專利名稱：檢查用探針及檢查用夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將預先設(shè)定于被檢查物的檢查對象部上的檢查點與實施該檢查的檢查裝置進行電連接的檢查用夾具及檢查用治具中所使用的檢查用探針。
背景技術(shù)：
安裝有檢查用探針的檢查用治具是經(jīng)由該檢查用探針，對于被檢查物所具有的檢查對象部，從檢查裝置將電流或電信號供給到規(guī)定檢查位置，并且從檢查對象部檢測電信號，由此進行檢查對象部的電氣特性的檢側(cè)、動作測試的實施等。作為被檢查物，例如有印刷配線基板、撓性基板、陶瓷多層配線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用的電極板、及半導體封裝用的封裝基板或薄膜載體等各種基板，及半導體晶片或半導體芯片或CSP (Chip size package :芯片尺寸封裝)等半導體裝置。 在本說明書中，將這些上述被檢查物總稱為“被檢查物”，并將形成于被檢查物的檢查對象部稱為“檢查部”。此外，在檢查部設(shè)有用于實際檢查該檢查部的電氣特性的檢查點，通過將探針壓接于該檢查點，成為與檢查部導通的狀態(tài)。當被檢查物例如是基板，且搭載于其上的是IC等半導體電路或電阻器或電容器等的電子電氣部件時，形成在基板上的檢查對象部為配線或電極。在這種情況下，為了保證檢查對象部的配線能夠正確地將電信號傳達給它們，測定電路基板上所設(shè)的檢查點間的電阻值與漏電流等電氣特性，根據(jù)其測定結(jié)果來判斷其配線的好壞，該電路基板上形成有安裝電子電氣部件前的印刷配線基板、液晶顯示器或等離子顯示器的配線。當被檢查物為LSI時，形成在LSI上的電子電路成為檢查對象部，該電子電路的表面襯墊分別成為檢查點。此時，為了保證形成在LSI上的電子電路具有所希望的電特性，測定檢查點間的電特性，并判斷該電子電路的好壞。以往，在被檢查物的一個實施方式的電路基板上形成有多條配線。該配線是為供應電力、使電信號流過而形成的，以使得安裝于電路基板上的電子電氣部件具有所希望的功能。因此，配線不良會影響到電路基板的動作不良已為人所知。為解決以上的問題，提出有多個檢查裝置的發(fā)明，該檢查裝置用于判定如形成在電路基板等被檢查物上的配線這樣的對象部的好壞。例如，為了判斷形成在作為被檢查物的基板上的配線的好壞，這樣的檢查裝置使用具備與預先設(shè)定在配線上的多個檢查點分別連接的多個探針(探頭)的檢查用夾具來實施檢查。這樣的檢查用夾具是將探針的一端壓接在配線(檢查部)上的檢查點上，并將其另一端壓接在與基板檢查裝置電連接的電極部上。并且，經(jīng)由該檢查用夾具，從基板檢查裝置供應用于測定配線的電氣特性的電流和/或電壓，并將從配線檢測出的電信號發(fā)送到基板檢查裝置。近年來，由于技術(shù)進步，隨著半導體裝置的小型化、基板的小型化等，基板上的配線也形成得更微細且復雜。隨著如上述的基板的配線的微細化及復雜化發(fā)展，檢查用夾具所具備的探針也要求探針本身的細線化、小型化、探針間的間距狹窄化、多銷化、簡化。在此，例如專利文獻I所公開的微觸點探針提出有通過螺旋彈簧朝相反方向被施力的ー對柱塞，經(jīng)由密卷繞螺旋部電連結(jié)，從而降低電感及電阻。在該專利文獻I中，作為第二實施方式公開有在具有大于這一對活塞的直徑的螺旋彈簧中插入該ー對柱塞而形成的觸點探針。通過這樣形成觸點探針，接觸檢查點側(cè)的柱塞可以以較大的接觸壓進行接觸，且接觸配線板ー側(cè)的柱塞則可以以較小的接觸壓進行接觸。此外，由于是雙重構(gòu)造，因而可以在小空間進行安裝。但是，專利文獻I所示的微觸點探針是由使用線圈的螺旋彈簧形成，因此難以形成具有比線圈的直徑4倍左右小的直徑的線圈，而形成外 徑為lOOym以下的線圈螺旋彈簧并組裝成為檢查用探針是極其困難的。即使假設(shè)能夠形成也有如下問題從制造成本問題來看，在使用2 4千根檢查用探針的檢查用夾具中加以利用會導致過于昂貴，因而不實用。此外，需要高精度地組裝多個零件，在組裝上費時間。進而，有如下問題在為應對間距狹窄化而制作直徑縮小了的探針時，不能獲得充分的接觸壓，因此不能充分沖破形成在檢查點表面的氧化膜，進行檢查時使接觸電阻值不穩(wěn)定。[在先技術(shù)文獻][專利文獻]專利文獻I :W02001/09683號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題本發(fā)明提供能夠應對基板的微細化及復雜化、并且能夠減少零件數(shù)得以簡化、并具有充分的接觸壓與行程的微小探針及使用該探針的檢查用夾具。用于解決課題的手段權(quán)利要求I所述的發(fā)明提供ー種檢查用夾具，其電連接被檢查物和檢查裝置，該被檢查物成為被檢查對象并具有多個檢查點，該檢查裝置檢查上述檢查點間的電氣特性，上述檢查用夾具的特征在于，具備電極體，其具有多個與上述檢查裝置電連接的電極部；檢查用探針，其電連接上述電極部與上述檢查點；以及保持體，其具有第一板狀部件和第二板狀部件并保持該檢查用探針，上述第一板狀部件將上述檢查用探針的一端引導至上述電極部，上述第二板狀部件將上述檢查用探針的另一端引導至上述檢查點，上述檢查用探針具有外側(cè)筒體，其一端開ロ抵接于上述第二板狀部件；以及內(nèi)側(cè)筒體，其同軸地配置在上述外側(cè)筒體的內(nèi)部，并且從該外側(cè)筒體的一端開ロ延伸出來被配置，上述外側(cè)筒體具有夕卜側(cè)下筒部，其具有與上述第二板狀部件抵接的一個開ロ部；第一缺ロ部，其與上述外側(cè)下筒部的另ー個開ロ部連通連結(jié)并且形成為與該外側(cè)下筒部相同直徑的筒狀，并且在該筒狀的壁面上具備長軸方向的螺旋狀缺ロ ；以及外側(cè)上筒部，其形成為與上述第一缺ロ部相同直徑的筒狀，并且與該第一缺ロ部連通連結(jié)，上述內(nèi)側(cè)筒體具有內(nèi)側(cè)下筒部，其具有與上述檢查點電連接的一個開ロ部；第二缺ロ部，其與上述內(nèi)側(cè)下筒部的另ー個開ロ部連通連結(jié)并且形成為與該內(nèi)側(cè)下筒部相同直徑的筒狀，并且在該筒狀的壁面上具備長軸方向的螺旋狀缺ロ ；以及內(nèi)側(cè)上筒部，其形成為與上述第二缺ロ部相同直徑的筒狀，并且與該第二缺ロ部連通連結(jié)，上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有在上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)下筒部固定的固定部而成，在將上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部壓接于上述檢查點來實施檢查時，由該檢查點與上述電極體來夾持上述內(nèi)側(cè)筒體與上述外側(cè)筒體，使上述第一缺ロ部與上述第二缺ロ部收縮。權(quán)利要求2所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢查用夾具，其特征在干，在上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部未與上述檢查點抵接時，由上述第二板狀部件與上述電極體來夾持上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體，使上述第一缺ロ部及上述第二缺ロ部收縮。權(quán)利要求3所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢查用夾具，其特征在于，在上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部未與上述檢查點抵接時，上述第一缺ロ部以自然長度被保持，并且由上述第二板狀部件與上述電極體來夾持上述內(nèi)側(cè)筒體而使上述第二缺ロ部收縮。權(quán)利要求4所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢查用夾具，其特征在干，在上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部未與上述檢查點抵接時，由上述第二板狀部件與上述電極體 來夾持上述外側(cè)筒體而使上述第一缺ロ部收縮，并且上述第二缺ロ部以自然長度被保持。權(quán)利要求5所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求I 4中任意ー項所述的檢查用夾具，其特征在于，上述內(nèi)側(cè)筒體具備螺旋狀缺ロ，該螺旋狀缺ロ是在該內(nèi)側(cè)筒體的上述固定部與上述檢查之間的該內(nèi)側(cè)筒體的周緣上沿長軸方向形成的缺ロ。權(quán)利要求6所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求I 5中任意ー項所述的檢查用夾具，其特征在于，通過從上述電極體表面到上述第二板狀部件的表面為止的距離和上述外側(cè)筒體的長度，來調(diào)整上述第一缺ロ部收縮的長度。權(quán)利要求7所述的發(fā)明提供ー種檢查用夾具，其電連接被檢查物和檢查裝置，該被檢查物成為被檢查對象且具有多個檢查點，該檢查裝置檢查該檢查點間的電氣特性，上述檢查用夾具的特征在于，具備電極體，其具有多個與上述檢查裝置電連接的電極部；檢查用探針，其電連接上述電極部與上述檢查點；以及保持體，其保持上述檢查用探針，上述檢查用探針具有外側(cè)筒體，其前端開ロ部成為與上述電極部抵接的電極端；以及內(nèi)側(cè)筒體，其具有導電性并從上述外側(cè)筒體的后端開ロ部突出，并電連接于該外側(cè)筒體內(nèi)部且同軸地配置于該外側(cè)筒體內(nèi)部，其前端開ロ部成為壓接于上述檢查點的檢查端，上述外側(cè)筒體具有外側(cè)上筒部，其具有成為上述電極端的前端開ロ部；第一缺ロ部，其為筒狀并與上述外側(cè)上筒部直徑相同，其前端開ロ部與該外側(cè)上筒部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺ロ ；以及外側(cè)下筒部，其與上述缺ロ部直徑相同，并且與該第一缺ロ部的后端開ロ部連通連結(jié)，上述內(nèi)側(cè)筒體具有內(nèi)側(cè)下筒部，其具有成為上述檢查端的前端開ロ部；第二缺ロ部，其為筒狀并與上述內(nèi)側(cè)下筒部直徑相同，其前端開ロ部與該內(nèi)側(cè)下筒部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺ロ ；以及內(nèi)側(cè)上筒部，其與上述第二缺ロ部直徑相同，并與該第二缺ロ部的后端開ロ部連通連結(jié)，并配置在上述外側(cè)筒體內(nèi)部，上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有固定部，該固定部對上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)下筒部進行電連接并固定，上述保持體具備第一板狀部件，其具有將上述外側(cè)筒體的電極端引導至上述電極部的第一導孔，以及第ニ板狀部件，其配置成與上述第一板狀部件具有規(guī)定間隔，并且具有將上述內(nèi)側(cè)筒體的檢查端引導至上述檢查點的第二導孔。
權(quán)利要求8所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查用夾具，其特征在干，上述外側(cè)筒體在上述檢查端與上述檢查點處于非接觸狀態(tài)時，將該外側(cè)筒體的前端開ロ部壓接于電極部，并將后端開ロ部壓接于上述第二板狀部件。權(quán)利要求9所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的檢查用夾具，其特征在于，將上述內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部始終收容于上述外側(cè)上筒部內(nèi)。權(quán)利要求10所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求7 9中任意一項所述的檢查用夾具，其特征在于，上述外側(cè)筒體的前端開ロ部具有相對于該外側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面。權(quán)利要求11所述的發(fā)明提供一種檢查用探針，其電連接多個檢查點和多個電極部，所述多個檢查點是成為被檢查對象的被檢查物上的檢查點，該多個電極部是與檢查該檢查點間的電氣特性的檢查裝置電連接并在檢查用夾具的電極體上所具備的電極部，其特征在于上述檢查用探針具備外側(cè)筒體，其前端開ロ部成為與上述電極體的表面抵接的 電極端；以及內(nèi)側(cè)筒體，其具有導電性并從上述外側(cè)筒體的后端開ロ部突出，并電連接于該外側(cè)筒體內(nèi)部且同軸地配置于該外側(cè)筒體內(nèi)部，其前端開ロ部成為壓接于上述檢查點的檢查端，上述外側(cè)筒體具備外側(cè)上筒部，其具有成為上述電極端的前端開ロ部；第ー缺ロ部，其為筒狀并與上述外側(cè)上筒部直徑相同，其前端開ロ部與該外側(cè)上筒部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺ロ ；以及外側(cè)下筒部，其與上述第一缺ロ部直徑相同，并與該第一缺ロ部的后端開ロ部連通連結(jié)，上述內(nèi)側(cè)筒體具備內(nèi)側(cè)下筒部，其具有成為上述檢查端的前端開ロ部；第ニ缺ロ部，其為筒狀并與上述內(nèi)側(cè)下筒部直徑相同，其前端開ロ部與該內(nèi)側(cè)下筒部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺ロ ；以及內(nèi)側(cè)上筒部，其與上述第二缺ロ部直徑相同，并與該第二缺ロ部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且在上述內(nèi)側(cè)下筒部抵接于檢查點時與上述電極部壓接，上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有固定部，所述固定部對上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)下筒部進行電連接并固定。權(quán)利要求12所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查用探針，其特征在于，在上述外側(cè)筒體的上述第一缺ロ部與上述內(nèi)側(cè)筒體的上述第二缺ロ部中的任一個收縮或兩個都收縮時，上述外側(cè)筒體的上述前端開ロ部與上述內(nèi)側(cè)筒體的上述后端開ロ部存在于同一平面上。