專利名稱：薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種有機物質形貌分析的樣品固定裝置，尤其是一種薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置。
背景技術：
在實驗室中經常會進行有機物質樣品的斷層或表面形貌分析。對于薄膜類有機物質，尤其是導電效果不好的薄膜類有機物質，由于導電性差，對其形貌分析時，產生的電荷積累會影響觀察穩(wěn)定性，并且電荷放電，電子束對樣品容易造成損傷，對儀器有一定影響。

實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠在觀察的過程中避免電荷放電、減少電子束對樣品的損傷，而且還可增加二次電子產率，獲得質量良好形貌效果的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置。為解決上述問題，本實用新型的一種薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置， 包括放置待分析薄膜樣品的樣品臺，其特征在于所述樣品臺上還設置有壓板，該壓板由導電材料制成。所述壓板為鋁制壓板。所述壓板通過螺栓固定在樣品臺上。采用本實用新型結構的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，使用時，將薄膜樣品先平放在樣品臺上，將鋁制壓板固定在薄膜上，通過螺栓連接使鋁制壓板與樣品臺固定，同時薄膜與樣品臺緊密貼合，位置不會偏移，轉動樣品臺角度即可對薄膜斷層進行分析。本實用新型結構的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，能夠有效避免電荷放電、 減少電子束對樣品的損傷，而且還可增加二次電子產率，獲得質量良好的圖片，操作簡易方便。

圖1為本實用新型結構的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置的結構示意圖。
具體實施方式
為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型技術方案，
以下結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明。如圖1所示，本實用新型的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，包括放置待分析薄膜樣品2的樣品臺1，該樣品臺1為鋁制圓形樣品臺，所述樣品臺1上還設置有壓板3，該壓板3由導電材料制成。所述壓板3為鋁制壓板。[0012]所述壓板3通過螺栓固定在樣品臺1上。該薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置的鋁制圓形樣品臺1，在對薄膜樣品 2進行斷層分析時，需要將薄膜樣品2與樣品臺1緊密貼合，利用鋁制壓板3將薄膜樣品2 固定在樣品臺1上，鋁制壓板3通過螺栓連接與樣品臺1固定，增強嚴密性，目的是可以在分析時將樣品臺1轉動角度以確保對薄膜樣品2進行斷層分析。本實用新型結構的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，能夠有效避免電荷放電、減少電子束對樣品的損傷，而且還可增加二次電子產率，獲得質量良好的圖片，操作簡易方便。
權利要求1.一種薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，包括放置待分析薄膜樣品的樣品臺，其特征在于所述樣品臺上還設置有壓板，該壓板由導電材料制成。
2.如權利要求1所述薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，其特征在于所述壓板為鋁制壓板。
3.如權利要求2所述薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，其特征在于所述壓板通過螺栓固定在樣品臺上。
專利摘要本實用新型公開了一種能夠在觀察的過程中避免電荷放電、減少電子束對樣品的損傷，而且還可增加二次電子產率，獲得質量良好形貌效果的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，包括放置待分析薄膜樣品的樣品臺，其特征在于所述樣品臺上還設置有壓板，該壓板由導電材料制成。本實用新型結構的薄膜類有機物質形貌分析的樣品固定裝置，能夠有效避免電荷放電、減少電子束對樣品的損傷，而且還可增加二次電子產率，獲得質量良好的圖片，操作簡易方便。
文檔編號G01N27/00GK202204793SQ20112030179
公開日2012年4月25日 申請日期2011年8月18日 優(yōu)先權日2011年8月18日
發(fā)明者宋津京, 郝俊勝 申請人:三星高新電機(天津)有限公司