專利名稱：一種芯片測試座的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體和電子連接件行業(yè)，特別涉及到芯片測試裝置。
背景技術：
在半導體芯片的研發(fā)及大規(guī)模生產過程中，均需要對芯片的各類性能進行測試，芯片測試座是測試裝置中的關鍵部件。測試座的功能是將芯片定位夾持及線路板之間電子訊號及電流的傳輸，它的功能優(yōu)劣直接影響芯片測試的可靠性和準確性。隨著芯片的運行速度日益提高和電子產品尺寸的減少，對測試座性能的要求亦日益提高。一般說來，測試座的主要部件包括彈簧探針、探針架、其他電子連接件。探針架內有針穴以放置彈簧探針的針體，針體夾持著放置在其內部的上動針、彈簧和下動針，并與動針保持良好接觸以確保電流和電信號的傳輸。上下動針在針體內運動以保持芯片和下部線路板之間的電子連接，也可以補償芯片和測試裝置另部件的尺寸公差。 在彈簧探針測試座中，有兩類間隙存在。ー類間隙是上下動針與針體內壁之間的間隙，此間隙確保動針在針體內運動自如，對于調整上下動針與芯片的接觸，正確傳輸電流或電信號都是很必要的。另ー類間隙是彈簧探針的針體與針穴之間的間隙，此間隙正確保持彈簧探針在針穴內運動自如。隨著半導體芯片尺寸的減小，針腳間距亦日益減小，相應地，用于測試的彈簧探針的尺寸也會減小，因而彈簧探針的制造難度更高，制成的彈簧探針的性能往往會更差ー些，尤其是在芯片測試時彈簧探針的針頭與芯片針腳的錯位可能性大為提高。而彈簧探針的針體與針穴之間的間隙造成彈簧探針在針穴內的擺動，以至于影響了彈簧探針的針頭與芯片針腳之間接觸的定位精度。
發(fā)明內容本實用新型要解決的技術問題是克服現(xiàn)有技術中的不足，提出一種新的芯片測試座，在所述的芯片測試座的探針架內，消除針體與針穴之間的間隙，避免彈簧探針在針穴內的擺動，提高定位的精度。本實用新型是通過以下的技術措施來實現(xiàn)的。ー種芯片測試座，包括彈簧探針、探針架、其他電子連接件，而在由高強度可絕緣復合塑料材料制成的探針架上的針穴的內壁覆蓋著鍍金層和鍍鎳層，針穴內部有包括上動針、彈簧和下動針在內的彈簧探針。所述的鍍金層的厚度為O. 5 3微米。所述的鍍鎳層的厚度為3 10微米。本實用新型采用上述技術措施后，在探針架上的針穴內壁上覆蓋的高強度復合材料(鍍金層和鍍鎳層)，相當于彈簧探針的針體。上動針、彈簧和下動針可以直接置入所述的鍍層中。這樣探針架上的另ー類間隙，即彈簧探針的針體外徑與針穴之間的間隙就消失了，只留下動針外徑與針穴鍍層的內徑的間隙(相當于動針外徑與針體內徑之間的間隙)，這樣彈簧探針的針頭與芯片針腳的錯位可能性大為降低。彈簧探針的針頭與芯片針腳之間接觸的定位精度和性能大為提高。

圖I為本實用新型實施例中的芯片測試座示意圖。圖2為圖I中的B部放大圖。圖中I為探針架,2為上動針,3為彈簧,4為下動針，6為鍍金層和鍍鎳層,7為針穴。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例對本實用新型作進ー步說明。
實施例I，如圖I，圖2和圖3所示，一種芯片測試座，包括彈簧探針、探針架I，而在探針架I上，針穴7的內壁覆蓋著鍍金層和鍍鎳層6，針穴7的內部有包括上動針2、彈簧3和下動針4在內的彈簧探針。鍍金層的厚度為O. 8微米，鍍鎳層的厚度為3. 2微米。實施例2，如圖1，圖2和圖，4所示，ー種芯片測試座，包括彈簧探針、探針架1，而在探針架I上，針穴7的內壁覆蓋著鍍金層和鍍鎳層6，針穴7的內部有包括上動針3、彈簧3和下動針4在內的彈簧探針。鍍金層的厚度為I. 3微米，鍍鎳層的厚度為8微米。以上所述的僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式。應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干變型和改進，這些也應視為屬于本實用新型的保護笵圍。
權利要求1.ー種芯片測試座，包括彈簧探針、探針架(1)，其特征在于在探針架上，針穴(7)的內壁覆蓋著鍍金層和鍍鎳層(6 )，針穴(7 )內部有包括上動針(2 )、彈簧(3 )和下動針(4 )在內的彈簧探針。
2.根據(jù)權利要求I所述的ー種芯片測試座，其特征在干所述的鍍金層的厚度為O.5 3微米。
3.根據(jù)權利要求I所述的ー種芯片測試座，其特征在于所述的鍍鎳層的厚度為3 10微米。
專利摘要一種芯片測試座，涉及到半導體芯片測試裝置。在探針架上的針穴的內壁覆蓋著鍍金層和鍍鎳層，針穴內部有包括上動針、彈簧和下動針在內的彈簧探針。采用本芯片測試座，可以消除彈簧探針的針體外徑與針穴之間的間隙，這樣彈簧探針的針頭與芯片針腳的錯位可能性大為降低。彈簧探針的針頭與芯片針腳之間接觸的定位精度和性能大為提高。
文檔編號G01R1/04GK202443034SQ20112049776
公開日2012年9月19日 申請日期2011年12月5日 優(yōu)先權日2011年12月5日
發(fā)明者吉迎東, 周家春, 潘銳柏, 韓代福 申請人:安拓銳高新測試技術(蘇州)有限公司