專利名稱：測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)以及使用其的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及接收從液晶顯示器、燈等光源輻射的光來測(cè)量光源的亮度(Lv)、色度(xy)的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及接收照射到被測(cè)量物的光的反射光來測(cè)量被測(cè)量物的反射率、色度(Lab等)的色彩計(jì)等所使用的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)以及使用該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)。
背景技術(shù)：
測(cè)量液晶顯示器的亮度(Lv)、色度(xy)的色彩亮度計(jì)例如構(gòu)成為具備與上述液晶顯示器的顯示畫面對(duì)置配置的測(cè)量探頭以及計(jì)測(cè)器主體。上述測(cè)量探頭例如用不同的傳感器測(cè)量由CIE (國際照明委員會(huì))規(guī)定的配色函數(shù)X、Y、Z 3激勵(lì)值，上述計(jì)測(cè)器主體根據(jù)該測(cè)量結(jié)果，運(yùn)算作為被測(cè)量物的顯示畫面3的亮度、色度。這種色彩亮度計(jì)、色彩計(jì)所使用的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)的典型的以往技術(shù)例如在專利文獻(xiàn)I中示出。在該專利文獻(xiàn)I中，為使入射光分別向與上述3激勵(lì)值對(duì)應(yīng)的三個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)入射，而使用束狀光纖。上述測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)是將分別與上述3激勵(lì)值對(duì)應(yīng)的濾色器與受光傳感器組合而構(gòu)成的，在上述束狀光纖的被分為3個(gè)的各出射端配置有這些各測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)的各濾色器。而且，在該專利文獻(xiàn)I的上述束狀光纖中，直徑小的(φ = 0.03 ~ 0.3mm左右的)素線光纖在其入射端(入口)側(cè)被集束η (η =數(shù)百 數(shù)千)多根，在其出射端(出口)側(cè)該束狀光纖被隨機(jī)分為多束(與上述X、Y、Z 3激勵(lì)值對(duì)應(yīng)的3束)，而各集束m根。入射側(cè)以及出射側(cè)的形狀是任意(圓形、長方形等)的。然而，上述濾色器是將光吸收類型的濾光器層疊多枚而構(gòu)成的，以便使入射光為與上述X、Y、Z 3激勵(lì)值等所希望的光譜特性對(duì)應(yīng)的透過率，因此存在下述問題，即無法設(shè)計(jì)例如圖24所示那樣的在2個(gè)波段具有透過率峰值的特性的濾光器，也就是說，濾光器設(shè)計(jì)的自由度小。另外，還存在透過率小、光量損耗大這樣的問題。此外，特別是在薄片狀的濾色器中，還存在對(duì)于熱、光(紫外線)、濕度等，老化變化劇烈(穩(wěn)定性差)這樣的問題。于是，例如在專利文獻(xiàn)2中提出了在上述濾色器中使用干涉類型的濾光器(以下，稱為干涉膜濾光器)來替代上述光吸收類型的濾光器的以往技術(shù)。該干涉膜濾光器是在玻璃基板上通過真空蒸鍍、濺射等手法將電介質(zhì)、氧化物層疊數(shù)十層而成的，是通過光的干涉作用進(jìn)行透射/反射的波長選擇的濾光器。由此，這樣的干涉類型的濾光器與上述那樣的光吸收類型的濾光器相比，還能夠作成容易得到所希望的透過率(容易設(shè)計(jì)、設(shè)計(jì)的自由度高)、配色函數(shù)X那樣的具有2個(gè)峰值(山)的(上述圖24所示的)濾光器。另外，干涉膜濾光器的透過率高。例如上述吸收類型的濾光器的峰值透過率為50%以下，相對(duì)于此，該干涉膜濾光器的峰值透過率接近100%。此外，干涉膜濾光器具有可靠性優(yōu)異(溫度、濕度、因暴露于光引起的歷時(shí)的透過率變化少)這樣的優(yōu)點(diǎn)。然而，上述干涉膜濾光器的透過率因入射角度而不同，因此存在以平行光(O度)入射時(shí)誤差靈敏度高這樣的問題。
專利文獻(xiàn)I :日本特開2003 - 247891號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2010 - 2255號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的情況而完成的發(fā)明，其目的在于提供一種在使用干涉膜濾光器的同時(shí)，能夠降低因其入射角度帶來的透過率特性的偏差的影響的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)以及使用其的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)。對(duì)于本發(fā)明的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)以及使用其的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)而言，測(cè)量光在經(jīng)由干涉膜濾光器由受光傳感器接收之前，被入射到單線光纖。而且，上述干涉膜濾光器被形成為，根據(jù)相對(duì)于向該干涉膜濾光器入射的入射光的入射角度的強(qiáng)度分布的條件，得到與測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性。由此，本發(fā)明的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)以及使用其的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)在使用干涉膜濾光器的同時(shí)，能夠降低因其入射角度帶來 的透過率特性的偏差的影響。 上述以及其它的本發(fā)明的目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)根據(jù)以下的詳細(xì)記載和附圖能夠變
得明確。


