專利名稱：一種微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于工業(yè)自動(dòng)控制中的自動(dòng)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著材料與制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)產(chǎn)品的微小化和加工質(zhì)量提出了越來(lái)越高的要求，尋求有效的微測(cè)量手段已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)之一。尤其在精密加工行業(yè)中，常常需要對(duì)微結(jié)構(gòu)的三維尺寸進(jìn)行準(zhǔn)確和快速的測(cè)量。然而在微結(jié)構(gòu)的三維尺寸中，垂直方向尺寸相對(duì)于平面尺寸的測(cè)量較為困難。特別在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)，受環(huán)境溫度、沖擊和振動(dòng)等因素的影響，要實(shí)現(xiàn)微小深度尺寸的自動(dòng)測(cè)量更加困難。傳統(tǒng)的測(cè)量微小深度尺寸的儀器有很多，如機(jī)械儀表、觸針式儀器和體視顯微鏡等，都無(wú)法滿足現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的高效率和自動(dòng)化的檢測(cè)要求。近年來(lái)，隨著光電檢測(cè)技術(shù)和數(shù)字圖像處理技術(shù)的快速發(fā)展，圖像測(cè)量技術(shù)被越來(lái)越多的應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)中，如精密加工、電子、機(jī)械裝備、醫(yī)藥、印刷和食品等。精密加工行業(yè)運(yùn)用圖像測(cè)量技術(shù)對(duì)微小深度尺寸進(jìn)行非接觸測(cè)量時(shí)，常常需要對(duì)被測(cè)工件進(jìn)行精密的位置定位。目前雖然成熟的圖像測(cè)量系統(tǒng)和位置運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)已屢見(jiàn)不鮮，但結(jié)合圖像測(cè)量功能和位置運(yùn)動(dòng)控制于一體，能自動(dòng)、快速的測(cè)量微小深度尺寸的裝置還沒(méi)有出現(xiàn)，國(guó)內(nèi)外對(duì)這種測(cè)量裝置的需求將逐漸增大。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種高效、精確、自動(dòng)的微小深度尺寸圖像測(cè)量系統(tǒng)，要解決現(xiàn)有的微小深度尺寸測(cè)量?jī)x器自動(dòng)化程度不高、測(cè)量參數(shù)單一、無(wú)法自動(dòng)精密定位等技術(shù)問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型采取以下設(shè)計(jì)方案本實(shí)用新型主要組成部分包括計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、微小深度尺寸測(cè)量光路、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和步進(jìn)電機(jī)。計(jì)算機(jī)通過(guò)PC104總線接口與四軸運(yùn)動(dòng)控制卡相連接，計(jì)算機(jī)通過(guò)USB 口與微小深度尺寸測(cè)量光路相連接，四軸運(yùn)動(dòng)控制卡與四個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，每個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器與對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)相連接，步進(jìn)電機(jī)分別安裝在電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y 方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)中。所述的微小深度尺寸測(cè)量光路包括半導(dǎo)體激光器、柱面鏡、濾光片、顯微物鏡以及電子目鏡；半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光經(jīng)過(guò)柱面鏡形成一個(gè)平面光投射在工件表面上，在被測(cè)表面上形成一條紅色光帶；紅色光帶經(jīng)過(guò)反射或漫反射，通過(guò)濾光片濾去雜光，然后通過(guò)顯微物鏡后在電子目鏡中的CMOS面陣上成像，圖像信號(hào)經(jīng)由USB信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)中進(jìn)行保存和處理。測(cè)量微小深度尺寸時(shí)，被測(cè)表面的輪廓光帶信號(hào)經(jīng)由微小深度尺寸測(cè)量光路成像在電子目鏡的CMOS面陣上，計(jì)算機(jī)通過(guò)USB接口采集電子目鏡上的光帶圖像信號(hào)，利用數(shù)字圖像處理技術(shù)，對(duì)圖像進(jìn)行預(yù)處理，判斷被測(cè)對(duì)象是否定位在最佳成像位置；四軸運(yùn)動(dòng)控制卡根據(jù)圖像處理結(jié)果和軟件指令，向步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器發(fā)出控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)工作臺(tái)到達(dá)到最佳成像位置，然后進(jìn)行微小深度尺寸的高精度測(cè)量。計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡和電子目鏡構(gòu)成了本實(shí)用新型的最核心部分，它們負(fù)責(zé)系統(tǒng)軟件的運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)屏幕顯示、按鍵輸入、圖像采集和處理、4個(gè)位移平臺(tái)(電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z 方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái))的運(yùn)動(dòng)控制。