權(quán)利要求13所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的檢查用探針，其特征在于，上述內(nèi)側(cè)筒體具備螺旋狀缺ロ，該螺旋狀缺ロ是在該內(nèi)側(cè)筒體的上述固定部與上述檢查端之間的該內(nèi)側(cè)筒體的周緣上沿長軸方向形成的缺ロ。權(quán)利要求14所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求11 13中任意一項所述的檢查用探針，其特征在于，上述外側(cè)筒體的前端開ロ部具有相對于該外側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面，上述內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部具有相對于該內(nèi)側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面。權(quán)利要求15所述的發(fā)明提供一種檢查用探針，其電連接多個檢查點和多個電極部，該多個檢查點是成為被檢查對象的被檢查物的檢查點，該多個電極部是與檢查該檢查點間的電氣特性的檢查裝置電連接的檢查用夾具的電極體上所具備的電極部，其特征在于上述檢查用探針具備外側(cè)筒體，其前端開ロ部成為與上述電極部抵接的電極端；以及內(nèi)側(cè)筒體，其具有導電性并從上述外側(cè)筒體的后端開ロ部突出，并電連接于該外側(cè)筒體內(nèi)部且同軸地配置于該外側(cè)筒體內(nèi)部，其前端開ロ部成為壓接于上述檢查點的檢查端，上述外側(cè)筒體具備外側(cè)上筒部，其具有成為上述電極端的前端開ロ部；第一缺ロ部，其為筒狀并與上述外側(cè)上筒部直徑相同，其前端開ロ部與該外側(cè)上筒部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺ロ ；以及外側(cè)下筒部，其與上述第一缺ロ部直徑相同，并與該第一缺ロ部的后端開ロ部連通連結(jié)，上述內(nèi)側(cè)筒體具備內(nèi)側(cè)下筒部，其具有成為上述檢查端的前端開ロ部；第二缺ロ部，其為筒狀并與上述內(nèi)側(cè)下筒部直徑相同，其前端開ロ部與該內(nèi)側(cè)下筒部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺ロ ；以及內(nèi)側(cè)上筒部，其與上述第二缺ロ部直徑相同，并與該第二缺ロ部的后端開ロ部連通連結(jié)，并且配置在上述外側(cè)筒體的內(nèi)部，上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有固定部，該固定部對上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)上筒部進行電連接并固定。權(quán)利要求16所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢查用探針，其特征在于，將上述內(nèi)側(cè)筒體的上述后端開ロ部始終收容于上述外側(cè)上筒部內(nèi)。權(quán)利要求17所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的檢查用探針，其 特征在于，上述外側(cè)筒體的上述前端開ロ部具有相對于該外側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面。權(quán)利要求18所述的發(fā)明提供如下根據(jù)權(quán)利要求11 17中任意一項所述的檢查用探針，其特征在于，上述檢查用探針具備導電性的棒狀部件，該棒狀部件配置于上述內(nèi)側(cè)筒體內(nèi)，將上述棒狀部件固定在上述內(nèi)側(cè)上筒部或上述內(nèi)側(cè)下筒部，并從上述內(nèi)側(cè)筒體的前端開ロ部延伸設(shè)置。發(fā)明效果根據(jù)權(quán)利要求I所述的發(fā)明，在同軸上配置并固定有分別具備螺旋狀缺ロ部的外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，因此這些外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體作為ー個檢查用探針發(fā)揮作用。設(shè)置在外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體的缺ロ部是分別一體形成于外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，作為在長軸方向上收縮的弾性部發(fā)揮作用。即，該檢查用探針僅由外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體及固定部形成。因此，與使用螺旋彈簧的檢查用探針相比，能夠減少零件數(shù)量，簡單地形成檢查用探針。此外，該檢查用探針具有從檢查點到電極部間并列配置有在外側(cè)筒部及內(nèi)側(cè)筒部上分別作為彈性部發(fā)揮收縮作用的缺ロ部的構(gòu)成，所以能夠產(chǎn)生用于檢查的充分的接觸壓。因此，將具有充分接觸壓的檢查用探針使用在該檢查用夾具中，與以往的檢查用夾具相比，能夠容易地制作檢查用夾具。此外，由于并列配置兩個缺ロ部而增大承載負荷，所以能夠有效地確保被推壓到檢查點時收縮的長度。因此，即使檢查點的高度或檢查用探針的長度上有偏差，也無需設(shè)置長的檢查用探針，能夠穩(wěn)定地接觸。此外進而，當檢查用探針接觸于檢查點而壓接檢查端時，外側(cè)筒體的前端開ロ部與內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部雙方都被壓接于電極體表面，因此能夠穩(wěn)定地連接檢查用探針，并提供相對于檢查點穩(wěn)定的接觸。根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)明，當內(nèi)側(cè)筒體未與檢查點抵接時，處于通過第二板狀部件與電極體來夾持外側(cè)筒體及內(nèi)側(cè)筒體而使第一及第ニ缺ロ部收縮的狀態(tài)，所以在檢查前后，電極體與內(nèi)側(cè)筒體與外側(cè)筒體始終抵接。因此，內(nèi)側(cè)筒體和外側(cè)筒體與電極體抵接而不會分離，能夠提高電極體的耐久性。
根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)明，當內(nèi)側(cè)筒體未與檢查點抵接時，第一缺ロ部保持著自然長度，第二缺ロ部通過由第二板狀部件與電極體夾持內(nèi)側(cè)筒體而收縮，因此在未檢查時僅利用第二缺ロ部的收縮カ來保持檢查用探針，在檢查時利用第一及第ニ缺ロ部這兩缺ロ部的收縮カ來推壓檢查點。因此，在檢查前后，能夠調(diào)整檢查用探針所產(chǎn)生的壓力。根據(jù)權(quán)利要求4所述的發(fā)明，當內(nèi)側(cè)筒體未與檢查點抵接時，第二缺ロ部保持著自然長度，第一缺ロ部通過由第二板狀部件與電極體夾持外側(cè)筒體而收縮，因此在未檢查時僅利用第一缺ロ部的收縮カ來保持檢查用探針，在檢查時利用第一及第ニ缺ロ部這兩缺ロ部的收縮カ來推壓檢查點。因此，在檢查前后，能夠調(diào)整檢查用探針產(chǎn)生的壓力。根據(jù)權(quán)利要求5所述的發(fā)明，在檢查用探針的內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部設(shè)置缺ロ部，由此能夠増加檢查用探針推壓于檢查點時收縮的量(長度)。這樣地檢查用探針具有較長的收縮量，因此即使檢查點的高度上有偏差或檢查用探針的長度上有偏差時，也能夠使檢查用探針充分地收縮，并穩(wěn)定地接觸。根據(jù)權(quán)利要求6所述的發(fā)明，第一缺ロ部的收縮長度是根據(jù)到電極體表面與第二 板狀部件的表面為止的距離，通過外側(cè)筒部的長度來調(diào)整，因此能夠容易適當?shù)卣{(diào)整第一缺ロ部所具有的收縮力。根據(jù)權(quán)利要求I所述的發(fā)明，在同軸上配置有分別具備螺旋狀缺ロ部的外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，并進行電連接而加以固定，因此這些外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體作為ー個檢查用探針發(fā)揮作用。設(shè)置在外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體的缺ロ部是一體地分別形成于外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，并作為在長軸方向上收縮的弾性部發(fā)揮作用。S卩，該檢查用探針是僅由外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體及固定部形成。因此，與使用螺旋彈簧的檢查用探針相比，能夠減少零件數(shù)量并簡單地形成檢查用探針。此外，該檢查用探針中，由于外側(cè)筒體的直徑大于內(nèi)側(cè)筒體的直徑，所以即使形成具有大致相同長度與形狀的缺ロ部，外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體相比仍具有更大的接觸壓。因此，通過外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體的組合，能夠產(chǎn)生用于檢查的充分的接觸壓。因此，由于將具有充分接觸壓的檢查用探針使用于該檢查用夾具中，所以與以往的檢查用夾具相比，能夠容易地制作檢查用夾具。進而，該檢查用探針具有如下結(jié)構(gòu)從檢查點到電極部間串聯(lián)配置有在外側(cè)筒部與內(nèi)側(cè)筒部分別作為弾性部而發(fā)揮作用的缺ロ部，因此，與將這些缺ロ部并聯(lián)配置的情形相比，能夠充分確保被推壓于檢查點時收縮的長度，即使檢查用探針的長度上有偏差，也不會造成對檢查點施加過度的敲打痕跡。根據(jù)權(quán)利要求8所述的發(fā)明，外側(cè)筒體在非接觸狀態(tài)下，其兩端開ロ部分別壓接于電極體表面及第ニ板狀部件，因此能夠使檢查用探針穩(wěn)定保持在檢查用夾具內(nèi)。根據(jù)權(quán)利要求9所述的發(fā)明，內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部并不是始終與電極部接觸，因此在檢查端接觸被檢查物時內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部不會進行與電極部的接離動作，因此能夠提高檢查用夾具的耐久性。此外，內(nèi)側(cè)上筒部作為外側(cè)筒部的第一缺ロ部的導向件發(fā)揮作用，因此能夠使檢查用探針大致直線移動地進行收縮。根據(jù)權(quán)利要求10所述的發(fā)明，外側(cè)筒體的前端開ロ部的端面為平面，因此能夠與檢查用夾具的電極部穩(wěn)定地接觸。
根據(jù)權(quán)利要求11所述的發(fā)明，在同軸上配置有分別具備螺旋狀缺ロ部的外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，并進行電連接而加以固定，因此，這些外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體作為ー個檢查用探針發(fā)揮作用。設(shè)置在外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體的缺ロ部是一體地分別形成于外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，并作為在長軸方向上收縮的弾性部發(fā)揮作用。S卩，該檢查用探針僅由外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體及固定部形成。因此，與使用螺旋彈簧的檢查用探針相比，能夠減少零件數(shù)量并簡單地形成檢查用探針。此外，該檢查用探針具有如下結(jié)構(gòu)從檢查點到電極部間并聯(lián)配置在外側(cè)筒部與內(nèi)側(cè)筒部上分別作為彈性部而發(fā)揮作用的缺ロ部，因此，能夠產(chǎn)生用于檢查的充分的接觸壓。此外，由于能夠充分確保推壓于檢查點時收縮的 長度，因此即使檢查點的高度上有偏差或檢查用探針的長度上有偏差，也能夠穩(wěn)定地接觸于檢查點。根據(jù)權(quán)利要求12所述的發(fā)明，在檢查用夾具內(nèi)保持檢查用探針時，外側(cè)筒體的前端開ロ部與內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部接觸于電極體表面，因此會增加與電極體表面接觸的面積，能夠較穩(wěn)定地保持在檢查用夾具內(nèi)。根據(jù)權(quán)利要求13所述的發(fā)明，通過在檢查用探針的內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部設(shè)置缺ロ部，使檢查用探針能夠増加推壓于檢查點時收縮的量(長度)。這樣地檢查用探針具有更長的收縮量，因此即使檢查點的高度上有偏差或檢查用探針的長度上有偏差，也能夠更充分地使檢查用探針收縮，并穩(wěn)定地接觸于檢查點。根據(jù)權(quán)利要求14所述的發(fā)明，外側(cè)筒體的前端開ロ部與內(nèi)側(cè)筒體的另一端開ロ部的端面為平面，因此能夠與檢查用夾具的電極體表面穩(wěn)定地接觸。因此，當螺旋彈簧的端面形成與電極部抵接的檢查用探針時，不需要進行為了使螺旋彈簧的端面穩(wěn)定接觸于電極部所需的對螺旋彈簧端面進行平面化的處理，因此與使用螺旋彈簧的檢查用探針相比，能夠更容易地形成。根據(jù)權(quán)利要求15所述的發(fā)明，在同軸上配置有分別具備螺旋狀缺ロ部的外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，并電連接而加以固定，因此這些外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體作為ー個檢查用探針發(fā)揮作用。設(shè)置在外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體的缺ロ部是一體地分別形成于外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體，并作為在長軸方向上收縮的弾性部發(fā)揮作用。S卩，該檢查用探針是僅由外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體及固定部形成。因此，與使用螺旋彈簧的檢查用探針相比，能夠減少零件數(shù)量并簡單地形成檢查用探針。此外，該檢查用探針的外側(cè)筒體的直徑大于內(nèi)側(cè)筒體的直徑，因此即使形成有具有大致相同長度或形狀的缺ロ部，外側(cè)筒體側(cè)與內(nèi)側(cè)筒體相比也具有更大的接觸壓。因此，通過組合內(nèi)側(cè)筒體與外側(cè)筒體，能夠產(chǎn)生用于檢查的充分的接觸壓。進而，該檢查用探針具有如下結(jié)構(gòu)從檢查端到電極端間串聯(lián)配置在外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體上分別作為彈性部發(fā)揮作用的缺ロ部，因此與并聯(lián)配置這些缺ロ部的情形相比，能夠更充分地確保推壓于檢查點時收縮的長度，即使檢查點的高度上有偏差或檢查用探針的長度上有偏差，也不會造成對檢查點施加過度的敲打痕跡。根據(jù)權(quán)利要求16所述的發(fā)明，內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部并不是始終與電極部接觸，因此在檢查端接觸于被檢查物時內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部不會進行與電極部的接離動作，因此能夠提高檢查用夾具的耐久性。
