專(zhuān)利名稱(chēng)：具有驗(yàn)證單元的光譜儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請(qǐng)的主題涉及化學(xué)分析物的氣相濃度的定量，例如采用包括具有一種或多種參考?xì)怏w的驗(yàn)證單元或者具有完全或部分真空的光譜分析系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
痕量氣體(trace gas)分析器可要求其產(chǎn)生的濃度測(cè)量值相對(duì)于例如分析器的性能的長(zhǎng)期保真精度的周期性驗(yàn)證，所述分析器的性能與工廠校準(zhǔn)或源于國(guó)家或國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)局(例如包括但不限于國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)學(xué)會(huì)，National Institute of Standards andTechnology)的標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)。用于現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量驗(yàn)證的目前的可用方案通常包括采用滲透管裝置或利用壓縮氣筒提供的參考樣本進(jìn)行的校準(zhǔn)?？烧{(diào)諧激光器光源的頻率穩(wěn)定性對(duì)于定量的痕量氣體吸收光譜學(xué)來(lái)說(shuō)是很重要的。取決于工作波長(zhǎng)，可調(diào)諧激光源，例如二極管激光器，通常可呈現(xiàn)每天幾皮米量級(jí)(千兆赫茲量級(jí))到每天皮米的分?jǐn)?shù)量級(jí)的波長(zhǎng)漂移。典型的痕量氣體吸收帶譜線寬度在某些示例中可以是納米的分?jǐn)?shù)量級(jí)到微米量級(jí)。因此，激光器光源的漂移可隨著時(shí)間在痕量氣體分析物的識(shí)別和量化中引入嚴(yán)重錯(cuò)誤，特別是在具有吸收光譜可能與目標(biāo)分析物的吸收特征相干的一種或多種背景化合物的氣體中。基于滲透管的驗(yàn)證系統(tǒng)通常是昂貴且復(fù)雜的，并且通常需要非常精確地控制溫度和氣流速率，以及消除通過(guò)滲透管的溫度梯度，從而提供精確的結(jié)果。滲透管裝置的老化和污染可能會(huì)隨著時(shí)間改變滲透率，從而導(dǎo)致驗(yàn)證測(cè)量讀數(shù)的變化，以及潛在地隨著時(shí)間出現(xiàn)驗(yàn)證錯(cuò)誤。盡管可能相當(dāng)昂貴，該問(wèn)題可通過(guò)頻繁替換滲透管裝置來(lái)解決。在現(xiàn)場(chǎng)替換滲透管裝置時(shí)，可出現(xiàn)進(jìn)一步的挑戰(zhàn)，因?yàn)榭赡茈y以使替換的滲透裝置產(chǎn)生的痕量氣體濃度與源于標(biāo)準(zhǔn)局的分析器校準(zhǔn)相關(guān)聯(lián)?；跐B透的驗(yàn)證系統(tǒng)也可能需要相當(dāng)大量的載氣和分析物氣體以制備驗(yàn)證氣體流。當(dāng)涉及高度反應(yīng)性或腐蝕性的氣體時(shí)，基于滲透的裝置通常是不可行的。此外，基于滲透的裝置通常不能精確地制備用于痕量分析物測(cè)量的低濃度(例如低于百萬(wàn)分之十，特別是十億分之幾的量級(jí)或更小)的驗(yàn)證流。有利地，驗(yàn)證流應(yīng)該在實(shí)際工作溫度范圍上保持精確。滲透裝置的極度的溫度敏感性是關(guān)鍵的挑戰(zhàn)。例如，0.1°c這么小的溫度變化可能導(dǎo)致額定驗(yàn)證濃度的大于土 10%的水分濃度變化，這對(duì)于現(xiàn)場(chǎng)分析器驗(yàn)證來(lái)說(shuō)通常是不可接受的。利用壓縮氣筒提供的已知濃度的參考?xì)怏w的驗(yàn)證可用于氣相色譜儀驗(yàn)證應(yīng)用。這種方法實(shí)質(zhì)上可能比光譜測(cè)量更昂貴。參考?xì)怏w測(cè)量涉及以例如大約0. I到3公升每分鐘的速率通過(guò)樣本測(cè)量單元的氣流速率，該速率比氣相色譜儀中采用的微公升每分鐘的典型流速大多個(gè)數(shù)量級(jí)。在壓縮氣筒中提供的參考?xì)怏w混合物可能難于或者不可能獲得，特別是在世界上的偏遠(yuǎn)地區(qū)，在那里存在很多天然氣處理、石化、化學(xué)以及精煉工廠。加壓氣筒的運(yùn)輸是昂貴的，并且由于加壓氣筒通常不能空運(yùn)，因此可能花費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間。此外，參考?xì)馔部赡苄枰訜崽夯蛟O(shè)置內(nèi)部溫控箱、機(jī)架等等，從而避免溫度日波動(dòng)會(huì)快速破壞筒中的經(jīng)認(rèn)證的參考組合物。此外，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)載氣和痕量分析物混合不均勻，例如在典型氣筒壓力為50psi (磅每平方英寸)到3000psi，沒(méi)有機(jī)械攪動(dòng)或加熱的情況下。因此，即便是在最初制備時(shí)(例如采用適當(dāng)?shù)脑从跇?biāo)準(zhǔn)局的重量和比例)通過(guò)重量測(cè)量經(jīng)過(guò)了認(rèn)證的參考?xì)怏w混合物，也可能在從筒放出的氣體中隨著時(shí)間產(chǎn)生變化的痕量氣體濃度，從而產(chǎn)生錯(cuò)誤，在連續(xù)驗(yàn)證嘗試中改變分析器的濃度讀數(shù)。 然而，即便有了這種防范，由于痕量氣體和筒的反應(yīng)，包含反應(yīng)痕量氣體的加壓筒通常最多只在幾個(gè)月期間保持穩(wěn)定的、可再生的參考?xì)怏w濃度。對(duì)于很多反應(yīng)性的痕量氣體來(lái)說(shuō)，與筒壁的反應(yīng)可能是重要的問(wèn)題，反應(yīng)性的痕量氣體包括但不限于H2S、HCI、NH3,H2O等等。特別地，難以制備在超過(guò)6個(gè)月的期間保持穩(wěn)定的精確的水分混合物。目前，還不能在能夠可靠地提供精確度高于大約±10%的小于大約IOppm的水分含量的加壓氣筒中獲得經(jīng)認(rèn)證并可跟蹤的參考?xì)怏w混合物。因此，用于能夠在例如液化天然氣、干裂解氣、氫、氮、氧、空氣、乙烯、丙烯、烯烴丙烷以及丁烷中測(cè)量小于大約Ippm的水分水平的分析器的儀器驗(yàn)證是非常難的。例如，濃度小于IOppm的適當(dāng)?shù)乃謪⒖細(xì)怏w混合物的缺乏目前對(duì)于液化氣生產(chǎn)提出了非常高的工作挑戰(zhàn)。通常，天然氣液化鏈需要可靠地保持水分水平適當(dāng)?shù)匚挥贗. 5ppm以下,從而減輕液化設(shè)備的結(jié)冰。超過(guò)大約Ippm水平的未探測(cè)到的水分漂移通常導(dǎo)致設(shè)備結(jié)冰。需要解凍氣體液化設(shè)備從而恢復(fù)生產(chǎn)工作的一次情況就可能輕而易舉地導(dǎo)致超過(guò)5，000, 000美元的營(yíng)業(yè)損失。乙烯和丙烯的生產(chǎn)是日常生活中使用的大多數(shù)塑料的基本構(gòu)成模塊，其需要保持痕量雜質(zhì)水平適當(dāng)?shù)氐陀?0ppb，從而避免產(chǎn)生次質(zhì)量的聚乙烯和聚丙烯。這些雜質(zhì)可包括但不限于NH3，、H2O, C2H2, CO2和CO。通常，瓶裝氣體混合物不能提供針對(duì)這樣的低濃度測(cè)量的精確的、源于標(biāo)準(zhǔn)局的驗(yàn)證。滲透管驗(yàn)證技術(shù)對(duì)于乙烯和丙烯污染物測(cè)量來(lái)說(shuō)，也不適于提供可信賴的驗(yàn)證結(jié)果。除了對(duì)溫度穩(wěn)定性和流控制的極度需求之外，滲透管裝置通常不能夠可靠地提供低于IOppm的痕量氣體濃度。測(cè)量低于50ppb的典型的光學(xué)和TDL痕量氣體分析器不能夠同時(shí)支持高于大約IOppm的痕量氣體水平的精確測(cè)量。

發(fā)明內(nèi)容
在一方面，一種裝置包括驗(yàn)證單元，該驗(yàn)證單元放置為使得由光源產(chǎn)生的光在所述光從光源到探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次地通過(guò)該驗(yàn)證單元。該驗(yàn)證單元包含參考?xì)怏w，所述參考?xì)怏w包括已知量的分析物化合物(analyte compound)。所述光源在包括所述分析物化合物的光譜吸收特征的波長(zhǎng)范圍內(nèi)發(fā)射所述光?？刂破?，用于執(zhí)行儀器驗(yàn)證過(guò)程和樣本分析過(guò)程。該儀器驗(yàn)證過(guò)程包括接收第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，該第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化在所述光至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和零氣體中的每一個(gè)時(shí)在所述探測(cè)器接收的所述光的第一強(qiáng)度，以及通過(guò)確定所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)未偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合超過(guò)預(yù)定的閾值偏差，來(lái)驗(yàn)證所述分析系統(tǒng)的有效狀態(tài)。所述零氣體具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性，該第一光吸收率特性在所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)與所述分析物化合物的第二光吸收率特性重疊。所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合表示在所述分析系統(tǒng)上進(jìn)行的先前的儀器驗(yàn)證過(guò)程中采集的至少一個(gè)先前的測(cè)量。所述樣本分析過(guò)程包括接收第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化在所述光至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和樣本氣體中的每一個(gè)時(shí)在所述探測(cè)器接收的所述光的第二強(qiáng)度，所述樣本氣體包含未知濃度的分析物化合物，以及通過(guò)校正所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)以考慮驗(yàn)證單元中的所述光的已知吸收率，來(lái)確定樣本氣體中的分析物化合物的濃度。在相關(guān)的方面，一種方法包括接收第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化來(lái)自光源的光至少一次地通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和零氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器接收到的所述光的第一強(qiáng)度。所述參考?xì)怏w包括已知量的分析物化合物。所述光源在包含所述分析物化合物的光譜吸收特征的波長(zhǎng)范圍內(nèi)發(fā)出所述光。所述零氣體在所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性。該方法進(jìn)一步包括通過(guò)確定所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)未偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合超過(guò)預(yù)定閾值偏差來(lái)驗(yàn)證包括所述光源和所述探測(cè)器的分析系統(tǒng)的有效狀態(tài)。所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合表示在所述分析系統(tǒng)上進(jìn)行的先前的儀器驗(yàn)證過(guò)程中采集的至少一個(gè)先前的測(cè)量。該方法還包括接收第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，該第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化來(lái)自光源的光至少一次地通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和包含未知濃度的分析物化合物的樣本氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器接收到的所述光的第二強(qiáng)度。通過(guò)校正所述第 二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)以考慮所述驗(yàn)證單元中的所述光的已知吸收率來(lái)確定所述樣本氣體中的分析物化合物的濃度。在另一相關(guān)方面，一種裝置包括驗(yàn)證單元，該驗(yàn)證單元放置為使得由光源產(chǎn)生的光在所述光從光源到探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次地通過(guò)該驗(yàn)證單元。該驗(yàn)證單元包含參考?xì)怏w，所述參考?xì)怏w包括已知量的目標(biāo)分析物。流切換裝置在樣本分析模式過(guò)程中使樣本氣體進(jìn)入所述光的路徑，并在驗(yàn)證模式過(guò)程中使零氣體進(jìn)入所述光的路徑。所述零氣體在所述光源產(chǎn)生的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性。該裝置還包括執(zhí)行以下操作的控制器接收量化在所述驗(yàn)證模式期間在探測(cè)器接收的所述光的強(qiáng)度的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，比較所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與表示在所述驗(yàn)證模式中的至少一個(gè)先前的測(cè)量的存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合；如果所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致超過(guò)了預(yù)定的閾值量，則確定出現(xiàn)驗(yàn)證失敗。在另一相關(guān)方面，一種方法包括接收光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化由光源產(chǎn)生的并在吸收光譜儀的驗(yàn)證模式中在探測(cè)器接收的光的強(qiáng)度。所述驗(yàn)證模式包括使所述光至少一次地通過(guò)零氣體和參考?xì)怏w中的每一個(gè)，所述參考?xì)怏w包含在驗(yàn)證單元中且包括已知量的目標(biāo)分析物。所述零氣體在所述光源產(chǎn)生的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性。該方法還包括比較所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與表示所述驗(yàn)證模式中的至少一個(gè)先前測(cè)量的存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合；以及如果所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致超過(guò)了預(yù)定的閾值量，則確定出現(xiàn)了驗(yàn)證失敗。在其他方面，還描述了一種產(chǎn)品，包括被具體呈現(xiàn)的機(jī)器可讀介質(zhì)，用于使一個(gè)或多個(gè)機(jī)器(例如計(jì)算機(jī)等)完成本文所述的操作。