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      硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置的制作方法

      文檔序號:5926648閱讀:195來源:國知局
      專利名稱:硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實用新型涉及一種質(zhì)量檢測設(shè)備,尤其涉及一種硅片及硅太陽電池片缺陷檢測
      直O(jiān)
      背景技術(shù)
      硅片及硅太陽電池片可能存在材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等故障,這些故障在后繼的制造過程或使用中,會使太陽電池的性能劣化,所以需要在前期予以檢測。目前,太陽電池生產(chǎn)線上,硅片及硅太陽電池片的缺陷檢測手段大多是依靠人工目視的檢測方法,漏檢率和誤差率非常高,影響了太陽電池生產(chǎn)的質(zhì)量和進(jìn)度。因此,無接觸式的動態(tài)監(jiān)測規(guī)模生產(chǎn)中硅片及硅太陽電池片缺陷故障的狀況,在串焊和層壓之前對硅片及硅太陽電池片可能的缺陷故障問題進(jìn)行統(tǒng)計分析,對盡可能早地鑒別缺陷類型及其可能的成因以便于能及時發(fā)現(xiàn)工藝或設(shè)備中的問題而避免更多的成品率損失顯得非常必要。

      實用新型內(nèi)容本實用新型的目的,就是為了提供一種硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置,以實現(xiàn)在生產(chǎn)線上對硅片及硅太陽電池片進(jìn)行動態(tài)檢測。為了達(dá)到上述目的,本實用新型采用了以下技術(shù)方案一種硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置,設(shè)置在生產(chǎn)線中硅片或硅太陽電池片的路徑上,包括硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)、紅外成像機(jī)構(gòu)和計算機(jī);硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片及硅太陽電池片的近旁激發(fā)硅片及硅太陽電池片發(fā)光,紅外成像機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的上方檢測硅片的發(fā)光信號并將其傳輸?shù)接嬎銠C(jī),計算機(jī)通過安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片及硅太陽電池片的缺陷參數(shù)。所述的硅片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括LED光源和第一光源電源,在LED光源前端設(shè)有第一濾光片,LED光源與第一濾光片連成一體設(shè)置在硅片的下方,LED光源將發(fā)出的光通過第一濾光片處理成特定波長的發(fā)光信號投射到硅片上激發(fā)硅片發(fā)光,第一光源電源與 LED光源相連向LED光源提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。所述的硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括激光器和第二光源電源,激光器設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的斜上方,激光器將發(fā)出的光投射到硅片或硅太陽電池片上激發(fā)硅片或硅太陽電池片發(fā)光,第二光源電源與激光器相連向激光器提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。所述的紅外成像機(jī)構(gòu)前端設(shè)有第二濾光片。本實用新型的硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置通過LED光源或激光器激發(fā)待測硅片或硅太陽電池片產(chǎn)生特定波長的發(fā)光信號,通過紅外成像機(jī)構(gòu)和計算機(jī)檢測并處理硅片發(fā)出的特定波長的發(fā)光信號,得到其可靠的缺陷參數(shù)數(shù)據(jù)。能方便快速地檢測出硅片材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等缺陷,并且實現(xiàn)了無接觸檢測,具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、缺陷參數(shù)檢測可靠精確等優(yōu)點和特點。
      圖1是本實用新型硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
      具體實施方式
      參見圖1,本實用新型硅片缺陷檢測裝置,設(shè)置在生產(chǎn)線中硅片或硅太陽電池片1 的路徑上,包括硅片或硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2、紅外成像機(jī)構(gòu)3和計算機(jī)4。硅片或硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2設(shè)置在硅片或硅太陽電池片1的近旁激發(fā)硅片或硅太陽電池片發(fā)光,紅外成像機(jī)構(gòu)3設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的上方檢測硅片或硅太陽電池片的發(fā)光信號并將其傳輸?shù)接嬎銠C(jī),計算機(jī)4通過安裝在其內(nèi)的圖像采集、 圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片或硅太陽電池片的缺陷參數(shù)。本實用新型中的硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2可以采用兩種結(jié)構(gòu)形式,兩種結(jié)構(gòu)形式的硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)可以并存設(shè)置,選擇使用。