圖I是表示一實(shí)施方式的色彩亮度計(jì)的測(cè)量探頭內(nèi)的結(jié)構(gòu)(測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng))的圖。圖2是表示本申請(qǐng)發(fā)明者得到的光纖的出射角度的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)的曲線圖。圖3是用于說明圖2的數(shù)據(jù)的求取方式的圖。圖4是圖I所示的測(cè)量探頭中的物鏡的光路圖。圖5是用于說明向干涉膜濾光器入射的入射光束的強(qiáng)度分布的測(cè)量方法的圖。圖6是表示向干涉膜濾光器入射的入射光束的強(qiáng)度分布的一個(gè)例子的曲線圖。圖7是表示上述干涉膜濾光器的光譜強(qiáng)度分布的曲線圖。圖8是表示向上述干涉膜濾光器入射的入射角度的分布和濾光器傾斜的情況下的影響的曲線圖。圖9是表示在圖8所示的入射角度分布的光學(xué)系統(tǒng)中設(shè)置了干涉膜濾光器時(shí)的透過率分布的曲線圖。圖10是表示向上述干涉膜濾光器入射的入射角度的大小和誤差的關(guān)系的曲線圖。圖11是表示光纖的出射角度分布的例子的曲線圖。圖12是示意性地表示束狀光纖和單線光纖的對(duì)置部分的圖。圖13是表示第二實(shí)施方式的測(cè)量探頭內(nèi)的結(jié)構(gòu)的圖。圖14是表示第三實(shí)施方式的測(cè)量探頭內(nèi)的結(jié)構(gòu)的圖。圖15是表示第四實(shí)施方式的測(cè)量探頭內(nèi)的結(jié)構(gòu)的圖。圖16是表示第五實(shí)施方式的測(cè)量探頭內(nèi)的結(jié)構(gòu)的圖。圖17是用于說明色彩亮度計(jì)的液晶顯示器的測(cè)量方法的圖。圖18是表示以往技術(shù)的亮度計(jì)的測(cè)量探頭側(cè)的概略結(jié)構(gòu)的框圖。
圖19是表示色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)的測(cè)量探頭側(cè)的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖20是表示以往技術(shù)的色彩亮度計(jì)的測(cè)量探頭內(nèi)的結(jié)構(gòu)(測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng))的圖。圖21是用于說明上述液晶顯示器的配光分布的圖。圖22是表示上述液晶顯示器的配光分布的一個(gè)例子的曲線圖。圖23是表示上述液晶顯示器中的RGB各色的像素排列和測(cè)量區(qū)域的關(guān)系的圖。圖24是表示上述干涉膜濾光器的光譜透過率特性的一個(gè)例子的曲線圖。圖25是表示相對(duì)于向上述干涉膜濾光器入射的入射角度的變化的光譜透過率特性的變化的曲線圖。
圖26是用于示意性地說明在圖20所示的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中使用干涉膜濾光器，不使用聚光透鏡的情況下的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。圖27是用于示意性地說明在圖20所示的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中使用干涉膜濾光器，使用聚光透鏡，以平行光入射到受光傳感器的情況下的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。圖28是用于示意性地說明在圖20所示的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中使用干涉膜濾光器，使用聚光透鏡來在受光傳感器處成像的情況下的光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的圖。圖29是用于說明光纖內(nèi)的光的傳輸狀態(tài)的剖面圖。
具體實(shí)施例方式以下，基于附圖來說明本發(fā)明的一實(shí)施方式。此外，在各圖中標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記的結(jié)構(gòu)表示是相同的結(jié)構(gòu)，從而適當(dāng)?shù)厥÷云湔f明。另外，在本說明書中，在通稱的情況下以省略了角標(biāo)的附圖標(biāo)記來表示，在指個(gè)別的結(jié)構(gòu)的情況下以標(biāo)注角標(biāo)的附圖標(biāo)記來表
/Jn ο(比較例)為了說明本實(shí)施方式的作用效果，首先，下面說明比較例。圖17是用于說明使用了色彩亮度計(jì)I的液晶顯示器2的亮度(Lv)、色度(xy)的測(cè)量狀態(tài)的圖。該色彩亮度計(jì)I構(gòu)成為具備與液晶顯示器2的顯示畫面3對(duì)置配置的測(cè)量探頭4以及計(jì)測(cè)器主體5。測(cè)量探頭4例如用各個(gè)傳感器來測(cè)量由CIE規(guī)定的配色函數(shù)X、Y、Z的3激勵(lì)值，計(jì)測(cè)器主體5根據(jù)該測(cè)量結(jié)果，來運(yùn)算作為被測(cè)量物的顯示畫面3的亮度、色度。測(cè)量探頭4內(nèi)的概略結(jié)構(gòu)例如圖18所示那樣。即，測(cè)量探頭4”構(gòu)成為由物鏡光學(xué)系統(tǒng)11”接收來自作為被測(cè)量物的顯示畫面3的出射光，并使之經(jīng)由濾色器13d入射到受光傳感器13e。物鏡光學(xué)系統(tǒng)11”中使用具有正光學(xué)放大率(光焦度)的凸透鏡I Ia,在其焦點(diǎn)位置設(shè)置孔徑光闌lib。另一方面，色彩亮度計(jì)I中的測(cè)量探頭4內(nèi)的概略結(jié)構(gòu)例如圖19 Ca)所示那樣。即，測(cè)量探頭4用物鏡光學(xué)系統(tǒng)11接收來自作為被測(cè)量物的顯示畫面3的出射光，提取預(yù)先規(guī)定的入射角的成分，例如相對(duì)于顯示畫面3的法線±2. 5度以內(nèi)的成分并使之入射到分支光學(xué)系統(tǒng)12，分成3部分而入射到與配色函數(shù)X、Y、Z的3激勵(lì)值對(duì)應(yīng)的測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13、14、15，來測(cè)量入射光強(qiáng)度。另外，在測(cè)量上述被測(cè)量物的反射率、色度(Lab等)的色彩計(jì)的情況下，例如圖19(b)所示那樣，在圖19 (a)所示的測(cè)量探頭4的結(jié)構(gòu)中進(jìn)一步具備作為光源的燈16以及照明光學(xué)系統(tǒng)17。利用這些燈16以及照明光學(xué)系統(tǒng)17，向被測(cè)量物照射光，并用上述測(cè)量探頭4測(cè)量其反射光。這樣的色彩亮度計(jì)、色彩計(jì)所使用的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)的典型的技術(shù)在上述專利文獻(xiàn)I示出。圖20是表示該上述技術(shù)中的測(cè)量探頭4’內(nèi)的結(jié)構(gòu)的圖。在該上述技術(shù)中，測(cè)量探頭4’具備物鏡光學(xué)系統(tǒng)11、分支光學(xué)系統(tǒng)12和測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13。該物鏡光學(xué)系統(tǒng)11中使用具有正光學(xué)放大率的凸透鏡11a，分支光學(xué)系統(tǒng)12中使用束狀光纖12a。上述束狀光纖12a是將直徑小的(φ = 0.03 ~ 0.3mm左右的)素線光纖在入射端(入口)側(cè)集束η(η =數(shù)百 數(shù)千)多根，在出射端(出口)側(cè)將其隨機(jī)地分成多束(例如與上述X、Y、Z 3激勵(lì)值對(duì)應(yīng)的3束)，各束集束m多根而成的。入射側(cè)以及出射側(cè)的形狀是任意(圓形、長方形等)的。而且，對(duì)該測(cè)量探頭4’來說，在凸透鏡Ila的后側(cè)焦點(diǎn)位置配置孔徑光闌11b，為了如上述那樣提取相對(duì)于顯示畫面3的法線±2. 