元件除了固定電極部的結(jié)構(gòu)不同以外，都與上述第1實(shí)施方式的功能元件相同。
此外，在以下的說(shuō)明中關(guān)于第3實(shí)施方式的功能元件以與上述實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，針對(duì)同樣的事項(xiàng)省略其說(shuō)明。另外，在圖11、12中，對(duì)與上述第1實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注同一符號(hào)。
本實(shí)施方式的功能元件IB在絕緣基板2的上表面接合元件片:3B。
元件片;3B由固定部31、32、可動(dòng)部33、連接部；34、35、可動(dòng)電極部36、37以及固定電極部38B、39B構(gòu)成。
固定電極部38B具有隔開(kāi)間隔與可動(dòng)電極部36的多個(gè)可動(dòng)電極指361 365嚙合的排列成梳齒狀的多個(gè)固定電極指381B 388B。
這樣的多個(gè)固定電極指381B 388B的可動(dòng)部33相反側(cè)的端部分別相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與+Y方向側(cè)的部分接合。并且，將各固定電極指381B 388B 的固定側(cè)端作為固定端，將自由端向-Y方向延伸。
該固定電極指381B、382B、383B、384B、385B、386B、387B、388B 從-X 方向側(cè)向 +X 方向側(cè)依次排列。并且，固定電極指381B、382B以面對(duì)的方式設(shè)置在上述可動(dòng)電極指361、362 之間，固定電極指38!3B、384B以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指362、363之間，固定電極指 385B.386B以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指363、364之間，固定電極指387B、388B以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指364、365之間。
這里，固定電極指382B、384B、386B、388B分別是第1固定電極指，固定電極指 381B、383B、385B、387B分別是在絕緣基板2上隔開(kāi)空隙與該第1固定電極指相離的第2固定電極指。這樣，多個(gè)固定電極指381B 388B由交替排列的多個(gè)第1固定電極指和多個(gè)第2固定電極指構(gòu)成。
尤其，在第1固定電極指即各固定電極指382B、384B、386B、388B中設(shè)置有在其厚度方向貫通的第1導(dǎo)體部即導(dǎo)體部73。各固定電極指382B、384B、386B、388B經(jīng)由該導(dǎo)體部 73與布線(xiàn)41電連接。另外，在第2固定電極指即各固定電極指381B、383B、385B、387B中設(shè)置有在其厚度方向貫通的第2導(dǎo)體部即導(dǎo)體部71。各固定電極指381B、383B、385B、387B 經(jīng)由該導(dǎo)體部71與布線(xiàn)42電連接。
同樣，固定電極部39B具有隔開(kāi)間隔與上述可動(dòng)電極部37的多個(gè)可動(dòng)電極指 371 375嚙合的排列成梳齒狀的多個(gè)固定電極指391B 398B。這樣的多個(gè)固定電極指 391B 398B的可動(dòng)部33相反側(cè)的端部分別相對(duì)于絕緣基板2上表面的空洞部21與-Y方向側(cè)的部分接合。并且，將各固定電極指391B 398B的固定側(cè)端作為固定端，將自由端向 +Y方向延伸。
該固定電極指391B、392B、393B、394B、395B、396B、397B、398B 從-X 方向側(cè)向 +X 方向側(cè)依次排列。并且，固定電極指391B、392B以面對(duì)的方式設(shè)置在上述可動(dòng)電極指371、372 之間，固定電極指39!3B、394B以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指372、373之間，固定電極指 395B.396B以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指373、374之間，固定電極指397B、398B以面對(duì)的方式設(shè)置在可動(dòng)電極指374、375之間。
這里，固定電極指392B、394B、396B、398B分別是第1固定電極指，固定電極指 391B、393B、395B、397B分別是在絕緣基板2上隔開(kāi)空隙與該第1固定電極指相離的第2固定電極指。這樣，多個(gè)固定電極指391B 398B由交替排列的多個(gè)第1固定電極指和多個(gè)第2固定電極指構(gòu)成。
