專利名稱：陣列測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)試玻璃面板的陣列測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
一般來(lái)說(shuō)，平板顯示器(FPD)是比具有布勞恩管(Braim Tube)的電視機(jī)或顯示器更輕更薄的圖像顯示設(shè)備。液晶顯示器(IXD)、等離子體顯示面板(PDP)、場(chǎng)致發(fā)射顯示器(FED)以及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)是已開發(fā)并使用的平板顯示器的代表性實(shí)例。這些FPD中的IXD是以向排列為矩陣形狀的液晶單元獨(dú)立地提供基于圖像信息的數(shù)據(jù)信號(hào)、并且因此控制液晶單元的透光性的方式來(lái)顯示期望圖像的圖像顯示設(shè)備。IXD薄且輕，而且還具有包括功耗低和操作電壓低在內(nèi)的許多其它優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛地使用。下面將詳細(xì)描述用在這種LCD中的液晶面板的典型制造方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色濾光片和共用電極。之后，在對(duì)應(yīng)于上玻璃面板的下玻璃面板上形成薄膜晶體管(TFT)和像素電極。其后，將配向膜分別施加至上玻璃面板和下玻璃面板。之后，摩擦配向膜，以便為后來(lái)將要形成在配向膜之間的液晶層中的液晶分子提供預(yù)傾角和配向方向。此后，通過(guò)將密封膠涂布至玻璃面板中的至少一個(gè)來(lái)形成密封膠圖案，以保持玻璃面板之間的間隙、防止液晶漏出、并且密封玻璃面板之間的空間。其后，在玻璃面板之間形成液晶層，從而完成液晶面板。在上述過(guò)程中，測(cè)試具有TFT和像素電極的下玻璃面板(下文中稱為“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通過(guò)例如檢測(cè)柵極線或數(shù)據(jù)線是否斷開連接、或檢測(cè)像素單元是否顯色不佳來(lái)實(shí)現(xiàn)的。典型地，使用具有多個(gè)探針引腳的陣列測(cè)試裝置來(lái)測(cè)試玻璃面板。利用陣列測(cè)試裝置來(lái)測(cè)試玻璃面板包括將探針引腳定位于與形成在玻璃面板上的電極相對(duì)應(yīng)的位置、在壓力下將探針引腳與電極接觸、然后通過(guò)探針引腳將電信號(hào)施加至電極。然而，當(dāng)將探針引腳按壓在電極上時(shí)，可能由探針引腳與電極之間的摩擦而產(chǎn)生細(xì)小的顆粒，這些細(xì)小的顆?；蚩赡軄?lái)自探針引腳或可能來(lái)自電極。另外，當(dāng)電信號(hào)從探針引腳施加至相應(yīng)電極時(shí)，可能在探針引腳與相應(yīng)電極之間產(chǎn)生放電現(xiàn)象。由于放電現(xiàn)象，探針引腳或電極可能產(chǎn)生細(xì)小的顆粒。這樣的顆?？赡芊恋K探針引腳與電極之間的電傳輸。此外，這些顆?？赡苷掣降讲Ａ姘迳系钠渌考?，從而導(dǎo)致電誤差。

發(fā)明內(nèi)容
因此，針對(duì)以上在現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)生的問(wèn)題提出本發(fā)明，本發(fā)明的目的是提供一種陣列測(cè)試裝置，其能夠去除在探針引腳按壓到玻璃面板的相應(yīng)電極上時(shí)、或在電信號(hào)從探針引腳施加至電極時(shí)可能產(chǎn)生的顆粒。為了實(shí)現(xiàn)以上的目的，本發(fā)明提供一種陣列測(cè)試裝置，包括探針組件，所述探針組件安裝在用于支撐所述探針組件的探針組件支撐框架上；探針棒，所述探針棒設(shè)置在探針組件上，探針棒設(shè)置有將電信號(hào)施加至玻璃面板的電極的探針引腳；以及顆粒去除單元，所述顆粒去除單元設(shè)置在所述探針棒的預(yù)定側(cè)面上，顆粒去除單元去除探針引腳與玻璃面板的電極之間產(chǎn)生的顆粒。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置設(shè)置有顆粒去除單元，所述顆粒去除單元去除探針引腳與玻璃面板的電極之間產(chǎn)生的顆粒。因此，本發(fā)明可以解決顆粒妨礙探針引腳與電極之間的電傳輸?shù)膯?wèn)題，以及由粘附到玻璃面板上的其他部件的顆粒所引起的電誤差的問(wèn)題。