第一種結(jié)構(gòu)形式包括LED光源21和第一光源電源22,在LED光源21前端設(shè)有第一濾光片23, LED光源21與第一濾光片23連成一體設(shè)置在硅片1的下方,LED光源21將發(fā)出的光通過第一濾光片23處理成特定波長的發(fā)光信號投射到硅片或硅太陽電池片1上激發(fā)硅片發(fā)光,第一光源電源22與LED光源21相連向LED光源提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。第二種結(jié)構(gòu)形式包括激光器M和第二光源電源25,激光器M設(shè)置在硅片或硅太陽電池片1的斜上方,激光器M將發(fā)出的光投射到硅片1上激發(fā)硅片或硅太陽電池片發(fā)光,第二光源電源25與激光器相連向激光器提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。在紅外成像機(jī)構(gòu)3的前端設(shè)有第二濾光片31。在檢測過程中,首先利用LED光源或激光器發(fā)出的光激發(fā)待測硅片,LED光源發(fā)光強(qiáng)度的大小通過對第一光源電源的控制來實現(xiàn);激光器發(fā)光強(qiáng)度的大小通過對第二光源電源的控制來實現(xiàn)。由于硅片或硅太陽電池片在被激發(fā)后會產(chǎn)生特定波長的發(fā)光信號,通過檢測并處理硅片或硅太陽電池片發(fā)出的特定波長的發(fā)光信號,從而得到其可靠的缺陷參數(shù)數(shù)據(jù)。
      權(quán)利要求1.一種硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置,設(shè)置在生產(chǎn)線中硅片或硅太陽電池片的路徑上,其特征在于包括硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)、紅外成像機(jī)構(gòu)和計算機(jī); 硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的近旁激發(fā)硅片或硅太陽電池片發(fā)光,紅外成像機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的上方檢測硅片或硅太陽電池片的發(fā)光信號并將其傳輸?shù)接嬎銠C(jī),計算機(jī)通過安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片或硅太陽電池片的缺陷參數(shù)。
      2.如權(quán)利要求1所述的硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置,其特征在于所述的硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括LED光源和第一光源電源,在LED光源前端設(shè)有第一濾光片,LED光源與第一濾光片連成一體設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的下方,LED光源將發(fā)出的光通過第一濾光片處理成特定波長的發(fā)光信號投射到硅片上激發(fā)硅片或硅太陽電池片發(fā)光,第一光源電源與LED光源相連向LED光源提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。
      3.如權(quán)利要求2所述的硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置,其特征在于所述的硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括激光器和第二光源電源,激光器設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的斜上方,激光器將發(fā)出的光投射到硅片或硅太陽電池片上激發(fā)硅片發(fā)光,第二光源電源與激光器相連向激光器提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。
      4.如權(quán)利要求1所述的硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置,其特征在于所述的紅外成像機(jī)構(gòu)前端設(shè)有第二濾光片。
      專利摘要本實用新型提供了一種硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置,它包括硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)、紅外成像機(jī)構(gòu)和計算機(jī);硅片及硅太陽電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的近旁激發(fā)硅片發(fā)光,紅外成像機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽電池片的上方檢測硅片或硅太陽電池片的發(fā)光信號并將其傳輸?shù)接嬎銠C(jī),計算機(jī)通過安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片或硅太陽電池片的缺陷參數(shù)。本實用新型的硅片及硅太陽電池片缺陷檢測裝置能方便快速地檢測出硅片材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等缺陷,并且實現(xiàn)了無接觸檢測,具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、缺陷參數(shù)檢測可靠精確等優(yōu)點和特點。
      文檔編號G01N21/88GK202305422SQ201120392780
      公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月16日
      發(fā)明者丁葉飛, 劉小宇, 張瀅清, 薛永勝 申請人:上海太陽能工程技術(shù)研究中心有限公司
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