專利名稱：用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置。
背景技術(shù)：
三甲基鋁(TMAl)是LED外延生長(zhǎng)用非常重要的一種金屬有機(jī)化合物。其化學(xué)性質(zhì)非?；顫?，遇水爆炸、遇氧燃燒。所以必須在特定的氣氛中將其分解成性質(zhì)溫和的無(wú)機(jī)物才能進(jìn)入儀器進(jìn)行雜質(zhì)元素測(cè)定，根據(jù)方程式2 (CH3) 3A1+1202 = A1203+9H20+6C02 ；TMAl在少量空氣中會(huì)緩慢氧化成Al2O3，分解過(guò)程中會(huì)形成不同晶型的Al2O3，有些晶型的Al2O3無(wú)法完全溶解，從而造成分析結(jié)果的偏差。根據(jù)方程式(CH3) 3A1+3HC1 = A1C13+3CH4 ；采用HCl氣體與TMAl反應(yīng)生成可溶性的AlCl3,用于后續(xù)的雜質(zhì)元素分析。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種用HCl分解三甲基鋁樣品的裝置，用于TMAl中微量雜質(zhì)元素分析。本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置，特點(diǎn)是包括HCl氣體發(fā)生裝置和樣品分解室，高純氮?dú)獗Ｗo(hù)裝置連接HCl氣體發(fā)生裝置，HCl氣體發(fā)生裝置上安裝濃硫酸分液漏斗，HCl氣體發(fā)生裝置連通濃硫酸干燥瓶，濃硫酸干燥瓶連通樣品分解室，樣品分解室中設(shè)有取樣瓶，樣品分解室連通緩沖瓶，緩沖瓶連通NaOH溶液吸收罐。進(jìn)一步地，上述的用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置，其中， 所述樣品分解室為密閉的手套箱。本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)和進(jìn)步主要體現(xiàn)在采用HCl分解TMA1，形成可溶性的AlCl3,裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、分解速度快、反應(yīng)平和、 易于操作、分析結(jié)果重復(fù)性好。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作進(jìn)一步說(shuō)明

圖1 本實(shí)用新型的構(gòu)造示意圖。圖中各附圖標(biāo)記的含義見(jiàn)下表
權(quán)利要求1.用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置，其特征在于包括HCl氣體發(fā)生裝置和樣品分解室，高純氮?dú)獗Ｗo(hù)裝置連接HCl氣體發(fā)生裝置，HCl氣體發(fā)生裝置上安裝濃硫酸分液漏斗，HCl氣體發(fā)生裝置連通濃硫酸干燥瓶，濃硫酸干燥瓶連通樣品分解室，樣品分解室中設(shè)有取樣瓶，樣品分解室連通緩沖瓶，緩沖瓶連通NaOH溶液吸收罐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置，其特征在于所述樣品分解室為密閉的手套箱。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于三甲基鋁中微量雜質(zhì)分析的三甲基鋁HCl分解裝置，包括HCl氣體發(fā)生裝置和樣品分解室，高純氮?dú)獗Ｗo(hù)裝置連接HCl氣體發(fā)生裝置，HCl氣體發(fā)生裝置上安裝濃硫酸分液漏斗，HCl氣體發(fā)生裝置連通濃硫酸干燥瓶，濃硫酸干燥瓶連通樣品分解室，樣品分解室中設(shè)有取樣瓶，樣品分解室連通緩沖瓶，緩沖瓶連通NaOH溶液吸收罐。可避免氧化分解法中產(chǎn)生的不溶性的Al2O3造成分析結(jié)果的偏差，具有過(guò)程簡(jiǎn)單、易于操作、反應(yīng)平和、同一樣品分析結(jié)果重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01N1/28GK202024917SQ201120044280
公開(kāi)日2011年11月2日 申請(qǐng)日期2011年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月22日
發(fā)明者呂寶源, 孫明璐, 徐春菊, 潘興華, 王佳銘, 邱良德 申請(qǐng)人:江蘇南大光電材料股份有限公司