此外，內(nèi)側(cè)上筒部作為外側(cè)筒部的第一缺ロ部的導向件發(fā)揮作用，因此能夠使檢查用探針大致垂直地進行收縮。根據(jù)權(quán)利要求17所述的發(fā)明，外側(cè)筒體的前端開ロ部的端面為平面，因此能夠與檢查用夾具的電極部穩(wěn)定地接觸。因此，當螺旋彈簧的端面形成與電極部抵接的檢查用探針時，不需要進行為了使螺旋彈簧的端面穩(wěn)定接觸于電極部所需的對螺旋彈簧端面進行平面化的處理，因此與使用螺旋彈簧的檢查用探針相比，能夠更容易地形成。根據(jù)權(quán)利要求18所述的發(fā)明，在內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)部配置導電性的棒狀部件，棒狀部件的前端從內(nèi)側(cè)筒體的前端開ロ部延伸設(shè)置。因此，棒狀部件作為檢查用探針的一部份發(fā)揮作用，能夠可靠地將所延伸設(shè)置側(cè)的棒狀部件的前端抵接于檢查點，因此能夠可靠地電連接檢查點與檢查用探針。


圖I是表示本發(fā)明涉及的檢查用夾具的第一實施方式的概略構(gòu)成圖。圖2是表示本發(fā)明的第一實施方式的探針(第一探針)的概要剖視圖。圖3為第一探針的分解剖視圖，(a)是表示外側(cè)筒體，(b)是表示內(nèi)側(cè)筒體。此外，以A-A虛線表示固定外側(cè)筒體與內(nèi)側(cè)筒體的位置，B-B點劃線是表示第一探針的中心軸。圖4為使用第一探針的檢查用夾具的概要剖視圖。為了便于說明，標記表示第一探針的各部位與保持體各部位的長度的符號。外側(cè)筒體21的外側(cè)上筒部211的長度為xl、第一缺ロ部212的長度為x2、外側(cè)下筒部213的長度為x3、內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)上筒部221的長度為yl、第二缺ロ部222的長度為y2、內(nèi)側(cè)下筒部223的長度為y3、保持體3的第一板狀部件31的厚度為zl、第二板狀部件32的厚度為z2、第一板狀部件31與第二板狀部件32的相對置的面彼此的間隔為し圖5是表示使用第一探針的檢查用夾具檢查時的狀態(tài)的概略剖視圖。圖6為本發(fā)明第二實施方式的探針(第二探針)的概略剖視圖。圖7為使用第二探針的檢查用夾具的概略剖視圖。為便于說明，標記表示第二探針的各部位與保持體各部位的長度的符號。外側(cè)筒體21的外側(cè)上筒部211的長度為xl、第一缺ロ部212的長度為x2、外側(cè)下筒部213的長度為x3、內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)上筒部221的長度為yl、第二缺ロ部222的長度為y2、內(nèi)側(cè)下筒部223的長度為y3、保持體3的第一板狀部件31的厚度為zl、第二板狀部件32的厚度為z2、第一板狀部件31與第二板狀部件32的相對置的面彼此的間隔為し圖8為本發(fā)明第三實施方式的探針(第三探針)的概略剖視圖。圖9為使用第三探針的檢查用夾具的概略剖視圖。圖10為使用第四探針的檢查用夾具的概略剖視圖。(a)是表示將第四探針安裝在保持體上的狀態(tài)，(b)是表示實際進行檢查的狀態(tài)。圖11為使用第五探針的檢查用夾具的概略剖視圖。(a)是表示將第五探針安裝在保持體上的狀態(tài)，(b)是表示實際進行檢查的狀態(tài)。
具體實施例方式說明用于實施本發(fā)明的最佳方式。
圖I是表示本發(fā)明涉及的檢查用夾具的第一實施方式的概要構(gòu)成圖。本發(fā)明涉及的檢查用夾具I具備多個探針2 ;將這些探針2呈多針狀地進行保持的保持體3 ;支承該保持體3并具有與各探針2接觸而成導通狀態(tài)的電極部41 (參考圖5)的電極體4 ;及從電極部41電連接而延伸設(shè)置的導線部5。此外，在圖I中，作為多個探針2表示了三個探針并且表示了分別對應的三根導線部5，但這些不限定于三根，也可以根據(jù)設(shè)定于檢查對象物的檢查點來決定。本發(fā)明的主要特征是利用分別形成于具有不同外徑與內(nèi)徑的兩個導電性的筒狀部件的缺ロ部作為彈性部發(fā)揮作用，以這些弾性部并聯(lián)配置或串聯(lián)配置的方式來組合兩個筒狀部件，由此形成具有檢查時所需的接觸壓、收縮壓的ー個檢查用探針。通過這樣構(gòu)成，能夠應對基板的細微化與復雜化，并能夠降低部件數(shù)量予以簡化，提供具有充分接觸壓和收縮壓的探針及使用該探針的檢查用夾具。
對本發(fā)明涉及的第一實施方式的檢查用探針2 (以下，稱為第一探針2)進行說明。圖2為本發(fā)明的第一探針2的概略剖視圖，圖3為第一探針2的分解剖視圖，(a)表示外側(cè)筒體21，(b)表示內(nèi)側(cè)筒體22。該第一探針2具備壓接于電極體4所具有的電極部41的電極端2a，及壓接于被檢查物8所具有的檢查點81的檢查端2b，該第一探針2將電極部41和檢查點81電連接。如圖2所示，該第一探針2具有外徑及內(nèi)徑分別不同的外側(cè)筒體21和內(nèi)側(cè)筒體22、以及固定部23。內(nèi)側(cè)筒體22是與外側(cè)筒體21同軸地配置在外側(cè)筒體21的內(nèi)部，并通過固定部23固定使其與外側(cè)筒體21成導通狀態(tài)。如圖3 (a)所示，外側(cè)筒體21為具有比內(nèi)側(cè)筒體22的外徑稍大的內(nèi)徑的筒狀部件。該外側(cè)筒體21具有規(guī)定的長度并形成為在整個長度上具有相同外徑及內(nèi)徑的導電性的中空狀的圓柱形狀(圓筒形)。此外，該外側(cè)筒體21在兩端具有開ロ部21a、21b，其一端開ロ部21a與后述的電極部41抵接，由此能夠進行電極部41與外側(cè)筒體21的電連接。該ー端開ロ部21a相當于第一探針2的電極端2a (參考圖2)。此外，外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a與另一端開ロ部21b、及內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a與另一端開ロ部22b分別相當于[發(fā)明效果]中的、外側(cè)筒體的前端開ロ部與后端開ロ部、及內(nèi)側(cè)筒體的后端開ロ部與前端開ロ部。此外，外側(cè)上筒部211及第一缺ロ部212及外側(cè)下筒部213的各個一端開ロ部與另一端開ロ部分別相當于[發(fā)明效果]中的、內(nèi)側(cè)上筒部及第一缺ロ部及內(nèi)側(cè)下筒部的前端開ロ部與后端開ロ部。此外，內(nèi)側(cè)上筒部221及第ニ缺ロ部222及內(nèi)側(cè)下筒部223的各個一端開ロ部與另一端開ロ部分別相當于[發(fā)明效果]中的、外側(cè)上筒部及第ニ缺ロ部及外側(cè)下筒部的后端開ロ部與前端開ロ部。外側(cè)筒體21配置成使后述的內(nèi)側(cè)筒體22從另一端開ロ部21b突出。此外，在將第一探針2安裝于保持體3時，該另一端開ロ部21b與保持體3的第二板狀部件32抵接，能夠?qū)⒌芤惶结?卡止于保持體3。外側(cè)筒體21由一個導電性的筒狀部件形成，其具有外側(cè)上筒部211、第一缺ロ部212、外側(cè)下筒部213 (參考圖3 (a))。各個部位從一端開ロ部21a朝向另一端開ロ部21b、以外側(cè)上筒部211、第一缺ロ部212、外側(cè)下筒部213的順序被配置。
如上所述，外側(cè)筒體21可以由ー根導電性的筒狀部件來形成，例如形成為外徑40 250 u m、內(nèi)徑 30 240 u m、壁厚 5 50 u m。雖然外側(cè)筒體21由導電性的材料形成，但只要是將具有導電性的材料作為該材料，則不作特別限定。例如，可以例示如鎳或鎳合金或鈀合金來作為外側(cè)筒體21的材料。本發(fā)明的外側(cè)筒體雖然可以在上述條件下進行制造，但是除上述條件外，尤其可以將制造成外徑小于100 u m、內(nèi)徑小于90 i! m的筒體作為外側(cè)筒體21，由此，能夠適于用作將第一探針2在配線或電子電路檢查中所使用的檢查用夾具中具備的檢查用探針。優(yōu)選為外側(cè)筒體21長軸方向的長度形成得比后述的內(nèi)側(cè)筒體22的長度短。其理由是，在外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22組合時能夠容易地組裝，詳細內(nèi)容在后進行論述。圖4是表示將第一探針2保持在保持體3、且將該保持體3安裝于檢查用夾具I的 狀態(tài)的概要剖視圖。此外，由于是安裝于檢查用夾具I的狀態(tài)，所以圖4所示的第一缺ロ部212的長度x2與第二缺ロ部222的長度y2是相比自然長度縮小了的狀態(tài)的長度，與無負載狀態(tài)的長度不同。外側(cè)上筒部211為具備一端開ロ部211a與另一端開ロ部211b的筒狀部件(參考圖3 (a))。該一端開ロ部211a相當于外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a，抵接于電極部41。一端開ロ部211a形成為具有相對于外側(cè)上筒部211的長軸方向垂直的端面,所以一端開ロ部211a抵接于電極部41時，能夠使該端面抵接于電極部41，外側(cè)筒體21與電極部41穩(wěn)定地抵接。外側(cè)上筒部211的另一端開ロ部211b與后述的第一缺ロ部212的一端開ロ部212a連通連結(jié)。外側(cè)上筒部211在被保持在保持體3時貫穿支承于設(shè)置在第一板狀部件31的第ー導孔31h (后述)內(nèi)部,并被引導向規(guī)定的電極部41。該外側(cè)上筒部211的長軸方向的長度xl雖不進行特別限定，但是如圖4所示，能夠形成為在保持體3上安裝第一探針2吋，該長度xl比第一板狀部件31的厚度zl (第一導孔31h的深度)長、且該長度xl與后述的第一缺ロ部212的長度x2的合計值比后述的內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl短。作為這種條件，例如可以設(shè)定“xl > zl,及xl+x2 < yl”的條件。通過這樣形成，在后述的第一缺ロ部212收縮時，能夠防止在第一缺ロ部212與第一板狀部件31所形成的第一導孔31h的開ロ端周緣接觸，并能夠防止第一缺ロ部212與第ニ缺ロ部222彼此間的接觸。第一缺ロ部212是通過在形成外側(cè)筒體21的筒狀部件的長軸方向上沿其壁面設(shè)置螺旋狀的缺ロ而形成。這樣在外側(cè)筒體21形成螺旋狀的缺ロ，由此使該第一缺ロ部212作為在外側(cè)筒體21的長軸方向上收縮的弾性部發(fā)揮作用。第一缺ロ部212具備一端開ロ部212a與另一端開ロ部212b。該一端開ロ部212a與外側(cè)上筒部211的另一端開ロ部211b連通連結(jié)，另一端開ロ部212b與外側(cè)下筒部213的一端開ロ部213a連通連結(jié)。因此，第一缺ロ部212配置在外側(cè)上筒部211與外側(cè)下筒部213之間。此外，該第一缺ロ部212所具有的弾性伸縮的特性能夠通過缺ロ部的寬度或間距或長度或筒體部件厚度的調(diào)整、筒狀部件材料的種類、施加于筒狀部件的各種處理(熱處理或化學處理等)等來進行適當調(diào)整，且可由使用者進行適當調(diào)整。另外，在圖3所示的第一缺ロ部212上雖形成有一個缺ロ部，但也可以具有規(guī)定間隔且對稱地形成有兩個缺ロ部，也可以形成三個以上的缺ロ部。該第一缺ロ部212的長度x2最好被設(shè)定為，調(diào)整長度而形成為具有規(guī)定的收縮長度或接觸壓的同時，如上所述，將第一探針2安裝于保持體3時，第一缺ロ部212配置在不與第一板狀部件31和第二缺ロ部222接觸的位置。在圖4中，可以配置成使第一缺ロ部212形成得比第一板狀部件31的檢查點側(cè)表面與第二缺ロ部222的一端開ロ部之間的長度(內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl與第一板狀部件的厚度zl的差量)短。作為這種條件，例如可設(shè)定為“x2 < yl-zl”的條件。外側(cè)下筒部213具備一端開ロ部213a與另一端開ロ部213b。一端開ロ部213a與上述第一缺ロ部212的另一端開ロ部212b連通連結(jié)，另一端開ロ部213b相當于外側(cè)筒體21的另一端開ロ部21b。外側(cè)下筒部213的另一端開ロ部213b具有相對于外側(cè)下筒部213的長軸方向成垂直的端面，因此將第一探針2安裝于保持體3吋，能夠使該外側(cè)下筒部213的另一端開ロ部213b的端面與第二板狀部件32以平面穩(wěn)定地抵接。 此外，在外側(cè)下筒部213上形成有后述的固定部23。通過該固定部23，將外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22電連接并進行固定。外側(cè)下筒部213的長軸方向的長度x3形成為外側(cè)筒體21的另一端開ロ部21b能夠抵接于第二板狀部件32的長度。該外側(cè)筒體21所具有的外側(cè)上筒部211、第一缺ロ部212與外側(cè)下筒部213也可以將外側(cè)上筒部211與外側(cè)下筒部213形成為相同的長度，以使其具有以第一缺ロ部212為中心的對稱形狀。