5度以內(nèi)的成分，而成為前側(cè)遠(yuǎn)心的光學(xué)配置。束狀光纖12a的入射端Fil Fin直接面對(duì)孔徑光闌Ilb面。測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13、14、15具備與X、Y、Z 3激勵(lì)值分別對(duì)應(yīng)的濾色器13a、14a、15a、和與它們組合使用的受光傳 感器 13b、14b、15b。在此，作為被測(cè)量物的特性，例如若考慮液晶顯示器的情況，則首先，其配光分布中存在指向性。即，光的出射強(qiáng)度因相對(duì)于顯示畫面3的法線的角度而不同，而且還存在相對(duì)于上述法線非對(duì)稱的情況。例如，在筆記本電腦、手機(jī)用的顯示器中，存在有意地增強(qiáng)指向性的顯示器，對(duì)上述筆記本電腦的顯示器來說，使用者多從斜上方往下看，由此，如圖21所示，其配光分布18相對(duì)于顯示畫面3的法線N，在上側(cè)多，在下側(cè)少。圖22具體地表示這樣的配光分布的一個(gè)例子。另外，在上述液晶顯示器的情況下，發(fā)光強(qiáng)度因測(cè)量位置而不同(產(chǎn)生強(qiáng)度不均)。這樣的現(xiàn)象因背光燈的配置位置、RGB濾光器的排列與測(cè)量探頭4之間的位置關(guān)系而產(chǎn)生。圖23示出液晶顯示器的RGB各色的像素排列和測(cè)量區(qū)域的關(guān)系。例如，若著眼于中央的行，則在實(shí)線的測(cè)量區(qū)域Al中，G包含2個(gè)像素，R、B包含一個(gè)像素，相對(duì)于此，在比測(cè)量區(qū)域Al向像素排列方向偏移I個(gè)像素量的虛線的測(cè)量區(qū)域A2中，B包含2個(gè)像素，R、G包含一個(gè)像素。這樣的強(qiáng)度不均勻在上述測(cè)量區(qū)域小(例如，φ = 5mm以下的)的情況下尤為顯著。此外，雖被測(cè)量物(液晶顯示器)具有非軸對(duì)稱的特征，但測(cè)量器要謀求穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。即，謀求即使使測(cè)量探頭4繞光軸旋轉(zhuǎn)，測(cè)量結(jié)果也不發(fā)生變動(dòng)(沒有旋轉(zhuǎn)誤差)。這樣的現(xiàn)象并不局限于液晶顯示器，在測(cè)量反射光的色彩計(jì)中，例如在具有光澤的印刷物或金屬的、微粒(pearl)等涂飾面的測(cè)量中也會(huì)產(chǎn)生。因此，在上述專利文獻(xiàn)I中，從被集束成圓形的入射端Fil Fin側(cè)觀察束狀光纖12a，多個(gè)素線光纖沿周向被分為6束，位于對(duì)角線上的線束彼此被集束在一起而構(gòu)成。由此，實(shí)現(xiàn)由上述那樣的指向性(配光特性)引起的測(cè)量誤差的減少。然而，上述濾色器13a、14a、15a是將光吸收類型的濾光器層疊多枚而構(gòu)成的，以便使入射光為與上述X、Y、Z 3激勵(lì)值等所希望的光譜特性對(duì)應(yīng)的透過率，因此存在下述問題，即如上述那樣，無法設(shè)計(jì)例如圖24所示那樣的、在2個(gè)波段具有透過率峰值的特性的濾光器，即濾光器設(shè)計(jì)的自由度小。另外，還存在透過率小、光量損耗大這樣的問題。此外，特別是在薄片狀的濾色器中，還存在對(duì)于熱、光(紫外線)、濕度等，老化變化劇烈(穩(wěn)定性差)這樣的問題。于是，如上所述例如在專利文獻(xiàn)2中提出了上述濾色器中使用干涉類型的濾光器(以下，稱為干涉膜濾光器)來替代上述光吸收類型的濾光器的以往技術(shù)。該干涉膜濾光器是在玻璃基板上通過真空蒸鍍、濺射等手法層疊數(shù)十層電介質(zhì)、氧化物而成，通過光的干涉作用進(jìn)行透過/反射的波長選擇的濾光器。由此，這樣的干涉類型的濾光器與上述那樣的光吸收類型的濾光器相比，也能夠作成容易得到所希望的透過率(容易設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)的自由度高)、配色函數(shù)X那樣的、具有兩個(gè)峰值(山)的(上述圖24所示的)濾光器。另外，干涉膜濾光器的透過率高。例如上述吸收類型的濾光器的峰值透過率為50%以下，相對(duì)于此，該干涉膜濾光器的峰值透過率接近100%。此外，干涉膜濾光器具有可靠性優(yōu)異(溫度、濕度、因暴露于光引起的歷時(shí)的透過率變化小)這樣的優(yōu)點(diǎn)。然而，上述干涉膜濾光器的透過率因入射角度而不同，因此存在在平行光(O度)入射時(shí)誤差靈敏度高這樣的問題。由此，上述干涉膜濾光器具有用于使平行光入射的光學(xué)系統(tǒng)會(huì)很復(fù)雜這樣的缺點(diǎn)。圖25示出向上述干涉膜濾光器入射的光的入射角和透過率的關(guān)系。在這樣O度入射的情況下，入射角度越遠(yuǎn)離該干涉膜濾光器的法線，透過波段越向短波·長側(cè)移動(dòng)。由此，部件的位置關(guān)系僅有稍許傾斜，透過率特性就會(huì)不同。由此，對(duì)干涉膜濾光器的要求事項(xiàng)是入射角度的強(qiáng)度分布總是穩(wěn)定、以及各入射角度分別不具有固有的信息(需要入射角度各自具有均勻化的信息)。于是，為了響應(yīng)這樣的要求，在上述專利文獻(xiàn)2中，物鏡光學(xué)系統(tǒng)11具備2個(gè)透鏡以及配置在它們之間的孔徑光闌，束狀光纖12a的入射端Fil Fin處的入射角被設(shè)定得比向孔徑光闌入射的入射角小。由此，在上述專利文獻(xiàn)2中，從束狀光纖12a向干涉膜濾光器的入射的入射角度的展寬縮小，而補(bǔ)償上述干涉膜濾光器的缺點(diǎn)。在此，物鏡光學(xué)系統(tǒng)11為了如上述那樣提取相對(duì)于顯示畫面3的法線±2. 5度以內(nèi)的成分，并使之入射到分支光學(xué)系統(tǒng)12，而成為前側(cè)遠(yuǎn)心的光學(xué)配置。由此，由于各個(gè)光纖素線本身所具有的信息以及向光纖素線入射的入射角所具有的信息，還是很難均勻化向各濾色器13a、14a、15a入射的入射光。其理由下面詳述。首先，作為光纖素線本身所具有的信息，光纖素線分別與從被測(cè)量面輻射的角度(指向性)建立聯(lián)系。即，在上述圖20中，從被測(cè)量面向上方輻射的光(虛線)全部集中在上側(cè)的光纖素線的入射端Fil。由此，在束狀光纖12a的3束的出射端Foal Foam、Fobl Fobm、Focl Focm中，如果多根光纖素線的關(guān)系被隨機(jī)排列,貝U這樣的指向性的信息被均勻化。然而，這樣的束狀光纖的制作很困難，另外即使能夠制作也會(huì)昂貴。實(shí)際上在束狀光纖12a的出射端側(cè)，各光纖素線不知排列在哪里，另外會(huì)成為偏斜的排列(例如，O度周邊的指向性信息集中在出射端側(cè)的光纖束的外周等)。此外，即使是相同型號(hào)的測(cè)量器，各自偏斜的狀態(tài)也不同。接下來，作為向上述光纖素線入射的入射角所具有的信息，在各光纖素線內(nèi)，光因纖芯和包層的折射率差而反復(fù)全反射來傳輸，因此若向各光纖素線入射的入射角度如上述那樣與被測(cè)量面內(nèi)的位置建立聯(lián)系(在圖20中，從SI輻射出的光總是以一定的角度向光纖入射)，則在光纖長度短時(shí)，成為入射角=土出射角，入射角度所具有的信息被保存于出射角度(還包含附圖標(biāo)記反轉(zhuǎn)的情況)。