專(zhuān)利名稱(chēng)：陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)設(shè)備，尤其涉及一種用于對(duì)陶瓷基板上微孔進(jìn)行是否堵塞的檢測(cè)機(jī)。
背景技術(shù)：
隨著社會(huì)的發(fā)展，陶瓷基板已經(jīng)成為了大功率電力電子電路結(jié)構(gòu)技術(shù)和互連技術(shù)的基礎(chǔ)材料。陶瓷基板是指銅箔在高溫下直接鍵合到氧化鋁或氮化鋁陶瓷基板表面(單面或雙面)上的特殊工藝板。陶瓷基板在應(yīng)用在不同場(chǎng)合時(shí)需要在表面進(jìn)行打孔，而孔距及孔徑都需要滿(mǎn)足一定的要求。由于孔徑細(xì)小，一般的通過(guò)人工檢測(cè)孔是否堵塞費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且很難保證檢查全面，很難滿(mǎn)足生產(chǎn)工業(yè)化及高效率的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于解決上述的技術(shù)問(wèn)題，提出一種陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)。本實(shí)用新型的目的，將通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)一種陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)，包括一底座，所述底座內(nèi)固定有一底部光源，所述底座上設(shè)有一中心帶有玻璃板、且可X、Y軸向移動(dòng)的移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)上方固定有一攝像頭，所述攝像頭設(shè)置在所述底部光源的正上方，所述檢測(cè)機(jī)還包括一設(shè)置在攝像頭側(cè)向的光纖上光源、用于信息處理的計(jì)算機(jī)及通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接的顯示屏，所述攝像頭與所述計(jì)算機(jī)通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)連接。優(yōu)選地，所述攝像頭下方固定有一光學(xué)顯微鏡，所述攝像頭通過(guò)支架固定于底座上，所述檢測(cè)機(jī)還包括一用于調(diào)節(jié)攝像頭焦距的焦距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。優(yōu)選地，所述攝像頭為CXD攝像頭。本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在陶瓷基板微孔為錐形，上底面孔徑稍大于下底面孔徑，因此光纖上光源適合檢測(cè)基板微孔的上底面微孔，底光源適合檢測(cè)微孔的下底面微孔。同時(shí)，通過(guò)顯微鏡及攝像頭結(jié)合，檢測(cè)方便快速，效率得到了大大的提高。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的側(cè)面示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供了一種陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)，如圖1、圖2所示，包括一底座1， 所述底座1內(nèi)固定有一底部光源23，所述底座1上設(shè)有一中心帶有玻璃板3、且可X、Y軸向移動(dòng)的移動(dòng)平臺(tái)11。當(dāng)陶瓷基板放置早移動(dòng)平臺(tái)上時(shí)，只需要將移動(dòng)平臺(tái)在Χ、Υ軸向上移動(dòng)便可以對(duì)陶瓷基板上不同位置的微孔進(jìn)行觀察。所述移動(dòng)平臺(tái)11上方固定有一攝像頭5，所述攝像頭為CXD攝像頭。所述攝像頭
35設(shè)置在所述底部光源23的正上方。所述檢測(cè)機(jī)還包括一設(shè)置在攝像頭5側(cè)向的光纖上光源21、用于信息處理的計(jì)算機(jī)(圖中未示意)及通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接的顯示屏6，所述攝像頭5與所述計(jì)算機(jī)通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)連接。由于陶瓷基板上的微孔為錐形，上底面孔徑稍大于下底面孔徑，因此光纖上光源 21適合檢測(cè)基板微孔的上底面微孔，底光源23適合檢測(cè)微孔的下底面微孔。所述攝像頭5下方固定有一光學(xué)顯微鏡4，所述攝像頭5通過(guò)支架固定于底座1 上，為了更好的進(jìn)行拍攝清晰的畫(huà)面，所述檢測(cè)機(jī)還包括一用于調(diào)節(jié)攝像頭焦距的焦距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)51。