通過這樣形成外側(cè)筒體21，使外側(cè)筒體21具有對稱形狀，消除上下方向的不同，容易進行第一探針2的組裝。內(nèi)側(cè)筒體22是形成第一探針2的一部分并用于抵接于檢查點81的部件(參考圖3 (b))。該內(nèi)側(cè)筒體22具有比外側(cè)筒體21的內(nèi)徑稍小的外徑。該內(nèi)側(cè)筒體22形成為具有規(guī)定的長度且在整個長度上具有相同直徑的導電性中空狀的圓柱形狀(圓筒形)。此外，該內(nèi)側(cè)筒體22在兩端具有開ロ部，其另一端開ロ部22b與檢查點81接觸而成導通狀態(tài)，并可以進行檢查點81與內(nèi)側(cè)筒體22的電連接。另外，該內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開ロ部22b相當于第一探針2的檢查端2b。此外，內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a與電極部41接觸而成導通狀態(tài)，并可以進行電極部41與內(nèi)側(cè)筒體22的電連接。另外，該內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a相當于第一探針2的電極端2a (參考圖2)。該內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開ロ部22b側(cè)的一部分從外側(cè)筒體21的另一端開ロ部21b突出，且該內(nèi)側(cè)筒體22與外側(cè)筒體21同軸地配置在外側(cè)筒體21的內(nèi)部。內(nèi)側(cè)筒體22由一支導電性的筒狀部件形成，并具有內(nèi)側(cè)上筒部221、第二缺ロ部222及內(nèi)側(cè)下筒部223 (參考圖3 (b))。各個部位是從一端開ロ部22a朝向另一端開ロ部22b、以內(nèi)側(cè)上筒部221、第二缺ロ部222及內(nèi)側(cè)下筒部223的順序被配置。如上所述，內(nèi)側(cè)筒體22可以由ー支導電性的筒狀部件形成，例如形成為外徑30 250 u m、內(nèi)徑 20 240 u m、壁厚 5 50 u m。本發(fā)明的內(nèi)側(cè)筒體雖可在如上述的條件下制造，但是上述條件中，尤其是通過將制造成外徑小于80 u m、內(nèi)徑小于70 y m的筒體作為內(nèi)側(cè)筒體22，能夠?qū)⒌谝惶结?適合用作用于配線或電子線路檢查的檢查用夾具所具備的檢查用探針。內(nèi)側(cè)筒體22雖然由導電性的材料形成，但作為該材料只要是具有導電性的材料則無特別限定。作為內(nèi)側(cè)筒體22的材料，例如可以例示鎳或鎳合金或鈀合金。優(yōu)選為內(nèi)側(cè)筒體22長軸方向的長度比外側(cè)筒體21的長度長。這是因為，將第一探針2安裝在保持體3時，外側(cè)筒體21的另一端開ロ部21b的端面與第二板狀部件32抵接，內(nèi)側(cè)筒體21對電極部41與檢查點81進行電連接，因此內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開ロ部22b有必要從后述的保持體3的第二板狀部件32上所設(shè)置的第二導孔32h向檢查點81側(cè)突出。此外，當組合外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22而形成第一探針2時，使外側(cè)筒體21的一端開ロ部2Ia與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a對齊并用固定部固定，從而能夠容易地組裝第一探針2。內(nèi)側(cè)上筒部221為具備一端開ロ部221a與另一端開ロ部221b的筒狀部件。該 一端開ロ部221a相當于內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a，并抵接于電極部41。一端開ロ部221a形成為具有相對于內(nèi)側(cè)上筒部221的長軸方向成垂直的端面，因此在一端開ロ部221a抵接于后述的電極部41時，該端面抵接于電極部41，內(nèi)側(cè)筒體22能夠與電極部41穩(wěn)定地抵接。內(nèi)側(cè)上筒部221的另一端開ロ部221b與后述的第二缺ロ部222的一端開ロ部222a連通連結(jié)。內(nèi)側(cè)上筒部221在被保持體3保持時同軸地配置于外側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)，該外側(cè)筒體22貫穿支承于設(shè)置在第一板狀部件31的第一導孔31h內(nèi)部，因此與外側(cè)上筒部211同樣地被引導到規(guī)定的電極部41。該內(nèi)側(cè)上筒部221長軸方向的長度yl不進行特別限定，但是可以形成為如圖4所示，在保持體3上安裝第一探針2吋，該長度yl比外側(cè)筒體21的外側(cè)上筒部211的長度xl與第一缺ロ部212的長度x2的合計值長。作為這種條件，例如可以設(shè)定“yl > xl+x2”的條件。通過如上所述地形成，當?shù)谝蝗饱聿?12與后述的第二缺ロ部222進行收縮運動時，最好防止外側(cè)筒體21的第一缺ロ部212與內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺ロ部222各個缺ロ部彼此接觸。第二缺ロ部222是通過在形成內(nèi)側(cè)筒體22的筒狀部件的長軸方向上沿著其壁面設(shè)置螺旋狀的缺ロ而形成的。這樣，在內(nèi)側(cè)筒體22形成螺旋狀的缺ロ，由此該第二缺ロ部222作為在內(nèi)側(cè)筒體22的長軸方向上收縮的弾性部發(fā)揮作用。第二缺ロ部222具備一端開ロ部222a與另一端開ロ部222b。該一端開ロ部222a與內(nèi)側(cè)上筒部221的另一端開ロ部221b連通連結(jié)，另一端開ロ部222b與內(nèi)側(cè)下筒部223的一端開ロ部223a連通連結(jié)。因此，第二缺ロ部222配置在內(nèi)側(cè)上筒部221與內(nèi)側(cè)下筒部223之間。此外，該第二缺ロ部222所具有的弾性伸縮的特性可以通過缺ロ部的寬度或間距或長度或筒狀部件的厚度的調(diào)整、筒狀部件的材料的種類、施加于筒狀部件的各種處理(熱處理或化學處理等)等適當調(diào)整，由使用者適當加以調(diào)整。此外，圖3 (b)所示的第二缺ロ部222雖形成有一個缺ロ部，但也可以隔開規(guī)定間隔來形成兩個缺ロ部，或形成三個以上的缺ロ部。
該第二缺ロ部222的長度y2最好被設(shè)定為，調(diào)整長度而形成為具有規(guī)定的收縮長度或接觸壓的同時，如上所述，將第一探針2安裝于保持體3時，第二缺ロ部222不與第二板狀部件32和/或第一缺ロ部212接觸。例如，在圖4中，第二缺ロ部222形成得比外側(cè)下筒部213的長度x3短來進行配置，作為這種條件，例如設(shè)定“y2 < x3”的條件。內(nèi)側(cè)下筒部223是具備一端開ロ部223a與另一端開ロ部223b的筒狀部件。內(nèi)側(cè)下筒部223的一端開ロ部223a與第二缺ロ部222的另一端開ロ部222b連通連結(jié)，內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開ロ部223b相當于內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開ロ部22b。內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開ロ部223b具有相對于內(nèi)側(cè)下筒部223的長軸方向成垂直的端面，因此在將第一探針2安裝于保持體3吋，即使檢查點81形成為平面狀或形成為球型或凸狀，該內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開ロ部223b的端面能夠可靠地與檢查點81壓接。此外，在內(nèi)側(cè)下筒部223上形成有后述的固定部23，通過該固定部23，來對外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22進行電連接而固定。
與外側(cè)上筒部211同樣地，內(nèi)側(cè)下筒部223長軸方向的長度y3最好被設(shè)定為，使第二缺ロ部222不與第二板狀部件32和/或第一缺ロ部212接觸。此外，可以形成為具有即使內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開ロ部223b抵接于檢查點81而使內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺ロ部222收縮，內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開ロ部22b也能夠從第二板狀部件32突出的長度(參考圖5)。該內(nèi)側(cè)筒體22所具有的內(nèi)側(cè)上筒部221、第二缺ロ部222與內(nèi)側(cè)下筒部223也可以形成為內(nèi)側(cè)上筒部221與內(nèi)側(cè)下筒部223的長度相同，使得具有以第二缺ロ部222為中心対稱的形狀。通過如上所述地形成內(nèi)側(cè)筒體22，使內(nèi)側(cè)筒體22具有對稱形狀，消除上下方向上的差異，可以容易進行第一探針2的組裝。如圖2所示，該內(nèi)側(cè)筒體22配置成使另一端開ロ部22b從外側(cè)筒體21的另一端開ロ部21b突出。此外，配置成不使內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a從外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a突出。當配置成內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a從外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a突出、或處于同一平面時，在保持體3上安裝第一探針2時，通過第一缺ロ部212與第二缺ロ部222的收縮，能夠?qū)⑼鈧?cè)筒體21的一端開ロ部21a與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a同時壓接于電極部41。此外，也可以配置成內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a從外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a突出。此時，在保持體3上安裝第一探針2吋，首先第二缺ロ部222收縮，并根據(jù)需要使第一缺ロ部212收縮，由此，將外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a同時壓接于電極部41。另外，雖然不對內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a從外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a突出的突出量(長度)進行特別限定，但是當安裝于保持體3時，能夠形成與外側(cè)筒體21的第一缺ロ部212收縮的量相同的長度。此時，當將第一探針2安裝于保持體3吋，僅內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺ロ部222收縮而產(chǎn)生壓接的力，因此能夠減輕對保持體3施加較大的力，此外，在檢查時使外側(cè)筒體21的第一缺ロ部212首先開始收縮，從而能夠在檢查前后和檢查時調(diào)整適當?shù)陌磯毫ΑＭㄟ^如上所述地調(diào)整內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a與外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a之間的配置，可以形成外側(cè)筒體21的一端開ロ部21a與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開ロ部22a始終接觸電極部41的狀態(tài)。因此，不會導致檢查端2b毎次接觸檢查點81時都使得外側(cè)筒體21的一端開口部21a與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a進行對電極部41的接離動作，因此能夠獲得檢查用夾具I耐久性的提高。固定部23形成于外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213與內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)下筒部223，并對外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22進行固定。作為該固定方法，例如通過斂縫進行固定時，如圖2所示，從外側(cè)筒體21 (外側(cè)下筒部213)側(cè)朝向內(nèi)側(cè)筒體22側(cè)進行按壓，由此固定外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22。該固定部23在外側(cè)下筒部213上形成為向內(nèi)側(cè)彎曲的凹形狀(參考圖3(a))。該固定部23是在將內(nèi)側(cè)筒體22配置于外側(cè)筒體21內(nèi)之后，為了固定外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22而形成的，但也可以預先形成于外側(cè)筒體21。此外，該凹形狀的固定部23是表示為了固定外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22，通過從外側(cè)(外側(cè)筒體21)朝內(nèi)側(cè)(內(nèi)側(cè)筒體22)進行按壓(斂縫)來固定時形成的固定部的例子。