相似地，還描述了可包括處理器和耦合至該處理器的存儲(chǔ)器的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。所述存儲(chǔ)器可包括使處理器執(zhí)行本文的一個(gè)或多個(gè)操作的一個(gè)或多個(gè)程序。在一些變形中，可以任何靈活的組合選擇性地包含以下附加特征的一個(gè)或多個(gè)。樣本測(cè)量單元可包含分析體，該分析體在所述樣本分析過(guò)程中包含所述樣本氣體以及在所述儀器驗(yàn)證過(guò)程中包含所述零氣體。所述樣本測(cè)量單元被放置為使得所述光在從光源到探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次地通過(guò)所述樣本測(cè)量單元中的所述分析體和所述驗(yàn)證單元中的所述參考?xì)怏w中的每一個(gè)。該系統(tǒng)還可包括由所述控制器(或其他裝置)激活的流切換裝置，以在所述樣本分析過(guò)程中使所述樣本氣體進(jìn)入所述樣本測(cè)量單元的分析體，并在所述儀器驗(yàn)證過(guò)程中使所述零氣體進(jìn)入所述樣本測(cè)量單元的所述分析體。所述零氣體可包括惰性氣體、氮?dú)?、氧氣、空氣、氫氣、同核雙原子氣體、至少部分真空、碳?xì)浠衔餁怏w、碳氟化合物氣體、氯碳化合物氣體、一氧化碳?xì)怏w、二氧化碳?xì)怏w中的至少一種。所述零氣體可通過(guò)洗滌器和化學(xué)轉(zhuǎn)爐中的至少其中之一，從而在將所述零氣體引導(dǎo)到所述光的路徑中之前，去除或減小所述零氣體中的痕量分析物的濃度。其他的可選特征還包括所述驗(yàn)證單元具有所述光能夠通過(guò)的光透射光學(xué)表面。所述驗(yàn)證單元可包括光反射光學(xué)表面，所述光照射在所述光反射光學(xué)表面上并至少部分反射。所述光反射光學(xué)表面和/或所述光透射光學(xué)表面可構(gòu)成所述驗(yàn)證單元的至少一部分。所述樣本測(cè)量單元可包括光反射光學(xué)表面，所述光照射在所述光反射光學(xué)表面上并至少部分反射。所述樣本測(cè)量單?？砂ㄋ龉馔ㄟ^(guò)的光透射光學(xué)表面。所述光反射光學(xué)表面和 /或所述光透射光學(xué)表面可構(gòu)成所述樣本測(cè)量單元的至少一部分。集成光學(xué)單元可包括所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元二者。所述集成光學(xué)單元可包括多路單元，該多路單元包括第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面，第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面均至少一次反射所述光。所述驗(yàn)證單元可包含在所述第一反射光學(xué)表面的至少一部分和位于所述第一反射光學(xué)表面和所述第二反射光學(xué)表面之間的透射光學(xué)表面和位于所述第一反射表面之前的光透射表面之間。所述集成光學(xué)單元包括多路單元，所述多路單元包括第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面，第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面均至少一次地反射所述光，以及其中所述驗(yàn)證單元包含在所述第一反射光學(xué)表面的至少一部分以及位于所述第一反射表面之前的透射光學(xué)表面之前。附加的可選特征還可包括所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元中的至少一個(gè)包含在空心光學(xué)光導(dǎo)內(nèi)，所述空心光學(xué)光導(dǎo)通過(guò)第一光透射光學(xué)元件密閉地密封第一端使得所述光進(jìn)入所述空心光學(xué)光導(dǎo)，并通過(guò)第二光透射光學(xué)元件密閉地密封相對(duì)的端使得所述光離開(kāi)所述空心光學(xué)光導(dǎo)。所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元中的至少一個(gè)被集成到密閉的密封激光封裝器上，所述光通過(guò)形成對(duì)該密閉的密封激光封裝器的密封的至少一個(gè)透射光學(xué)元件從該密閉的密封激光封裝器傳輸。附加的可選特征還可包括確定所述驗(yàn)證單元中的溫度的溫度傳感器和確定所述驗(yàn)證單元中的壓力的壓力傳感器中的至少一個(gè)，從而提供包括溫度和壓力的至少一個(gè)的數(shù)據(jù)。作為確定所述樣本氣體中的分析物的濃度的一部分，基于所述溫度和所述壓力中的一個(gè)或多個(gè)來(lái)調(diào)整所述驗(yàn)證單元中的所述光的所述已知吸收率。溫度控制系統(tǒng)可將驗(yàn)證單元中的溫度保持在預(yù)設(shè)值。驗(yàn)證單元可包括預(yù)加載有參考?xì)怏w的密封容器和所述參考?xì)怏w通過(guò)的流通單元的其中之一。附加的可選特征還可包括所述光的路徑在所述光源和所述探測(cè)器之間穿越時(shí)至少一次通過(guò)自由氣體空間。所述流切換裝置可在所述樣本分析模式期間使所述樣本氣體進(jìn)入所述自由氣體空間，在所述驗(yàn)證模式期間使所述零氣體進(jìn)入所述自由氣體空間。所述驗(yàn)證單元可被集成到位于所述自由氣體空間的第一側(cè)的第一反射器。在所述光源和所述探測(cè)器之間穿越期間，所述光的路徑至少一次地從所述第一反射器和位于所述自由氣體空間的相對(duì)側(cè)的第二反射器中的每一個(gè)反射。在一些變形中，可以任意靈活的組合選擇性地包括以下附加特征的一個(gè)或多個(gè)。所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)包括量化在驗(yàn)證模式的第一階段在所述探測(cè)器接收的所述光的強(qiáng)度的第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，其中所述驗(yàn)證單元在所述第一階段保持在第一溫度，所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)還包括在所述驗(yàn)證模式的第二階段在所述探測(cè)器接收的光的第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述驗(yàn)證單元在所述第二階段保 持在與所述第一溫度不同的第二溫度。確定出現(xiàn)驗(yàn)證失敗包括識(shí)別所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)的第一線形和所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)的第二線形偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的第一偏差量，該第一偏移量超過(guò)了預(yù)定閾值量。所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合可包括先前記錄的在所述第一溫度和所述第二溫度下的一個(gè)或多個(gè)線形。附加的可選特征可包括由例如所述裝置的所述控制器發(fā)出出現(xiàn)驗(yàn)證失敗的警報(bào)。還包括將所述驗(yàn)證單元保持在所述第一溫度和所述第二溫度中的至少其中之一的溫度控制裝置。包括包含分析體的樣本測(cè)量單元。所述樣本測(cè)量單元可放置為使得所述光在從所述光源到所述探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次通過(guò)所述樣本測(cè)量單元中的分析體和所述驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w中的每一個(gè)。包括包含所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元的光學(xué)單
J Li o附加的可選特征可包括響應(yīng)于確定出現(xiàn)驗(yàn)證失敗，對(duì)所述光源、所述探測(cè)器和所述控制器的至少一個(gè)工作參數(shù)進(jìn)行第一修改。在至少一個(gè)工作參數(shù)的第一修改之后出現(xiàn)重復(fù)的驗(yàn)證模式期間，接收表示在所述探測(cè)器接收的所述光的新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)。將所述新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合進(jìn)行比較。確定所述新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致是否超過(guò)了預(yù)定的閾值量，如果是，則確定所述新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合是否比所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合更接近一致。附加的可選特征可包括所述光源包括激光吸收光譜儀的可調(diào)諧或可掃描激光器。所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合可包括所述激光吸收光譜儀的參考諧波吸收曲線，所述參考諧波吸收曲線具有參考曲線形狀并且包括響應(yīng)于光從所述光源傳輸通過(guò)所述驗(yàn)證單元中的所述參考?xì)怏w而由所述探測(cè)器產(chǎn)生的參考信號(hào)的一階或更高階諧波信號(hào)的至少一個(gè)。已經(jīng)針對(duì)已知或校準(zhǔn)狀態(tài)的所述激光吸收光譜儀確定了所述參考諧波吸收曲線。所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)包括具有測(cè)試曲線形狀的測(cè)試諧波吸收曲線。所述預(yù)定的閾值量包括所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的預(yù)定的允許偏差。調(diào)整所述激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)以校正所述測(cè)試曲線形狀，從而減小所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別。激光吸收光譜儀的所述一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)可包括激光光源參數(shù)、探測(cè)器參數(shù)、和用于通過(guò)由所述探測(cè)器產(chǎn)生的信號(hào)產(chǎn)生所述測(cè)試諧波吸收曲線的信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)。附加的可選特征可包括建立(promote)所述激光吸收光譜儀的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證度量。所述現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證度量可包括所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別、被調(diào)整的所述一個(gè)和多個(gè)操作和分析參數(shù)的識(shí)別、以及所述一個(gè)和多個(gè)操作和分析參數(shù)被調(diào)整的值的至少其中之一。所述激光光源參數(shù)可包括溫度、工作電流、調(diào)制電流、斜坡電流、斜坡電流曲線形狀、和所述激光光源的相位的至少其中之一。所述探測(cè)器參數(shù)可包括增益和探測(cè)器電路的相位設(shè)置的至少其中之一。所述信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)可包括增益和解調(diào)裝置的相位設(shè)置的至少其中之一。附加的可選特征可包括作為所述比較的一部分，應(yīng)用曲線擬合算法來(lái)量化所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別。所述比較可進(jìn)一步或可選地包括針對(duì)所述測(cè)試曲線和所述參考曲線的一個(gè)或多個(gè)部分或者全部應(yīng)用減法、除法、交叉相關(guān)、曲線擬合、和多變量回歸的至少其中之一，并在光強(qiáng)度域(即y軸)和/或波長(zhǎng)域(即X軸)計(jì)算差、比值、均方差(MSE)、決定系數(shù)(R2)、交叉相關(guān)函數(shù)/積分以及回歸系數(shù)中的一個(gè)或多個(gè)，從而量化所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別。所述參考諧波吸收曲線可包括在所述激光吸收光譜儀的校準(zhǔn)期間存儲(chǔ)的校準(zhǔn)參考曲線和包含一個(gè)或多個(gè)數(shù)學(xué)地組合的存儲(chǔ)的校準(zhǔn)參考曲線的構(gòu)造曲線中的至少一個(gè)，其中所述一個(gè)或多個(gè)數(shù)學(xué)地組合的存儲(chǔ)的校準(zhǔn)參考曲線是根據(jù)所述樣本氣體包含的背景氣體的成分以及包含所述背景氣體的所述樣本氣體中待測(cè)量的目標(biāo)分析物的期望濃度來(lái)選擇的。本文所述的主題提供了很多優(yōu)點(diǎn)。例如可以低成本、低復(fù)雜度來(lái)進(jìn)行氣體分析器 的已有校準(zhǔn)的驗(yàn)證，并且僅僅需要在樣本測(cè)量單元中(或可選地在分析模式期間包含樣本氣體的自由氣體空間中)提供零氣體(下文更詳細(xì)地描述)，以提供用于驗(yàn)證測(cè)量的無(wú)吸收率背景。零氣體的一個(gè)示例為氮，其在例如壓縮筒中，特別容易通過(guò)從空氣制造氮的現(xiàn)場(chǎng)空氣分離車(chē)間等獲得。采用穩(wěn)定且易得的零氣體消除了保存期限的問(wèn)題，特別是與包含痕量氣體本身的混合物的壓縮氣筒相關(guān)的保存期限問(wèn)題，也可以消除與高壓下的氣體混合相關(guān)的問(wèn)題，以及與氣體混合物從壓縮筒抽出相關(guān)的問(wèn)題。此外，本主題可消除或至少減少對(duì)昂貴且復(fù)雜的滲透管設(shè)備的需要，和/或?qū)訅簹馔仓械膮⒖細(xì)怏w的需要，該參考?xì)怏w可能難于獲得和保持?？稍陂L(zhǎng)時(shí)間段內(nèi)進(jìn)行重復(fù)的測(cè)量驗(yàn)證檢查，而沒(méi)有顯著的老化效應(yīng)，也不需要消耗難以獲得且保存期限有限的參考?xì)怏w混合物。本主題還可使吸收光譜儀能夠自身再校準(zhǔn)，或者例如采用迭代過(guò)程，其中調(diào)整激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)來(lái)尋找使光譜儀表現(xiàn)得更接近于先前記錄的校準(zhǔn)條件的新的工作和/或分析條件。以下的附圖和說(shuō)明書(shū)列出了本文所述的主題的一個(gè)或多個(gè)變形的細(xì)節(jié)。本文所述的主題的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將體現(xiàn)在說(shuō)明書(shū)、附圖以及權(quán)利要求中。


與說(shuō)明書(shū)相結(jié)合并作為其一部分的附圖顯示本文公開(kāi)的主題的特定方面，與說(shuō)明書(shū)一起幫助解釋與公開(kāi)的實(shí)施方式相關(guān)的一些理論。圖中圖IA和圖IB顯示包括樣本體和驗(yàn)證單元的樣本測(cè)量單元的示例；圖2是描述根據(jù)本主題的實(shí)施方式的方法的方面的流程圖；圖3顯示設(shè)置用于通過(guò)驗(yàn)證單元和樣本體的光束的多個(gè)路徑的樣本測(cè)量單元的示例；圖4顯示包括自由氣體空間的分析系統(tǒng)的示例；圖5顯示作為驗(yàn)證單元的空心光學(xué)光導(dǎo)的示例；圖6顯示作為驗(yàn)證單元的空心光學(xué)光導(dǎo)的示例；圖7顯示作為驗(yàn)證單元的密閉的密封激光封裝器的示例；