由以下結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，可以更加清晰地理解本發(fā)明前述的和其它的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的立體圖；圖2是圖1的陣列測(cè)試裝置的探針組件的立體圖；圖3和圖4是示出設(shè)置在圖2的探針組件中的顆粒去除單元的立體圖；圖5是示出設(shè)置有圖3的顆粒去除單元的陣列測(cè)試裝置的立體圖；圖6至圖8是示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的顆粒去除單元的圖；圖9至圖11是示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的顆粒去除單元的圖；以及圖12至圖14是示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的顆粒去除單元的圖。
具體實(shí)施例方式下文將參照附圖詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置的優(yōu)選實(shí)施方式。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置包括將玻璃面板P加載到裝置上的加載單元10、測(cè)試由加載單元10所加載的玻璃面板P的測(cè)試單元20、以及將已由測(cè)試單元20測(cè)試的玻璃面板P從裝置卸載的卸載單元30。測(cè)試單元20測(cè)試玻璃面板P的電缺陷。測(cè)試單元20包括透光支撐板21、測(cè)試模塊22、探針組件23以及控制單元(未示出)。由加載單元10加載的玻璃面板P放置在透光支撐板21上。測(cè)試模塊22測(cè)試置于透光支撐板21上的玻璃面板P的電缺陷。探針組件23向置于透光支撐板21上的玻璃面板P的電極E施加電信號(hào)?？刂茊卧刂茰y(cè)試模塊22和探針組件23。如圖2所示，探針組件支撐框架50設(shè)置在透光支撐板21上方，并沿著透光支撐板21的縱向(X軸)方向延伸預(yù)定長(zhǎng)度。探針組件23安裝在探針組件支撐框架50上，以便能夠沿探針組件支撐框架50的縱向(X軸)方向移動(dòng)。探針組件23包括探針棒70、升降單元80、以及顆粒去除單元90 (見圖幻。探針棒70設(shè)置有多個(gè)探針引腳60 (見圖幻。升降單元80沿Z軸方向移動(dòng)探針棒70。顆粒去除單元90設(shè)置在探針棒70的預(yù)定側(cè)面上，以去除探針引腳60與玻璃面板P的電極E之間產(chǎn)生的顆粒。探針組件支撐框架50連接至Y軸驅(qū)動(dòng)單元51，使得探針組件支撐框架50能夠借
4助于Y軸驅(qū)動(dòng)單元51而沿水平地垂直于探針組件支撐框架50的縱向(X軸)方向的(Y軸)方向移動(dòng)。此外，探針組件支撐框架50與探針組件23之間設(shè)置有X軸驅(qū)動(dòng)單元52。X軸驅(qū)動(dòng)單元52沿探針組件支撐框架50的縱向方向移動(dòng)探針組件23?？梢允褂弥T如線性馬達(dá)、滾珠絲杠等的各種線性驅(qū)動(dòng)裝置作為Y軸驅(qū)動(dòng)單元51和/或X軸驅(qū)動(dòng)單元52。升降單元80設(shè)置在探針組件23上并且連接至探針棒70。例如，使用液壓的致動(dòng)器、使用電力的線性馬達(dá)等的各種裝置可以用作升降單元，只要它可以沿Z軸方向上下移動(dòng)探針棒70。升降單元80的作用是向下移動(dòng)探針棒70以使探針引腳60按壓置于透光支撐板21上的玻璃面板P的相應(yīng)電極E。如圖3所示，顆粒去除單元90包括磁性構(gòu)件91，磁性構(gòu)件91產(chǎn)生磁力并且鄰近探針引腳60設(shè)置在探針棒70面向玻璃面板P的表面上。如圖3所示，磁性構(gòu)件91可以設(shè)置在探針棒70的下表面上。替代地，如圖4所示，磁性構(gòu)件91可以設(shè)置在探針棒70的側(cè)表面上。每個(gè)磁性構(gòu)件91可以包括永磁鐵，或替代地可以包括連接至電源(未示出)的電磁鐵。磁性構(gòu)件91的作用是，當(dāng)探針引腳60按壓相應(yīng)電極E時(shí)、或當(dāng)電信號(hào)經(jīng)由探針引腳60施加至電極E時(shí)，利用磁力來(lái)吸引從探針引腳60和/或電極E產(chǎn)生的顆粒。在每個(gè)磁性構(gòu)件91包括電磁鐵的情況下，如圖5所示，可以將收集容器92在探針組件23可以接近收集容器92的位置處安裝在探針組件支撐框架50的側(cè)面。收集容器92的作用是接收由磁性構(gòu)件91所保持的并且從磁性構(gòu)件91上去除的那些顆粒。在此構(gòu)造中，在將探針引腳60按壓到相應(yīng)電極E上的過(guò)程中、或在電信號(hào)經(jīng)由探針引腳60施加至電極E的過(guò)程中，電力連接至磁性構(gòu)件91使得顆?？梢员晃酱判詷?gòu)件91。在完成將電信號(hào)施加至電極E的過(guò)程之后，探針組件23移至收集容器92。