通過固定部23進行的外側(cè)筒體21及內(nèi)側(cè)筒體22的固定方法不限于該斂縫方法，也可以使用激光焊接、電弧焊或粘接劑等其它固定方法。另外，作為外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22的固定方法，在使用了焊接等電連接外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22的固定方法時，雖然不需要，但是在使用不電連接外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22的固定方法時，例如也可以用軟釬料或?qū)Ь€等電連接外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22。第一探針2雖然可以按上述的條件適當?shù)貙嵤?，但也可以設(shè)定如下的條件。外側(cè)筒體21的第一缺口部212不是配置在第一導孔31h的內(nèi)部，而是配置在內(nèi)側(cè)筒體22的外側(cè)上筒部221的外側(cè)周圍。此外，內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺口部222不是配置在第二導孔32h的內(nèi)部，而是配置在外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213的內(nèi)部。通過設(shè)定這些條件來形成各部件，能夠更可靠地進行各缺口部的動作并適當?shù)貙嵤┑谝惶结?。圖4是表示將第一探針2安裝在保持體3后的狀態(tài)的剖視圖。檢查用夾具I具有用于保持第一探針2的保持體3。該保持體3具備第一板狀部件31與第二板狀部件32。第一板狀部件31具有用于將第一探針2的一端開口部2a向電極部41引導的第一導孔31h。第一導孔31h是在第一板狀部件31的厚度方向上具有同一直徑地形成的貫穿孔，該貫穿孔的外徑形成為具有僅稍微大于外側(cè)筒體21的外徑的直徑。該第一導孔31h雖是將第一探針21的一端開口部2a朝向電極部41引導，但更具體而言，是將外側(cè)筒體21的一端開口部21a朝著電極部41引導。此外，此時由于內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a也是與外側(cè)筒體21同軸地配置，因此被朝著電極部41引導。第一板狀部件31的厚度zl形成為比外側(cè)上筒部211的長度xl短。這是由于，如上所述，在第一探針2被保持在保持體4上而安裝于電極部41的狀態(tài)下，外側(cè)上筒部211被貫穿支承于第一導孔31h，在第一缺口部212進行收縮動作時，最好第一缺口部212不接觸第一板狀部件31。第二板狀部件32被配置成與第一板狀部件31間具有規(guī)定間隔，并具有用于將第一探針2的另一端開口部2b朝著檢查點81引導的第二導孔32h。第二導孔32h是在第二板狀部件32的厚度方向上具有相同直徑而形成的貫穿孔，且形成為具有小于外側(cè)筒體21的外徑且稍大于內(nèi)側(cè)筒體22的外徑的直徑。通過這樣形成第二導孔32h，在將第一探針2插入于保持體3時，使第一探針2的外側(cè)筒體21的另一端開口部21b卡止于第二板狀部件32表面的第二導孔32h周緣。這是由于，第二導孔32h的直徑與外側(cè)筒體22的外徑有差。此外，此時內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開口部22b被配置成從第二板狀部件32的第二導孔32h突出。該第二導孔32h雖是將第一探針2的檢查端2b朝向檢查點81引導，但更具體而言，是將第一探針2的內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開口部22b朝向檢查點81引導。該第二板狀部件32的厚度z2形成為比內(nèi)側(cè)下筒部223的長度y3短。這是為了在第一探針2被保持于保持體4而安裝在電極部41的狀態(tài)下，能夠從第二導孔32h貫穿支承內(nèi)側(cè)下筒部223。第二板材部件32與第一板狀部件31之間具有規(guī)定間隔L。該規(guī)定間隔L被設(shè)定為使電極部41的表面與第二板狀部件32的電極側(cè)表面之間的距離(第一板狀部件31的厚度zl和規(guī)定間隔L的合計値)比無負載狀態(tài)下的外側(cè)筒體21的長軸方向的長度稍短。 通過這樣形成，在將第一探針2安裝于保持體3時，外側(cè)筒體21的第一缺口部212收縮而形成施力狀態(tài)，外側(cè)筒體21以分別按壓電極部41與第二板狀部件32的狀態(tài)被安裝。因此，外側(cè)筒體21能夠以與電極部41壓接的狀態(tài)安裝于保持體3，并且能夠使第一探針2穩(wěn)定地保持在保持體3。此外，此時內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a也被壓接于電極部41，因此能夠可靠地進行內(nèi)側(cè)筒體22與電極部41的連接。在圖4中，第二導孔32h雖表示為具有同一直徑的貫穿孔，但也可以是由配置在同軸上的具有不同的兩個外徑的兩個孔(上孔與下孔，未圖示)形成的貫穿孔。此時，上孔具有比外側(cè)筒體21的外徑稍大的直徑并配置在第二板狀部件32的電極部側(cè)，下孔具有比外側(cè)筒體21的外徑小但比內(nèi)側(cè)筒體22的外徑稍大的直徑并配置在第二板狀部件32的檢查點側(cè)。通過如上所述地形成上孔與下孔，當從第一導孔31h插入第一探針2并將其安裝于保持體3時，根據(jù)外側(cè)筒體21的另一端開口部21b的外徑與下孔的直徑的不同，也能夠卡止外側(cè)筒體21，僅使內(nèi)側(cè)筒體22從第二導孔32h突出。此外，在圖4中，第一板狀部件31與第二板狀部件32具有規(guī)定間隔而被配置，但也可以在第一板狀部件31與第二板狀部件32之間設(shè)置第三板狀部件33(未圖示)。該第三板狀部件層疊一個或二個以上的板狀部件，并可以配置在由該間隔形成的空間內(nèi)。此時，例如，第三板狀部件也可以通過層疊多個與第一板狀部件31相同的板狀部件而形成。此外，形成在第三板狀部件上的貫穿孔只要具有第一探針2的外側(cè)筒體21貫穿的大小即可，對其截面形狀不作特別限定。在電極體4上形成有與各第一探針2對應的電極部41。該電極部41與外側(cè)筒體21的一端開口部21a及內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a壓接而成為導通狀態(tài)。在圖4中，電極部41雖然形成為與外側(cè)筒體21的一端開口部21a及內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a壓接，但是這是第一實施方式的一個例子，電極部41的形狀不限于該形狀。例如，當以比圖4所示的間距更窄的間距來配置檢查點81時，最好電極部41形成得比外側(cè)筒體21的外徑小，僅內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a抵接于電極部41。此外，此時外側(cè)筒體21的一端開口部21a抵接于電極部41周邊的電極體4表面。以上為本發(fā)明第一實施方式的檢查用夾具I的構(gòu)成的說明。
本第一探針2的外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22雖是組合具有缺口部的筒狀部件而形成，但是作為形成這種筒狀部件的方法之一，也可以采用如下所述的制造方法。(I)首先，準備形成筒狀部件的中空部的芯線(未圖示)。另外，該芯線使用限制筒狀部件內(nèi)徑的所希望粗細的具有導電性的芯線(例如，直徑30 μ m,不銹鋼(SUS))。(2)接著，在芯線(不銹鋼線)上涂布抗光蝕膜，覆蓋該芯線的周面。對該抗光蝕膜的所希望部分進行曝光、顯影、加熱處理而形成螺旋狀的掩膜。此時，例如可以使芯線沿著中心軸旋轉(zhuǎn)，利用激光曝光而形成螺旋狀的掩膜。為了形成本發(fā)明的筒狀部件，將用于形成缺口部的掩膜形成在規(guī)定的位置。(3)其次，對該芯線實施鍍鎳。此時，芯線具有導電性，因此在未形成抗蝕掩膜的部位實施鍍鎳。(4)接著，除去抗蝕掩膜，抽出芯線，形成規(guī)定長度的筒狀部件。當然也可以在完全 抽出芯線之后切斷筒體。在將保持體3安裝于檢查用夾具I時，首先，將第一探針2插入于保持體3。在將第一探針2插入于保持體3時,使第一探針2的另一端開口部2b經(jīng)過第一導孔31h,接著，通過該另一端開口部2b插入于第二導孔32h。插入于保持體3的第一探針2通過外側(cè)筒體21的另一端開口部21b而卡止在保持體3。此時，第一探針2的兩端開口部(2a、2b)被配置成分別從第一導孔31h與第二導孔32h朝外側(cè)突出。當?shù)谝惶结?被插入于保持體3時，以將外側(cè)筒體21的一端開口部21a與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a推壓電極部41的方式，使第一板狀部件31與電極體4抵接。此時，外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22被壓接于電極部41,因此各個第一缺口部212與第二缺口部222收縮而成為施力狀態(tài)。因此，不論內(nèi)側(cè)筒體的另一端開口部22b (檢查側(cè)端)是否抵接于檢查點81，外側(cè)筒體21的一端開口部21a與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a成為始終接觸于電極部41的狀態(tài)。這樣，完成具有第一探針2的檢查用夾具I。其次，說明將檢查用夾具I用于檢查的情形。圖5是表示使用第一探針的檢查用夾具在進行檢查時的狀態(tài)的概要剖視圖。在進行檢查時，將檢查用夾具I安裝于檢查裝置(未圖標)，導線5與檢查裝置的控制單元電連接。檢查裝置具備將放置有被檢查物8的載臺分別在xyz軸方向上移動的移動單元，以使規(guī)定的第一探針2的檢查端2b壓接于被檢查物8的多個檢查點81的方式，使載臺在xyz軸方向上移動來進行檢查。檢查裝置為了使所希望的第一探針2抵接于規(guī)定的檢查點81，當進行載臺的定位時，移動各第一探針2使其導通接觸于各檢查點81。此時，當所希望的檢查端2b抵接于規(guī)定的檢查點81時，首先，成為檢查端2b的內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開口部22b被壓接，因此內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺口部222收縮。此時，夕卜側(cè)筒體21被內(nèi)側(cè)筒體22與固定部23所固定，因此外側(cè)筒體21的第一缺口部212也同時收縮。并且，通過這些缺口部212、222的收縮，檢查點81與電極部41經(jīng)由第一探針2且以第一及第二缺口部212、222的恢復力的合計值的接觸壓被電連接。以上是第一實施方式的檢查用夾具的說明。接著，說明本發(fā)明的第二實施方式的檢查用夾具10。
圖7所示的檢查用夾具10與第一實施方式的檢查用夾具I主要不同點在于，保持于保持體上的檢查用探針的構(gòu)成不同。以下的說明中，主要針對不同的檢查用探針的構(gòu)成部份進行說明，對于相同的部份盡可能省略其說明。針對第二實施方式的檢查用夾具10中所使用的檢查用探針20(以下，稱為第二探針20)進行說明。此外，第二探針20具有與第一探針2類似的構(gòu)成，因此針對相同的構(gòu)成標注相同的符號來說明。圖6為第二探針20的概要剖視圖。圖7表示將第二探針20保持在保持體3，并將該保持體3安裝于檢查用夾具10的狀態(tài)。此外，圖7所示的第一缺口部212的長度x2是比自然長度收縮后的狀態(tài)的長度。另一方面，第二缺口部222的長度y2是無負荷狀態(tài)的長度。第二探針20與第一探針2的主要不同點是在固定部23，更具體而言，形成固定部23的位置不同。第一探針2的固定部23連接固定外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213與內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)下筒部223，相對于此，第二探針20的固定部23連接固定外側(cè)筒體21的外側(cè) 下筒部213與內(nèi)側(cè)筒體22的外側(cè)上筒部221。第二探針20對檢查用夾具10所具備的電極體4的電極部41與被檢查物8的檢查點81進行電連接。更具體而言，第二探針20在兩端具有開口部，該一端開口部20a壓接于電極部41，該另一端開口部20b壓接于檢查點81，由此電連接電極部41與檢查點81。第二探針20是如圖6表示，具有外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22與固定部23。第二探針20的外側(cè)筒體21的構(gòu)成雖然與第一探針2的外側(cè)筒體21的基本構(gòu)成大致相同，但優(yōu)選為各部位的長度可根據(jù)與第一探針2的外側(cè)筒體21的各部位長度不同的條件來調(diào)整。這是由于固定部23的位置在第二探針20上和在第一探針2上不同引起的，其詳情在后論述。對于外側(cè)上筒部211的長度xl，不進行特別限定，但是如圖7所示，可以形成為比第一板狀部件31的厚度zl (第一導孔3Ih的深度)長。通過這樣形成，在將第二探針20保持在保持體3時，使第一缺口部212收縮時，能夠防止第一缺口部212與第一板狀部件31的第一導孔31h的開口部周緣接觸。第一缺口部212的長度x2最好被設(shè)定為，調(diào)整長度而形成為具有規(guī)定的收縮長度及接觸壓的同時，如上所述，將第二探針20安裝于保持體3時，使第一缺口部212配置在不與第一板狀部件31接觸的位置。在圖7中，第一缺口部212可被配置成使其與后述的外側(cè)下筒部213的長度x3的合計値形成得比第一板狀部件31與第二板狀部件32的間隔L短。作為這種條件，可以設(shè)定例如“x2+x3 < L”。第一缺口部212的長度x2可形成為比內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl短。通過按這種條件來形成，在將第二探針20安裝于保持體3，且第二探針20收縮時，能夠防止第一缺口部212與內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a接觸。作為這種具體的條件，例如可以設(shè)定“x2 < yl”的條件。但是，該內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl最好被調(diào)整配置成，即使在第二探針20的檢查端20a壓接于檢查點81時外側(cè)筒體21的第一缺口部212進行了收縮，內(nèi)側(cè)上筒部221的一端開口部221a也不與第一缺口部212接觸。對于外側(cè)下筒部213的長軸方向的長度x3，雖然不特別加以限定，但是如上所述，可形成為具有外側(cè)筒體21的另一端開口部213b能夠抵接于第二板狀部件32的長度。第二探針20的內(nèi)側(cè)筒體22的構(gòu)成，雖然與第一探針2的內(nèi)側(cè)筒體22的構(gòu)成大致相同，但是優(yōu)選為各部位的長度可根據(jù)與第一探針2的內(nèi)側(cè)筒體22各部位的長度不同的條件來進行調(diào)整。