圖8是驗(yàn)證單元中的低壓水汽的吸收率與純甲烷以及樣本測(cè)量單元中的不同濃度的水汽的吸收率相對(duì)比的曲線圖；圖9是顯示參考?xì)怏w單元中的低壓水汽的總吸收率線形以及樣本測(cè)量單元中的甲烷背景中的不同濃度的水汽的總吸收率線形的曲線圖；圖10是描述用于確定是否出現(xiàn)光譜驗(yàn)證失敗的方法的特征的流程圖；圖11是描述用于確定是否調(diào)整激光吸收光譜儀的工作和/或分析參數(shù)以校正激光吸收光譜儀的驗(yàn)證狀態(tài)的方法的特征的流程圖；圖12是描述用于確定是否出現(xiàn)光譜驗(yàn)證失敗的方法的特征的流程圖； 圖13是描述顯示調(diào)整激光光源的中間工作電流從而將測(cè)試曲線移動(dòng)到與存儲(chǔ)的參考曲線對(duì)準(zhǔn)的示例的兩個(gè)光譜吸收?qǐng)D的曲線圖；以及圖14是描述顯示調(diào)整激光光源的一個(gè)或多個(gè)工作參數(shù)和/或信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)從而校正測(cè)試曲線形狀以減小測(cè)試曲線形狀和參考曲線形狀之間的差別的示例的兩個(gè)光譜吸收?qǐng)D的曲線圖。實(shí)踐中，相同的附圖標(biāo)記指代相同的結(jié)構(gòu)、特征或元件。
具體實(shí)施例方式為了解決目前可用的方案中的上述顯著問(wèn)題以及潛在的其他問(wèn)題，本主題的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式提供了能夠在光譜儀的光學(xué)吸收單元中提供完整的測(cè)量保真精度驗(yàn)證能力以及其他可能優(yōu)點(diǎn)的方法、系統(tǒng)、制造產(chǎn)品等等?，F(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證所需的唯一氣體是適當(dāng)?shù)?、容易獲得的、低成本的零氣體。在本文中，術(shù)語(yǔ)“零氣體”是指具有覆蓋樣本氣體混合物中要探測(cè)的一種或多種目標(biāo)分析物的目標(biāo)光譜特征的、可忽略或可充分表征的光吸收率的樣本測(cè)量單元的成分。內(nèi)嵌的驗(yàn)證單元包括參考?xì)怏w，并放置為使得來(lái)自光源的光在其到達(dá)探測(cè)器的路徑上通過(guò)驗(yàn)證單元和樣本測(cè)量單元，該探測(cè)器量化接收的光強(qiáng)度。這樣的布置不需要復(fù)雜且昂貴的裝置來(lái)嚴(yán)格控制溫度和流，而在使用滲透裝置或來(lái)自壓縮氣筒的預(yù)混合痕量氣體混合物的稀釋物時(shí)，儀器驗(yàn)證需要這種復(fù)雜且昂貴的裝置。零氣體可以是，例如惰性氣體、氮?dú)?N2)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、任何同核雙原子氣體、在感興趣的痕量分析物測(cè)量的所選波長(zhǎng)上具有可忽略的吸收率的任何氣體、在儀器可探測(cè)的水平上不包含感興趣的痕量分析物的任何氣體、真空等等?？赏ㄟ^(guò)利用適當(dāng)?shù)臑V波器或洗滌器來(lái)去除任何潛在的痕量氣體污染物，來(lái)進(jìn)一步將這樣的零氣體限定到低于分析器的探測(cè)極限的水平。在一些實(shí)施方式中，可采用將總體的碳?xì)浠衔?、水分、C02、C0以及其他污染物降低到很低的個(gè)位數(shù)PPb水平或者更低的濾波器。在一些實(shí)施方式中可應(yīng)用將痕量分析物濃度降低到低于儀器的探測(cè)水平的化學(xué)反應(yīng)洗滌器。共有美國(guó)專(zhuān)利號(hào)7，829，046描述了這種洗滌器的示例。在一些實(shí)施方式中可以使用將總體水分濃度降低到低于儀器探測(cè)極限的水平的干燥器。在一些實(shí)施方式中，零氣體可以是真空，或可選地，是具有已知組分的氣體混合物，其中該已知組分在用于光譜分析的感興趣的一個(gè)或多個(gè)波長(zhǎng)上具有充分表征的光譜響應(yīng)。通過(guò)根據(jù)樣本測(cè)量單元來(lái)放置驗(yàn)證單元，本主題的實(shí)施方式能夠改善驗(yàn)證測(cè)量和樣本測(cè)量之間的保真度。該設(shè)置能夠同時(shí)測(cè)量樣本測(cè)量單元中以及驗(yàn)證單元中的痕量氣體濃度，作為樣本測(cè)量單元和驗(yàn)證單元中的痕量氣體濃度的和。在用于量化痕量氣體光譜學(xué)的該新穎的光學(xué)布置中，在通過(guò)驗(yàn)證單元中的痕量氣體濃度的同時(shí)，無(wú)論在測(cè)量痕量氣體濃度還是樣本測(cè)量單元中的零氣體濃度時(shí)，單個(gè)光學(xué)測(cè)量光束與不變的氣體體積、相同的光學(xué)反射和透射表面、以及相同的探測(cè)器在空間和時(shí)間上相互作用。適當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)算法將用樣本測(cè)量單元中的零氣體采集的一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)的參考光譜掃描(從而僅反映驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w的吸收率)與用樣本測(cè)量單元中的樣本氣體采集的所測(cè)量的合成痕量氣體掃描(從而反映樣本測(cè)量單元和驗(yàn)證單元中的氣體的吸收率)進(jìn)行比較，從而得出樣本測(cè)量單元中的痕量氣體濃度。可利用零氣體驗(yàn)證單元讀數(shù)和光譜軌跡與在儀器校準(zhǔn)期間采集的一個(gè)或多個(gè)電子存儲(chǔ)的參考光譜軌跡之間的比較，來(lái)驗(yàn)證樣本氣體的測(cè)量的保真度。
此外，在樣本測(cè)量單元中沒(méi)有吸收氣體的情況下分析驗(yàn)證單元光譜軌跡以及濃度測(cè)量能夠自動(dòng)重建儀器的校準(zhǔn)狀態(tài)，例如，如共同未決及共有的臨時(shí)申請(qǐng)序列號(hào)61/405, 589中所述。相反地，先前可用的方法采用了位于測(cè)量光束路徑之外的驗(yàn)證單元和/或采用分離的探測(cè)器和分離的光學(xué)部件的驗(yàn)證單元，這使得量化影響兩個(gè)分離的分析單元的一種或多種成分的參數(shù)變得不同且困難。例如，驗(yàn)證單元和測(cè)量單元、參考探測(cè)器和測(cè)量探測(cè)器、或服務(wù)于參考分析路徑或樣本分析路徑的一種或多種光學(xué)部件等等的特性可能隨著時(shí)間獨(dú)立地變化。本主題還具有減少能夠降低信噪比以及儀器的探測(cè)靈敏度的光學(xué)表面的數(shù)量的優(yōu)點(diǎn)。圖IA和圖IB描述了光譜氣體分析器100和101的示例，其中描述了根據(jù)本主題的至少一些實(shí)施例的特征。光源102提供向著探測(cè)器106的連續(xù)或脈沖光束104。光束104通過(guò)包括樣本體的樣本測(cè)量單元112以及隔離的、密封的驗(yàn)證單元114,該驗(yàn)證單元114包含靜態(tài)的、已知量的參考?xì)怏w。驗(yàn)證單元114可保持在穩(wěn)定的溫度，從而保持在固定體積的驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w的穩(wěn)定的氣壓。在另一實(shí)施例中，可測(cè)量驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w的溫度，從而利用以下理想氣體定律計(jì)算該驗(yàn)證單元114中的壓強(qiáng)PV = nRT (I)其中P是驗(yàn)證單元114中的壓強(qiáng)，V是驗(yàn)證單元114的體積(已知且恒定)，T是驗(yàn)證單元114中測(cè)量的溫度，n是驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w的摩爾數(shù)(已知的)，以及R是氣體常數(shù)(8. 314472J moF1 IT1)。驗(yàn)證單元114中測(cè)量的溫度和導(dǎo)出的壓強(qiáng)可用于依據(jù)以前測(cè)量并存儲(chǔ)的校準(zhǔn)狀態(tài)數(shù)值校正驗(yàn)證單元114中的痕量氣體光譜?？赏ㄟ^(guò)將利用樣本測(cè)量單元112中的零氣體測(cè)量的光譜軌跡與先前存儲(chǔ)的參考光譜軌跡以及在校準(zhǔn)時(shí)存儲(chǔ)在電子介質(zhì)中的分別的測(cè)量的溫度和導(dǎo)出的壓強(qiáng)進(jìn)行比較，來(lái)完成數(shù)值校正。在本文中，術(shù)語(yǔ)“驗(yàn)證單元”是指包含已知量的至少一種目標(biāo)分析物的密封體?；蛘咂渲竻⒖?xì)怏w存儲(chǔ)器或參考?xì)怏w體積。光源102可包括，例如可調(diào)諧二極管激光器、可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器、量子級(jí)聯(lián)激光器、垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL)、水平腔表面發(fā)射激光器(HCSEL)、分布式反饋激光器、發(fā)光二極管(LED)、超熒光二極管、放大自發(fā)射(ASE)源、氣體放電激光器、液體激光器、固態(tài)激光器、光纖激光器、色心激光器、白熾燈、放電燈、熱發(fā)射器等等中的一種或多種。探測(cè)器106可包括，例如砷化銦鎵(InGaAs)探測(cè)器、砷化銦(InAs)探測(cè)器、磷化銦(InP)探測(cè)器、硅(Si)探測(cè)器、硅鍺(SiGe)探測(cè)器，鍺(Ge)探測(cè)器、碲鎘汞探測(cè)器(HgCdTe或MCT)、硫化鉛(PbS)探測(cè)器、硒化鉛(PbSe)探測(cè)器、熱電堆探測(cè)器、多元件陣列探測(cè)器、單元件探測(cè)器、光電倍增器等等中的一種或多種。
樣本測(cè)量單元112可包括氣體入口 116和氣體出口 120，待分析的氣體的樣本可分別通過(guò)該氣體入口和氣體出口進(jìn)入或離開(kāi)樣本體?？刂破?22可包括一個(gè)或多個(gè)可編程處理器等，可與一個(gè)或多個(gè)光源102和探測(cè)器106通信，從而控制光束104的發(fā)射并接收探測(cè)器106產(chǎn)生的信號(hào)，該信號(hào)代表以波長(zhǎng)為函數(shù)的照射在探測(cè)器106上的光的強(qiáng)度。在不同的實(shí)施例中，控制器122可以是同時(shí)實(shí)現(xiàn)控制光源102以及接收來(lái)自探測(cè)器106的信號(hào)的單個(gè)單元，或者可以是將這些功能分開(kāi)實(shí)現(xiàn)的多于一個(gè)的單元。一個(gè)或多個(gè)控制器122與光源102和探測(cè)器106之間的通信可在有線通信鏈路、無(wú)線通信鏈路、或其任意組合上進(jìn)行。樣本測(cè)量單兀112也可包括用于在光源102和探測(cè)器106之間傳輸和/或反射光束104的至少一個(gè)光學(xué)部件。在光源102發(fā)射光束104的波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍上，這種光學(xué)部件可有利地具有低的光吸收率。換言之，在所述波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍上，在單次反射中反射光學(xué)部件有利地反射超過(guò)50%的入射光,光學(xué)光導(dǎo)有利地傳輸超過(guò)2%的入射光,在該波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍上，窗口有利地被防反射涂覆并傳輸超過(guò)95%的入射光。在圖IA所描述的示例性設(shè)置中，光束104首先通過(guò)第一窗口 124進(jìn)入驗(yàn)證單元114，然后通過(guò)第二窗口 126進(jìn)入樣 本測(cè)量單元112的樣本體，然后通過(guò)第三窗口 130到達(dá)探測(cè)器106。其他設(shè)置也在本主題的范圍之內(nèi)。例如如圖IB所示，取代了圖IA中所示的第三窗口 130，反光鏡132可將光束104反射回去通過(guò)樣本測(cè)量單元112的樣本體以及驗(yàn)證單元114，同時(shí)也第二次通過(guò)第二窗口 126和第一窗口 124。其他可能的設(shè)置包括第一窗口 124被構(gòu)造為更大的反光鏡的一部分，使得光束104在入射到探測(cè)器106上之前，多次反射通過(guò)樣本測(cè)量單元112的樣本體和驗(yàn)證單元114。圖2顯示了描述根據(jù)本主題的至少一個(gè)實(shí)施例的方法的特征的流程圖200。在202，接收第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)。第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化了在來(lái)自光源102的光(可以是光束104)至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w和零氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器106接收的所述光的第一強(qiáng)度。該參考?xì)怏w包括已知量的分析物化合物。光源102發(fā)射包含分析物化合物的光譜吸收率特征的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光。如上文所述，零氣體可以是氣體或氣體混合物或者完全或部分真空，其具有覆蓋由光源產(chǎn)生的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的痕量分析物的第二光吸收率特性的至少一種已知且可忽略的第一光吸收率特性。零氣體也可包括具有已經(jīng)以可獲取的格式在測(cè)量的波長(zhǎng)范圍內(nèi)被表征并存儲(chǔ)在電子介質(zhì)中的公知的吸收率特性的光譜吸收氣體。在204，通過(guò)確定第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)未偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合超過(guò)預(yù)定的閾值偏差，來(lái)驗(yàn)證分析系統(tǒng)的有效狀態(tài)。存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合表示在至少包含光源102和探測(cè)器106的分析系統(tǒng)的先前儀器驗(yàn)證過(guò)程中采集的至少一個(gè)先前測(cè)量。在206接收第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)。第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化了在來(lái)自光源的光至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和包含未知濃度的分析物的樣本氣體之后，探測(cè)器接收的該光的第二強(qiáng)度。在210，通過(guò)校正第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)以考慮(account for)驗(yàn)證單元中的光的已知吸收率來(lái)確定樣本氣體中的分析物化合物的濃度。在一些實(shí)施例中，該校正可包括從在樣本分析模式期間產(chǎn)生的樣本光譜的驗(yàn)證模式數(shù)據(jù)集合中減去基于第一強(qiáng)度數(shù)據(jù)而產(chǎn)生的參考光譜。在樣本分析模式期間，樣本氣體可被引導(dǎo)到光路徑104中，在驗(yàn)證模式期間，零氣體可被引導(dǎo)到光路徑104中。樣本氣體和零氣體可被引導(dǎo)到樣本測(cè)量單元112的分析體中，例如利用流切換裝置，在不同實(shí)施例中，該流切換裝置可包括可被控制以在來(lái)自光源102的光束路徑中提供理想的氣體的一個(gè)或多個(gè)閥、流控制器、真空泵等等。包括可編程處理器的控制器122可接收第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，并可以進(jìn)行有效狀態(tài)的驗(yàn)證?？