專利名稱：片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種片式頻率器件芯片電性能測試裝置的部件，一種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置。
背景技術(shù)：
已有的片式頻率器件芯片的電性能測試裝置是將片式頻率器件芯片放置在絕緣平臺上，用探針接觸片式頻率器件芯片的外電極，探針與測試電路連接，測試電路用屏敝線與測試儀器連接，進行電性能測試。對于厚度薄、尺寸小的片式頻率器件芯片(例如12M振子的尺寸為2. 6mmX0. 45mmX0. 1mm，其引出電極的尺寸為0. 2mmX0. 45mm)無法用探針進行接觸測試。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型旨在提出一種能對小型的片式頻率器件芯片進行夾持并測試的片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置。這種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置包括電極板、安裝板和真空連接頭。 電極板為一塊環(huán)氧樹脂覆銅板，電極板的上表面有一對電極片和一對引出電極，電極片的寬度與被測試的片式頻率器件芯片的電極的寬度相接近，兩電極片之間的間距與被測試的片式頻率器件芯片的電極之間的間距相接近，每個電極片的中部各有一個抽氣孔，每個電極片各與一個引出電極相連，安裝板的中心有一個通孔，此通孔的下部與真空連接頭密封相連，電極板固定在安裝板的上表面上，電極板上的抽氣孔位于安裝板上的通孔的上方。這種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置使用時，將真空連接頭與一個真空發(fā)生器相連，引出電極通過導線與測試電路相連，將被測試的片式頻率器件芯片放置在兩片電極片上，使片式頻率器件芯片的電極與電極片相接觸，兩電極片上的抽氣孔的負壓吸力將片式頻率器件芯片吸住，并使片式頻率器件芯片的電極與電極片相緊貼，測試儀器即可通過測試電路、導線及引出電極對片式頻率器件芯片進行電性能測試。

圖1為這種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置的基本結(jié)構(gòu)圖；圖2為電極板的俯視圖；圖3為片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置的第二種結(jié)構(gòu)圖；圖4為圖3所示裝置的剖視圖。
具體實施方式
如圖1所示，這種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置包括電極板1、安裝板2 和真空連接頭3。如圖2所示，電極板1為一塊環(huán)氧樹脂覆銅板，電極板的上表面有一對電極片5和一對引出電極7。電極片5的寬度與被測試的片式頻率器件芯片的電極的寬度相接近，兩電極片之間的間距與被測試的片式頻率器件芯片的電極之間的間距相接近，每個電極片的中部各有一個抽氣孔6，每個電極片各與一個引出電極7相連。如圖1所示，安裝板的中心有一個通孔4，此通孔的下部與真空連接頭3密封相連，電極板固定在安裝板的上表面上，電極板上的抽氣孔6位于安裝板上的通孔的上方。如圖3和圖4所示，這種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置還可以包括基座 10、吸氣管12，真空發(fā)生器11、兩根導線8和測試電路板9。安裝板2固定在基座10的上方，真空發(fā)生器11固定在基座的一側(cè)，吸氣管12的一端與真空連接頭3相接，吸氣管的另一端與真空發(fā)生器11的進氣口相接，測試電路板9固定在基座上，兩根導線的一端分別與所述的電極板1上的一個引出電極7相接，導線的另一端與測試電路板的輸入端相接。這種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置使用時，將被測試的片式頻率器件芯片用真空吸取式機械手移送過來放置在兩片電極片5上，電極片上的抽氣孔6的真空抽吸力將片式頻率器件芯片吸住，并使片式頻率器件芯片的電極與電極片5相緊貼，即可用測試儀器通過測試電路板9、導線8及引出電極7對片式頻率器件芯片進行電性能測試。這種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置中的電極板1可以通過螺釘孔13用螺釘固定到安裝板2上?？梢愿鶕?jù)被測片式頻率器件芯片的尺寸更換有不同規(guī)格的電極片 5的電極板。真空發(fā)生器11可以采用已有的產(chǎn)品，如SMC的型號為ZL112的真空發(fā)生器。 與測試儀器連接用的屏敝線接頭也可以固定在基座10上。
權(quán)利要求1.一種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置，其特征是它包括電極板(1)、安裝板 ⑵和真空連接頭(3)，電極板為一塊環(huán)氧樹脂覆銅板，電極板的上表面有一對電極片(5) 和一對引出電極(7)，電極片(5)的寬度與被測試的片式頻率器件芯片的電極的寬度相接近，兩電極片之間的間距與被測試的片式頻率器件芯片的電極之間的間距相接近，每個電極片的中部各有一個抽氣孔(6)，每個電極片各與一個引出電極(7)相連，安裝板的中心有一個通孔G)，此通孔的下部與真空連接頭C3)密封相連，電極板固定在安裝板的上表面上，電極板上的抽氣孔(6)位于安裝板上的通孔的上方。
2.如權(quán)利要求1所述的片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置，其特征是它還包括基座(10)、吸氣管(12)，真空發(fā)生器(11)、兩根導線(8)和測試電路板(9)，所述的安裝板(2) 固定在基座的上方，真空發(fā)生器固定在基座的一側(cè)，吸氣管的一端與真空連接頭(3)相接， 吸氣管的另一端與真空發(fā)生器的進氣口相接，測試電路板固定在基座上，兩根導線的一端分別與所述的電極板⑴上的一個引出電極(7)相接，導線的另一端與測試電路板的輸入端相接。
專利摘要一種片式頻率器件芯片電性能測試夾持裝置，包括電極板(1)、安裝板(2)和真空連接頭(3)，電極板的上表面有一對電極片(5)和一對引出電極(7)，電極片的寬度與被測試的片式頻率器件芯片的電極的寬度相接近，兩電極片之間的間距與被測試的片式頻率器件芯片的電極之間的間距相接近，每個電極片的中部各有一個抽氣孔(6)，安裝板的中心有一個通孔(4)，下部與真空連接頭相連，電極板固定在安裝板的上表面上，電極板上的抽氣孔位于安裝板上的通孔的上方。將被測試的片式頻率器件芯片放置在兩片電極片上，電極片上的抽氣孔的負壓吸力將片式頻率器件芯片吸住，并使其電極與電極片相緊貼，測試儀器即可通過引出電極對其進行電性能測試。
文檔編號G01R1/04GK202126446SQ20112021116
公開日2012年1月25日 申請日期2011年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月20日
發(fā)明者李子余, 李琳 申請人:浙江嘉康電子股份有限公司