專利名稱：檢測探針氣冷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電子元件檢測作業(yè)的冷卻系統(tǒng)，特別是一種利用氣冷方式使電子元件以及檢測探針保持所預(yù)設(shè)的溫度范圍的檢測探針氣冷裝置。
背景技術(shù)：
電子元件在制作完成后，需經(jīng)檢測作業(yè)以區(qū)分良品和不良品。檢測機(jī)構(gòu)是以探針接觸電子元件，將電子元件的電訊號傳遞至該檢測機(jī)構(gòu)的分析系統(tǒng)。然而，在一些諸如IC、 記憶卡等功能多元化的電子元件進(jìn)行檢測時，探針與電子元件會快速的產(chǎn)生發(fā)熱的現(xiàn)象， 且溫度很快超過預(yù)設(shè)的容許范圍。而過高的溫度除了會影響檢測的品質(zhì)和結(jié)果，更可能使探針和電子元件受損。因此，監(jiān)測及保持檢測溫度是必需的。而保持檢測溫度的技術(shù)手段包括了空氣冷卻技術(shù)、晶片致冷技術(shù)、冷卻液霧化技術(shù)…等，諸如中國臺灣專利1306148、1324958,200931021等案所揭露的技術(shù)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種檢測探針氣冷裝置，該裝置可以控制探針以及電子元件的發(fā)熱現(xiàn)象，使兩者的溫度保持在預(yù)設(shè)的容許范圍中，提高檢測品質(zhì)，并且保護(hù)探針的使用壽命，保護(hù)電子元件避免在檢測過程中受損。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案一種檢測探針氣冷裝置，它包括一個框架，設(shè)有至少一個可連接冷空氣源的氣源孔；一個探針座，該探針座結(jié)合于該框架中，該探針座的上表面列設(shè)若干個溝槽，對應(yīng)該溝槽的探針座底部為若干個探針群組，該每一個探針群組中具有至少一個貫穿該溝槽的槽底結(jié)構(gòu)壁厚的氣孔；該探針座的溝槽與該框架的氣源孔通連。所述探針座的側(cè)面設(shè)有至少一個與所述氣源孔連通的導(dǎo)氣孔，該導(dǎo)氣孔連通所述溝槽。據(jù)上述構(gòu)造，由一個空氣源所提供的冷空氣可通過該氣源孔輸送至該溝槽，并通過氣孔而分散于探針群組所在的區(qū)域中，從而在檢測過程中，冷卻探針與電子元件的溫度。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型氣冷裝置可以將冷空氣導(dǎo)入探針座中，并通過探針座所預(yù)設(shè)的氣孔，輸送至探針以及與之接觸的電子元件之間，使探針以及電子元件之間的檢測空間保持一致冷溫度，從而控制探針以及電子元件的發(fā)熱現(xiàn)象，使兩者的溫度保持在預(yù)設(shè)的容許范圍中，提高檢測品質(zhì)，并且保護(hù)探針的使用壽命，保護(hù)電子元件避免在檢測過程中受損。

圖1為本實(shí)用新型的框架的俯視圖。圖2為圖1的2-2剖面圖。[0014]圖3為圖1的3-3剖面圖。圖4為本實(shí)用新型的探針座的俯視圖。圖5為圖4箭頭5方向的側(cè)視圖。圖6為圖4中6-6剖面圖。圖7為本實(shí)用新型的框架與探針座的結(jié)合剖面圖之一。圖8為本實(shí)用新型的框架與探針座的結(jié)合剖面圖之二。附圖標(biāo)號10、框架；11、邊框；111、氣源孔；12、支撐緣；20、探針座；21、溝槽；22、 探針群組；222、探針；23、氣孔；24、導(dǎo)氣孔；50、電子元件；90、冷空氣源接頭。
具體實(shí)施方式