刂破骺衫么鎯?chǔ)的數(shù)據(jù)集合自動(dòng)恢復(fù)光譜儀的初始校準(zhǔn)狀態(tài)，例如共同未決和共有臨時(shí)申請(qǐng)序列號(hào)61/405，589所述，其以引用方式合并于本文，并在下文被更詳細(xì)地描述。圖3是根據(jù)本主題的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的光學(xué)單元300的圖示。光學(xué)單元300包括驗(yàn)證單元114和樣本測(cè)試單元112的樣本體。由光學(xué)透明材料構(gòu)成的屏障306可將驗(yàn)證單元114和樣本測(cè)量單元112分割為光學(xué)單元300的部分。屏障306的兩側(cè)可光學(xué)地涂覆由單層或多層材料制成的防反射涂層310，該材料可由氧化物構(gòu)成，例如Si02、TiO2, A1203、HfO2、ZrO2、Sc203、NbO 2和Ta2O5 ;可由氟化物構(gòu)成，例如MgF2、LaF3、和AlF3等等，和/或由其組合構(gòu)成?？赏ㄟ^(guò)例如電子束蒸發(fā)、離子輔助沉積、離子束濺射等技術(shù)來(lái)沉積光學(xué)防反射涂層。光學(xué)單元300可包含在第一反射器312和第二反射器314之間，每個(gè)反射器可具有包含高度反射材料316的涂層的曲面和/或平面，該高度反射材料例如為金屬材料(例如Au、Ag、Cu、鋼、Al等等)、一層或多層透明介電光學(xué)材料(例如氧化物、氟化物等)、和/或金屬和介電光學(xué)材料的組合。反射器可選擇性地完全由介電材料構(gòu)成，沒(méi)有任何金屬反射器。第一反射器312可包括防反射材料310的外涂層，以及在涂覆有防反射材料310的高度反射材料316的涂層中的至少一個(gè)缺口或開(kāi)口，這樣入射光束320可進(jìn)入第一反射器312和第二反射器314之間的空間中的光學(xué)單元300。入射光束320可由光源(圖3中未示出)產(chǎn)生。在進(jìn)入光學(xué)單元之后，可選地通過(guò)第一反射器312的內(nèi)表面上的防反射材料310的涂層的相同區(qū)域，入射光束320在離開(kāi)光學(xué)單元300成為出射光束322之前，可在第一反射器312和第二反射器314之間反射多次。以這種方式，光束多次通過(guò)樣本測(cè)量單元112同時(shí)也通過(guò)驗(yàn)證單元114。樣本氣體可選地通過(guò)樣本入口 324進(jìn)入樣本測(cè)量單元112中，并可選地通過(guò)樣本出口 326離開(kāi)樣本測(cè)量單元112。一個(gè)或多個(gè)閥或其他流控制裝置可耦合到樣本入口 324以在進(jìn)入樣本測(cè)量單元112的樣本氣體流和零氣體流之間切換。樣本氣體可進(jìn)入樣本測(cè)量單元112的樣本體以用于樣本分析模式的測(cè)量，零氣體可進(jìn)入樣本測(cè)量單元112的樣本體以用于驗(yàn)證模式的測(cè)量。應(yīng)注意，該光學(xué)單元300僅為示例性設(shè)置。光學(xué)單元300的其他設(shè)置也在本主題的范圍內(nèi)。例如，第一反射器312和第二反射器314可彼此相對(duì)地放置，它們之間具有自由氣體空間。驗(yàn)證單元114可如圖3所示放置。利用這樣的設(shè)置，可以與上文所述類(lèi)似的方式來(lái)分析占據(jù)自由氣體空間的氣體中的一種或多種分析物的濃度。在一些實(shí)施例中，可使用金屬合金，例如AL 4750 (Allegheny Ludlum ofPittsburgh, PA提供)作為窗口和反光鏡之間的間隔器，在一些示例中，反光鏡可由BK-7 光學(xué)玻璃(Esco Products of Oak Ridge,NJ提供)構(gòu)成。有利地，可選擇具有相似的熱膨脹特性的窗口和間隔器材料。在一些實(shí)施例中，反光鏡和窗口材料可通過(guò)玻璃燒結(jié)、焊接、或一些其他能夠形成極低滲透超高真空密封的技術(shù)附著于間隔器材料，所述密封可例如保持小于約ICT6標(biāo)準(zhǔn)torr cm3 sec-1的氦(He)泄露速率。如上文所述，分析系統(tǒng)的其他設(shè)置也在本主題的范圍之內(nèi)。例如如圖4所示的開(kāi)放路徑分析系統(tǒng)400的示例所描述的，樣本氣體和零氣體不必包含在光學(xué)單元或樣本測(cè)量單元中的樣本體之中。這樣的開(kāi)放光路徑分析系統(tǒng)400可包括驗(yàn)證單元114，該驗(yàn)證單元114包括包含已知量的一種或多種目標(biāo)分析物的密封體。驗(yàn)證單元114可放置為使得來(lái)自光源102的光束104在其到達(dá)探測(cè)器106的途中至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元114。光的路徑橫穿自由氣體空間402或其他不必限制在容器中的體。自由氣體空間可至少偶爾地經(jīng)過(guò)包含目標(biāo)分析物的樣本氣體。例如，光的路徑可橫穿排氣煙 或精煉廠、電廠、工廠等的其他開(kāi)放流路徑。光也可在到達(dá)探測(cè)器106之前通過(guò)驗(yàn)證單元114，該探測(cè)器106例如以波長(zhǎng)為函數(shù)量化該光的光強(qiáng)度。驗(yàn)證模式可包括從自由氣體空間402轉(zhuǎn)移工業(yè)廢氣并用零氣體替換。在一些實(shí)施例中，例如在圖5所不的不例性系統(tǒng)500中，可用一個(gè)或多個(gè)密封光學(xué)元件504來(lái)真空密封空心光學(xué)光導(dǎo)502，密封光學(xué)元件504包括但不限于扁平部件、彎曲部件、衍射部件等等。在一些實(shí)施例中，密封光學(xué)元件504可傳輸導(dǎo)入光導(dǎo)502的入射光的至少95%，以及光導(dǎo)502傳輸?shù)姆祷毓獾闹辽?5%。光學(xué)光導(dǎo)502的密封空心506可包含本文其他部分所述的參考?xì)怏w，從而用作驗(yàn)證單元114，來(lái)自光源102的光在到達(dá)樣本測(cè)量單元112之前穿過(guò)該驗(yàn)證單元114。密封光學(xué)元件504可包括但不限于防反射涂覆的光學(xué)窗口、光透射光學(xué)表面等，其可提供使光進(jìn)入和離開(kāi)空心光學(xué)光導(dǎo)502的密封空心506的裝 置，并同時(shí)選擇性地在樣本流和外部世界之間形成防漏氣密封，該密封光學(xué)元件可將來(lái)自激光光源102的光準(zhǔn)直到光學(xué)光導(dǎo)502中，并將離開(kāi)光學(xué)光導(dǎo)502的光準(zhǔn)直到樣本測(cè)量單元112中，如本文所述的變形之一或等價(jià)物那樣。光導(dǎo)502的空心506中的驗(yàn)證單元114可選地可與將激光聚焦到驗(yàn)證單元中的非附著的光學(xué)元件、以及將光纖傳輸?shù)墓饩劢沟綐颖緶y(cè)量單元112的非附著的光學(xué)聚焦元件、或者附著的和非附著的光學(xué)元件的組合一起使用。光學(xué)聚焦元件可選地形成空心光學(xué)光導(dǎo)502和外部世界之間的防漏氣密封的全部或一部分?？招墓鈱W(xué)光導(dǎo)502可由一種或多種材料構(gòu)成，該材料可包括但不限于金屬、玻璃、塑料、聚四氟乙烯(例如特拉華DuPont ofWilmington提供的Teflon )、聚乙烯(由法國(guó) Saint Gobain Corporation of Courbevois提供)等等，可單獨(dú)或組合地使用這些材料。空心光學(xué)光導(dǎo)502可以可選地或額外地用作樣本測(cè)量單兀112,例如在如圖6所示的系統(tǒng)600中。在圖4所示的實(shí)施例中，空心光學(xué)光導(dǎo)502可具有氣體入口 116和氣體出口 120，各自與空心光學(xué)光導(dǎo)502的外部密閉地密封，從而允許樣本氣體或零氣體進(jìn)入光學(xué)光導(dǎo)的密封空心506中。光可通過(guò)光源102提供的光束的適當(dāng)?shù)墓鈱W(xué)聚焦結(jié)構(gòu)進(jìn)入空心光學(xué)光導(dǎo)502。光以單一方向傳播通過(guò)包含樣本氣體的空心光學(xué)光導(dǎo)502。光源102和探測(cè)器106可放置在空心光學(xué)光導(dǎo)502的任一端。在一些實(shí)施例中，本文所述的空心光學(xué)光導(dǎo)502 (例如，針對(duì)驗(yàn)證單元114和樣本測(cè)量單元112中的任意一個(gè)或兩個(gè))的垂直于光束104的內(nèi)部開(kāi)放中心尺寸小于3. 5mm,平行于光束104的內(nèi)部開(kāi)放中心尺寸大于0. 1mm。在另一實(shí)施例中，驗(yàn)證單元114和樣本測(cè)量單元112都包含于分離的空心光導(dǎo)中，所述空心光導(dǎo)光學(xué)地、且可選地在物理上彼此耦合，使得光既通過(guò)包含驗(yàn)證單元114的第一空心光導(dǎo)也通過(guò)包含樣本測(cè)量單元112的第二空心光導(dǎo)502。在其他實(shí)施例中，光源102可以是密閉地密封的激光封裝器，例如常用于遠(yuǎn)程通信激光器的蝶式封裝器或TOSA封裝器。空心光學(xué)光導(dǎo)502可密閉地密封到光源102的密閉激光封裝器，其中空心506對(duì)密閉激光封裝器的內(nèi)部開(kāi)放，使得光導(dǎo)502的空心506和密閉激光封裝器形成密封體，在該密封體中包含本文其他部分所述的參考?xì)怏w以形成驗(yàn)證單元114。在另一變形中，空心光學(xué)光導(dǎo)502可密閉地密封到密閉激光封裝器，其空心分離地密封并填充與圖5所示的設(shè)置類(lèi)似的參考?xì)怏w，或通過(guò)入口端116和出口端120而具有流通能力從而用作樣本測(cè)量單元112，該樣本測(cè)量單元包含樣本氣體或如圖6所示的參考?xì)怏w。圖7的系統(tǒng)700描述了另一實(shí)施例的一個(gè)示例，在該實(shí)施例中，密閉的密封激光封裝器704中的密封體702既可用作光源又可用作起驗(yàn)證單元作用的參考?xì)怏w存儲(chǔ)器。密閉的密封體702可通過(guò)將激光傳輸?shù)嚼鐦颖緶y(cè)量單元112中的密封光學(xué)元件504來(lái)密封。密封光學(xué)元件可包括但不限于扁平的、彎曲的、光纖的、折射的和衍射的部件及其組合。在至少一些實(shí)施例中，可在被精確且準(zhǔn)確地控制的溫度和壓力條件下，利用純分析物或運(yùn)載氣體混合物中的公知摩爾分?jǐn)?shù)的分析物來(lái)填充驗(yàn)證單元114。可利用例如真空氣體調(diào)節(jié)和填充站將參考?xì)怏w填充到驗(yàn)證單元114中。真空填充站可為驗(yàn)證單元114提供熱輸出能力，從而在用已知量的痕量氣體和可選的一定量的運(yùn)載氣體填充驗(yàn)證單元114之前，去除任何不需要的水分和其他痕量氣體。驗(yàn)證單元114可通過(guò)單管連接或雙管連接附 著于真空泵站，使氣體能夠流過(guò)驗(yàn)證單元114。驗(yàn)證單元114可以從填充站分離，該填充站例如利用冷熔夾斷操作以產(chǎn)生長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)的、超高真空密封的方式提供參考?xì)怏w混合物或純分析物。本文所采用的術(shù)語(yǔ)“純”是指沒(méi)有任何稀釋氣體或其他化合物的分析物制備。例如，可通過(guò)在排空容器中加入已知體積的液相或汽相水來(lái)制備驗(yàn)證單元114中的純的水汽制備。包括集成的氣體單元的如本文所述的光學(xué)單元或測(cè)量系統(tǒng)和/或其功能性等價(jià)物能夠制備并長(zhǎng)期穩(wěn)定保存純分析物或痕量分析物的準(zhǔn)確的參考樣本，所述痕量分析物以已知摩爾分?jǐn)?shù)存在與適當(dāng)?shù)谋尘皻怏w中。在一些實(shí)施例中，例如當(dāng)按重量制備驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w樣本時(shí)，可根據(jù)NIST或其他可比的可跟蹤標(biāo)準(zhǔn)和/或用于氣體混合物的認(rèn)證來(lái)確定驗(yàn)證單元114中的痕量氣體濃度。參考樣本可直接布置在光譜儀的測(cè)量光束104中。在本主題的一些實(shí)施例中，可將超高真空、防漏驗(yàn)證單元114與光譜儀的樣本測(cè)量單元112串聯(lián)地設(shè)置，從而可提供沒(méi)有運(yùn)載氣體的小總量的分析物。參考樣本可選地包括多種分析物，例如如果光譜儀被設(shè)置用于測(cè)量多種分析物。在樣本分析模式和驗(yàn)證模式中，來(lái)自光源102的光束104在被探測(cè)器106探測(cè)并量化之前，至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元114并與分析系統(tǒng)的所有光學(xué)部件相互作用。在驗(yàn)證模式中，樣本測(cè)量單元112的樣本體可被沖洗，或者被填充有在光源102提供的波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍內(nèi)光吸收率不大的光學(xué)透明氣體?？蛇x地,可將樣本測(cè)量單元112的樣本體抽為至少部分真空環(huán)境，使得在樣本測(cè)量單元112的樣本體中，存在很少的或者有利地不存在在該波長(zhǎng)或波長(zhǎng)范圍內(nèi)顯著吸收的分析物或任何其他種類(lèi)的分子。因此，在驗(yàn)證模式中，光束104的吸收率主要由驗(yàn)證單元114中包含的分析物的分子產(chǎn)生?？赏ㄟ^(guò)與針對(duì)當(dāng)光譜儀在樣本分析模式中工作時(shí)樣本測(cè)量單元112中的氣體樣本的吸收率的探測(cè)器相同的探測(cè)器106在相同的光學(xué)條件下來(lái)探測(cè)該吸收率。在樣本分析模式中，樣本測(cè)量單元112的樣本體包含樣本氣體，使得光束104的吸收率由包含在驗(yàn)證單元114中的分析物分子和樣本測(cè)量單元112的樣本體中的樣本氣體中的分析物分子產(chǎn)生。根據(jù)本主題所述的方式可確保驗(yàn)證測(cè)量總是包含與能夠影響樣本體中的樣本氣體中的分析物濃度的實(shí)際測(cè)量的問(wèn)題相關(guān)的任意或所有老化或污染。因此，用于未包含在實(shí)際測(cè)量光束路徑中的或采用不同光電探測(cè)器、不同光學(xué)部件、或者不能精確表征影響樣本氣體的測(cè)量的因素的類(lèi)似部件的參考?xì)怏w的驗(yàn)證單元或其他器皿或容器的使用，可能會(huì)給出不太有效的光譜儀的驗(yàn)證測(cè)量。在至少一些實(shí)施例中，光源102、探測(cè)器106和樣本測(cè)量單元可以是可調(diào)諧二極管激光器(TDL)光譜儀或使用可調(diào)諧以提供窄帶寬波長(zhǎng)的光束的光源的其他光譜儀的一部分，其中所述窄帶寬波長(zhǎng)在 一波長(zhǎng)范圍上被掃描?？蛇x地，光源102、探測(cè)器106和樣本測(cè)量單元可以是使用提供光束的寬帶光源的光學(xué)光譜儀的一部分。如上文所述，控制器122可接收來(lái)自探測(cè)器106的信號(hào)，該信號(hào)是光束104通過(guò)光源102和探測(cè)器106之間時(shí)的光學(xué)吸收率的特性。在一些實(shí)施例中，算法可包括將在驗(yàn)證模式測(cè)量過(guò)程中獲得的參考光譜與儀器的最初參考?xì)怏w校準(zhǔn)文件進(jìn)行比較。工廠校準(zhǔn)參考?xì)怏w光譜和現(xiàn)場(chǎng)獲得的零氣體光譜之間的可接受的關(guān)聯(lián)匹配表明光譜儀沒(méi)有出現(xiàn)顯著變化，并且表明相對(duì)于最初光譜儀工廠校準(zhǔn)保持了測(cè)量保真度。如此，可僅利用一種氣體將由樣本氣體產(chǎn)生的吸收率調(diào)零(例如在樣本體中)，從而完成分析器校準(zhǔn)的驗(yàn)證。該方法簡(jiǎn)化了分析器的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證，因?yàn)閮H使用了單一的零氣體，并且因?yàn)樵诩t外線光譜區(qū)不吸收的合適的零氣體(例如N2)通常很容易獲得和儲(chǔ)存。因此本主題可以大大改善通常使用的分析器的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證方法，在通常使用的方法中，利用適當(dāng)?shù)牧銡怏w來(lái)完成零度數(shù)的驗(yàn)證，并且利用由預(yù)混合筒提供的跨度氣體混合物完成跨度讀數(shù)的驗(yàn)證。對(duì)比于將分離的驗(yàn)證單元插入光譜儀光束路徑中，將驗(yàn)證單元集成到用于痕量氣體測(cè)量單元的反應(yīng)器中可通過(guò)減少光學(xué)表面的數(shù)量改善光譜儀單元的緊湊度、信噪比和探測(cè)靈敏度。減少光束所通過(guò)的光學(xué)表面的數(shù)量降低了光學(xué)條紋的可能性，因此改善了光譜儀的信噪比和探測(cè)靈敏度。集成驗(yàn)證單元使得不需要校直分離的驗(yàn)證單元以及相對(duì)于時(shí)間和所有環(huán)境條件保持測(cè)量單元的相對(duì)校直。對(duì)于特定應(yīng)用，需要在工廠調(diào)整參考痕量氣體濃度。驗(yàn)證單元中的痕量氣體濃度可從萬(wàn)億分之一(PPt)調(diào)整到100%，只要在工作條件下保持氣相。工作溫度可以在-50C到+200C之間。痕量分析物可以在Imbar和5000mbar之間的工作壓強(qiáng)下存儲(chǔ)在驗(yàn)證單元中。痕量分析物可以是純的，或者可以混合在適當(dāng)?shù)倪\(yùn)載氣體混合物中，運(yùn)載氣體混合物包括但不限于N2、O2、空氣、H2、Cl2、其他同核雙原子氣體、惰性氣體、CO2> CO、碳?xì)浠衔餁怏w、氫氟碳化合物(HFC)、含氯氟烴(CFC)、碳氟化合物(FC)等等。痕量分析物可以是在大約IOOnm和20，OOOnm之間的波長(zhǎng)上具有光學(xué)吸收特征的任何氣相成分?？捎帽局黝}的一個(gè)或多個(gè)方面來(lái)量化的分析物包括但不限于H20、H2S, NH3> HCUC2H2, CO2, CO、CH4, C2H6, C2H4, O2