這是由于在第二探針20上和在第一探針2上的固定部23的位置不同引起的，其詳細內(nèi)容在后進行論述。內(nèi)側(cè)筒體22長軸方向的長度形成為，在第二探針20被保持于后述的保持體3上時，至少比外側(cè)筒體21的第一缺口部212的長度x2與外側(cè)下筒部213的長度x3與保持體3的第二板狀部件32的厚度z2的合計値長。通過這樣形成，當?shù)诙结?0被保持于保持體3時，能夠成為內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a可抵接于檢查點81的狀態(tài)。在內(nèi)側(cè)上筒部221上形成后述的固定部23。通過固定部23將外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22電連接并固定。 內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl形成為，其與后述的第二缺口部222的長度y2的合計値比外側(cè)筒體21的第一缺口部212的長度x2與外側(cè)下筒部213的長度x3的合計値長。作為這種條件，例如可以設(shè)定“x2+x3 < yl+y2”的條件。但是，優(yōu)選為對該內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl進行調(diào)整，使得當?shù)诙结?0的檢查端20a壓接于檢查點81時即使外側(cè)筒體21的第一缺口部212收縮，內(nèi)側(cè)上筒部221的一端開口部221a也不與第一缺口部212接觸，并使得當?shù)诙结?0安裝于保持體3而使第二探針20進行了收縮時，內(nèi)側(cè)上筒部221的一端開口部221a不接觸電極部41。這是由于，通過配置成使一端開口部221a收容于外側(cè)上筒部211的內(nèi)部，來防止一端開口部221a與第一缺口部212接觸，并防止一端開口部221a與電極部41重復進行接離動作。此外，內(nèi)側(cè)上筒部作為外側(cè)筒體的第一缺口部收縮時的引導部發(fā)揮作用，因而可以使第二探針20大致垂直地收縮。此外，內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl不限于上述所示的長度，例如，也可以形成為內(nèi)側(cè)上筒部221的長度yl加上后述的第二缺口部222的長度y2的合計值比外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部的長度x3短。第二缺口部222的長度y2最好被設(shè)定為，調(diào)整長度使其具有所希望的收縮長度或接觸壓的同時，將第二探針20安裝于保持體3時，如上所述地第二缺口部222不與第二板狀部件32接觸。在圖7中，將第二缺口部222配置成使第二缺口部222的長度y2比外側(cè)下筒部213的長度x3短。作為這種條件，例如可以設(shè)定“x3 > y2”的條件。內(nèi)側(cè)下筒部223的長度y3最好被設(shè)定為，使第二缺口部222不接觸于形成在第二板狀部件32上的第二導孔32h的周緣。此外，即使內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開口部223b抵接于檢查點81而使內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺口部222及外側(cè)筒體21的第一缺口部212收縮，仍具有使內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開口部223b從第二板狀部件32的檢查點側(cè)表面突出的長度(參考圖7)。固定部23形成在外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213與內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)上筒部221并固定外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體22。固定部23的形狀和固定方法與第一實施方式的固定部23的形狀和固定方法相同，因此省略說明。第二探針20雖然可以按上述的條件適當?shù)貙嵤部梢栽O(shè)定如下的條件。外側(cè)筒體21的第一缺口部212不配置在第一導孔31h的內(nèi)部，并且，將內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)上筒部221收容于內(nèi)部。此外，外側(cè)筒體21的外側(cè)上筒部221收容有內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)上筒部221，將內(nèi)側(cè)上筒部221配置成即使內(nèi)側(cè)筒體22進行了收縮時一端開口部22a也不會接觸于電極部41。此外，內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺口部222不是配置在第二導孔32h的內(nèi)部，而是配置在外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213的內(nèi)部。通過設(shè)定這些條件來形成各部件，能夠防止各缺口部接觸并適當?shù)貙嵤┑诙结?0。以上是第二實施方式的檢查用探針20 (第二探針20)的說明。以下，說明使用第二探針20時的檢查用夾具10。保持體3是保持第二探針20的部件，且其它構(gòu)成與形狀等與第一實施方式的保持體3相同。 該保持體3具有第一板狀部件31及第二板狀部件32。第一板狀部件31具有第一導孔31h，該第一導孔31h僅將外側(cè)筒體21的外側(cè)上筒部211朝向電極部41引導。第二板狀部件32具有第二導孔32h，該第二導孔32h僅將內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)下筒部223引導至檢查點。在該第二實施方式的夾具中，在第一板狀部件31與第二板狀部件32之間的空間配置有外側(cè)筒體21的第一缺口部212與外側(cè)下筒部213 ;以及內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺口部222與內(nèi)側(cè)上筒部221與第二缺口部222。該第一板狀部件31及第二板狀部件32的厚度被調(diào)整為能夠保持所要保持的第二探針20。在下述說明中，舉例表示用于保持第二探針20的各板狀部件的厚度。對于第一板狀部件31的厚度zl，雖然不特別加以限定，但是例如也可以形成為比外側(cè)筒體21的外側(cè)上筒部221的長度xl短(參考圖7)。這是因為，最好是在將第二探針20保持于保持體3并安裝于電極部41的狀態(tài)下，第二探針20的外側(cè)筒體21被貫穿支承于第一導孔31h，在外側(cè)筒體21的第一缺口部212進行收縮動作時，第一缺口部212不接觸第一導孔31h周緣的第一板狀部件31。對于第二板狀部件32的厚度z2，雖不特別加以限定，但是例如可以配置成使其形成得比內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)下筒部223的長度y3短，且內(nèi)側(cè)下筒部223貫穿第二導孔32h的整個長度。如上所述，這是因為在第二探針20被保持在保持體3并安裝于電極部41的狀態(tài)下，第二探針20的內(nèi)側(cè)筒體22被貫穿支承于第二導孔32h，且在內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺口部222進行收縮時，防止第二缺口部222接觸于第二導孔32h周緣的第二板狀部件32。此外，在形成本第二探針20的筒狀部件的制造方法中，也可以使用與形成第一實施方式的第一探針2的筒狀部件的制造方法相同的制造方法。以上是本發(fā)明涉及的第二實施方式的檢查用夾具10的構(gòu)成的說明。接著，說明將檢查用夾具10用于檢查的情形。由于將第二探針20插入于保持體3，且將保持體3安裝于檢查用夾具10的方法與第一實施方式的檢查用夾具I相同，所以省略說明。然后，說明檢查用夾具10進行檢查時的動作。為了實施檢查，當所希望的檢查端20b抵接于規(guī)定的檢查點81時，首先，成為檢查端20b的內(nèi)側(cè)筒體22的另一端開口部22b被壓接，因此內(nèi)側(cè)筒體22的第二缺口部222收縮。此時，外側(cè)筒體21由內(nèi)側(cè)筒體22與固定部23固定，因此與第二缺口部222的收縮大致同時外側(cè)筒體21的第一缺口部212也會收縮。使這些缺口部收縮并壓接檢查點81，由此，可使檢查點81與電極部41經(jīng)由第二探針20，通過第一及第二缺口部212、222的恢復力的合成值的接觸壓來進行電連接。此外，外側(cè)筒體21的一端開口部21a始終與電極部41接觸，即使內(nèi)側(cè)筒體21的另一端開口部22b壓接于檢查點81，內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a也不與電極部41抵接，因此在檢查端20b每次接觸于檢查點81時，外側(cè)筒體21的一端開口部21a或內(nèi)側(cè)筒體22的一端開口部22a不會重復進行與電極部41的接離動作。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)檢查用夾具10耐久性的提高。以上是第二實施方式的檢查用夾具10的說明。接著，說明本發(fā)明第三實施方式的檢查用夾具100。檢查用夾具100與第一實施方式的檢查用夾具I的主要不同點在于，被保持在檢查用夾具的保持體上的檢查用探針的構(gòu)成不同。以下的說明中，主要針對不同的部分進行說明，對于相同的部份盡可能省略說明。 以下，說明第三實施方式的檢查用夾具100中所使用的檢查用探針200(稱為第三探針200)。此外，由于第三探針200具有與第一探針2類似的構(gòu)成，所以對于相同的構(gòu)成標注相同的符號加以說明。圖8為第三探針200的概略剖視圖。圖9是表示將第三探針200保持于保持體3，并將此保持體3安裝于檢查用夾具100的狀態(tài)。此外，圖9所示的第一缺口部212與第二缺口部222的長度是與自然長度相比收縮了的狀態(tài)的長度。另一方面，后述的第三缺口部225并未收縮，第三缺口部225的長度為無負載時的長度。第三探針200與第一探針2的主要不同點在于，第三探針200的內(nèi)側(cè)筒體220上形成有第三缺口部225。在第一探針2中，形成于內(nèi)側(cè)筒體22的缺口部只有第二缺口部222，相對于此，形成于第三探針200的內(nèi)側(cè)筒體220的缺口部是第二缺口部222與第三缺口部225。第三探針200的功能是對與第一探針相同的電極部41與檢查點81進行電連接，因此省略說明。如圖8所示，第三探針200具有外側(cè)筒體21、內(nèi)側(cè)筒體220及固定部23。雖然第三探針200的外側(cè)筒體21的構(gòu)成與第一探針2的外側(cè)筒體21的構(gòu)成大致相同，但優(yōu)選為根據(jù)與第一探針2的外側(cè)筒體21的各部位長度不同的條件來調(diào)整各部位的長度。這是由于使用內(nèi)側(cè)筒體220來構(gòu)成第三探針200引起的，其詳細內(nèi)容在后論述。最好將外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213的長度調(diào)整為使得后述的第三缺口部225配置在外側(cè)下筒部213內(nèi)部。這是為了防止在后述的內(nèi)側(cè)筒體220收縮時，第三缺口部225與保持體3的第二板狀部件32表面的第二導孔32h周緣接觸。內(nèi)側(cè)筒體220由一支導電性的筒狀部件形成，且具有內(nèi)側(cè)上筒部221、第二缺口部222、內(nèi)側(cè)下筒部223、中筒部224及第三缺口部225 (參考圖8)。各個部位是從內(nèi)側(cè)筒體220的一端開口部220a朝向內(nèi)側(cè)筒體220的另一端開口部220b，依照內(nèi)側(cè)上筒部221、第二缺口部222、中筒部224、第三缺口部225、內(nèi)側(cè)下筒部223的順序被配置。關(guān)于內(nèi)側(cè)筒體220的內(nèi)側(cè)上筒部221、第二缺口部222，由于與第一探針2的內(nèi)側(cè)筒體22的內(nèi)側(cè)上筒部221、第二缺口部222相同，因此省略說明。中筒部224為具備一端開口部224a與另一端開口部224b的筒狀部件(參考圖8)。該中筒部224的一端開口部224a與上述的第二缺口部222的另一端開口部222b連通連結(jié)，該中筒部224的另一端開口部224b與后述的第三缺口部225的一端開口部225a連通連結(jié)。因此，中筒部224形成在第二缺口部222與第三缺口部225之間。此外，中筒部224上形成有后述的固定部23。通過該固定部23，對外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體220進行電連接并固定(在后進行詳細論述)。與內(nèi)側(cè)上筒部221 相同地，最好將中筒部224的長軸方向的長度設(shè)定成使第二缺口部222不與第一缺口部212接觸。此外，最好設(shè)定成使后述的第三缺口部225不與第二板狀部件32表面的第二導孔32h周緣接觸。第三缺口部225為具備一端開口部225a與另一端開口部225b的筒狀部件。該第三缺口部225的一端開口部225a與上述的中筒部224的另一端開口部224b連通連結(jié)，該第三缺口部225的另一端開口部225b與后述的內(nèi)側(cè)下筒部223的一端開口部223a連通連結(jié)。因此，第三缺口部225形成在中筒部224與內(nèi)側(cè)下筒部223之間。該第三缺口部225是通過在形成內(nèi)側(cè)筒體220的筒狀部件的長軸方向上沿其壁面設(shè)置螺旋狀的缺口而形成。通過如上所述地在內(nèi)側(cè)筒體220形成螺旋狀的缺口，該第三缺口部225作為在內(nèi)側(cè)筒體220的長軸方向上伸縮的彈性部發(fā)揮作用。此外，該第三缺口部225所具有的彈性伸縮的特性可通過缺口部的寬度或長度或筒狀部件厚度的調(diào)整、筒狀部件材料的種類、施加在筒狀部件上的各種處理(熱處理或化學處理等)等來適當加以調(diào)整，由使用者來進行適當調(diào)整。此外，第三缺口部225的缺口形狀在圖中雖是一個，但也可以設(shè)置多個。該第三缺口部225的長度最好被設(shè)定為調(diào)整長度使其具有所希望的收縮長度或接觸壓的同時，將第三探針200安裝在保持體3時，如上述地使第三缺口部225不與第二板狀部件32接觸。