在此，在光纖長度長到某種程度以上的情況下，在光纖中傳輸?shù)钠陂g(在纖芯、包層間多次反射的期間)，入射角度隨機(jī)被均勻化，光纖越長(如果反射的次數(shù)增加就越增加)，越容易消除該問題。這是由于，利用光纖的纖芯和包層的折射率差，理想地如圖29(a)、圖29 (b)所示，使入射光全反射來行進(jìn)，實(shí)際上因折射率的局部的差(波筋)、光纖直徑的局部的不同(粗、細(xì))、或者由光纖的彎曲導(dǎo)致的反射面的彎曲等，出射位置、出射角度會(huì)變?yōu)殡S機(jī)。這樣一來在光纖長度長到某種程度以上的情況下，得到與漫射板同樣的擴(kuò)散效果(光量的降低比漫射板的少)，入射光被均勻化地出射，其出射角度的分布是光纖越長，越接近光纖固有的NA。換句話說，無論向光纖入射的入射角度如何，都會(huì)以光纖固有的NA條件出射。由此，上述專利文獻(xiàn)2在這點(diǎn)產(chǎn)生矛盾。為了縮小來自光纖的出射角(縮小向?yàn)V色器13a、14a、15a入射的入射角)，需要用短到某種程度以下的光纖構(gòu)成，但在短的情況下，向光纖入射的入射角所具有的信息有偏差，從而產(chǎn)生測(cè)量誤差。另一方面，全部的光束需要以相同的條件(按照不取決于向干涉膜濾光器入射的入射角的方式)來接收。然而，由于如上述那樣從束狀光纖12a出射的光束分別具有被測(cè) 量物特定的信息，因此需要不缺少這些信息，并且以相同的條件使之通過濾色器13a、14a、15a,由受光傳感器13b、14b、15b接收。假如缺少一部分信息而進(jìn)行接收,則若如上述那樣使測(cè)量探頭4旋轉(zhuǎn)時(shí)，伴隨著旋轉(zhuǎn)，受光數(shù)據(jù)發(fā)生變化(旋轉(zhuǎn)誤差)，或者當(dāng)缺少的條件因測(cè)量器不同時(shí)，會(huì)產(chǎn)生器差(在相同型號(hào)的測(cè)量器的測(cè)量結(jié)果中存在差異)。由此，在接收全部的光束(上述信息)的情況下，若要在沒有聚光透鏡的情況下進(jìn)行，貝1J如圖26所不,相對(duì)于束狀光纖12a的出射端Foal Foam側(cè)的光纖束,濾色器a以及受光傳感器b變大，并且它們的間隔A、B也變大，存在大小(空間)以及成本非常大的問題。濾色器a以及受光傳感器b隨著尺寸變大，也變得昂貴，因此存在盡可能要以小尺寸構(gòu)成這樣的迫切期望。例如，出射端Foal Foam側(cè)的光纖束的直徑φ為2. 3mm,光纖出射角Θ為±40度，而且，上述出射端Foal Foam和濾色器a的間隔A為Imm,濾色器a的厚度為Imm,濾色器a和受光傳感器b的間隔間隙B為1_，從受光傳感器b的外表面到受光元件的距離為1_，這些的合計(jì)為4_的厚度，在這樣的情況下，受光傳感器b的元件尺寸(矩形的元件的情況下，是其短面的長度)為(I. 15 + tan40度X4) X2 = 9. Omm這樣巨大的尺寸。另一方面，在如上述那樣接收全部的光束(上述信息)的情況下，為了盡可能使濾色器a以及受光傳感器b較小地構(gòu)成，也考慮用聚光透鏡聚光并使之被接收。此時(shí)的結(jié)構(gòu)如圖27以及圖28所示。圖27示出使用聚光透鏡19以平行光入射到受光傳感器b的例子，圖28示出使用聚光透鏡19向受光傳感器b成像的例子。然而，在這樣的結(jié)構(gòu)中，若使用干涉膜濾光器作為濾色器a，則存在下述問題，即會(huì)受到上述那樣的各個(gè)光纖素線所具有的信息以及向光纖素線入射的入射角所具有的信息的影響。更具體地說，首先，作為光纖素線所具有的信息，從各個(gè)素線出射的光束以不同角度向?yàn)V色器a入射，因此從分別具有不同信息的素線出射的光束的受光靈敏度會(huì)不同。SP，如圖27以及圖28所示，從出射端Foal出射的光和從Foam出射的光入射到濾色器12a的角度不同。接下來，作為向光纖素線入射的入射角所具有的信息，在光纖短的情況下，如上所述保存入射角度所具有的信息并出射光。由此，如圖27以及圖28所示，各光纖素線出射的角度分別反映入射角度，例如以實(shí)線和虛線所示那樣被保存，由此向?yàn)V色器a入射的入射角度也不同。但是，光纖長度足夠長的情況下，在通過光纖內(nèi)部的期間，角度隨機(jī)地被混合，來自各光纖素線的出射光的角度被轉(zhuǎn)換成均勻化的信息，而沒有問題。但是，如上所述，會(huì)以光纖固有的NA條件被出射。同樣地，在圖18所示的亮度計(jì)的測(cè)量探頭4”中，向?yàn)V色器13d入射的入射角度也與被測(cè)量面內(nèi)的位置建立關(guān)系，即從SI、S2、S3輻射的光相互不同，并且總是以一定的角度向?yàn)V色器13d入射。(實(shí)施方式I)接下來，以下對(duì)一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖I是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的測(cè)量探頭40內(nèi)的結(jié)構(gòu)(測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng))的圖。該測(cè)量探頭40作為上述的圖19 Ca)所示的色彩亮度計(jì)、圖19 (b)所示的色彩計(jì)的測(cè)量探頭4被使用。作為測(cè)量方法的一個(gè)例子，與上述的圖17同樣，色彩亮度計(jì)構(gòu)成為具備與液晶顯示器2的顯示畫面3對(duì)置配置，測(cè)量來自·顯示畫面3的光的測(cè)量探頭40、以及基于測(cè)量探頭40的輸出來求出色彩亮度的計(jì)測(cè)器主體5。另外，作為測(cè)量方法的另外一個(gè)例子，色彩計(jì)構(gòu)成為具備向被測(cè)量物照射測(cè)量光的測(cè)量光照射部、測(cè)量由被測(cè)量物反射的上述測(cè)量光的反射光的測(cè)量探頭40、以及基于測(cè)量探頭40的輸出來求出色彩的計(jì)測(cè)器主體。對(duì)該測(cè)量探頭40的概略框圖結(jié)構(gòu)來說，在該測(cè)量探頭40中，與圖20所示的測(cè)量探頭4’類似，在對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記來示出。S卩，該測(cè)量探頭40具備接收來自被測(cè)量物的光的物鏡光學(xué)系統(tǒng)11 ;將從物鏡光學(xué)系統(tǒng)11出射的出射光分為多部分的分支光學(xué)系統(tǒng)12 ;以及多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13、14、15，其分別與分支光學(xué)系統(tǒng)12的各出射端對(duì)應(yīng)設(shè)置，檢測(cè)從上述各出射端出射的各出射光。物鏡光學(xué)系統(tǒng)11中使用具有正光學(xué)放大率(光焦度，焦距的倒數(shù))的雙凸透鏡11a，分支光學(xué)系統(tǒng)12中使用束狀光纖12a,該束狀光纖12a集束多根光纖素線而成,其一端側(cè)被入射來自物鏡光學(xué)系統(tǒng)11的出射光，在另一端側(cè)上述多根光纖素線被分成多束。而且，在凸透鏡Ila的后側(cè)焦點(diǎn)位置配置孔徑光闌11b，為了如上述那樣提取相對(duì)于顯示畫面3的法線半角為α、例如上述的±2. 5度以內(nèi)的成分，物鏡光學(xué)系統(tǒng)11成為前側(cè)遠(yuǎn)心的光學(xué)配置。