坐坐寸寸ο本主題的其他優(yōu)點(diǎn)包括能夠改善激光頻率穩(wěn)定性方法的魯棒性，例如利用可調(diào)諧激光光源，其能夠?qū)崿F(xiàn)更好的目標(biāo)分析物吸收率峰值的跟蹤。對(duì)于不總是存在目標(biāo)分析物的樣本氣體流，可能難于驗(yàn)證激光頻率足夠穩(wěn)定以隔離目標(biāo)吸收率峰值。在一個(gè)描述性示例中，可針對(duì)氧(O2)濃度峰值來(lái)監(jiān)控精煉或制造工藝以實(shí)現(xiàn)安全控制。氧可僅存在于過(guò)程擾亂條件下的流中，并且在正常過(guò)程工作中具有可忽略的量。在O2不存在于樣本流中時(shí)，如果用于測(cè)量探測(cè)過(guò)程擾亂條件的氧的儀器的激光光源在延長(zhǎng)周期內(nèi)出現(xiàn)激光頻率偏移，在O2確實(shí)出現(xiàn)在過(guò)程擾亂中時(shí)，這一情況會(huì)負(fù)面地影響儀器的性能。這可導(dǎo)致錯(cuò)誤的讀數(shù)和儀器在適當(dāng)警告安全隱患方面的潛在故障。
由于根據(jù)本主題，目標(biāo)分析物總是存在于儀器的驗(yàn)證單元中，很容易進(jìn)行激光頻率穩(wěn)定性的周期性驗(yàn)證，從而儀器可例行保持在最佳就緒狀態(tài)以探測(cè)上文所述的過(guò)程擾舌L。不論樣本氣體流中的分析物濃度如何，驗(yàn)證單元總是為光譜儀提供可探測(cè)的吸收峰。以這種方式，采用了可調(diào)諧激光光源的光譜儀可在任意時(shí)間將激光頻率鎖定到適當(dāng)?shù)奈辗?，而不是僅僅在分析物存在于樣本氣體中的時(shí)候。將激光頻率鎖定到適當(dāng)?shù)姆肿游辗蹇蔀楣庾V儀提供針對(duì)環(huán)境變化和激光光源的潛在老化的額外的工作魯棒性。圖8和圖9顯示了兩個(gè)曲線圖700和800，分別描述了測(cè)量天然氣或碳?xì)浠衔锉尘爸械暮哿克姆逯蹈櫟那闆r。該系統(tǒng)的分析已經(jīng)在前面的共有美國(guó)專(zhuān)利 6，657，198,7, 132，661,7, 339，168,7, 504，631 和 7，679，059 中以及未決美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)US2004/003877中描述了，其全部公開(kāi)內(nèi)容整體地通過(guò)引用方式合并于此。在根據(jù)本主題的至少一些實(shí)施例的示例中，驗(yàn)證單元114可填充有超低壓(例如ltorr)的純水汽。圖8中的曲線圖800顯示了驗(yàn)證單元114中的純水汽802的吸收峰比在環(huán)境壓強(qiáng)下的100%甲烷氣體804、50ppm的水汽806、IOOppm的水汽810、或150ppm的水汽812的吸 收譜要陡峭的多。如圖9的曲線圖900所示，可利用驗(yàn)證單元144中的純水汽的陡峭的吸收峰進(jìn)行針對(duì)至少Oppm的902、50ppm的904、IOOppm的906、和150ppm的910的樣本氣體流中的水汽濃度的可靠的峰跟蹤。Oppm的峰902完全是由驗(yàn)證單元114中的水分子的吸收率產(chǎn)生的。通過(guò)從樣本氣體光譜中減掉驗(yàn)證單元光譜，或針對(duì)驗(yàn)證單元114中的水汽產(chǎn)生的吸收率進(jìn)行校正，可求解例如在樣本分析模式期間包含在樣本測(cè)量單元112中的樣本氣體中的水汽濃度。一種可選方式采用了在開(kāi)放光路徑分析系統(tǒng)400的自由氣體空間402中的零氣體，或者包含限定的樣本體的系統(tǒng)的樣本測(cè)量單元112的樣本體中所包含的零氣體，其可以實(shí)現(xiàn)在兩個(gè)不同溫度下的針對(duì)給定樣本氣體的至少兩個(gè)測(cè)量。因?yàn)榉治鑫锏奈章侍卣鞯木€形是碰撞擴(kuò)大效應(yīng)導(dǎo)致的驗(yàn)證單元114中的氣體壓強(qiáng)的函數(shù)，改變溫度(并因此改變驗(yàn)證單元114內(nèi)的密封體的壓強(qiáng))可導(dǎo)致驗(yàn)證單元114中的已知量的分析物產(chǎn)生以溫度為函數(shù)變化的清晰且可辨的線形。因此，通過(guò)將驗(yàn)證單元114的溫度控制到兩個(gè)或更多個(gè)已知溫度，并將產(chǎn)生的吸收率曲線的線形與先前時(shí)間(例如儀器最近被校正時(shí))收集的線形進(jìn)行對(duì)比，可不利用任何零氣體就容易地獲得儀器的當(dāng)前驗(yàn)證狀態(tài)的指示。應(yīng)注意，盡管本文的多個(gè)實(shí)施例描述了密封驗(yàn)證單元設(shè)置，本主題還包括這樣的變形，其中驗(yàn)證單元具有流通設(shè)置，在該流通設(shè)置中參考?xì)怏w連續(xù)地或半連續(xù)地通過(guò)驗(yàn)證單元。該布置對(duì)于可在例如壓縮氣筒中制備和穩(wěn)定儲(chǔ)存的參考?xì)怏w來(lái)說(shuō)是有利的?？蛇x地，隨時(shí)間產(chǎn)生恒定質(zhì)量的痕量分析物的滲透或擴(kuò)散源可與運(yùn)載氣體流協(xié)同使用，以產(chǎn)生用在這種驗(yàn)證單元中的流動(dòng)的參考?xì)怏w。利用本文所述的驗(yàn)證單元114，本主題的實(shí)施例能夠可選地或額外地提供自動(dòng)的算法方式，能夠使激光吸收光譜儀的可調(diào)諧激光光源頻率穩(wěn)定，以通過(guò)補(bǔ)償和/或校正分析條件中的短期環(huán)境變化以及可能負(fù)面影響激光吸收光譜儀的性能的長(zhǎng)期漂移和老化效應(yīng)來(lái)改善量化痕量氣體濃度測(cè)量的魯棒性。在一些實(shí)施例中，可通過(guò)將儀器校準(zhǔn)時(shí)采集的實(shí)際吸收光譜與針對(duì)氣體樣本現(xiàn)場(chǎng)采集的吸收光譜進(jìn)行比較，來(lái)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)激光頻率穩(wěn)定，而不需要提供不確定濃度穩(wěn)定性的瓶裝參考?xì)怏w或使用分離的激光頻率穩(wěn)定電路。除了提高成本和復(fù)雜度之外，分離的激光頻率穩(wěn)定電路還會(huì)干擾實(shí)際測(cè)量。相比于基于不是實(shí)際測(cè)量的一部分的分子線上的頻率穩(wěn)定性的先前可用的光譜學(xué)方式，本主題能夠降低成本和復(fù)雜度，同時(shí)也能夠改善工作魯棒性以及測(cè)量保真度和再現(xiàn)能力。利用本文所述的方案，可在可調(diào)諧或可掃描的激光光源的掃描波長(zhǎng)范圍的寬度上獲得相對(duì)于先前已知的或校準(zhǔn)的狀態(tài)、與激光光譜儀的性能相關(guān)的信息。相對(duì)于僅著眼于峰值位置而不是更寬的波長(zhǎng)范圍上的整個(gè)吸收曲線形狀的技術(shù)來(lái)說(shuō)，這種方案可提供顯著的改進(jìn)。圖10顯示了描述能夠確定吸收光譜儀的驗(yàn)證失敗的方法的特征的流程圖1000。在1002，例如通過(guò)控制器122、基于可編程處理器的裝置等，來(lái)接收量化了由光源102產(chǎn)生的并在吸收光譜儀的驗(yàn)證模式期間被探測(cè)器106接收的光束104或其他輻射、光等的強(qiáng)度的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)。如前文所述，驗(yàn)證模式可包括使光至少一次地通過(guò)零氣體和參考?xì)怏w(例如包含在包括已知量的目標(biāo)分析物的驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w)中的每一個(gè)。零氣體可如上文所述，并可包括在光源產(chǎn)生的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的至少一種已知且可忽略的第一光吸收率特性。在1004，將光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合進(jìn)行比較，該數(shù)據(jù)集合表示驗(yàn)證模式中的 至少一個(gè)先前的測(cè)量。如果第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致超過(guò)了預(yù)定的閾值量，則在1006確定出現(xiàn)了驗(yàn)證失敗。光源102可選地包括激光吸收光譜儀的可調(diào)諧或可掃描激光器，以及存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合可包括激光吸收光譜儀的參考諧波吸收曲線。參考諧波吸收曲線具有參考曲線形狀，并且包括響應(yīng)于光從光源102傳播的通過(guò)驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w而由探測(cè)器106產(chǎn)生的參考信號(hào)的至少一個(gè)一階或更高階諧波信號(hào)。參考諧波吸收曲線可先前已經(jīng)針對(duì)已知或校準(zhǔn)狀態(tài)的激光吸收光譜儀被確定。光強(qiáng)度數(shù)據(jù)可包括測(cè)試諧波吸收曲線，該測(cè)試諧波吸收曲線具有利用吸收光譜儀中的驗(yàn)證單元114中包含的參考?xì)怏w和樣本測(cè)量單元112或自由氣體空間402中的零氣體采集的測(cè)試曲線形狀。預(yù)定閾值量可包括測(cè)試曲線形狀和參考曲線形狀之間的預(yù)定的允許偏差。圖11顯示了描述根據(jù)本主題的一實(shí)施例的其他特征的流程圖1100。在1102，例如從本地或聯(lián)網(wǎng)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器提取通過(guò)激光吸收光譜儀經(jīng)由對(duì)一個(gè)或多個(gè)參考?xì)怏w混合物的分析而獲得的一個(gè)或多個(gè)參考諧波吸收曲線。該一個(gè)或多個(gè)參考諧波吸收曲線是先前通過(guò)激光吸收光譜儀經(jīng)由對(duì)一個(gè)或多個(gè)參考?xì)怏w混合物的分析而獲得的，例如在工廠校準(zhǔn)時(shí)，或者在激光吸收光譜儀處于充分校準(zhǔn)狀態(tài)的其他時(shí)間，并存儲(chǔ)起來(lái)用于后面的提取。在1104，將測(cè)試諧波吸收曲線與一個(gè)或多個(gè)參考諧波吸收曲線中的至少一個(gè)進(jìn)行比較，以探測(cè)超過(guò)預(yù)定的允許偏差的各個(gè)曲線形狀之間的差別。在1106，調(diào)整激光吸收光譜儀的工作和/或分析參數(shù)從而校正測(cè)試諧波吸收曲線以減小探測(cè)到的測(cè)試諧波吸收曲線形狀和參考諧波吸收曲線形狀之間的差別。換言之，在調(diào)整激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)之后，后續(xù)的測(cè)試諧波吸收曲線更相似于參考諧波吸收曲線?？蛇x地，在1110，可建立激光吸收光譜儀的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證度量?，F(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證度量可包括測(cè)試曲線形狀和參考曲線形狀之間的差別、被調(diào)整的一個(gè)或多個(gè)工作和分析參數(shù)的識(shí)別、以及所述一個(gè)或多個(gè)工作和分析參數(shù)被調(diào)整的值的至少其中之一?？赏ㄟ^(guò)多種方式來(lái)實(shí)現(xiàn)調(diào)整激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)以降低測(cè)試諧波吸收曲線形狀和參考諧波吸收曲線形狀之間探測(cè)到的差別。在一個(gè)實(shí)施例中，可采用迭代方式。在一個(gè)非限制性實(shí)施例中，可調(diào)整激光吸收光譜儀的多個(gè)潛在的工作和/或分析參數(shù)中的一個(gè)，并通過(guò)激光吸收光譜儀產(chǎn)生新的測(cè)試諧波吸收曲線。對(duì)所選的參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，接著可連續(xù)地產(chǎn)生新的測(cè)試諧波吸收曲線，直到獲得了在測(cè)試諧波吸收曲線和參考諧波吸收曲線之間的差別得到最大改善的設(shè)置。然后用類(lèi)似的方式迭代地調(diào)整另一個(gè)參數(shù)，直到每個(gè)參數(shù)都經(jīng)過(guò)了這樣的調(diào)整。可采用任何迭代地收斂到多變量解的算法。測(cè)試諧波吸收曲線的準(zhǔn)確的形狀，以及激光吸收光譜儀所分析的一個(gè)或多個(gè)目標(biāo)分析物的濃度計(jì)算可高度依賴于激光頻率性能。激光頻率性能可受到一個(gè)或多個(gè)工作和環(huán)境參數(shù)的影響，包括但不限于中心頻率、斜坡電流、調(diào)制電流、激光光源的其他參數(shù)、以及樣本單元、探測(cè)器、解調(diào)器 等的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)。至少激光光源102的工作溫度和工作電流會(huì)影響激光光源102的中心頻率。驅(qū)動(dòng)和/或調(diào)制電流、溫度等的變化引起的特定的頻率變化對(duì)于每個(gè)個(gè)別的激光光源102來(lái)說(shuō)完全是特定的。每當(dāng)激光頻率改變(即如果周期性地分析用于記錄最初參考軌跡的相同參考?xì)怏w)，根據(jù)本主題的實(shí)施例的曲線關(guān)聯(lián)算法可產(chǎn)生誤差信號(hào)。一旦分析器接收了其在工廠中的最初校準(zhǔn)，即可存儲(chǔ)參考諧波吸收曲線。可選地或附加地，可利用差分光譜法方式周期性地更新參考諧波吸收曲線，例如如共有且共同未決的美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)12/763，124所述，從而調(diào)整流變化，同時(shí)保持源自最初校準(zhǔn)的基本參考。