專利名稱：一種弧高臺(tái)階儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光機(jī)電一體化領(lǐng)域，具體涉及一種弧高臺(tái)階儀。
技術(shù)背景在現(xiàn)代微電子工業(yè)當(dāng)中，在芯片的封裝階段有一個(gè)非常重要的工藝環(huán)節(jié)一金絲鍵合工藝，該工藝的作用是將芯片上的導(dǎo)電觸點(diǎn)與基片相連，金絲的直徑一般為30微米左右，在這個(gè)工藝環(huán)節(jié)中，有一個(gè)至關(guān)重要的工藝參數(shù)——金線弧高，如果弧高異常，會(huì)導(dǎo)致金絲和封裝外殼之間短路，從而造成器件的報(bào)廢，弧高臺(tái)階儀的核心功能就是檢測(cè)金線弧高，弧高的范圍一般為200微米至800微米之間，屬于極微觀的測(cè)量?，F(xiàn)有的測(cè)試裝置大都采用手動(dòng)聚焦的方法，在金線的頂端和底腳分別聚焦，計(jì)算其高度差，從而得到弧高的數(shù)值，并且測(cè)量中存在以下缺點(diǎn)1、用手動(dòng)聚焦的方法，由于操作員在操作熟練度和視覺感知方面的差異，其重復(fù)性精度極低，頂多能達(dá)到50微米的精度，不足以滿足弧高測(cè)量的工藝精度要求；2、鏡頭采用垂直配置，只能在縱向進(jìn)行觀察，無(wú)法從側(cè)面觀察金線和底面基板之間的間隙；3、單一的光源配置，入射角的范圍有限，無(wú)法照亮金絲的全部反光面，影響觀察效
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實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種弧高臺(tái)階儀，它用聚焦馬達(dá)配合數(shù)字成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚集的能力，代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動(dòng)聚焦的方法，排除了操作員操作習(xí)慣和視覺感知上的差異對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生的影響，使測(cè)量重復(fù)性精度提升至5微米，大大提高了檢測(cè)性能，可完全滿足弧高測(cè)量方面的工藝精度要求；采用特有的“彩虹軌道”設(shè)計(jì)，鏡頭除了可垂直配置外，亦可在跟縱向夾角30度至150度范圍內(nèi)對(duì)金絲進(jìn)行偏角測(cè)量，觀察金絲與基板之間的間隙； 同時(shí)配備了環(huán)形光和同軸光兩種照明方式，可以照亮金絲及器件的全部反光面，保障檢測(cè)效果。為了解決背景技術(shù)所存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案它包含數(shù)碼相機(jī)1、聚焦馬達(dá)2、顯微鏡筒3、彩虹軌道4、雙軸平移臺(tái)5、底座6、聚焦升降部7和腳墊8，數(shù)碼相機(jī)1與顯微鏡筒3通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口進(jìn)行螺紋連接，顯微鏡筒3通過(guò)中間件與聚焦升降部7相連，雙軸平移臺(tái)5設(shè)置在顯微鏡筒3下端，聚焦馬達(dá)2通過(guò)聯(lián)軸器與聚焦升降部7相連，聚焦升降部7通過(guò)滑塊連接在彩虹軌道4上，雙軸平移臺(tái)5通過(guò)中間件連接在底座6上， 腳墊8安裝在底座6底部。本實(shí)用新型具有以下有益效果它用聚焦馬達(dá)配合數(shù)字成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚集的能力，代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動(dòng)聚焦的方法，排除了操作員操作習(xí)慣和視覺感知上的差異對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生的影響，使測(cè)量重復(fù)性精度提升至5微米，大大提高了檢測(cè)性能，可完全滿足弧高測(cè)量方面的工藝精度要求；采用特有的“彩虹軌道”設(shè)計(jì)，鏡頭除了可垂直配置外，亦可在跟縱向夾角30度至150度范圍內(nèi)對(duì)金絲進(jìn)行偏角測(cè)量，觀察金絲與基板之間的間隙；同時(shí)配備了環(huán)形光和同軸光兩種照明方式，可以照亮金絲及器件的全部反光面，保障檢測(cè)效果。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1的左視圖；圖3為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1-3，本具體實(shí)施方式
