專利名稱：單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及單晶爐檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的單晶爐在排氣管路中設(shè)置壓力檢測口，壓力檢測口通過手閥開閉，在壓力檢測口上連接真空探頭，真空探頭檢測絕對壓力2700 以下壓力值，用于爐內(nèi)拉晶工藝壓力控制。僅有該真空探頭，壓力檢測范圍小，無法對單晶爐在各個工作狀態(tài)時的壓力進行檢測，在單晶爐故障時及時報警。而且真空探頭之間安裝在壓力檢測口上，容易受粉塵污染， 造成真空探頭損壞。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)，方便連接真空壓力傳感器，完善壓力檢測范圍，同時減少粉塵污染檢測元件。本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)，包括三通裝置，三通裝置包括直通主管和直通主管側(cè)面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器連接的快拆法蘭裝置。在快拆法蘭裝置的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。粉塵過濾裝置為帶濾網(wǎng)的金屬密封圈。本實用新型的有益效果是通過加裝的三通結(jié)構(gòu)，增加了壓力檢測途徑，可方便的與真空壓力傳感器連接，擴大壓力檢測范圍，當設(shè)備故障時可以及時發(fā)出警報。同時加裝的三通結(jié)構(gòu)增加了檢測元件距離壓力檢測口的距離，減少了粉塵污染，粉塵過濾裝置更是進一步保護了真空壓力傳感器。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明；

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，1.真空探頭，2.真空壓力傳感器，3.三通裝置，4.單晶爐報警輸出回路， 5.快拆法蘭裝置。
具體實施方式
如圖1所示，一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)，包括三通裝置3，三通裝置3包括直通主管和直通主管側(cè)面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭1連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器2連接的快拆法蘭裝置5。真空壓力傳感器2與單晶爐報警輸出回路4連接，當真空壓力傳感器2檢測到的壓力信號超過設(shè)定的高壓閥值-95. OKpa時單晶爐報警輸出回路4發(fā)出報警。真空探頭1檢測絕對壓力2700 以下壓力值，用于爐內(nèi)拉晶工藝壓力控制。真空壓力傳感器2檢測標準大氣壓IOlKPa 至-IOlKI^壓力值，是在真空探頭1的壓力檢測區(qū)間外增加的檢測部件。在快拆法蘭裝置5的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。粉塵過濾裝置為帶濾網(wǎng)的金屬密封圈。
權(quán)利要求1.一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)，其特征是包括三通裝置(3)，所述的三通裝置C3)包括直通主管和直通主管側(cè)面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭(1)連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器( 連接的快拆法蘭裝置 ⑶。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)，其特征是在所述的快拆法蘭裝置(5)的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)，其特征是所述的粉塵過濾裝置為帶濾網(wǎng)的金屬密封圈。
專利摘要本實用新型涉及單晶爐檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐的真空壓力傳感器的安裝結(jié)構(gòu)，包括三通裝置，三通裝置包括直通主管和直通主管側(cè)面的支管，直通主管的一端與壓力檢測口連接，另一端與真空探頭連接，支管上具有用于與真空壓力傳感器連接的快拆法蘭裝置。在快拆法蘭裝置的法蘭對接處安裝粉塵過濾裝置。粉塵過濾裝置為帶濾網(wǎng)的金屬密封圈。本實用新型的有益效果是通過加裝的三通結(jié)構(gòu)，增加了壓力檢測途徑，可方便的與真空壓力傳感器連接，擴大壓力檢測范圍，當設(shè)備故障時可以及時發(fā)出警報。同時加裝的三通結(jié)構(gòu)增加了檢測元件距離壓力檢測口的距離，減少了粉塵污染，粉塵過濾裝置更是進一步保護了真空壓力傳感器。
文檔編號G01L19/06GK202133501SQ201120232510
公開日2012年2月1日 申請日期2011年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月4日
發(fā)明者戴建中 申請人:常州天合光能有限公司