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡通過(guò)接插件與步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，根據(jù)系統(tǒng)軟件指令對(duì)步進(jìn)電機(jī)實(shí)施控制，并對(duì)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)的各種狀態(tài)進(jìn)行在線監(jiān)測(cè)。整個(gè)系統(tǒng)的執(zhí)行單元主要是由電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)，以及與它們相連的步進(jìn)電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡對(duì)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器發(fā)出控制信號(hào)，控制信號(hào)經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器放大處理后直接驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)。步進(jìn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸與電動(dòng)位移平臺(tái)上的機(jī)械傳動(dòng)裝置相連，電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)裝置帶動(dòng)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)完成各自的運(yùn)動(dòng)。專業(yè)的圖像處理軟件主要由圖像采集模塊、圖像預(yù)處理模塊、自動(dòng)調(diào)焦模塊、X-Y 方向定位模塊、參數(shù)設(shè)置模塊和圖像測(cè)量模塊組成。圖像采集模塊包括圖像采集、顯示及保存操作；圖像預(yù)處理模塊包括圖像灰度化、 濾波、閾值分割、數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)操作；自動(dòng)調(diào)焦模塊包括調(diào)焦函數(shù)計(jì)算、粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦操作； X-Y方向定位模塊包括特征點(diǎn)提取、X方向定位和Y方向定位操作；參數(shù)設(shè)置模塊包括設(shè)置測(cè)量參數(shù)(如表面粗糙度、刻痕深度和量塊厚度差等)以及步進(jìn)電機(jī)參數(shù)操作；圖像測(cè)量模塊包括邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。系統(tǒng)軟件工作流程微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)通電后首先進(jìn)行初始化，加載計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器以及與之相連的各種設(shè)備；加載結(jié)束后，進(jìn)行系統(tǒng)完整性測(cè)試，驗(yàn)證各個(gè)設(shè)備狀態(tài)，通過(guò)測(cè)試后，系統(tǒng)軟件啟動(dòng)完畢，進(jìn)入圖像采集狀態(tài)。 首先對(duì)采集到得圖像進(jìn)行預(yù)處理，包括圖像灰度化、中值濾波、閾值分割和數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)處理。然后根據(jù)預(yù)處理后的圖像判斷出被測(cè)對(duì)象是否定位在最佳成像位置上，當(dāng)被測(cè)對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測(cè)量模塊。否則，需要進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作。調(diào)焦過(guò)程為首先計(jì)算調(diào)焦函數(shù)，然后根據(jù)計(jì)算結(jié)果控制Z方向電動(dòng)升降臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來(lái)依次完成粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦。X-Y方向定位過(guò)程為首先提取圖像中的特征點(diǎn)，然后根據(jù)特征點(diǎn)的二維坐標(biāo)來(lái)控制X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向定位控制。 調(diào)焦和X-Y方向定位操作完成后，再判斷此時(shí)的被測(cè)對(duì)象是否處于最佳成像位置，當(dāng)被測(cè)對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測(cè)量模塊，進(jìn)行邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。否則，需要再次進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作，直到被測(cè)對(duì)象被判斷為處于最佳成像位置為止。系統(tǒng)持續(xù)運(yùn)行直至關(guān)機(jī)，正常關(guān)機(jī)前保存當(dāng)前數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)和配置文件寫入系統(tǒng)的內(nèi)置存儲(chǔ)器中。本套測(cè)量系結(jié)合了圖像測(cè)量功能和自動(dòng)定位控制功能于一體，能完成多種微小深度參數(shù)的測(cè)量，如表面粗糙度、刻痕深度以及量塊厚度差等，能大大提高測(cè)量精度及測(cè)量效率。同時(shí)，由于本套系統(tǒng)是基于非接觸的光學(xué)檢測(cè)方法，對(duì)測(cè)量環(huán)境要求不高，能運(yùn)用于現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量和在線測(cè)量中，為高精度的加工行業(yè)提供了關(guān)鍵技術(shù)的保障。