為便于說明本實(shí)用新型所表達(dá)的中心思想，現(xiàn)以具體實(shí)施例說明。實(shí)施例中各種不同物件是按適于說明的比例、尺寸、變形量或位移量而描繪，而非按實(shí)際元件的比例予以繪制，合先敘明。且以下的說明中，類似的元件是以相同的編號來表示。本實(shí)用新型檢測探針氣冷裝置，包括一個框架10 (如圖1、2、3所示)、一個探針座 20 (如圖4、5、6所示)，該探針座20是組裝于該框架10中，兩者均具有將冷空氣源所提供的冷空氣導(dǎo)入及流通的氣道和氣孔。詳細(xì)的結(jié)構(gòu)說明如下。如圖1、2、3所示，該框架10具有一個矩形的邊框11，該邊框11的內(nèi)側(cè)具有相對而設(shè)的支撐緣12，該邊框11上設(shè)有若干個可連接冷空氣源接頭90 (如圖8所示)的氣源孔 111。如圖4、5、6所示，上述探針座20為一個實(shí)板構(gòu)造，其上表面列設(shè)若干個溝槽21， 該等溝槽21的槽底預(yù)設(shè)若干個探針群組22，每一個探針群組22包含若干個探針222，且探針222延伸于該探針座20的底面。每一個探針群組22中包含至少一個貫穿該溝槽21的槽底結(jié)構(gòu)壁厚的氣孔23。該探針座20的側(cè)面設(shè)有若干個導(dǎo)氣孔M，該導(dǎo)氣孔M連通該溝槽21。如圖7、8所示，上述探針座20設(shè)于該框架10中，其邊緣被該支撐緣12所支持，并利用若干個鎖固元件將探針座20固定。該探針座20與框架10組合，該框架10的氣源孔 111與該探針座20的導(dǎo)氣孔M及溝槽21是相連通的?？諝庠?圖未示)的管路連接于該空氣源接頭90，冷空氣由該空氣源接頭90注入， 經(jīng)由該導(dǎo)氣孔M進(jìn)入該探針座20的溝槽21中，通過分配于每一個探針孔群組22的氣孔 23而分散于該探針座20底部的探針區(qū)。檢測進(jìn)行時，探針222與電子元件50接觸，基于冷空氣源分散于探針區(qū)，所以冷空氣即被輸送至探針和電子元件之間，使探針以及電子元件之間的檢測空間保持一致冷溫度，從而控制探針以及電子元件的發(fā)熱現(xiàn)象，使兩者的溫度保持在預(yù)設(shè)的容許范圍中，提高檢測品質(zhì)，并且保護(hù)探針的使用壽命，保護(hù)電子元件避免于檢測過程中受損。雖然本實(shí)用新型是以一個最佳實(shí)施例做說明，但精于此技藝者能在不脫離本實(shí)用新型精神與范疇下做各種不同形式的改變。以上所舉實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型而已， 非用以限制本實(shí)用新型的范圍。舉凡不違本實(shí)用新型精神所從事的種種修改或變化，俱屬本實(shí)用新型申請專利范圍。
權(quán)利要求1.一種檢測探針氣冷裝置，其特征在于，它包括 一個框架，設(shè)有至少一個可連接冷空氣源的氣源孔；一個探針座，該探針座結(jié)合于該框架中，該探針座的上表面列設(shè)若干個溝槽，對應(yīng)該溝槽的探針座底部為若干個探針群組，該每一個探針群組中具有至少一個貫穿該溝槽的槽底結(jié)構(gòu)壁厚的氣孔；該探針座的溝槽與該框架的氣源孔通連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測探針氣冷裝置，其特征在于，所述探針座的側(cè)面設(shè)有至少一個與所述氣源孔連通的導(dǎo)氣孔，該導(dǎo)氣孔連通所述溝槽。
專利摘要一種檢測探針氣冷裝置，包括一個框架，設(shè)有至少一個可連接冷空氣源的氣源孔；一個探針座，該探針座結(jié)合于該框架中，該探針座的上表面列設(shè)若干個溝槽，對應(yīng)該溝槽的探針座底部為若干個探針群組，每一探針群組中具有至少一個貫穿該溝槽的槽底結(jié)構(gòu)壁厚的氣孔；該探針座的溝槽與該框架的氣源孔通連。據(jù)上述構(gòu)造，由一個空氣源所提供的冷空氣可通過該氣源孔輸送至該溝槽，并通過氣孔而分散于探針群組所在的區(qū)域中，在檢測過程中冷卻探針與電子元件的溫度。
文檔編號G01R1/073GK202281785SQ20112038448
公開日2012年6月20日 申請日期2011年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月11日
發(fā)明者姚圳杰 申請人:益明精密科技有限公司