采取以下技術(shù)方案它包含數(shù)碼相機(jī)1、聚焦馬達(dá)2、 顯微鏡筒3、彩虹軌道4、雙軸平移臺(tái)5、底座6、聚焦升降部7和腳墊8，數(shù)碼相機(jī)1與顯微鏡筒3通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口進(jìn)行螺紋連接，顯微鏡筒3通過(guò)中間件與聚焦升降部7相連，雙軸平移臺(tái)5設(shè)置在顯微鏡筒3下端，聚焦馬達(dá)2通過(guò)聯(lián)軸器與聚焦升降部7相連，聚焦升降部7通過(guò)滑塊連接在彩虹軌道4上，雙軸平移臺(tái)5通過(guò)中間件連接在底座6上，腳墊8安裝在底座 6底部。本具體實(shí)施方式
用聚焦馬達(dá)配合數(shù)字成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚集的能力，代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動(dòng)聚焦的方法，排除了操作員操作習(xí)慣和視覺感知上的差異對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生的影響，使測(cè)量重復(fù)性精度提升至5微米，大大提高了檢測(cè)性能，可完全滿足弧高測(cè)量方面的工藝精度要求；采用特有的“彩虹軌道”設(shè)計(jì)，鏡頭除了可垂直配置外，亦可在跟縱向夾角30度至150 度范圍內(nèi)對(duì)金絲進(jìn)行偏角測(cè)量，觀察金絲與基板之間的間隙；同時(shí)配備了環(huán)形光和同軸光兩種照明方式，可以照亮金絲及器件的全部反光面，保障檢測(cè)效果。
權(quán)利要求1. 一種弧高臺(tái)階儀，其特征在于它包含數(shù)碼相機(jī)(1)、聚焦馬達(dá)O)、顯微鏡筒(3)、彩虹軌道(4)、雙軸平移臺(tái)(5)、底座(6)、聚焦升降部(7)和腳墊(8)，數(shù)碼相機(jī)(1)與顯微鏡筒(3)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口進(jìn)行螺紋連接，顯微鏡筒C3)通過(guò)中間件與聚焦升降部(7)相連，雙軸平移臺(tái)( 設(shè)置在顯微鏡筒C3)下端，聚焦馬達(dá)( 通過(guò)聯(lián)軸器與聚焦升降部(7)相連， 聚焦升降部(7)通過(guò)滑塊連接在彩虹軌道(4)上，雙軸平移臺(tái)( 通過(guò)中間件連接在底座 (6)上，腳墊(8)安裝在底座(6)底部。
專利摘要一種弧高臺(tái)階儀，它涉及光機(jī)電一體化領(lǐng)域，它包含數(shù)碼相機(jī)、聚焦馬達(dá)、顯微鏡筒、彩虹軌道、雙軸平移臺(tái)、底座、聚焦升降部和腳墊，數(shù)碼相機(jī)與顯微鏡筒通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口進(jìn)行螺紋連接，顯微鏡筒通過(guò)中間件與聚焦升降部相連，雙軸平移臺(tái)設(shè)置在顯微鏡筒下端，聚焦馬達(dá)通過(guò)聯(lián)軸器與聚焦升降部相連，聚焦升降部通過(guò)滑塊連接在彩虹軌道上，雙軸平移臺(tái)通過(guò)中間件連接在底座上，腳墊安裝在底座底部。它用聚焦馬達(dá)配合數(shù)字成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)聚集的能力，提高了檢測(cè)性能，同時(shí)配備了環(huán)形光和同軸光兩種照明方式，可以照亮金絲及器件的全部反光面，保障檢測(cè)效果。
文檔編號(hào)G01B11/02GK202274860SQ201120280620
公開日2012年6月13日 申請(qǐng)日期2011年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月4日
發(fā)明者謝歷銘 申請(qǐng)人:蘇州愛特盟光電有限公司