圖1為本實(shí)用新型的總體結(jié)構(gòu)示意框圖；圖2為本實(shí)用新型中微小深度尺寸測(cè)量光路圖；圖3為本實(shí)用新型中圖像處理軟件模塊圖；圖4為本實(shí)用新型軟件流程圖；圖中，1.計(jì)算機(jī)、2.四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、3.微小深度尺寸測(cè)量光路、4.電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、5. Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、6. Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、7. X方向電動(dòng)平移臺(tái)、8 11.步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、12 15.步進(jìn)電機(jī)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)的描述。1、硬件部分本實(shí)用新型的微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)如圖1所示，包括計(jì)算機(jī)1、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡2、微小深度尺寸測(cè)量光路3、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)5、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)6、X方向電動(dòng)平移臺(tái)7、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8、9、10、11、步進(jìn)電機(jī)12、13、14、15以及運(yùn)行在計(jì)算機(jī)中的專業(yè)圖像處理軟件等組成。微小深度尺寸測(cè)量光路如圖2所示，主要由半導(dǎo)體激光器、柱面鏡、濾光片、顯微物鏡以及電子目鏡組成。半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光經(jīng)過(guò)柱面鏡形成一個(gè)平面光投射在工件表面上，在被測(cè)表面上形成一條寬度很窄的紅色光帶。光帶經(jīng)過(guò)反射或漫反射，通過(guò)濾光片濾去雜光，然后通過(guò)顯微物鏡后在電子目鏡中的CMOS面陣上成像，圖像信號(hào)經(jīng)由USB信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)中進(jìn)行保存和處理。計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡和電子目鏡構(gòu)成了本實(shí)用新型的最核心部分，它們負(fù)責(zé)系統(tǒng)軟件的運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)屏幕顯示、按鍵輸入、圖像采集和處理、4個(gè)位移平臺(tái)(電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、X 方向電動(dòng)平移臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和Z方向電動(dòng)升降臺(tái))的運(yùn)動(dòng)控制。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡采用研華PCI-1243U的4軸智能步進(jìn)電機(jī)控制卡，該卡使用了 P⑶-4541運(yùn)動(dòng)控制器，可以執(zhí)行各種運(yùn)動(dòng)控制指令。每個(gè)軸都可以通過(guò)板卡上的I/O寄存器直接控制。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡有1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的PC104總線接口(插針)，通過(guò)它與計(jì)算機(jī)相連； 對(duì)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制分別由4個(gè)插件與步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連，運(yùn)動(dòng)控制信號(hào)采用位置控制方式，即脈沖、方向控制。整個(gè)系統(tǒng)的執(zhí)行單元主要是由電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)，以及與它們相連的步進(jìn)電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成。電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用賽凡7SRA160電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，Z方向電動(dòng)升降臺(tái)用賽凡7SVA160電動(dòng)升降臺(tái)，Y方向電動(dòng)平移臺(tái)采用賽凡7STA0450A電動(dòng)平移臺(tái)，X方向電動(dòng)平移臺(tái)采用賽凡7STA04200A電動(dòng)平移臺(tái)， 4個(gè)電動(dòng)臺(tái)的標(biāo)配電機(jī)都為42步進(jìn)電機(jī)。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡對(duì)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器發(fā)出控制信號(hào)，控制信號(hào)經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器放大處理后直接驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)。步進(jìn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸與電動(dòng)位移平臺(tái)上的機(jī)械傳動(dòng)裝置相連，電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)裝置帶動(dòng)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)完成各自的運(yùn)動(dòng)。2、軟件部分專業(yè)的圖像處理軟件主要由圖像采集模塊、圖像預(yù)處理模塊、自動(dòng)調(diào)焦模塊、X-Y 方向定位模塊、參數(shù)設(shè)置模塊和圖像測(cè)量模塊組成，軟件界面如圖3所示。圖像采集模塊包括圖像采集、顯示及保存操作；圖像預(yù)處理模塊包括圖像灰度化、 濾波、閾值分割、數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)操作；自動(dòng)調(diào)焦模塊包括調(diào)焦函數(shù)計(jì)算、粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦操作； X-Y方向定位模塊包括特征點(diǎn)提取、X方向定位和Y方向定位操作；參數(shù)設(shè)置模塊包括設(shè)置測(cè)量參數(shù)(如表面粗糙度、刻痕深度和量塊厚度差等)以及步進(jìn)電機(jī)參數(shù)操作；圖像測(cè)量模塊包括、邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。