當(dāng)接收到誤差信號(hào)時(shí)，可啟動(dòng)優(yōu)化算法來(lái)調(diào)整或重置激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和分析參數(shù)，可包括但不限于激光溫度、工作電流、調(diào)制電流、斜坡電流、掃描期間的斜坡電流曲線形狀、以及其他信號(hào)探測(cè)和轉(zhuǎn)換參數(shù)，從而自動(dòng)地重構(gòu)如在工廠校準(zhǔn)期間最初存儲(chǔ)的那樣的準(zhǔn)確的諧波吸收曲線形狀。在圖12的流程圖1200所描述的實(shí)施例中，在1202，例如控制器122的處理器可接收在驗(yàn)證模式的第一階段在探測(cè)器接收的光束的第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，以及在驗(yàn)證模式的第二階段在探測(cè)器接收的光束的第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)。驗(yàn)證單元114可在第一階段保持第一溫度，并在第二階段保持第二溫度。在1204，可確定第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)的第一線形和第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)的第二線形相對(duì)于存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的偏差超過(guò)閾值量。存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合可包括先前記錄的分別針對(duì)第一溫度和第二溫度下的驗(yàn)證單元114中的分析物的線形。當(dāng)確定出現(xiàn)超過(guò)閾值的偏差時(shí)，在1206可發(fā)出警報(bào)以指示出現(xiàn)驗(yàn)證失敗。警報(bào)的發(fā)出可包括一個(gè)或多個(gè)可視或可聽(tīng)的警告、在顯示屏幕上顯示的警報(bào)、發(fā)出的電子消息(例如SMS消息或電子郵件消息)、傳真或通過(guò)電話線或便攜式電話鏈路的可聽(tīng)消息、或向本地和/或遠(yuǎn)程用戶指示驗(yàn)證過(guò)程失敗的任何其他方法。另一可選的驗(yàn)證方法不需要使用樣本測(cè)量單元112或自由空間402中的零氣體，其將樣本分析期間測(cè)量的總光譜分解為驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w的光譜、包含在樣本測(cè)量單元112或自由空間402中的樣本流或樣本氣體中的目標(biāo)分析物的光譜、以及背景的光譜，其中來(lái)自光源的光束104在其到達(dá)探測(cè)器106的途中通過(guò)該自由空間402。該分解可基于化學(xué)計(jì)量學(xué)或多變量線性回歸，從而找出驗(yàn)證單元114中的參考?xì)怏w的成分、樣本測(cè)量單元112或開(kāi)放空間402中的目標(biāo)分析物、以及樣本測(cè)量單元112或開(kāi)放空間402中的背景成分的參考光譜的最佳線性組合?？稍谠趯?shí)驗(yàn)室或其他可比的受控條件下的分析器的校準(zhǔn)期間記錄所有的參考光譜。以這種方式，驗(yàn)證可與樣本分析同時(shí)進(jìn)行，去除零氣體驗(yàn)證的盲時(shí)間并節(jié)約樣本氣體和零氣體之間的成分切換。
圖13和圖14顯示了利用樣本數(shù)據(jù)動(dòng)態(tài)校正到光譜儀的校準(zhǔn)狀態(tài)的兩個(gè)示例。圖13的上面和下面顯示的參考曲線1302是利用可調(diào)諧二極管激光光譜儀針對(duì)包含大約25%的乙烷和75%的乙烯的參考?xì)怏w混合物而獲得的。在圖13的上面顯示的測(cè)試曲線1304是利用相同的光譜儀在經(jīng)過(guò)了一些時(shí)間后針對(duì)在大約25%的乙烷和75%的乙烯的背景中包含Ippm的乙炔的測(cè)試氣體混合物而獲得的。乙炔具有在圖13的圖表的波長(zhǎng)軸上大約300到400的范圍內(nèi)的光譜吸收特征。在漂移和/或其他因素隨著時(shí)間影響光譜儀性能的示例中，可相比于參考曲線1302移動(dòng)(例如如圖2所示的向左)調(diào)整的測(cè)試曲線1306。如果不校正到測(cè)試曲線，從光譜儀測(cè)量的乙炔的濃度將為-O. 29ppm，而不是正確的值lppm。
根據(jù)本主題的實(shí)施例的方式，可通過(guò)比較出現(xiàn)乙炔吸收特征的區(qū)域之外的光譜部分(即波長(zhǎng)軸上的大約20-260之間的區(qū)域)中的測(cè)試曲線和參考曲線，來(lái)識(shí)別測(cè)試曲線漂移的量?？烧{(diào)整激光器中間工作電流從而將調(diào)整的測(cè)試曲線1306移動(dòng)回去從而與參考曲線1302對(duì)齊，如圖13的下面中所示。在調(diào)整之后，來(lái)自光譜儀的乙炔的測(cè)量濃度是lppm。圖14的上面和下面的參考曲線也是通過(guò)可調(diào)諧二極管激光光譜儀針對(duì)包含大約25%的乙烷和75%的乙烯的參考?xì)怏w混合物而獲得的。在圖14的上面的測(cè)試曲線1404是針對(duì)包含在大約25%的乙烷和75%的乙烯的背景中的Ippm的乙炔的測(cè)試氣體混合物而獲得的。如圖14的上面所示，由于漂移或者隨著時(shí)間影響激光吸收光譜儀的性能的其他因素，測(cè)試曲線形狀相對(duì)于參考曲線1402的形狀是失真的。如果不校正測(cè)試曲線1404，由光譜儀確定的測(cè)試氣體混合物中的乙炔的測(cè)量濃度可以是例如I. 81ppm,而不是實(shí)際的濃度Ippm0圖14的下面顯示了調(diào)整的測(cè)試曲線。根據(jù)本主題的實(shí)施例的方式，可通過(guò)比較出現(xiàn)乙炔吸收特征的區(qū)域之外的光譜的一個(gè)或多個(gè)部分(即波長(zhǎng)軸上的約20-260以及400-500之間的區(qū)域)中的測(cè)試曲線1404和參考曲線1402的一段或多段，來(lái)識(shí)別和/或校正測(cè)試曲線失真的量。可調(diào)整激光工作參數(shù)和信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)從而將調(diào)整的測(cè)試曲線1406的形狀校正為與參考曲線1402的形狀更加相似。調(diào)整之后，從光譜儀測(cè)量的乙炔濃度回到lppm。圖13和圖14描述的方式采用了針對(duì)具有與希望在分析條件下存在的成分一致的背景成分的樣本來(lái)采集的參考諧波光譜，目標(biāo)分析物(乙炔)在該分析條件下被量化。在可選的或附加的實(shí)施例中，可選擇包含不隨背景成分變化的一個(gè)或多個(gè)背景吸收峰的參考諧波光譜。在可選或附加的實(shí)施例中，可利用個(gè)別的背景種類(lèi)的參考吸收光譜來(lái)構(gòu)造參考諧波光譜。如描述和描繪的，與峰值鎖定中所通常使用的相比，本主題的實(shí)施例可考慮與參考諧波吸收曲線的準(zhǔn)確形狀相關(guān)的多得多的信息。先前可用的激光控制回路通常僅限于穩(wěn)定或跟蹤激光頻率和/或峰值位置(即光譜特征的峰值在測(cè)量的數(shù)字化掃描范圍內(nèi)的位置)。本文所述的方式可用于任何包括可調(diào)諧激光源的激光吸收光譜儀，包括但不限于直接吸收光譜儀、諧波吸收光譜儀、差分吸收光譜儀等等。對(duì)于直接吸收光譜儀，目標(biāo)分析物濃度的測(cè)量可不使用對(duì)從探測(cè)器獲得的信號(hào)的諧波轉(zhuǎn)換或解調(diào)。然而，可利用采用了從探測(cè)器信號(hào)獲得的諧波信號(hào)的校準(zhǔn)電路等執(zhí)行激光光源、探測(cè)器等的周期性的或連續(xù)的再校準(zhǔn)。在另一實(shí)施例中，可采用與識(shí)別和/或量化目標(biāo)分析物時(shí)所采用的不同的工作參數(shù)來(lái)驗(yàn)證諧波吸收光譜儀的校準(zhǔn)狀態(tài)，所述不同的工作參數(shù)包括但不限于調(diào)制頻率、斜坡頻率等等。采用更大的調(diào)制頻率可通過(guò)相對(duì)地減小氣體混合物的背景成分吸收的效應(yīng)來(lái)提高目標(biāo)分析物的吸收特征的信噪比。然而，由于本主題可利用從在驗(yàn)證測(cè)試諧波吸收曲線和參考諧波吸收曲線之間的一致性時(shí)的激光掃描范圍中出現(xiàn)的所有吸收特征獲得的信息，其可有利地在導(dǎo)致更復(fù)雜的光譜的條件下采集測(cè)試和參考諧波吸收曲線，從而可獲得在測(cè)試和參考諧波吸收曲線之間匹配的額外的特征。本文所述的主題的特征的一個(gè)或多個(gè)方面可在數(shù)字電子電路、集成電路、特別設(shè)計(jì)的專(zhuān)用集成電路(ASIC)、現(xiàn)場(chǎng)可編程門(mén)陣列(FPGA)計(jì)算機(jī)硬件、固件、軟件和/或其組合中實(shí)現(xiàn)。這些不同的方面或特征可包括在可編程系統(tǒng)上可執(zhí)行和/或可編譯的一個(gè)或多個(gè)計(jì)算機(jī)程序的實(shí)施例，該可編程系統(tǒng)包括至少一個(gè)可編程處理器、至少一個(gè)輸入裝置和至少一個(gè)輸出裝置，該可編程處理器可以是專(zhuān)用或通用的，耦合以接收來(lái)自存儲(chǔ)系統(tǒng)的數(shù)據(jù)和指令，并向存儲(chǔ)系統(tǒng)發(fā)送數(shù)據(jù)和指令。這些計(jì)算機(jī)程序，也可稱(chēng)為程序、軟件、軟件應(yīng)用程序、應(yīng)用程序、組件或代碼，包 括用于可編程處理器的機(jī)器指令，并可以高級(jí)過(guò)程和/或面向?qū)ο蟮木幊陶Z(yǔ)言和/或匯編/機(jī)器語(yǔ)言來(lái)實(shí)現(xiàn)。在本文中，術(shù)語(yǔ)“機(jī)器可讀介質(zhì)”是指用于向可編程處理器提供機(jī)器指令和/或數(shù)據(jù)的任何計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品、設(shè)備和/或裝置，例如磁盤(pán)、光盤(pán)、存儲(chǔ)器、可編程邏輯器件(PLD)，包括接收機(jī)器指令作為機(jī)器可讀信號(hào)的機(jī)器可讀介質(zhì)。術(shù)語(yǔ)“機(jī)器可讀信號(hào)”是指用于向可編程處理器提供機(jī)器指令和/或數(shù)據(jù)的任何信號(hào)。機(jī)器可讀介質(zhì)可非暫時(shí)地存儲(chǔ)這種機(jī)器指令，例如可以是非暫態(tài)固態(tài)存儲(chǔ)器或磁硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器或任何等價(jià)的存儲(chǔ)介質(zhì)。機(jī)器可讀介質(zhì)可選地或附加地以暫時(shí)方式存儲(chǔ)這種機(jī)器指令，例如可以是處理器緩存或與一個(gè)或多個(gè)物理處理器核心相關(guān)聯(lián)的其他隨機(jī)訪問(wèn)存儲(chǔ)器。為了提供與用戶的交互，可在具有顯示裝置的計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)本文描述的主題的一個(gè)或多個(gè)方面或特征，所述顯示裝置例如是陰極射線管顯示器(CRT)或液晶顯示器(LCD)或用于向用戶顯示信息的發(fā)光二極管(LED)監(jiān)示器，以及鍵盤(pán)和點(diǎn)擊裝置，例如鼠標(biāo)或軌跡球，通過(guò)它們用戶可向計(jì)算機(jī)提供輸入。也可通過(guò)其他類(lèi)型的裝置提供與用戶的交互。例如給用戶的反饋可以是任意類(lèi)型的感官反饋，例如視覺(jué)反饋、聽(tīng)覺(jué)反饋、或觸覺(jué)反饋；并且可以任何形式接收來(lái)自用戶的輸入，包括但不限于聲音、語(yǔ)音或觸覺(jué)輸入。其他可能的輸入裝置包括但不限于觸摸屏或其他觸覺(jué)敏感裝置，例如單點(diǎn)或多點(diǎn)阻抗或電容跟蹤板、語(yǔ)音識(shí)別硬件和軟件、光學(xué)掃描儀、光學(xué)指示器、數(shù)字圖像獲取裝置和相關(guān)的編譯軟件等?？赏ㄟ^(guò)有線或無(wú)線網(wǎng)絡(luò)將遠(yuǎn)離分析器的計(jì)算機(jī)鏈接到分析器，從而確保分析器和遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)之間的數(shù)據(jù)交換(即在遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)上接收來(lái)自分析器的數(shù)據(jù)并發(fā)送信息，例如校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、工作參數(shù)、軟件升級(jí)或更新等等)，以及分析器的遠(yuǎn)程控制、診斷等。根據(jù)需要的設(shè)置，本文所述的主題可嵌入系統(tǒng)、設(shè)備、方法和/或產(chǎn)品中。上文所列的實(shí)施例并不表示根據(jù)本文的主題的全部實(shí)施例。相反地，它們僅僅為根據(jù)與本主題相關(guān)的方面的一些實(shí)例。盡管上文詳細(xì)描述了幾種變形，膽識(shí)其他的修改和增加也是可行的。特別地，除本文列舉的之外，還可有進(jìn)一步的特征和/或變形。例如上文描述的實(shí)施例可針對(duì)公開(kāi)的特征的各種組合和子組合，和/或上文公開(kāi)的一些進(jìn)一步的特征的組合和子組合。此外，附圖和/或本文中描述的邏輯流程無(wú)需按照所顯示的特定順序或連續(xù)順序來(lái)獲得希望的結(jié)果。其他實(shí)施例可包含在權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種分析系統(tǒng),包括 驗(yàn)證單元，該驗(yàn)證單元放置為使得由光源產(chǎn)生的光在所述光從光源到探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次地通過(guò)該驗(yàn)證單元，該驗(yàn)證單元包含參考?xì)怏w，所述參考?xì)怏w包括已知量的分析物化合物，所述光源在包括所述分析物化合物的光譜吸收特征的波長(zhǎng)范圍內(nèi)發(fā)射所述光；以及 控制器，用于執(zhí)行儀器驗(yàn)證過(guò)程和樣本分析過(guò)程，該儀器驗(yàn)證過(guò)程包括 接收第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，該第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化在所述光至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和零氣體中的每一個(gè)時(shí)在所述探測(cè)器接收的所述光的第一強(qiáng)度，所述零氣體具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性，該第一光吸收率特性在所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)與所述分析物化合物的第二光吸收率特性重疊；以及 通過(guò)確定所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)未偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合超過(guò)預(yù)定的閾值偏差，來(lái)驗(yàn)證所述分析系統(tǒng)的有效狀態(tài)，所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合表示在所述分析系統(tǒng)上進(jìn)行的先前的儀器驗(yàn)證過(guò)程中采集的至少一個(gè)先前的測(cè)量；以及 所述樣本分析過(guò)程包括 接收第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化在所述光至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和樣本氣體中的每一個(gè)時(shí)在所述探測(cè)器接收的所述光的第二強(qiáng)度，所述樣本氣體包含未知濃度的分析物化合物，以及 通過(guò)校正所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)以考慮驗(yàn)證單元中的所述光的已知吸收率，來(lái)確定樣本氣體中的分析物化合物的濃度。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的裝置，進(jìn)一步包括具有分析體的樣本測(cè)量單元，該分析體在所述樣本分析過(guò)程中包含所述樣本氣體以及在所述儀器驗(yàn)證過(guò)程中包含所述零氣體，所述樣本測(cè)量單元被放置為使得所述光在從光源到探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次地通過(guò)所述樣本測(cè)量單元中的所述分析體和所述驗(yàn)證單元中的所述參考?xì)怏w中的每一個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，進(jìn)一步包括由所述控制器激活的流切換裝置，以在所述樣本分析過(guò)程中使所述樣本氣體進(jìn)入所述樣本測(cè)量單元的分析體，并在所述儀器驗(yàn)證過(guò)程中使所述零氣體進(jìn)入所述樣本測(cè)量單元的所述分析體。