在圖9中，第三缺口部225形成為比從外側(cè)下筒部213的另一端開口部213b到外側(cè)下筒部213的設(shè)有固定部23的位置為止的長度短而被配置。內(nèi)側(cè)下筒部223的功能或構(gòu)成、形狀與第一實施例的內(nèi)側(cè)下筒部223相同，因此省略說明。內(nèi)側(cè)下筒部223的長度最好被設(shè)定為如上所述地使第三缺口部225不與形成在第二板狀部件32上的第二導孔32h(后述)的周緣接觸。此外，形成為具有如下長度即使內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開口部223b抵接檢查點81而使內(nèi)側(cè)筒體220的第二缺口部222及第三缺口部225及外側(cè)筒體的第一缺口部212收縮，內(nèi)側(cè)下筒部223的另一端開口部223b也能夠從第二板狀部件32的檢查點側(cè)表面突出(參考圖9)。固定部23形成于外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213與內(nèi)側(cè)筒體220的中筒部224并固定外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體220。固定部23的形狀與固定方法和第一實施方式的固定部23的形狀及固定方法相同，因此省略說明。第三探針200雖可以按如上述的條件適當?shù)貙嵤?，但也可以設(shè)定如下的條件。外側(cè)筒體21的第一缺口部212不是配置在第一導孔31h的內(nèi)部，而是配置在內(nèi)側(cè)筒體220的外側(cè)上筒部221的外側(cè)周圍，且不配置在內(nèi)側(cè)筒體220的第二缺口部222的外側(cè)周圍。此外，內(nèi)側(cè)筒體220的第二缺口部222不是配置在外側(cè)筒體21的第一缺口部212的內(nèi)部，而是配置在外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213的內(nèi)部。此外，內(nèi)側(cè)筒體220的第三缺口部225不是配置在第二導孔32h的內(nèi)部，而是配置在外側(cè)筒體21的外側(cè)下筒部213的內(nèi)部。通過設(shè)定這樣的條件來形成各部件，而能夠防止各缺口部與其它缺口部或各板狀部件接觸，并適當?shù)貙嵤┑谌结?00。此外，該第三探針200的內(nèi)側(cè)筒體220是夾持著固定部23而形成有兩個缺口部，并以該固定部23為中心進行配置。形成本第三探針200的筒狀部件的制造方法可以使用和形成第一實施方式的第一探針2的筒狀部件的制造方法相同的制造方法。以上是第三實施方式的檢查用探針200 (第三探針200)的說明。接著，說明使用第三探針200時的檢查用夾具100。第三實施方式的檢查用夾具100的保持體3的功能與構(gòu)成和第一實施方式的保持體3相同，因此省略說明。
但是，最好對于構(gòu)成保持體3的第一板狀部件31與第二板狀部件32的厚度及兩個板狀部件間的距離分別作出調(diào)整，以使能夠防止第三探針200的第一缺口部212與第一板狀部件31的接觸、第一缺口部212與第二缺口部222的接觸、及第三缺口部225與第二板狀部件32的接觸。在圖9中，電極部41和第一實施例4的圖4同樣地，形成為外側(cè)筒體21的一端開口部21a與內(nèi)側(cè)筒體220的一端開口部220a壓接，但是這是第三實施方式的一例，電極部41不限于該形狀。例如，當以比圖9所示的間距窄的間距來配置檢查點81時，最好將電極部41形成得比外側(cè)筒體21的外徑小，并配置成僅使內(nèi)側(cè)筒體220的一端開口部220a抵接于電極部41。另外，此時外側(cè)筒體21的一端開口部21a與電極部41周邊的電極體4表面抵接。將保持體3安裝于檢查用夾具100時的說明和第一實施方式相同，因此省略。接著，說明將檢查用夾具100用于檢查的情形。在實施檢查時，當將所希望的檢查端200b抵接于規(guī)定的檢查點81時，首先，抵接于檢查點81的內(nèi)側(cè)筒體220的另一端開口部220b被壓接，因此使內(nèi)側(cè)筒體220的第三缺口部225收縮。此時，因為外側(cè)筒體21與內(nèi)側(cè)筒體220通過固定部23被固定，所以在和第三缺口部225收縮時大致相同的時間，使得外側(cè)筒體21的第一缺口部212和內(nèi)側(cè)筒體220的第二缺口部222也收縮。通過使這些缺口部收縮并壓接檢查點81，而使得檢查點81與電極部41可經(jīng)由第三探針200電連接。此外，外側(cè)筒體21的一端開口部21a與內(nèi)側(cè)筒體220的一端開口部220a始終接觸于電極部41，因此在檢查端200b每次接觸檢查點81時外側(cè)筒體21的一端開口部21a與內(nèi)側(cè)筒體220的一端開口部220a不會重復進行與電極部41的接離動作。因此，能夠防止電極部41的老化而實現(xiàn)檢查用夾具100耐久性的提高。以上是第三實施方式的檢查用夾具100的說明。接著，說明第四實施方式的檢查用夾具1A。圖10是表示第四實施方式的檢查用夾具IA的動作的圖，Ca)表示將第四探針2A安裝在保持體3上的狀態(tài)(安裝時)，(b)是表示進行檢查的狀態(tài)(檢查時)的概略剖視圖。此外，將該第四實施方式的檢查用夾具IA中所使用的探針稱為第四探針2A。該第四探針2A基本上與第一探針I(yè)相同，但是第四探針2A的內(nèi)側(cè)筒體22A的兩端開口部被配置成從外側(cè)筒體21延伸出。此外，配置成為在將該第四探針2A安裝于保持體3時，使外側(cè)筒體21的一端開口部21a不與電極體4抵接，且形成為在檢查時(參考圖10 (b))，使外側(cè)筒體21的一端開口部21a與電極體4抵接。另外，該外側(cè)筒體21的一端開口部21a與電極部4抵接的定時是在內(nèi)側(cè)筒體22k的一端開口部22Ab抵接于檢查點81，且內(nèi)側(cè)筒體22A的第一缺口部222k開始收縮以后，實際上電信號經(jīng)由第四探針2A被供應而進行檢查之前為止。只要至少內(nèi)側(cè)筒體22k不抵接檢查點81，第四探針2A的外側(cè)筒體21不與電極體4抵接。因此，在安裝于未進行檢查時的保持體3的狀態(tài)下，第四探針2A利用由內(nèi)側(cè)筒體22A的第一缺口部222k收縮而產(chǎn)生的推壓力被保持于保持體3，此外，在檢查時，第四探針2A分別被檢查點81與電極部4夾持，第四探針2A的外側(cè)筒體21與電極體4的抵接，因此在檢查點81處會產(chǎn)生因外側(cè)筒體21的第一缺口部212與內(nèi)側(cè)筒體22A的第一缺口部222A收縮而產(chǎn)生的推壓力。因此，第四探針2A在檢查時與未進行檢查時(安裝時)時，可以對探針本身的加重(因缺口部收縮而產(chǎn)生的推壓力)設(shè)定變化。例如 ，可以減小施加在第四探針2A的保持體3上的推壓力或增大對檢查點施加的推壓力地進行調(diào)整，能夠一邊降低施加于保持體3的第二板狀部件32的力，一邊增大施加于檢查點81上的力。為了如上所述地使外側(cè)筒體21能夠進行動作，例如第四探針2A形成為內(nèi)側(cè)筒體22A的一端開口部22Aa從外側(cè)筒部21的一端開口部21a突出規(guī)定長度。在圖10 (a)所不的在安裝時，該內(nèi)側(cè)筒部22A的突出長度被配置成電極體4與外側(cè)筒體21具有空間長度V，在圖10 (b)所示的檢查時，該內(nèi)側(cè)筒部22k的突出長度被調(diào)整為電極體4與外側(cè)筒體21壓接的長度。這種情況下，外側(cè)筒體21的長度形成為比從第二板狀部件32的表面到電極體4表面為止的距離短，并且被設(shè)定為，外側(cè)筒體21的一端開口 21a被配置在第一板狀部件31的導孔內(nèi)部，且在檢查時能夠使外側(cè)筒體21的第一缺口部212充分收縮的長度。另外，該空間長度V只要是在將第四探針2A安裝于保持體3時能夠形成空間的長度，則無特別限定。如圖10所示，電極體4的電極部41也可以形成為具有與外側(cè)筒體21的直徑大致相同或更大的直徑，也可以形成為具有只與內(nèi)側(cè)筒體22k導通接觸的大小(比內(nèi)側(cè)筒體22A稍大的直徑)。接著，說明第五實施方式的檢查用夾具1B。圖11是表示第五實施方式的檢查用夾具IB的動作的圖，Ca)表示將第五探針2B安裝在保持體3上的狀態(tài)(安裝時)，(b)是表示進行檢查的狀態(tài)(檢查時)的概要剖視圖。此外，將該第五實施方式的檢查用夾具IB中所使用的探針稱為第五探針2B。該第五探針2B基本上與第一探針I(yè)相同，但是第五探針2B的內(nèi)側(cè)筒體22B的一端開口部22Ba配置在比外側(cè)筒體21靠內(nèi)部(外側(cè)筒體21的一端開口部21a從內(nèi)側(cè)筒體22Ba突出地被配置)。在將該第五探針2B安裝于保持體3時(參考圖11(a))，配置成使內(nèi)側(cè)筒體22B的一端開口部22Ba不與電極體4抵接，并且在檢查時(參考圖11 (b))，形成為使內(nèi)側(cè)筒體22B的一端開口部22Ba與電極體4抵接。該內(nèi)側(cè)筒體22B的一端開口部22Ba與電極部4抵接的定時是在內(nèi)側(cè)筒體22B的另一端開口部22Bb抵接于檢查點81，且外側(cè)筒體21的第一缺口部212開始收縮以后，實際上電信號經(jīng)由第五探針2B被供應而進行檢查之前為止。只要至少第五探針2B的內(nèi)側(cè)筒體22B不抵接檢查點81，第五探針2B的內(nèi)側(cè)筒體22B不會與電極體4抵接。因此，在安裝時(安裝于未進行檢查時的保持體3的狀態(tài))，第五探針2B利用由外側(cè)筒體21的第一缺口部212的收縮而產(chǎn)生的推壓力被保持于保持體3，此夕卜，在檢查時，第五探針2B分別被檢查點81與電極體4夾持，第五探針2B的內(nèi)側(cè)筒體22B與電極體4抵接，因此在檢查點81處會產(chǎn)生因外側(cè)筒體21的第一缺口部212與內(nèi)側(cè)筒體22B的第一缺口部222B的收縮而產(chǎn)生的推壓力。因此，第五探針2B在檢查時與未檢查時(安裝時)，可以對探針本身的加重(因缺口部收縮產(chǎn)生的推壓力)設(shè)定變化。例如，可以減小施加在第五探針2B的保持體3的推壓力或增大對檢查點施加的推壓力地進行調(diào)整，能夠一邊降低施加于保持體3的第二板狀部件32的力，一邊增大施加于檢查點81的力。為了如上所述地使內(nèi)側(cè)筒體22B能夠進行動作，例如第五探針2B形成為外側(cè)筒體21的一端開口部21a從內(nèi)側(cè)筒部22B的一端開口部22Ba突出規(guī)定長度。在圖11 (a)所不的安裝時，該外側(cè)筒部21的突出長度被配置成使電極體4與內(nèi)側(cè)筒體22B具有空間長度W，在圖11 (b)所示的檢查時，該外側(cè)筒部21的突出長度被調(diào)整成使電極體4與內(nèi)側(cè)筒體22B壓接的長度。這種情況下，外側(cè)筒體21的長度形成為比從第二板狀部件32的表面到電極體4表面為止的距離長出規(guī)定長度的長型。外側(cè)筒體21的第一缺口部212收縮該規(guī)定長度的量。并被設(shè)定為，外側(cè)筒體21的一端開口 21a配置在第一板狀部件31的導孔內(nèi)部，且檢查時能夠使外側(cè)筒體21的第一缺口部212充分收縮的長度。
如圖11所示，電極體4的電極部41也可以形成為具有與外側(cè)筒體21的直徑大致相同或更大的直徑，也可以形成為具有只與內(nèi)側(cè)筒體22k導通接觸的大小(比內(nèi)側(cè)筒體22B稍大的直徑)。通過提供本發(fā)明涉及的探針，能夠提供即使探針的直徑小于100 μ m,也具有至少20mN以上，優(yōu)選為50mN左右的負荷的探針。因此，可靠地沖破掉由軟釬料或鋁形成的檢查對象部表面的氧化膜，可提供能夠與檢查對象物的未氧化部分可靠接觸的充分的接觸壓。此外，這些第一至第五探針的上端部及下端部的前端，雖然分別形成為端面，但不限于該形狀，例如也可以在這些前端形成呈尖銳形狀的錐部，或形成具有多個凸部的冠狀。第一至第五探針雖是通過組合兩支筒狀部件而形成，但例如也可以使用三支直徑(直徑及內(nèi)徑)不同的筒狀部件，在最內(nèi)部配置直徑最小的筒狀部件，其外側(cè)配置直徑第二小的筒狀部件，進而在其外側(cè)配置最大直徑的筒狀部件，從而形成為一個探針，以這種方式組合直徑逐漸變大的多個筒狀部件而形成檢查用探針。第一至第五探針所具有的各部位的長度，雖然已經(jīng)通過使用其適當狀態(tài)下的各長度的關(guān)系進行了說明，但是在充分地確保了相鄰的部件彼此之間(例如，第一缺口部與第一板狀部件、第一缺口部與第二缺口部、第二缺口部與第二板狀部件、第三缺口部與第二板狀部件)的間隙，且其缺口部進行了收縮運動的情況下，即使與對方的部件接觸，也沒有妨礙其收縮運動的話，則不限于上述的關(guān)系，可以適當加以調(diào)整。第一至第五探針雖然是形成為內(nèi)側(cè)筒體的另一端開口部作為檢查端與檢查點81接觸，但是例如也可以形成為在內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)部具備導電性的棒型部件(未圖示)。該棒狀部件是將前端配置在內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)部，后端從內(nèi)側(cè)筒體的另一端開口部突出而與內(nèi)側(cè)下筒部電連接并被固定。雖然不對配置前端的內(nèi)側(cè)筒體內(nèi)的位置進行特別限定，但例如可以配置在內(nèi)側(cè)上筒部內(nèi)。通過具備這樣的棒狀部件，后端與檢查點81接觸，因此能夠可靠地進行檢查用探針與檢查點81的電連接。此外，能夠作為設(shè)置于內(nèi)側(cè)筒體的缺口部伸縮時的導向件而發(fā)揮作用。
此外，也可以在第一至第五探針的外側(cè)筒體的外周表面上形成絕緣覆膜。通過如上述地設(shè)置絕緣覆膜，在保持體3上安裝多個第一至第五探針時，能夠防止相鄰彼此的探針接觸而相互導通。在第四及第五探針的實施方式中，也可以在各個內(nèi)側(cè)下筒部形成缺口部。如上所述，即使在內(nèi) 側(cè)下筒部形成缺口部，也不會構(gòu)成第四及第五探針的機構(gòu)的阻礙因素，能夠適當加以實施。(附圖標記說明)I :第一實施方式的檢查用夾具10 :第二實施方式的檢查用夾具100 :第三實施方式的檢查用夾具IA :第四實施方式的檢查用夾具IB :第五實施方式的檢查用夾具2 :第一實施方式的檢查用探針(第一探針)20 :第二實施方式的檢查用探針(第二探針)200 :第三實施方式的檢查用探針(第三探針)2A :第四實施方式的檢查用探針(第四探針)2B:第五實施方式的檢查用探針(第五探針)21 :外側(cè)筒體22 :內(nèi)側(cè)筒體(第一實施方式及第二實施方式)220 :內(nèi)側(cè)筒體(第三實施方式)22A:內(nèi)側(cè)筒體(第四實施方式)22B:內(nèi)側(cè)筒體(第五實施方式)23:固定部3 :保持體31 :第一板狀部件31h :第一導孔32 :第二板狀部件32h :第二導孔4 電極體41:電極部5 :導線8 :被檢查物81 :檢查點