尤其，在第1固定電極指即各固定電極指392B、394B、396B、398B中設(shè)置有在其厚度方向貫通的第1導(dǎo)體部即導(dǎo)體部74。各固定電極指392B、394B、396B、398B經(jīng)由該導(dǎo)體部 74與布線(xiàn)41電連接。另外，在第2固定電極指即各固定電極指391B、393B、395B、397B中設(shè)置有在其厚度方向貫通的第2導(dǎo)體部即導(dǎo)體部72。各固定電極指391B、393B、395B、397B 經(jīng)由該導(dǎo)體部72與布線(xiàn)42電連接。
這里，對(duì)導(dǎo)體部71 74進(jìn)行具體說(shuō)明。此外，導(dǎo)體部71 74是相互同樣的結(jié)構(gòu)， 因此，將設(shè)置在固定電極指391B上的導(dǎo)體部71作為代表進(jìn)行說(shuō)明。
如圖12所示，在固定電極指391B中形成在其厚度方向貫通的貫通孔3911。該貫通孔3911形成在與布線(xiàn)42上的突起472對(duì)應(yīng)的位置，在貫通孔3911的內(nèi)周面上和突起 472上形成有導(dǎo)體部71。
通過(guò)設(shè)置這樣的導(dǎo)體部71 74，使第1固定電極指即各固定電極指382、384、 386、388、392、394、396、398與第1布線(xiàn)即布線(xiàn)41的電連接、以及第2固定電極指即各固定電極指381、383、385、387、391、393、395、397與第2布線(xiàn)即布線(xiàn)42的電連接更可靠。
可通過(guò)采用上述的成膜方法來(lái)形成這樣的導(dǎo)體部71 74。
即使利用以上說(shuō)明的第3實(shí)施方式的功能元件1B，也能夠與上述第1實(shí)施方式的功能元件1同樣地實(shí)現(xiàn)高靈敏度化，并且使耐沖擊性良好。
(物理量傳感器)
接著，根據(jù)圖13說(shuō)明使用本發(fā)明的功能元件的物理量傳感器。
圖13是示出本發(fā)明的物理量傳感器的一例的示意圖。
圖13所示的物理量傳感器200具有上述的功能元件1和與功能元件1電連接的電子部件201。
電子部件201例如是集成電路元件(IC)，具有驅(qū)動(dòng)功能元件1的功能。通過(guò)在該電子部件201中形成角速度檢測(cè)電路和加速度檢測(cè)電路，可將物理量傳感器200構(gòu)成為陀螺傳感器或加速度傳感器。
此外，在圖13中圖示了物理量傳感器200具有1個(gè)功能元件1的情況，但物理量傳感器200也可以具有多個(gè)功能元件1。另外，物理量傳感器200也可以具有功能元件1和結(jié)構(gòu)與功能元件1不同的功能元件。
這樣的物理量傳感器200由于具有靈敏度和耐沖擊性良好的功能元件1，因此具有良好的可靠性。
(電子設(shè)備)
接著，說(shuō)明本發(fā)明的電子設(shè)備。
圖14是示出已應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或筆記本型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具有鍵盤(pán)1102的主體部1104和顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106相對(duì)于主體部1104可經(jīng)由鉸鏈構(gòu)造部轉(zhuǎn)動(dòng)地進(jìn)行支持。
在這樣的個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中內(nèi)置有功能元件1。
圖15是示出已應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)電話(huà)機(jī)(還包含PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
在該圖中，移動(dòng)電話(huà)機(jī)1200具有天線(xiàn)(未圖示)、多個(gè)操作按鈕1202、受話(huà)口 1204 以及送話(huà)口 1206，在操作按鈕1202與受話(huà)口 1204之間配置有顯示部。
這樣的移動(dòng)電話(huà)機(jī)1200內(nèi)置有功能元件1。
圖16是示出已應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。此外，在該圖中簡(jiǎn)易地示出與外部設(shè)備的連接。
這里，通常的照相機(jī)利用被攝體的光像對(duì)銀鹽寫(xiě)真膜進(jìn)行感光，與之相對(duì)，數(shù)碼相機(jī)1300通過(guò)CCD (Charge Coupled Device :電荷耦合器)等攝像元件對(duì)被攝體的光像進(jìn)行光電變換來(lái)生成攝像信號(hào)(圖像信號(hào))。