4.根據(jù)權(quán)利要求2至3中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述驗(yàn)證單元包括所述光通過(guò)的光透射光學(xué)表面，所述光透射光學(xué)表面形成所述驗(yàn)證單元的至少一部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述驗(yàn)證單元包括光反射光學(xué)表面，所述光照射在所述光反射光學(xué)表面上并至少部分反射，所述光反射光學(xué)表面形成所述驗(yàn)證單元的至少一部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至5中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述樣本測(cè)量單元包括光反射光學(xué)表面，所述光照射在所述光反射光學(xué)表面上并至少部分反射，所述光反射光學(xué)表面形成所述樣本測(cè)量單元的至少一部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述樣本測(cè)量單元包括所述光通過(guò)的光透射光學(xué)表面，所述光透射光學(xué)表面形成所述樣本測(cè)量單元的至少一部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至7中任意一項(xiàng)所述的裝置，進(jìn)一步包括集成光學(xué)單元，該集成光學(xué)單元包括所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述集成光學(xué)單元包括多路單元，該多路單元包括第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面，所述第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面均至少一次地反射所述光，以及其中所述驗(yàn)證單元包含在所述第一反射光學(xué)表面的至少一部分和位于所述第一反射光學(xué)表面和所述第二反射光學(xué)表面之間的透射光學(xué)表面和位于所述第一反射表面之前的光透射表面之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中所述集成光學(xué)單元包括多路單元，所述多路單元包括第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面，所述第一反射光學(xué)表面和第二反射光學(xué)表面均至少一次地反射所述光，以及其中所述驗(yàn)證單元包含在所述第一反射光學(xué)表面的至少一部分以及位于所述第一反射表面之前的透射光學(xué)表面之前。
11.根據(jù)權(quán)利要求2至10中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元中的至少一個(gè)包含在空心光學(xué)光導(dǎo)內(nèi)，所述空心光學(xué)光導(dǎo)通過(guò)第一光透射光學(xué)元件密閉地密封第一端使得所述光進(jìn)入所述空心光學(xué)光導(dǎo)，并通過(guò)第二光透射光 學(xué)元件密閉地密封相對(duì)的端使得所述光離開(kāi)所述空心光學(xué)光導(dǎo)。
12.根據(jù)權(quán)利要求2至11中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元中的至少一個(gè)被集成到密閉的密封激光封裝器上，所述光通過(guò)形成對(duì)所述密閉的密封激光封裝器的密封的至少一個(gè)透射光學(xué)元件從該密閉的密封激光封裝器傳輸。
13.根據(jù)權(quán)利要求I至12中任意一項(xiàng)所述的裝置，進(jìn)一步包括確定所述驗(yàn)證單元中的溫度的溫度傳感器和確定所述驗(yàn)證單元中的壓力的壓力傳感器中的至少一個(gè)；以及其中由控制器執(zhí)行的操作進(jìn)一步包括 接收所述溫度和所述壓力的至少其中之一；以及 作為確定所述樣本氣體中的分析物的濃度的一部分，基于所述溫度和所述壓力中的一個(gè)或多個(gè)來(lái)調(diào)整所述驗(yàn)證單元中的所述光的所述已知吸收率。
14.根據(jù)權(quán)利要求1、4、5、11和12中的任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述光的路徑在所述光源和所述探測(cè)器之間穿越時(shí)至少一次通過(guò)自由氣體空間；以及其中所述流切換裝置在樣本分析模式期間使所述樣本氣體進(jìn)入所述自由氣體空間，在驗(yàn)證模式期間使所述零氣體進(jìn)入所述自由氣體空間。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其中所述驗(yàn)證單元被集成到位于所述自由氣體空間的第一側(cè)的第一反射器，并且所述光的路徑在所述光源和所述探測(cè)器之間穿越期間至少一次地從所述第一反射器和位于所述自由氣體空間的相對(duì)側(cè)的第二反射器中的每一個(gè)反射。
16.根據(jù)權(quán)利要求I至15中任意一項(xiàng)所述的裝置，進(jìn)一步包括將所述驗(yàn)證單元中的溫度保持在預(yù)設(shè)值的溫度控制系統(tǒng)。
17.根據(jù)權(quán)利要求I至16中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述驗(yàn)證單元包括預(yù)加載有所述參考?xì)怏w的密封容器和所述參考?xì)怏w通過(guò)的流通單元的其中之一。
18.—種方法,包括 接收第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化來(lái)自光源的光至少一次地通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和零氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器接收到的所述光的第一強(qiáng)度，所述參考?xì)怏w包括已知量的分析物化合物，所述光源在包括所述分析物化合物的光譜吸收特征的波長(zhǎng)范圍內(nèi)發(fā)射所述光，所述零氣體在所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性； 通過(guò)確定所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)未偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合超過(guò)預(yù)定閾值偏差來(lái)驗(yàn)證包括所述光源和所述探測(cè)器的分析系統(tǒng)的有效狀態(tài)，所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合表示在所述分析系統(tǒng)上進(jìn)行的先前的儀器驗(yàn)證過(guò)程中采集的至少一個(gè)先前的測(cè)量； 接收第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，該第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化來(lái)自光源的光至少一次地通過(guò)所述驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和包含未知濃度的分析物化合物的樣本氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器接收到的所述光的第二強(qiáng)度；以及 通過(guò)校正所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)以考慮所述驗(yàn)證單元中的所述光的已知吸收率來(lái)確定所述樣本氣體中的分析物化合物的濃度。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，進(jìn)一步包括 測(cè)量所述驗(yàn)證單元中的溫度和所述驗(yàn)證單元中的壓力中的一個(gè)或多個(gè)；以及 作為確定所述樣本氣體中的分析物的濃度的一部分，基于所述溫度和所述壓力中的一個(gè)或多個(gè)來(lái)調(diào)整所述驗(yàn)證單元中的所述光的吸收率。
20.根據(jù)權(quán)利要求18至19中任意一項(xiàng)所述的方法，其中所述零氣體包括惰性氣體、氮?dú)?、氧氣、空氣、氫氣、同核雙原子氣體、至少部分真空、碳?xì)浠衔餁怏w、碳氟化合物氣體、氯碳化合物氣體、一氧化碳?xì)怏w、二氧化碳?xì)怏w中的至少一種。
21.根據(jù)權(quán)利要求18至20中任意一項(xiàng)所述的方法，進(jìn)一步包括使所述零氣體通過(guò)洗滌器和化學(xué)轉(zhuǎn)爐中的至少其中之一，從而在將所述零氣體引導(dǎo)到所述光的路徑中之前，去除或減小所述零氣體中的痕量分析物的濃度。
22.一種包括機(jī)器指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，當(dāng)所述機(jī)器指令被至少一個(gè)可編程處理器執(zhí)行時(shí)，使所述至少一個(gè)可編程處理器執(zhí)行以下操作 接收第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化來(lái)自光源的光至少一次地通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和零氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器接收到的所述光的第一強(qiáng)度，所述參考?xì)怏w包括已知量的分析物化合物，所述光源在包括所述分析物化合物的光譜吸收特征的波長(zhǎng)范圍內(nèi)發(fā)射所述光，所述零氣體在所述波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性； 通過(guò)確定所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)未偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合超過(guò)預(yù)定閾值偏差來(lái)驗(yàn)證包括所述光源和所述探測(cè)器的分析系統(tǒng)的有效狀態(tài)，所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合表示在所述分析系統(tǒng)上進(jìn)行的先前的儀器驗(yàn)證過(guò)程中采集的至少一個(gè)先前的測(cè)量； 接收第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，該第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化來(lái)自光源的光至少一次地通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和包含未知濃度的分析物化合物的樣本氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器接收到的所述光的第二強(qiáng)度；以及 通過(guò)校正所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)以考慮所述驗(yàn)證單元中的所述光的已知吸收率來(lái)確定所述樣本氣體中的分析物化合物的濃度。
23.一種裝置，包括 驗(yàn)證單元，該驗(yàn)證單元放置為使得由光源產(chǎn)生的光在所述光從光源到探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次地通過(guò)該驗(yàn)證單元，該驗(yàn)證單元包含參考?xì)怏w，所述參考?xì)怏w包括已知量的目標(biāo)分析物； 流切換裝置，在樣本分析模式過(guò)程中將樣本氣體引導(dǎo)進(jìn)入所述光的路徑，并在驗(yàn)證模式過(guò)程中引導(dǎo)零氣體進(jìn)入所述光的路徑，所述零氣體在所述光源產(chǎn)生的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性；以及執(zhí)行以下操作的控制器 接收量化在所述驗(yàn)證模式過(guò)程中在探測(cè)器接收的所述光的強(qiáng)度的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)， 比較所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與表示所述驗(yàn)證模式中的至少一個(gè)先前的測(cè)量的存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合；以及 如果所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致超過(guò)了預(yù)定的閾值量，則確定出現(xiàn)驗(yàn)證失敗。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的裝置，其中，所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)包括量化在驗(yàn)證模式的第一階段在所述探測(cè)器接收的所述光的強(qiáng)度的第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，其中所述驗(yàn)證單元在所述第一階段保持在第一溫度，所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)還包括在所述驗(yàn)證模式的第二階段在所述探測(cè)器接收的光的第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述驗(yàn)證單元在所述第二階段保持在與所述第一溫度不同的第二溫度，確定出現(xiàn)驗(yàn)證失敗包括識(shí)別所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)的第一線形和所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)的第二線形偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的超過(guò)預(yù)定的閾值量的第一偏差量，所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合包括先前分別記錄的在所述第一溫度和所述第二溫度下的線形。
25.根據(jù)權(quán)利要求23至24中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中由所述控制器執(zhí)行的操作進(jìn)一步包括發(fā)出出現(xiàn)驗(yàn)證失敗的警報(bào)。