束狀光纖12a的入射端Fil Fin直接面對(duì)孔徑光闌Ilb的面。在此，在本實(shí)施方式的測(cè)量探頭40中，測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13、14、15分別具有入射從分支光學(xué)系統(tǒng)12，在本實(shí)施方式中從束狀光纖12a的另一端側(cè)出射的出射光的單線光纖13C、14C、15C ;入射從單線光纖13C、14C、15C出射的出射光，作為濾色器的以規(guī)定的透過率特性使上述出射光透過的干涉膜濾光器13A、14A、15A ;入射從干涉膜濾光器13A、14A、15A出射的出射光，檢測(cè)上述出射光的強(qiáng)度的受光傳感器13B、14B、15B，而且，干涉膜濾光器13A、14A、15A的透過率特性被調(diào)制成規(guī)定的特性。即，為了使用干涉膜濾光器作為濾色器13A、14A、15A，而使單線光纖13C、14C、15C分別介于束狀光纖12a和這些各干涉膜濾光器之間，并且，調(diào)制干涉膜濾光器13A、14A、15A的透過率特性。另外，利用光纖的纖芯和包層的折射率差，理想地如圖29所示，使入射光全反射來進(jìn)行導(dǎo)光。然而，實(shí)際上，由于折射率的局部的差異(波筋)、光纖直徑的局部不同(粗、細(xì))、或者因光纖的彎曲導(dǎo)致的反射面的彎曲或材料(折射率)的變形等，導(dǎo)致出射位置、出射角度會(huì)變?yōu)殡S機(jī)，入射光不以這種理想的方式傳輸，出射光被均勻化(出射位置、出射角度隨機(jī))。即，在是某種程度的長的光纖的情況下，不取決于向該光纖入射的入射光的特征，出射光被均勻化，并且總是會(huì)以穩(wěn)定的出射角度條件被出射(具有與漫射板同樣的效果。與漫射板相比得到的光量多)。本實(shí)施方式的測(cè)量探頭40利用這樣的光纖的特性。圖2示出本申請(qǐng)發(fā)明者的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。圖2是表示光纖的出射角度的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)的曲線圖。在該實(shí)驗(yàn)中，如圖3所示，向光纖入射大體平行的光(±2度以下的光束)，通過面對(duì)出射端的省略圖示的亮度計(jì)，與上述圖5同樣，使距離光纖軸心的角度(錐形角)變化，將峰值強(qiáng)度(大體為0°位置)設(shè)為1，測(cè)量各角度處的相對(duì)強(qiáng)度。光纖在I個(gè)位置被彎曲90°。另外，光纖是塑料光纖(NA = O. 5，φ = i Him)，其長度分別變化為30mm (X)、50mm (▲)、100mm (■)以及 300mm (令)。在入射上述平行光的情況下，根據(jù)該圖2，在光纖長度為50mm時(shí)，有效的孔徑角(峰值的5%強(qiáng)度的寬度)為±35°左右，即使成為該50mm以上，孔徑角也幾乎不變化而穩(wěn)定。另一方面，在光纖的長度為30_時(shí)，出射光的強(qiáng)度分布變窄，混合(均勻化)的程度低。然而，這些實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)是使平行光入射的情況的結(jié)果，在實(shí)際的光學(xué)系統(tǒng)中，向光纖入射的入射光具有角度，因此該實(shí)驗(yàn)條件(平行光入射)是最嚴(yán)格的條件下的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。 由此，在實(shí)際的光學(xué)系統(tǒng)中，不是平行光束，而是具有某種程度角度的光束入射，所以單線光纖13C、14C、15C如果具有30mm以上的長度，則能夠充分均衡地混合。而且，入射光和出射光以及光纖長度的關(guān)系在光纖中導(dǎo)光時(shí)，取決于纖芯、包層間的反射次數(shù)。由此，在該實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)中，φ = 1mm、所需的光纖長度為30mm，因此光纖長度最好為光纖直徑的30倍以上。通過利用這樣長度的光纖，出射角度被均勻化(出射角度不具有固有的信息)，并且得到總是穩(wěn)定的出射角度條件。返回圖1，由于這樣組合束狀光纖12a和規(guī)定值以上長度的單線光纖13C、14C、15C，因此從束狀光纖12a的各個(gè)的光纖素線的出射端Foal Foam、Fobl Fobm、Focl Focm出射的全部光束從單線光纖13C、14C、15C的出射端以相同角度展寬，并且配光分布被均勻化，分別向?yàn)V色器13A、14A、15A入射。由此，即使來自束狀光纖12a的各光纖素線的出射光具有不同信息，干涉膜濾光器13A、14A、15A處的透過率特性也相同，受光傳感器13B、14B、15B中的受光數(shù)據(jù)不受被測(cè)量物的特性的影響。即，不產(chǎn)生測(cè)量器的旋轉(zhuǎn)誤差。這樣，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭40能夠?qū)⑹鵂罟饫w12a的各光纖素線所具有的信息均勻化。與此相對(duì)，在單線光纖13C、14C、15C短的情況下，束狀光纖12a的光纖素線所具有的信息直接被保存地出射，因此從束狀光纖12a的光纖素線出射的光在保存各個(gè)角度的狀態(tài)下，向?yàn)V色器13A、14A、15A入射，因此分別具有不同信息，受光傳感器13B、14B、15B處的受光靈敏度會(huì)不同。即，如上述圖20所示那樣，從光纖素線出射的實(shí)線的光和虛線的光向?yàn)V色器13A、14A、15A入射的角度不同。由此，需要如上述那樣充分延長單線光纖13C、14C、15C的光纖長度,從而在通過該光纖內(nèi)部的期間，入射角度不同的光隨機(jī)被混在一起(混合)，該光所具有的信息被變換成具有由數(shù)值孔徑(NA)規(guī)定的展寬、并且被均勻化的信息。能夠消除那樣的向光纖入射的入射角所具有的信息的上述充分的長度如上述那樣是纖芯直徑的30倍以上。另外，由于物鏡Ila為前側(cè)遠(yuǎn)心光學(xué)配置，所以如圖4 (a)所示，測(cè)量范圍為φ = 27mm的圓形，對(duì)于受光孔徑角α而言，針對(duì)測(cè)量液晶顯示器時(shí)的業(yè)界規(guī)定的上述±2. 5度以內(nèi)的情況，考慮透鏡性能(像差等)，設(shè)計(jì)上為±2. 3度，從顯示畫面3到該物鏡Ila的距離為30mm，束狀光纖12a的入射直徑為φ = 4.0mm，該物鏡Ila的像面?zhèn)鹊慕咕鄁O為50mm，這樣，束狀光纖12a的入射角α (NA)以半角計(jì)為后述的約15度。此時(shí)，束狀光纖12a (3分支)的出射側(cè)的面積為2. O2X Ji +3 = 4. 18mm2,出射側(cè)的直徑成為2X V(4. 18+ τι ) = 2. 3mm。此外，在沒有受光孔徑角α為±2. 5度以內(nèi)這樣的制約的情況下，即除了液晶顯示器2之外的其他測(cè)量的情況下，物鏡Ila如圖4 (b)所示，也可以是被測(cè)量面和束狀光纖12a的入射端Fil Fin成為成像關(guān)系那樣的光學(xué)配置。該情況下，被測(cè)量面的各位置與光纖的各素線建立對(duì)應(yīng)，例如從被測(cè)量面的一端SI輻射的光總是向入射端Fin入射，從被測(cè)量面的另一端S3輻射的光總是向入射端Fil入射。