在數(shù)碼相機(jī)1300中的殼體(機(jī)體)1302的背面設(shè)置有顯示部，根據(jù)CXD的攝像信號(hào)進(jìn)行顯示，顯示部作為接眼窗發(fā)揮功能，該接眼窗將被攝體作為電子圖像進(jìn)行顯示。
另外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設(shè)置有包含光學(xué)鏡頭(攝像光學(xué)系統(tǒng))、CXD等的受光單元1304。
當(dāng)攝影者確認(rèn)顯示在顯示部的被攝體像并按下快門(mén)按鈕1306時(shí)，將此時(shí)的CXD的攝像信號(hào)傳送并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器1308內(nèi)。
另外，在該數(shù)碼相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有視頻信號(hào)輸出端子1312 和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。并且，如圖所示，根據(jù)需要在視頻信號(hào)輸出端子1312 上連接電視監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。此外，通過(guò)規(guī)定的操作，將存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器1308的攝像信號(hào)輸出到電視監(jiān)視器1430、個(gè)人計(jì)算機(jī)1440中。
在這樣的數(shù)碼相機(jī)1300中內(nèi)置有功能元件1。
這樣的電子設(shè)備具有高靈敏度和耐沖擊性良好的功能元件1，因此具有良好的可靠性。
此外，本發(fā)明的電子設(shè)備除了圖14的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖15的移動(dòng)電話(huà)機(jī)、圖16的數(shù)碼相機(jī)之外，例如還可以應(yīng)用于噴墨式排出裝置(例如噴墨打印機(jī))、掌上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車(chē)導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(帶有通信功能)、電子詞典、電子計(jì)算機(jī)、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、電視電話(huà)、防犯用電視監(jiān)視器、電子望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖測(cè)量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚(yú)群探知機(jī)、各種測(cè)定設(shè)備、計(jì)量?jī)x器類(lèi)(例如，車(chē)輛、飛機(jī)、船舶的計(jì)量?jī)x器類(lèi))、飛行模擬器等。
以上，根據(jù)圖示的實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明的功能元件、功能元件的制造方法、物理量傳感器以及電子設(shè)備，但本發(fā)明不僅限于此。
例如，關(guān)于固定電極部，只要排列成梳齒狀的多個(gè)固定電極指的至少1個(gè)固定電極指與其它固定電極指在絕緣基板上分離即可，則不限于上述實(shí)施方式。
另外，固定電極部的多個(gè)固定電極指和被設(shè)置為與其嚙合的可動(dòng)電極部的多個(gè)可動(dòng)電極指的個(gè)數(shù)、配置以及大小等的形式不限于上述實(shí)施方式。
另外，可以構(gòu)成為使可動(dòng)部在Y軸方向位移，或者也可以構(gòu)成為使可動(dòng)部繞與X軸平行的軸線(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)。在該情況下，只要根據(jù)可動(dòng)電極指與固定電極指的相對(duì)面積變化引起的靜電電容變化來(lái)檢測(cè)物理量即可。
另外，在上述實(shí)施例中，說(shuō)明了將功能元件1用作物理量傳感器元件的情況，但不限于物理量傳感器元件，還可以采用本發(fā)明的功能元件作為諧振子，該諧振子例如對(duì)固定電極指與可動(dòng)電極指施加不同的電壓，借助庫(kù)侖力來(lái)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)電極指，由此以固有頻率振蕩。
權(quán)利要求