下面闡述下本實(shí)用新型的檢測(cè)方法。步驟一、啟動(dòng)準(zhǔn)備，啟動(dòng)微孔檢測(cè)機(jī)，將陶瓷基板放置在可移動(dòng)平臺(tái)11的玻璃板3 上，根據(jù)測(cè)量需求，調(diào)節(jié)光纖上光源21或底光源23。步驟二、預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)，首次測(cè)量時(shí)使用標(biāo)準(zhǔn)塊替代陶瓷基板，輸入標(biāo)準(zhǔn)塊上圓的標(biāo)準(zhǔn)直徑，使用檢測(cè)軟件測(cè)量后計(jì)算實(shí)際放大倍數(shù)并保存，以作為計(jì)算尺寸數(shù)據(jù)。步驟三、檢查拍攝，打開(kāi)光學(xué)顯微鏡4，(XD攝像頭5，如有需要，可以調(diào)整焦距使圖像最清晰，此時(shí)基板圖像的放大倍率=光學(xué)放大倍數(shù)X電子放大倍率=光學(xué)放大倍數(shù)X (顯示器對(duì)角尺寸/C⑶靶面對(duì)角尺寸)。拍攝下圖像后，通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)傳遞給計(jì)算機(jī)，再將其圖像在顯示屏6上顯示。步驟四、測(cè)量完畢，更換陶瓷基板，進(jìn)入下一個(gè)測(cè)量循環(huán)。以上步驟三的檢測(cè)過(guò)程為分為手動(dòng)和自動(dòng)兩種模式，手動(dòng)模式為圖像顯示模塊進(jìn)入計(jì)算模塊計(jì)算檢測(cè)最后通過(guò)圖像輸出數(shù)據(jù)顯示。具體的是通過(guò)手動(dòng)鼠標(biāo)取點(diǎn)，在孔邊上取三點(diǎn)，線(xiàn)上取兩點(diǎn)進(jìn)入計(jì)算模塊。而自動(dòng)的是通過(guò)圖像黑白化，孔內(nèi)為黑色，以此在顯示屏上觀測(cè)是否有微孔堵塞。本實(shí)用新型是觀察圖像檢測(cè)基板微孔加工狀態(tài)，檢測(cè)軟件具備測(cè)量，拍照功能。本實(shí)用新型尚有多種實(shí)施方式，凡采用等同變換或者等效變換而形成的所有技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)，其特征在于包括一底座，所述底座內(nèi)固定有一底部光源，所述底座上設(shè)有一中心帶有玻璃板、且可X、Y軸向移動(dòng)的移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)上方固定有一攝像頭，所述攝像頭設(shè)置在所述底部光源的正上方，所述檢測(cè)機(jī)還包括一設(shè)置在攝像頭側(cè)向的光纖上光源、用于信息處理的計(jì)算機(jī)及通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接的顯示屏，所述攝像頭與所述計(jì)算機(jī)通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)，其特征在于所述攝像頭下方固定有一光學(xué)顯微鏡，所述攝像頭通過(guò)支架固定于底座上，所述檢測(cè)機(jī)還包括一用于調(diào)節(jié)攝像頭焦距的焦距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)，其特征在于所述攝像頭為CCD攝像頭。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型揭示了一種陶瓷基板用微孔檢測(cè)機(jī)，包括一底座，所述底座內(nèi)固定有一底部光源，底座上設(shè)有一中心帶有玻璃板、且可X、Y軸向移動(dòng)的移動(dòng)平臺(tái)，移動(dòng)平臺(tái)上方固定有一攝像頭，攝像頭設(shè)置在所述底部光源的正上方，所述檢測(cè)機(jī)還包括一設(shè)置在攝像頭側(cè)向的光纖上光源、用于信息處理的計(jì)算機(jī)及通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接的顯示屏，所述攝像頭與所述計(jì)算機(jī)通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)連接。陶瓷基板微孔為錐形，上底面孔徑稍大于下底面孔徑，因此光纖上光源適合檢測(cè)基板微孔的上底面微孔，底光源適合檢測(cè)微孔的下底面微孔。本實(shí)用新型通過(guò)顯微鏡及攝像頭結(jié)合，檢測(cè)方便快速，效率得到了大大的提高。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202256172SQ20112040990
公開(kāi)日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月25日
發(fā)明者周惠泉, 安旭舫, 李江鋒, 潘丹丹, 秦樂(lè)寧, 謝懷婷, 鄧?yán)? 陸曉金, 黃明臻 申請(qǐng)人:蘇州賽瑯泰克高技術(shù)陶瓷有限公司