在如上述那樣構(gòu)成的測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)中，干涉膜濾光器的入射角和透過率的關(guān)系如上述圖25所不那樣(Y濾光器的例子)。與此對(duì)應(yīng)，在本實(shí)施方式中，基于束狀光纖12a以及單線光纖13C、14C、15C的特性等而變化的、向干涉膜濾光器入射的入射光束的實(shí)際強(qiáng)度分布例如通過圖5所示那樣的測(cè)量、模擬等來求出。在圖5中，使亮度計(jì)30在距該單線光纖13C的中心同一半徑上移動(dòng)，用所有的立體角(錐形角)測(cè)量來自單線光纖13C的輻射光 束的強(qiáng)度。此外，在單線光纖13C的出射端側(cè)，在上述干涉膜濾光器的入射位置處設(shè)置光闌13D。另一方面，在模擬的情況下，首先，向干涉膜濾光器入射的入射角度根據(jù)單線光纖13C、14C、15C的出射面積以及出射角度來決定。而且，根據(jù)所構(gòu)成的光學(xué)元件的各個(gè)條件、特性，使用透鏡模擬軟件等，計(jì)算濾光器面處的入射光束的強(qiáng)度分布。例如，從單線光纖13C、14C、15C的出射條件設(shè)為在光纖固有的NA條件下出射，進(jìn)行光線追蹤模擬。圖6示出這樣求出的向干涉膜濾光器入射的入射光束的強(qiáng)度分布的一個(gè)例子。該圖6所示的例子示出使上述亮度計(jì)30在規(guī)定范圍的圓弧上移動(dòng)的情況(I維)下的強(qiáng)度的變化。通過將該圖6所示那樣的相對(duì)強(qiáng)度(以立體角考慮的相對(duì)強(qiáng)度所謂的“錐形角中的透過率”)與上述圖25所示那樣的干涉膜濾光器的各個(gè)入射角度處的透過率進(jìn)行相乘，來計(jì)算考慮了入射角度的強(qiáng)度分布的濾光器透過率。結(jié)果，例如在圖7中，為以附圖標(biāo)記β (虛線)表示的曲線。然后，最終由測(cè)量器得到的受光靈敏度是在這樣的濾光器透過率之上，加上光學(xué)系統(tǒng)(透鏡、光纖等)的透過率、受光傳感器的受光靈敏度、受光傳感器面等的反射特性等特性的值。在本實(shí)施方式中，例如，按照最終得到的受光靈敏度與在圖7中以附圖標(biāo)記β2(實(shí)線)表示那樣的所希望的(由CIE規(guī)定的)配色函數(shù)近似的方式，調(diào)制上述干涉膜濾光器。在此，說明向上述干涉膜濾光器入射的入射角度的展寬條件。若因元件誤差等導(dǎo)致該干涉膜濾光器被傾斜地安裝，則相對(duì)于向該干涉膜濾光器入射的入射角度的強(qiáng)度分布偏離設(shè)計(jì)值，與此相伴，得到的濾光器透過率不同，由此，傳感器受光靈敏度分布會(huì)不同。這樣濾光器被傾斜地安裝的情況下的透過率變化的影響是強(qiáng)度分布越窄，影響越大，因此向?yàn)V光器入射的入射角度的強(qiáng)度分布最好具有某種程度以上的展寬。由此，圖8示出入射角度的分布和濾光器傾斜時(shí)的影響。圖8 (a)是表示入射角度以半角計(jì)是7. 5度的情況下的設(shè)計(jì)值的強(qiáng)度分布(實(shí)線)和濾光器傾斜了 I度的情況下的強(qiáng)度分布(虛線)的曲線圖，圖8 (b)是表示入射角度以半角計(jì)為17. 5度的情況下的設(shè)計(jì)值的強(qiáng)度分布(實(shí)線)和濾光器傾斜了 I度的情況下的強(qiáng)度分布(虛線)的曲線圖。在此所說的入射角度7. 5度(半角)是指對(duì)于入射角度的強(qiáng)度分布的峰值(通常多為O度是峰值)，大致為5%的角度。而且，在這些圖8 Ca)以及圖8 (b)表示的入射角度分布的光學(xué)系統(tǒng)中設(shè)置了上述圖25所示的干涉膜濾光器的情況下的透過率分布分別在圖9 (a)以及圖9 (b)中示出。這些圖9 (a)以及圖9 (b)中，相對(duì)于上述設(shè)計(jì)值的傾斜的值的偏差量被強(qiáng)調(diào)表示。如對(duì)圖9 (a)和圖9 (b)進(jìn)行比較可知，入射角度的強(qiáng)度分布寬的一方的對(duì)于濾光器傾斜的誤差小。若將這樣的濾光器入射角度的大小和誤差(與設(shè)計(jì)值的差值)的關(guān)系進(jìn)行曲線圖化，則成為圖10表示的曲線。根據(jù)該圖10，在濾光器傾斜了 I度的情況下，通過將入射角度的展寬角設(shè)定為15度(半角)以上，誤差量被抑制到2. 5%以下。由此，若考慮實(shí)際使用中的相對(duì)于光纖傾斜的誤差靈敏度，則向干涉膜濾光器入射的入射角度的展寬優(yōu)選為15度(半角)以上。由此，為了使單線光纖13C、14C、15C的出射以半角計(jì)為該15度以上，使該單線光 纖13C、14C、15C的數(shù)值孔徑NA為O. 26 (15度)以上。在此，光纖的NA有設(shè)計(jì)上的NA和實(shí)際的(有效的)NA。設(shè)計(jì)上的NA是一般根據(jù)光纖纖芯的折射率和包層的折射率來計(jì)算出的值，實(shí)際的(有效的)NA是實(shí)測(cè)實(shí)際的光纖出射角而得的值。實(shí)際的光纖出射角如圖11所示，比較與高斯形狀類似，存在表示峰值的半值寬度的情況下的NA (50%)、表示峰值的5%的寬度的情況下的NA(5%)等。如上述那樣使向光纖入射的入射角α 為15度的情況下，如果實(shí)際的NA (5%)沒有15度以上，則無法導(dǎo)光，因此設(shè)為NA (5%)> ΝΑ0. 26 (15度)。另一方面，束狀光纖12a和單線光纖13C、14C、15C例如在單純緊貼(接合)而連接的情況下，因兩者的面精度產(chǎn)生因面間反射導(dǎo)致的干涉，會(huì)產(chǎn)生光量損耗，因此不優(yōu)選這種連接方法。由此，優(yōu)選在圖12表示的束狀光纖12a和單線光纖13C、14C、15C的接合部中填充例如光學(xué)粘合劑、樹脂(不產(chǎn)生面間反射)，或者優(yōu)選形成不引起干涉(超過產(chǎn)生干涉的間隔)的水平(波長量級(jí)的10倍=5ym)以上的間隔的間隙(空氣層)d。但是，在使用比束狀直徑小、或相同尺寸直徑的單線光纖的情況下，上述間隙的間隔越寬，接合部處的光量越損耗，因此上述間隙的間隔太過寬也不為優(yōu)選。如上所述，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭40被用于亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)等，用物鏡光學(xué)系統(tǒng)11接收從光源輻射的光束、被測(cè)量物的反射光束，并使之入射到多根光纖素線被集束而成的束狀光纖12a，使其分支并從多個(gè)出射面出射后，透過由干涉膜濾光器構(gòu)成的濾色器13A、14A、15A并使之入射到求取上述光束的強(qiáng)度(亮度或者照度值)的受光傳感器13B、14B、15B。由此為了消除吸收式的濾色器所帶來的上述問題，將單線光纖13C、14C、15C夾在束狀光纖12a與濾色器13A、14A、15A之間，并且調(diào)制上述干涉膜濾光器的透過率特性。由此，在本實(shí)施方式的測(cè)量探頭40中，無論上述光束從束狀光纖12a的哪個(gè)位置入射，即無論被測(cè)量物的位置信息、角度信息如何，從單線光纖13C、14C、15C的出射面會(huì)出射具有規(guī)定的配光分布(出射角度與光纖NA相當(dāng)、且穩(wěn)定)、并且配光分布被均勻化的光束，從而可得到穩(wěn)定的受光靈敏度數(shù)據(jù)。