系統(tǒng)軟件工作流程微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)通電后首先進(jìn)行初始化，加載計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器以及與之相連的各種設(shè)備；加載結(jié)束后，進(jìn)行系統(tǒng)完整性測(cè)試，驗(yàn)證各個(gè)設(shè)備狀態(tài)，通過(guò)測(cè)試后，系統(tǒng)軟件啟動(dòng)完畢，進(jìn)入圖像采集狀態(tài)。 首先對(duì)采集到得圖像進(jìn)行預(yù)處理，包括圖像灰度化、中值濾波、閾值分割和數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)處理。然后根據(jù)預(yù)處理后的圖像判斷出被測(cè)對(duì)象是否定位在最佳成像位置上，當(dāng)被測(cè)對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測(cè)量模塊。否則，需要進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作。調(diào)焦過(guò)程為首先計(jì)算調(diào)焦函數(shù)，然后根據(jù)計(jì)算結(jié)果控制Z方向電動(dòng)升降臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來(lái)依次完成粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦。X-Y方向定位過(guò)程為首先提取圖像中的特征點(diǎn)，然后根據(jù)特征點(diǎn)的二維坐標(biāo)來(lái)控制X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向定位控制。 調(diào)焦和X-Y方向定位操作完成后，再判斷此時(shí)的被測(cè)對(duì)象是否處于最佳成像位置，當(dāng)被測(cè)對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測(cè)量模塊，進(jìn)行邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。否則，需要再次進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作，直到被測(cè)對(duì)象被判斷為處于最佳成像位置為止。系統(tǒng)持續(xù)運(yùn)行直至關(guān)機(jī)，正常關(guān)機(jī)前保存當(dāng)前數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)和配置文件寫入系統(tǒng)的內(nèi)置存儲(chǔ)器中，軟件運(yùn)行流程如圖4所示。
權(quán)利要求1. 一種微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)，包括計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、微小深度尺寸測(cè)量光路、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和步進(jìn)電機(jī)，其特征在于計(jì)算機(jī)通過(guò)PC104總線接口與四軸運(yùn)動(dòng)控制卡相連接，計(jì)算機(jī)通過(guò)USB 口與微小深度尺寸測(cè)量光路相連接，四軸運(yùn)動(dòng)控制卡與四個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，每個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器與對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)相連接，步進(jìn)電機(jī)分別安裝在電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)中；所述的微小深度尺寸測(cè)量光路包括半導(dǎo)體激光器、柱面鏡、濾光片、顯微物鏡以及電子目鏡；半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光經(jīng)過(guò)柱面鏡形成一個(gè)平面光投射在工件表面上，在被測(cè)表面上形成一條紅色光帶；紅色光帶經(jīng)過(guò)反射或漫反射，通過(guò)濾光片濾去雜光，然后通過(guò)顯微物鏡后在電子目鏡中的CMOS面陣上成像，圖像信號(hào)經(jīng)由USB信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)中進(jìn)行保存和處理。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種微小深度尺寸自動(dòng)圖像測(cè)量系統(tǒng)。本實(shí)用新型包括計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、微小深度尺寸測(cè)量光路、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、步進(jìn)電機(jī)。計(jì)算機(jī)通過(guò)PC104總線接口與四軸運(yùn)動(dòng)控制卡相連接，計(jì)算機(jī)通過(guò)USB口與微小深度尺寸測(cè)量光路相連接，四軸運(yùn)動(dòng)控制卡與四個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，每個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器與對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)相連接，步進(jìn)電機(jī)分別安裝在電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)中。本實(shí)用新型結(jié)合了圖像測(cè)量功能和自動(dòng)定位控制功能于一體，能完成多種微小深度參數(shù)的測(cè)量。
文檔編號(hào)G01B11/22GK202304764SQ201120306390
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月22日
發(fā)明者余桂英, 周敏, 張波, 黃柳 申請(qǐng)人:中國(guó)計(jì)量學(xué)院, 杭州富光科技有限公司