1.一種功能元件，其特征在于，該功能元件具有 絕緣基板；可動(dòng)部；可動(dòng)電極指，其設(shè)置在上述可動(dòng)部上；以及固定電極指，其設(shè)置在上述絕緣基板上，并且與上述可動(dòng)電極指相對(duì)地配置， 上述固定電極指包含配置在上述可動(dòng)電極指的一側(cè)的第1固定電極指和配置在另一側(cè)的第2固定電極指，上述第1固定電極指與上述第2固定電極指相互離開(kāi)地配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 在上述絕緣基板上設(shè)置有固定部，上述可動(dòng)部經(jīng)由連接部與上述固定部連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于，在上述絕緣基板上設(shè)置有與上述第1固定電極指電連接的第1布線(xiàn)以及與上述第2固定電極指電連接的第2布線(xiàn)中的至少一個(gè)布線(xiàn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于， 在上述絕緣基板上設(shè)置有凹部，上述布線(xiàn)設(shè)置在上述凹部?jī)?nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的功能元件，其特征在于，上述第1固定電極指和上述第2固定電極指中的至少一方經(jīng)由具有導(dǎo)電性的突起與上述布線(xiàn)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于， 上述布線(xiàn)具有設(shè)置有絕緣膜的部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于，在上述第1固定電極指和上述第2固定電極指中的至少一方上設(shè)置有在厚度方向貫通的導(dǎo)體部，上述導(dǎo)體部與上述布線(xiàn)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的功能元件，其特征在于， 上述布線(xiàn)由透光性的電極材料構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 上述絕緣基板由含有堿金屬離子的材料構(gòu)成， 上述固定電極指由半導(dǎo)體構(gòu)成，上述固定電極指通過(guò)陽(yáng)極接合法與上述絕緣基板接合。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于， 上述固定電極指由單一的部件構(gòu)成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功能元件，其特征在于，分別設(shè)置有多個(gè)上述第1固定電極指和上述第2固定電極指，一體地設(shè)置上述第1固定電極指彼此和上述第2固定電極指彼此中的至少一方。
12.—種功能元件的制造方法，其特征在于，該功能元件的制造方法具有以下步驟 在第1基板上形成空洞部；在上述第1基板上載置第2基板；以及通過(guò)蝕刻上述第2基板，形成固定部、可動(dòng)部、連接部以及固定電極指，其中，上述固定部設(shè)置在上述第1基板上，上述可動(dòng)部具有可動(dòng)電極指，并且配置在上述空洞部上，上述連接部連接上述可動(dòng)部和上述固定部，上述固定電極指設(shè)置在上述第1基板上，并且與上述可動(dòng)電極指相對(duì)地配置。
13.—種物理量傳感器，其特征在于，該物理量傳感器具有權(quán)利要求1所述的功能元件。
14.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1所述的功能元件。
全文摘要
功能元件及其制造方法、物理量傳感器以及電子設(shè)備。本發(fā)明提供一種實(shí)現(xiàn)了高靈敏度化、制造效率的改善、低成本化、高可靠性化中的至少一個(gè)的功能元件、功能元件的制造方法、物理量傳感器以及電子設(shè)備。本發(fā)明的功能元件(1)具有絕緣基板(2)、可動(dòng)部(33)、設(shè)置在可動(dòng)部(33)上的可動(dòng)電極指(361～365)、以及設(shè)置在絕緣基板(2)上且與可動(dòng)電極指(361～365)相對(duì)地配置的固定電極指(381～388)，固定電極指(381～388)包含配置在可動(dòng)電極指(361～365)的一側(cè)的第1固定電極指(382、384、386、388)和配置在另一側(cè)的第2固定電極指(381、383、385、387)，第1固定電極指與第2固定電極指相互離開(kāi)地配置。
文檔編號(hào)G01D5/12GK102538830SQ20111034007
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者與田光宏, 山崎成二, 河野秀逸, 高木成和 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社