因此，由于將上述干涉膜濾光器的透過率特性設(shè)定成在入射了具有上述規(guī)定的配光分布的光束時(shí)，透過光束為與受光傳感器13B、14B、15B的測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性，因此配光分布雖變寬，但配光分布被均勻化，但另一方面，使該配光分布與干涉膜濾光器的透過率特性相匹配。由此，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭40發(fā)揮能夠設(shè)定任意的透過率特性、并且光量的損耗也少、穩(wěn)定性高這樣的干涉膜濾光器的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)能夠彌補(bǔ)因入射角度導(dǎo)致的透過率特性的偏差大這樣的該干涉膜濾光器的缺點(diǎn)。另外，在以漫射板使之均勻化、穩(wěn)定化的情況下，為了充分地均勻化需要散射性高的漫射板，這樣的漫射板具有透過率低、難以得到作為測(cè)量器的充分的光量這樣的缺點(diǎn)，相對(duì)于此，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭40通過使用單線光纖13C、14C、15C，還能夠?qū)⒐饬繐p耗抑制得極小。(實(shí)施方式2)圖13是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的測(cè)量探頭41內(nèi)的結(jié)構(gòu)(測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng))的圖。該測(cè)量探頭41與上述圖I所示的測(cè)量探頭40類似，在對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記來表示，并省略其說明。即，該測(cè)量探頭41具備接收來自被測(cè)量物的光的物鏡光學(xué)系統(tǒng)
11;被入射從物鏡光學(xué)系統(tǒng)11出射的出射光的單線光纖C ;將從單線光纖C射出的射出光分為多束的分支光學(xué)系統(tǒng)12 ;與分支光學(xué)系統(tǒng)12的各出射端分別對(duì)應(yīng)地設(shè)置，檢測(cè)從上述 各出射端出射的各出射光的多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)131、141、151。物鏡光學(xué)系統(tǒng)11中使用具有正光學(xué)放大率的雙凸透鏡11a，分支光學(xué)系統(tǒng)12中使用束狀光纖12a，該束狀光纖12a將多個(gè)光纖素線集束而成，向其一端側(cè)入射來自單線光纖C的出射光，在另一端側(cè)將上述多根光纖素線分為多束。而且，測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)131、141、151分別具備被入射從分支光學(xué)系統(tǒng)12，在本實(shí)施方式中從束狀光纖12a的另一端側(cè)出射的出射光，作為濾色器的以規(guī)定的透過率特性透過上述出射光的干涉膜濾光器13A、14A、15A ;以及被入射從干涉膜濾光器13A、14AU5A出射的出射光，檢測(cè)上述出射光的強(qiáng)度的受光傳感器13B、14B、15B，而且，干涉膜濾光器13A、14A、15A的透過率特性被調(diào)制為規(guī)定的特性。在這樣本實(shí)施方式的測(cè)量探頭41中，測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)131、141、151中未像第一實(shí)施方式的測(cè)量探頭40那樣設(shè)置單線光纖13C、14C、15C，替代地，單線光纖C被設(shè)置在物鏡光學(xué)系統(tǒng)11和分支光學(xué)系統(tǒng)12之間。S卩，在該圖13所示的測(cè)量探頭41的情況下，來自物鏡光學(xué)系統(tǒng)11的入射光束中的被測(cè)量物的特征信息在入射到分支光學(xué)系統(tǒng)12以前，被單線光纖C均勻化。由此，來自分支光學(xué)系統(tǒng)12的出射光束也是出射角度、強(qiáng)度被均勻化的光束，因此即使在該分支光學(xué)系統(tǒng)之后直接配置干涉膜濾光器，其入射角的強(qiáng)度分布也由束狀光纖12a (分支光學(xué)系統(tǒng)12)的NA決定。這種結(jié)構(gòu)的測(cè)量探頭41也能夠發(fā)揮干涉膜濾光器的優(yōu)點(diǎn)，并彌補(bǔ)該干涉膜濾光器的缺點(diǎn)。如第一以及第二實(shí)施方式所示那樣，單線光纖13C、14C、15C;C可以設(shè)置在束狀光纖12a的出射端側(cè)與入射端側(cè)的任意側(cè)。如上述那樣單線光纖13C、14C、15C ；C的長度優(yōu)選為直徑的30倍左右，因此被設(shè)置在直徑粗的束狀光纖12a的入射端Fil Fin側(cè)的該單線光纖C的長度需要比設(shè)置在出射端Foal Foam ；Fobl Fobm ；Focl Focm側(cè)的上述單線光纖13C、14C、15C長，因此更優(yōu)選設(shè)置在出射端Foal Foam、Fobl Fobm、Focl Focm 側(cè)。(實(shí)施方式3)圖14是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的測(cè)量探頭42內(nèi)的結(jié)構(gòu)(測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng))的圖。該測(cè)量探頭42與上述圖I所示的測(cè)量探頭40類似，在對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記來表示，并省略其說明。即，代替圖I所示的第一實(shí)施方式的測(cè)量探頭40中的多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13、14、15，在本實(shí)施方式的測(cè)量探頭42中，使用多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)132、142、152。這些測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)132、142、152分別具備被入射從分支光學(xué)系統(tǒng)12，在本實(shí)施方式中從束狀光纖12a的另一端側(cè)出射的出射光的單線光纖13C、14C、15C ;經(jīng)由聚光透鏡13D、14D、15D入射從單線光纖13C、14C、15C出射的出射光，作為濾色器的以規(guī)定的透過率特性使上述出射光透過的干涉膜濾光器13A、14A、15A ;以及被入射從干涉膜濾光器13A、14A、15A出射的出射光，檢測(cè)上述出射光的強(qiáng)度的受光傳感器13B、14B、15B，而且，干涉膜濾光器13A、14AU5A的透過率特性被調(diào)制為規(guī)定的特性。