隨后，當(dāng)中斷施加至磁性構(gòu)件91的電力時(shí)，由磁性構(gòu)件91所保持的顆粒從磁性構(gòu)件91上去除，并且收集在收集容器92中?，F(xiàn)在將說(shuō)明具有上述結(jié)構(gòu)的根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的操作。首先，玻璃面板P由加載單元10加載到透光支撐板21上。隨后，探針組件23向玻璃面板P的電極E施加電信號(hào)，以能夠利用測(cè)試單元20測(cè)試玻璃面板P的電缺陷。在探針組件23向玻璃面板P的電極E施加電信號(hào)之前，探針組件23可以借助于探針組件支撐框架50沿Y軸方向移動(dòng)，也可以借助于X軸驅(qū)動(dòng)單元52沿X軸方向移動(dòng)，其中探針組件支撐框架50借助于Y軸驅(qū)動(dòng)單元51沿Y軸方向移動(dòng)。通過(guò)沿X軸和/或Y軸方向移動(dòng)，探針組件23移動(dòng)到玻璃面板P上形成有電極E的部分。由此，將設(shè)置在探針棒70上的探針引腳60鄰近玻璃面板P的電極E放置。之后，探針棒70通過(guò)升降單元80的操作向下移動(dòng)，使得從探針棒70向下突伸的探針引腳60按壓相應(yīng)的電極E。在此狀態(tài)下，當(dāng)電信號(hào)經(jīng)由從探針棒70向下突伸的探針引腳60而施加至電極E時(shí)，測(cè)試單元20的測(cè)試模塊22操作以測(cè)試玻璃面板P的電缺陷。在此，由于探針引腳60與電極E之間的物理接觸或電接觸而從探針引腳60和/或電極E產(chǎn)生顆粒?？梢酝ㄟ^(guò)使顆粒吸附到磁性構(gòu)件91而從探針引腳60或玻璃面板P去除這樣的顆粒。在每個(gè)磁性構(gòu)件91使用電磁鐵的情況下，在完成將電信號(hào)施加至電極E的過(guò)程之后，探針組件23移動(dòng)以使磁性構(gòu)件91直接置于收集容器92上方。之后中斷施加至磁性構(gòu)件91的電力，使得吸附到磁性構(gòu)件91的顆粒從磁性構(gòu)件91上去除，并且收集在收集容器92中。如上所述，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置包括顆粒去除單元90，顆粒去除單元90去除探針引腳60與玻璃面板P的電極E之間產(chǎn)生的顆粒。因此，本發(fā)明可以解決顆粒妨礙探針引腳60與電極E之間的電傳輸?shù)膯?wèn)題，以及顆粒粘附到玻璃面板P上的其他部件而引起電誤差的問(wèn)題。下文將參照?qǐng)D6至圖8具體說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第二實(shí)施方式的說(shuō)明中，相同的參考標(biāo)記將用來(lái)標(biāo)示與第一實(shí)施方式中相同的部件，并省略對(duì)其不必要的進(jìn)一步說(shuō)明。如圖6至圖8所示，在根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，去除探針引腳60與玻璃面板P的電極E之間的顆粒的顆粒去除單元90包括設(shè)置在探針棒70的預(yù)定側(cè)面上的磁性構(gòu)件91、以及朝玻璃面板P吹氣的吹氣單元92。吹氣單元92包括排出口 921、通道922和氣體供應(yīng)單元923。排出口 921形成在探針棒70面向玻璃面板P的表面中。氣體從排出口 921朝玻璃面板P排出。通道922與排出口 921相連通并且沿探針棒70的縱向方向延伸。氣體供應(yīng)單元923與通道922相連通并且為排出口 921供應(yīng)氣體。通道922可以形成在探針棒70中。從氣體供應(yīng)單元923提供的氣體可以是空氣或惰性氣體。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，如圖8所示，顆粒去除單元90設(shè)置有朝向玻璃面板P排出氣體的吹氣單元92。因此，粘附到探針引腳60或電極E上的顆?？梢越柚谂懦龅臍怏w而從探針引腳60或電極E上分離，使得磁性構(gòu)件91可以容易地保持顆粒。下文將參照?qǐng)D9至圖11具體說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第三實(shí)施方式的說(shuō)明中，相同的參考標(biāo)記將用來(lái)標(biāo)示與第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式中相同的部件，并省略對(duì)其不必要的進(jìn)一步說(shuō)明。如圖9至圖11所示，在根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，去除探針引腳60與玻璃面板P的電極E之間的顆粒的顆粒去除單元90包括顆粒吸入單元93，顆粒吸入單元93吸入粘附到探針引腳60或玻璃面板P的電極E上的顆粒。