26.根據(jù)權(quán)利要求23至25中任意一項(xiàng)所述的裝置，進(jìn)一步包括將所述驗(yàn)證單元保持在所述第一溫度和所述第二溫度中的至少其中之一的溫度控制裝置。
27.根據(jù)權(quán)利要求23至26中任意一項(xiàng)所述的裝置，進(jìn)一步包括包含分析體的樣本測(cè)量單元，所述樣本測(cè)量單元被放置為使得所述光在從所述光源到所述探測(cè)器的傳輸過(guò)程中至少一次通過(guò)所述樣本測(cè)量單元中的分析體和所述驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w中的每一個(gè)。
28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的裝置，進(jìn)一步包括包含所述驗(yàn)證單元和所述樣本測(cè)量單元的光學(xué)單兀。
29.根據(jù)權(quán)利要求23至28中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述控制器執(zhí)行的操作進(jìn)一步包括 響應(yīng)于確定出現(xiàn)驗(yàn)證失敗，對(duì)所述光源、所述探測(cè)器和所述控制器的至少其中之一的工作參數(shù)和分析參數(shù)的至少其中之一進(jìn)行第一修改； 在至少一個(gè)工作參數(shù)的第一修改之后出現(xiàn)重復(fù)的驗(yàn)證模式期間，接收在所述探測(cè)器接收的所述光的新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)； 比較所述新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合，以及 確定所述新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致是否超過(guò)預(yù)定的閾值量，如果是，則確定所述新的光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合是否比所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合更接近一致。
30.根據(jù)權(quán)利要求23至29中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中 所述光源包括激光吸收光譜儀的可調(diào)諧或可掃描激光器，且所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合包括所述激光吸收光譜儀的參考諧波吸收曲線，所述參考諧波吸收曲線具有參考曲線形狀并且包括響應(yīng)于光從所述光源傳輸通過(guò)所述驗(yàn)證單元中的所述參考?xì)怏w而由所述探測(cè)器產(chǎn)生的參考信號(hào)的一階或更高階諧波信號(hào)的至少一個(gè)，已經(jīng)針對(duì)已知或校準(zhǔn)狀態(tài)的所述激光吸收光譜儀確定所述參考諧波吸收曲線； 所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)包括具有測(cè)試曲線形狀的測(cè)試諧波吸收曲線；以及所述預(yù)定的閾值量包括所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的預(yù)定的允許偏差。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的裝置，其中由所述控制器執(zhí)行的操作進(jìn)一步包括 調(diào)整所述激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)以校正所述測(cè)試曲線形狀，從而減小所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別。
32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的裝置，其中所述激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)包括激光光源參數(shù)、探測(cè)器參數(shù)、和用于通過(guò)由所述探測(cè)器產(chǎn)生的信號(hào)產(chǎn)生所述測(cè)試諧波吸收曲線的信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)的至少其中之一。
33.根據(jù)權(quán)利要求31至32中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中由所述控制器執(zhí)行的操作進(jìn)一步包括建立所述激光吸收光譜儀的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證度量，所述現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證度量包括所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別、被調(diào)整的一個(gè)或多個(gè)操作和分析參數(shù)的識(shí)別、以及一個(gè)和多個(gè)操作和分析參數(shù)被調(diào)整的值的至少其中之一。
34.根據(jù)權(quán)利要求31至33中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述激光光源參數(shù)包括溫度、工作電流、調(diào)制電流、斜坡電流、斜坡電流曲線形狀、和所述激光光源的相位的至少其中之o
35.根據(jù)權(quán)利要求31至34中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述探測(cè)器參數(shù)包括增益和探測(cè)器電路的相位設(shè)置的至少其中之一。
36.根據(jù)權(quán)利要求31至35中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)包括增益和解調(diào)裝置的相位設(shè)置的至少其中之一。
37.根據(jù)權(quán)利要求30至36中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述比較進(jìn)一步包括應(yīng)用曲線擬合算法來(lái)量化所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別。
38.根據(jù)權(quán)利要求30至36中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述比較進(jìn)一步包括針對(duì)所述測(cè)試曲線和所述參考曲線的一個(gè)或多個(gè)部分或者全部應(yīng)用減法、除法、交叉相關(guān)、曲線擬合、和多變量回歸的至少其中之一，并在光強(qiáng)度域(即y軸)和/或波長(zhǎng)域(即X軸)計(jì)算差、比值、均方差(MSE)、決定系數(shù)(R2)、交叉相關(guān)函數(shù)/積分以及回歸系數(shù)中的一個(gè)或多個(gè)，從而量化所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別。
39.根據(jù)權(quán)利要求30至36中任意一項(xiàng)所述的裝置，其中所述參考諧波吸收曲線包括在所述激光吸收光譜儀的校準(zhǔn)期間存儲(chǔ)的校準(zhǔn)參考曲線和包含一個(gè)或多個(gè)數(shù)學(xué)地組合的存儲(chǔ)的校準(zhǔn)參考曲線的構(gòu)造曲線中的至少一個(gè)，其中所述一個(gè)或多個(gè)數(shù)學(xué)地組合的存儲(chǔ)的校準(zhǔn)參考曲線是根據(jù)所述樣本氣體包含的背景氣體的成分和包含所述背景氣體的所述樣本氣體中待測(cè)量的目標(biāo)分析物的期望濃度中的至少其中之一來(lái)選擇的。
40.一種方法，包括 接收光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化由光源產(chǎn)生的并在吸收光譜儀的驗(yàn)證模式中在探測(cè)器接收的光的強(qiáng)度，所述驗(yàn)證模式包括使所述光至少一次地通過(guò)零氣體和參考?xì)怏w中的每一個(gè)，所述參考?xì)怏w包含在驗(yàn)證單元中且包括已知量的目標(biāo)分析物，所述零氣體在所述光源產(chǎn)生的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性； 比較所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與表示所述驗(yàn)證模式中的至少一個(gè)先前測(cè)量的存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合；以及 如果所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致超過(guò)了預(yù)定的閾值量，則確定出現(xiàn)了驗(yàn)證失敗。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的方法，其中 所述光源包括激光吸收光譜儀的可調(diào)諧或可掃描激光器，且所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合包括所述激光吸收光譜儀的參考諧波吸收曲線，所述參考諧波吸收曲線具有參考曲線形狀并且包括響應(yīng)于光從所述光源傳輸通過(guò)所述驗(yàn)證單元中的所述參考?xì)怏w而由所述探測(cè)器產(chǎn)生的參考信號(hào)的一階或更高階諧波信號(hào)中的至少一個(gè)，已經(jīng)對(duì)已知或校準(zhǔn)狀態(tài)的所述激光吸收光譜儀確定所述參考諧波吸收曲線； 所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)包括具有測(cè)試曲線形狀的測(cè)試諧波吸收曲線；以及 所述預(yù)定的閾值量包括所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的預(yù)定的允許偏差。
42.根據(jù)權(quán)利要求41所述的方法，進(jìn)一步包括調(diào)整所述激光吸收光譜儀的一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)以校正所述測(cè)試曲線形狀，從而減小所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的差別。
43.根據(jù)權(quán)利要求42所述的方法，其中激光吸收光譜儀的所述一個(gè)或多個(gè)工作和/或分析參數(shù)包括激光光源參數(shù)、探測(cè)器參數(shù)、和用于通過(guò)由所述探測(cè)器產(chǎn)生的信號(hào)產(chǎn)生所述測(cè)試諧波吸收曲線的信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)中的至少其中之一。
44.根據(jù)權(quán)利要求43所述的方法，其中 所述激光光源參數(shù)包括溫度、工作電流、調(diào)制電流、斜坡電流、掃描期間的斜坡電流曲線形狀、和所述激光光源的相位的至少其中之一；所述探測(cè)器參數(shù)包括增益和探測(cè)器電路的相位設(shè)置的至少其中之一；所述信號(hào)轉(zhuǎn)換參數(shù)包括增益和解調(diào)裝置的相位設(shè)置的至少其中之一。
45.一種產(chǎn)品，包括計(jì)算機(jī)可讀編碼指令，當(dāng)所述計(jì)算機(jī)可讀編碼指令被至少一個(gè)處理器執(zhí)行時(shí)，使得所述至少一個(gè)處理器執(zhí)行以下操作 接收光強(qiáng)度數(shù)據(jù)，所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化由光源產(chǎn)生的并在吸收光譜儀的驗(yàn)證模式中在探測(cè)器接收的光的強(qiáng)度，所述驗(yàn)證模式包括使所述光至少一次地通過(guò)零氣體和參考?xì)怏w中的每一個(gè)，所述參考?xì)怏w包含在驗(yàn)證單元中且包括已知量的目標(biāo)分析物，所述零氣體在所述光源產(chǎn)生的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有至少一個(gè)已知且可忽略的第一光吸收率特性； 比較所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)與表示所述驗(yàn)證模式中的至少一個(gè)先前測(cè)量的存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合；以及 如果所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)和所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合的不一致超過(guò)了預(yù)定的閾值量，則確定出現(xiàn)了驗(yàn)證失敗。
46.根據(jù)權(quán)利要求45所述的產(chǎn)品，其中 所述光源包括激光吸收光譜儀的可調(diào)諧或可掃描激光器，且所述存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合包括所述激光吸收光譜儀的參考諧波吸收曲線，所述參考諧波吸收曲線具有參考曲線形狀并且包括響應(yīng)于光從所述光源傳輸通過(guò)所述驗(yàn)證單元中的所述參考?xì)怏w而由所述探測(cè)器產(chǎn)生的參考信號(hào)的一階或更高階諧波信號(hào)中的至少一個(gè)，已經(jīng)對(duì)已知或校準(zhǔn)狀態(tài)的所述激光吸收光譜儀確定所述參考諧波吸收曲線； 所述光強(qiáng)度數(shù)據(jù)包括具有測(cè)試曲線形狀的測(cè)試諧波吸收曲線；以及 所述預(yù)定的閾值量包括所述測(cè)試曲線形狀和所述參考曲線形狀之間的預(yù)定的允許偏差。
全文摘要
可通過(guò)確定第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)偏離存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合未超出預(yù)定的閾值偏差，來(lái)驗(yàn)證包括光源和探測(cè)器的分析系統(tǒng)的有效狀態(tài)，其中所述第一光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化了來(lái)自光源的光在至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和零氣體中的每一個(gè)之后，在探測(cè)器接收的所述光的第一強(qiáng)度。存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)集合表示在分析系統(tǒng)上進(jìn)行的先前的儀器驗(yàn)證過(guò)程中采集的至少一個(gè)先前的測(cè)量。參考?xì)怏w可包括已知量的分析物。可通過(guò)校正第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)來(lái)確定樣本氣體中的分析物的濃度，所述第二光強(qiáng)度數(shù)據(jù)量化了光至少一次通過(guò)驗(yàn)證單元中的參考?xì)怏w和包含未知濃度的分析物化合物的樣本氣體中的每一個(gè)之后在探測(cè)器接收到的所述光的第二強(qiáng)度。還描述了相關(guān)的系統(tǒng)、方法和制造的產(chǎn)品。
文檔編號(hào)G01N21/61GK102656441SQ201180002000
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月21日
發(fā)明者A·費(fèi)蒂施, K·B·赫布利, L·克勒, M·施倫佩爾, X·劉 申請(qǐng)人:光學(xué)傳感器公司