專利名稱：基于慢光材料的雙頻激光干涉儀直線度測量裝置及測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及雙頻激光干涉儀直線度測量裝置。
背景技術(shù)：
雙頻激光干涉儀不僅具有較高的測量精度，還具有較好的抗干擾能力，可以用來測量精密測角。由于光在真空中傳播的速度是恒定的，而光在介質(zhì)中傳播的速度與介質(zhì)的折射率(色散)有關(guān)，折射率越高，傳播速度越慢。目前，雙頻激光干涉儀測量以線值表示的直線度的裝置如

圖1所示，雙頻激光干涉儀發(fā)出的雙頻激光經(jīng)λ/4波片1后將圓偏振光變成線偏振光，經(jīng)分束鏡2分成兩束，其中部分作為參考光入射至光電探測器7，另一束經(jīng)渥拉斯頓棱鏡3后被分成夾角θ角的兩束線偏振光，分別射向直線度測量附件雙面反射鏡4的兩翼，并原路返回，返回光在渥拉斯頓棱鏡3處重新匯合，經(jīng)分束鏡2和全反鏡5反射到減偏器6上，兩束光在檢偏器6處形成拍頻，采用光電探測器7探測形成的拍頻，從而獲得雙頻激光干涉儀的直線度。由于存在直線度誤差使雙面反射鏡由A點落下到B點，于是V1增加了 2 Δ光程，V2路減少了 2 Δ光程， 從而可以計算出直線度偏差引起的雙面反射鏡4的下落量為
權(quán)利要求
1.基于慢光材料的雙頻激光干涉儀直線度測量裝置，它包括λ/4波片(1)、分束鏡 (2)、渥拉斯頓棱鏡(3)、雙面反射鏡⑷、全反鏡(5)、減偏器(6)和光電探測器(7)，其特征是它還包括三角形慢光材料(10)，所述三角形慢光材料(10)將雙面反射鏡(4)中兩個反射鏡圍成的區(qū)域完全填充，形成帶有慢光材料雙面反射鏡；雙頻激光干涉儀發(fā)出的雙頻激光入射至λ/4波片(1)，經(jīng)λ/4波片(1)透射后獲得雙頻線偏振光，所述雙頻線偏振光經(jīng)分束鏡( 分束為一號雙頻入射光和二號雙頻入射光， 所述二號雙頻入射光射至全反鏡(5)，經(jīng)全反鏡( 反射后入射至減偏器(6)；一號雙頻入射光入射至渥拉斯頓棱鏡(3)，經(jīng)渥拉斯頓棱鏡C3)分束為線偏振光V1和線偏振光^，所述線偏振光^和線偏振光V2之間的夾角為θ，線偏振光V1和線偏振光V2分別入射至帶有慢光材料雙面反射鏡中的兩個反射鏡，經(jīng)帶有慢光材料雙面反射鏡中的兩個反射鏡反射后獲得與線偏振光V1入射方向相反一號反射光和與線偏振光V2入射方向相反二號反射光，所述一號反射光與二號反射光入射至渥拉斯頓棱鏡(3)，經(jīng)渥拉斯頓棱鏡(3) 合并獲得雙頻反射光，所述雙頻反射光經(jīng)分束鏡O)的反射面反射后入射至全反鏡(5)，經(jīng)全反鏡(5)反射至減偏器(6)，并在減偏器(6)處與雙頻參考光會聚并產(chǎn)生拍頻的會聚光， 所述拍頻的會聚光經(jīng)減偏器(6)透射后入射至光電探測器(7)的探測面上。
2.基于慢光材料的雙頻激光干涉儀直線度測量裝置，其特征在于三角形慢光材料 (10)的折射率為5。
3.采用權(quán)利要求1的基于慢光材料的雙頻激光干涉儀直線度測量方法，其特征是采用雙頻激光干涉儀發(fā)出雙頻激光入射至λ/4波片(1)，然后采集光電探測器(7)接收到的光強信號，根據(jù)公式
全文摘要
基于慢光材料的雙頻激光干涉儀直線度測量裝置及測量方法，涉及一種雙頻激光干涉儀直線度測量裝置及測量方法。它是為了解決現(xiàn)有的雙頻激光干涉儀直線度的探測靈敏度較低的問題。雙頻激光經(jīng)λ/4波片透射再經(jīng)分束鏡分束為兩束雙頻入射光，其中一束經(jīng)全反鏡和減偏器透射后獲得雙頻參考光并入射至光電探測器的探測面上；另一束入射經(jīng)渥拉斯頓棱鏡分束為線偏振光和線偏振光，并分別入射至帶有慢光材料雙面反射鏡中的兩個反射鏡，原路反射后經(jīng)渥拉斯頓棱鏡合并獲得雙頻反射光，再經(jīng)分束鏡、全反鏡、減偏器透射后入射至光電探測器的探測面，并在與雙頻參考光會聚并產(chǎn)生拍頻，光電探測器探測所述拍頻。本發(fā)明適用于電磁感應(yīng)透明技術(shù)和光譜燒孔技術(shù)。
文檔編號G01B11/27GK102538715SQ20111044822
公開日2012年7月4日 申請日期2011年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者劉國棟, 劉炳國, 宮娜, 莊志濤, 浦昭邦, 胡濤, 陳鳳東 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)