顆粒吸入單元93包括吸入口 931、通道932和負(fù)壓供應(yīng)源933。吸入口 931形成在探針棒70面向玻璃面板P的表面中，使顆粒吸入到吸入口 931中。通道932與吸入口 931相連通并且沿探針棒70的縱向方向延伸。負(fù)壓供應(yīng)源933與通道932相連通。通道932可以形成在探針棒70中。優(yōu)選地，過(guò)濾器934設(shè)置在通道932與負(fù)壓供應(yīng)源933之間，以過(guò)濾吸入到吸入口 931中的顆粒。如上所述，在根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，當(dāng)探針引腳60與電極E之間發(fā)生物理接觸或電接觸時(shí)，可以通過(guò)顆粒吸入單元93去除由探針引腳60和/或電極E所產(chǎn)生的顆粒。下文將參照?qǐng)D12至圖14具體說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第四實(shí)施方式的說(shuō)明中，相同的參考標(biāo)記將用來(lái)標(biāo)示與第一至第三實(shí)施方式中相同的部件，并省略對(duì)其不必要的進(jìn)一步說(shuō)明。如圖12至圖14所示，在根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，去除探針引腳60與玻璃面板P的電極E之間的顆粒的顆粒去除單元90包括吹氣單元92，吹氣單元92朝向玻璃面板P吹氣；以及顆粒吸入單元93，顆粒吸入單元93吸入粘附到探針引腳60或玻璃面板P的電極E的顆粒。
在根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，當(dāng)顆粒吸入單元93吸入顆粒以去除它們時(shí)，吹氣單元92吹氣以使顆粒從探針引腳60或電極E分開，使得可以易于將顆粒吸入到吸入口 931中。因此，可以更有效地去除粘附到探針引腳60或電極E上的顆粒。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置設(shè)置有顆粒去除單元90，顆粒去除單元90去除探針引腳60與玻璃面板P的電極E之間產(chǎn)生的顆粒，從而解決顆粒妨礙探針引腳60與電極E之間的電傳輸?shù)膯?wèn)題，以及顆粒粘附到玻璃面板P上的其他部件而引起電誤差的問(wèn)題。本發(fā)明實(shí)施方式中所描述的技術(shù)主旨可以獨(dú)立地實(shí)施，或者也可以結(jié)合。另外，根據(jù)本發(fā)明的探針組件不僅可以用在向玻璃面板的電極施加電信號(hào)的裝置中，也可以用在向各種基板的電極施加電信號(hào)以測(cè)試其缺陷的裝置中。
權(quán)利要求
1.一種陣列測(cè)試裝置，包括探針組件，所述探針組件安裝在用于支撐所述探針組件的探針組件支撐框架上，其中所述探針組件上設(shè)置有探針棒，所述探針棒設(shè)置有將電信號(hào)施加至玻璃面板的電極的探針引腳；以及在所述探針棒的預(yù)定側(cè)面上設(shè)置有顆粒去除單元，所述顆粒去除單元去除所述探針引腳與所述玻璃面板的電極之間產(chǎn)生的顆粒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述顆粒去除單元包括設(shè)置在所述探針棒的預(yù)定側(cè)面上的磁性構(gòu)件，所述磁性構(gòu)件產(chǎn)生磁力。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述磁性構(gòu)件包括電磁鐵。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述探針組件支撐框架的預(yù)定側(cè)面上設(shè)置有收集容器，所述收集容器接收從所述磁性構(gòu)件去除的顆粒。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述顆粒去除單元包括用于吹氣的吹氣單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述顆粒去除單元包括用于吸入顆粒的顆粒吸入單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述顆粒去除單元包括用于吹氣的吹氣單元。
全文摘要
本發(fā)明公開一種陣列測(cè)試裝置，所述陣列測(cè)試裝置的構(gòu)造為去除在探針引腳按壓到玻璃面板的相應(yīng)電極上時(shí)、或在電信號(hào)從探針引腳施加至電極時(shí)可能產(chǎn)生的顆粒。
文檔編號(hào)G01R1/073GK102568360SQ201110420099
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者樸廷喜 申請(qǐng)人:塔工程有限公司