權(quán)利要求
1.一種檢查用夾具，其電連接被檢查物和檢查裝置，該被檢查物成為被檢查對象并具有多個檢查點，該檢查裝置檢查上述檢查點間的電氣特性，上述檢查用夾具的特征在于，具備: 電極體，其具有多個與上述檢查裝置電連接的電極部； 檢查用探針，其電連接上述電極部與上述檢查點；以及 保持體，其具有第一板狀部件和第二板狀部件并保持該檢查用探針，上述第一板狀部件將上述檢查用探針的一端引導至上述電極部，上述第二板狀部件將上述檢查用探針的另一端引導至上述檢查點， 上述檢查用探針具有 外側(cè)筒體，其一端開口抵接于上述第二板狀部件；以及 內(nèi)側(cè)筒體，其同軸地配置在上述外側(cè)筒體的內(nèi)部，并且從該外側(cè)筒體的一端開口延伸出來被配置， 上述外側(cè)筒體具有 外側(cè)下筒部，其具有與上述第二板狀部件抵接的一個開口部； 第一缺口部，其與上述外側(cè)下筒部的另一個開口部連通連結(jié)并且形成為與該外側(cè)下筒部相同直徑的筒狀，并且在該筒狀的壁面上具備長軸方向的螺旋狀缺口 ；以及 外側(cè)上筒部，其形成為與上述第一缺口部相同直徑的筒狀，并且與該第一缺口部連通連結(jié)， 上述內(nèi)側(cè)筒體具有 內(nèi)側(cè)下筒部，其具有與上述檢查點電連接的一個開口部； 第二缺口部，其與上述內(nèi)側(cè)下筒部的另一個開口部連通連結(jié)并且形成為與該內(nèi)側(cè)下筒部相同直徑的筒狀，并且在該筒狀的壁面上具備長軸方向的螺旋狀缺口 ；以及 內(nèi)側(cè)上筒部，其形成為與上述第二缺口部相同直徑的筒狀，并且與該第二缺口部連通連結(jié)， 上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有在上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)下筒部固定的固定部而成， 在將上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部壓接于上述檢查點來實施檢查時，由該檢查點與上述電極體來夾持上述內(nèi)側(cè)筒體與上述外側(cè)筒體，使上述第一缺口部與上述第二缺口部收縮。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢查用夾具，其特征在于， 在上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部未與上述檢查點抵接時， 由上述第二板狀部件與上述電極體來夾持上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體，使上述第一缺口部及上述第二缺口部收縮。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢查用夾具，其特征在于， 在上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部未與上述檢查點抵接時， 上述第一缺口部以自然長度被保持，并且 由上述第二板狀部件與上述電極體來夾持上述內(nèi)側(cè)筒體而使上述第二缺口部收縮。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢查用夾具，其特征在于， 在上述內(nèi)側(cè)筒體的內(nèi)側(cè)下筒部未與上述檢查點抵接時， 由上述第二板狀部件與上述電極體來夾持上述外側(cè)筒體而使上述第一缺口部收縮，并且上述第二缺口部以自然長度被保持。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任意一項所述的檢查用夾具，其特征在于， 上述內(nèi)側(cè)筒體具備螺旋狀缺口，該螺旋狀缺口是在該內(nèi)側(cè)筒體的上述固定部與上述檢查之間的該內(nèi)側(cè)筒體的周緣上沿長軸方向形成的缺口。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任意一項所述的檢查用夾具，其特征在于， 通過從上述電極體表面到上述第二板狀部件的表面為止的距離和上述外側(cè)筒體的長度，來調(diào)整上述第一缺口部收縮的長度。
7.一種檢查用夾具，其電連接被檢查物和檢查裝置，該被檢查物成為被檢查對象且具有多個檢查點，該檢查裝置檢查該檢查點間的電氣特性，上述檢查用夾具的特征在于，具備 電極體，其具有多個與上述檢查裝置電連接的電極部； 檢查用探針，其電連接上述電極部與上述檢查點；以及 保持體，其保持上述檢查用探針， 上述檢查用探針具有 外側(cè)筒體，其前端開口部成為與上述電極部抵接的電極端；以及內(nèi)側(cè)筒體，其具有導電性并從上述外側(cè)筒體的后端開口部突出，并電連接于該外側(cè)筒體內(nèi)部且同軸地配置于該外側(cè)筒體內(nèi)部，其前端開口部成為壓接于上述檢查點的檢查端，上述外側(cè)筒體具有 外側(cè)上筒部，其具有成為上述電極端的前端開口部； 第一缺口部，其為筒狀并與上述外側(cè)上筒部直徑相同，其前端開口部與該外側(cè)上筒部的后端開口部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺口 ；以及 外側(cè)下筒部，其與上述缺口部直徑相同，并且與該第一缺口部的后端開口部連通連結(jié)， 上述內(nèi)側(cè)筒體具有 內(nèi)側(cè)下筒部，其具有成為上述檢查端的前端開口部； 第二缺口部，其為筒狀并與上述內(nèi)側(cè)下筒部直徑相同，其前端開口部與該內(nèi)側(cè)下筒部的后端開口部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺口 ；以及 內(nèi)側(cè)上筒部，其與上述第二缺口部直徑相同，并與該第二缺口部的后端開口部連通連結(jié)，并配置在上述外側(cè)筒體內(nèi)部， 上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有固定部，該固定部對上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)下筒部進行電連接并固定， 上述保持體具備 第一板狀部件，其具有將上述外側(cè)筒體的電極端引導至上述電極部的第一導孔，以及第二板狀部件，其配置成與上述第一板狀部件具有規(guī)定間隔，并且具有將上述內(nèi)側(cè)筒體的檢查端引導至上述檢查點的第二導孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查用夾具，其特征在于， 上述外側(cè)筒體在上述檢查端與上述檢查點處于非接觸狀態(tài)時，將該外側(cè)筒體的前端開口部壓接于電極部，并將后端開口部壓接于上述第二板狀部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的檢查用夾具，其特征在于， 將上述內(nèi)側(cè)筒體的后端開口部始終收容于上述外側(cè)上筒部內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7 9中任意一項所述的檢查用夾具，其特征在于， 上述外側(cè)筒體的前端開口部具有相對于該外側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面。
11.一種檢查用探針，其電連接多個檢查點和多個電極部，所述多個檢查點是成為被檢查對象的被檢查物上的檢查點，該多個電極部是與檢查該檢查點間的電氣特性的檢查裝置電連接并在檢查用夾具的電極體上所具備的電極部，其特征在于 上述檢查用探針具備 外側(cè)筒體，其前端開口部成為與上述電極體的表面抵接的電極端；以及內(nèi)側(cè)筒體，其具有導電性并從上述外側(cè)筒體的后端開口部突出，并電連接于該外側(cè)筒體內(nèi)部且同軸地配置于該外側(cè)筒體內(nèi)部，其前端開口部成為壓接于上述檢查點的檢查端，上述外側(cè)筒體具備 外側(cè)上筒部，其具有成為上述電極端的前端開口部； 第一缺口部，其為筒狀并與上述外側(cè)上筒部直徑相同，其前端開口部與該外側(cè)上筒部的后端開口部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺口 ；以及 外側(cè)下筒部，其與上述第一缺口部直徑相同，并與該第一缺口部的后端開口部連通連結(jié)， 上述內(nèi)側(cè)筒體具備 內(nèi)側(cè)下筒部，其具有成為上述檢查端的前端開口部； 第二缺口部，其為筒狀并與上述內(nèi)側(cè)下筒部直徑相同，其前端開口部與該內(nèi)側(cè)下筒部的后端開口部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺口 ；以及 內(nèi)側(cè)上筒部，其與上述第二缺口部直徑相同，并與該第二缺口部的后端開口部連通連結(jié)，并且在上述內(nèi)側(cè)下筒部抵接于檢查點時與上述電極部壓接， 上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有固定部，所述固定部對上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)下筒部進行電連接并固定。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查用探針，其特征在于， 在上述外側(cè)筒體的上述第一缺口部與上述內(nèi)側(cè)筒體的上述第二缺口部中的任一個收縮或兩個都收縮時，上述外側(cè)筒體的上述前端開口部與上述內(nèi)側(cè)筒體的上述后端開口部存在于同一平面上。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的檢查用探針，其特征在于， 上述內(nèi)側(cè)筒體具備螺旋狀缺口，該螺旋狀缺口是在該內(nèi)側(cè)筒體的上述固定部與上述檢查端之間的該內(nèi)側(cè)筒體的周緣上沿長軸方向形成的缺口。
14.根據(jù)權(quán)利要求11 13中任意一項所述的檢查用探針，其特征在于， 上述外側(cè)筒體的前端開口部具有相對于該外側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面， 上述內(nèi)側(cè)筒體的后端開口部具有相對于該內(nèi)側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面。
15.一種檢查用探針，其電連接多個檢查點和多個電極部，該多個檢查點是成為被檢查對象的被檢查物的檢查點，該多個電極部是與檢查該檢查點間的電氣特性的檢查裝置電連接的檢查用夾具的電極體上所具備的電極部，其特征在于 上述檢查用探針具備 外側(cè)筒體，其前端開口部成為與上述電極部抵接的電極端；以及 內(nèi)側(cè)筒體，其具有導電性并從上述外側(cè)筒體的后端開口部突出，并電連接于該外側(cè)筒體內(nèi)部且同軸地配置于該外側(cè)筒體內(nèi)部，其前端開口部成為壓接于上述檢查點的檢查端， 上述外側(cè)筒體具備 外側(cè)上筒部，其具有成為上述電極端的前端開口部； 第一缺口部，其為筒狀并與上述外側(cè)上筒部直徑相同，其前端開口部與該外側(cè)上筒部的后端開口部連通連結(jié)，并且具備在周緣上 沿長軸方向形成的螺旋狀缺口 ；以及 外側(cè)下筒部，其與上述第一缺口部直徑相同，并與該第一缺口部的后端開口部連通連結(jié)， 上述內(nèi)側(cè)筒體具備 內(nèi)側(cè)下筒部，其具有成為上述檢查端的前端開口部； 第二缺口部，其為筒狀并與上述內(nèi)側(cè)下筒部直徑相同，其前端開口部與該內(nèi)側(cè)下筒部的后端開口部連通連結(jié)，并且具備在周緣上沿長軸方向形成的螺旋狀缺口 ；以及 內(nèi)側(cè)上筒部，其與上述第二缺口部直徑相同，并與該第二缺口部的后端開口部連通連結(jié)，并且配置在上述外側(cè)筒體的內(nèi)部， 上述外側(cè)筒體與上述內(nèi)側(cè)筒體具有固定部，該固定部對上述外側(cè)下筒部與上述內(nèi)側(cè)上筒部進行電連接并固定。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢查用探針，其特征在于， 將上述內(nèi)側(cè)筒體的上述后端開口部始終收容于上述外側(cè)上筒部內(nèi)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的檢查用探針，其特征在于， 上述外側(cè)筒體的上述前端開口部具有相對于該外側(cè)筒體的長軸方向成直角的端面。
18.根據(jù)權(quán)利要求11 17中任意一項所述的檢查用探針，其特征在于， 上述檢查用探針具備導電性的棒狀部件，該棒狀部件配置于上述內(nèi)側(cè)筒體內(nèi)， 將上述棒狀部件固定在上述內(nèi)側(cè)上筒部或上述內(nèi)側(cè)下筒部，并從上述內(nèi)側(cè)筒體的前端開口部延伸設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠應對基板的微細化及復雜化，并能夠減少零件數(shù)量以簡化，且具有充分的接觸壓與行程的微細探針及使用該探針的檢查用夾具。檢查用探針的特征在于，利用分別形成在具有不同外徑與內(nèi)徑的兩支導電性的筒狀部件上的缺口部分別作為彈性部發(fā)揮作用，以這些彈性部并聯(lián)配置或串聯(lián)配置的方式組合兩支筒狀部件，由此成為具有檢查所需的接觸壓與收縮量的檢查用探針。
文檔編號G01R1/067GK102859370SQ201180018290
公開日2013年1月2日 申請日期2011年4月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月19日
發(fā)明者太田憲宏, 大眉學, 春日部進 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社