這樣，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭42在測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)132、142、152中，在單線光纖13C、14C、15C與濾色器13A、14A、15A之間設(shè)置有聚光透鏡 13D、14D、15D。這是因?yàn)槿缟纤觯瑏碜晕镧R光學(xué)系統(tǒng)11的入射光束中的被測(cè)量物的特征信息在單線光纖13C、14C、15C中被充分地均勻化，所以該聚光透鏡13D、14D、15D中的光線的行為可以不用考慮。這種結(jié)構(gòu)的測(cè)量探頭42用該聚光透鏡13D、14D、1 對(duì)從單線光纖13C、14CU5C出射的發(fā)散光進(jìn)行聚光，并將其入射到濾色器13A、14A、15A，由此能夠使該濾色器13A、14A、15A以及受光傳感器13B、14B、15B小型化。(實(shí)施方式4) 圖15是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的測(cè)量探頭43內(nèi)的結(jié)構(gòu)(測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng))的圖。該測(cè)量探頭43與以上述的圖14表示的測(cè)量探頭42類似，在對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記來表示，省略其說明。即，代替圖I所示的第一實(shí)施方式的測(cè)量探頭40中的多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13、14、15，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭43使用多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)133、143、153。這些測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)133、143、153分別具有經(jīng)由聚光透鏡13D、14D、1 入射從分支光學(xué)系統(tǒng)12，在本實(shí)施方式中從束狀光纖12a的另一端側(cè)出射的出射光的單線光纖13C、14C、15C ;被入射從單線光纖13C、14C、15C出射的出射光，作為濾色器的以規(guī)定的透過率特性使上述出射光透過的干涉膜濾光器13A、14A、15A ;以及被入射從干涉膜濾光器13A、14A、15A出射的出射光，檢測(cè)上述出射光的強(qiáng)度的受光傳感器13B、14B、15B，而且，干涉膜濾光器13A、14A、15A的透過率特性被調(diào)制為規(guī)定的特性。這樣，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭43在測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)133、143、153中，在束狀光纖12a和單線光纖13C、14C、15C之間設(shè)置有聚光透鏡13D、14D、15D。由此，在該圖25所示的例子中，來自束狀光纖12a的發(fā)散光在該聚光透鏡13D、14DU5D處被聚光，被入射到單線光纖13C、14C、15C，進(jìn)而使之發(fā)散而入射到濾色器13A、14A、15A。這種結(jié)構(gòu)的測(cè)量探頭43也能夠使濾色器13A、14A、15A以及受光傳感器13B、14B、15B小型化。另外，在這樣將聚光透鏡13D、14D、1 設(shè)置在上述束狀光纖12a和單線光纖13C、14C、15C之間的情況下，能夠使單線光纖13C、14C、15C的直徑變細(xì)，由此，能夠縮短該單線光纖13C、14C、15C。(實(shí)施方式5)圖16是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的測(cè)量探頭44內(nèi)的結(jié)構(gòu)(測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng))的圖。該測(cè)量探頭44與上述圖I所示的測(cè)量探頭40類似，在對(duì)應(yīng)的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記來表示，并省略其說明。即，取代圖I所示的第一實(shí)施方式的測(cè)量探頭40中的物鏡光學(xué)系統(tǒng)11以及多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)13、14、15，本實(shí)施方式的測(cè)量探頭44使用物鏡光學(xué)系統(tǒng)114以及測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)134。該測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)134具備被入射從物鏡光學(xué)系統(tǒng)114出射的出射光的單線光纖C ;被入射從單線光纖C出射的出射光，作為濾色器的以規(guī)定的透過率特性使上述出射光透過的干涉膜濾光器A ;以及被入射從干涉膜濾光器A出射的出射光，檢測(cè)上述出射光的強(qiáng)度的受光傳感器B，而且，干涉膜濾光器A的透過率特性被調(diào)制成規(guī)定的特性。本實(shí)施方式的測(cè)量探頭44被用于上述圖18所示那樣的亮度計(jì)，測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)134由單一的濾色器A及受光傳感器B以及單線光纖C構(gòu)成。在這樣受光傳感器B為一個(gè)的情況下，測(cè)量探頭44采用省略分支光學(xué)系統(tǒng)12的結(jié)構(gòu)即可。即，在物鏡光學(xué)系統(tǒng)114中，在孔徑光闌Ilb的后方(濾色器A的前方)配置單線光纖C，從該單線光纖C出射的光束經(jīng)由干涉膜濾光器A，由受光傳感器B接收。在這種結(jié)構(gòu)的測(cè)量探頭44的情況下，附圖標(biāo)記SI S3所示那樣的被測(cè)量物的位置信息等特征信息對(duì)向單線光纖C入射的入射角度、入射位置賦予特征，但在該單線光纖C中傳輸?shù)钠陂g被混合，從單線光纖C出射時(shí)上述特性被均勻化。并且，從單線光纖C出射的出射角度是相當(dāng)于光纖NA的角度而穩(wěn)定，所以光以一定的(相當(dāng)于光纖NA)角度向干涉膜濾光器入射，因此這種結(jié)構(gòu)的測(cè)量探頭44不管被測(cè)量物的特性(位置、角度的特性)如何，能夠得到穩(wěn)定的受光靈敏度數(shù)據(jù)。
本說明書公開了如上述那樣各種方式的技術(shù)，以下集中列舉其中主要的技術(shù)。一方式的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)是由物鏡光學(xué)系統(tǒng)接收來自被測(cè)量物的光束，進(jìn)而通過干涉膜濾光器以規(guī)定的透過率特性使之透過后，入射到求取上述光束的強(qiáng)度的傳感器的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)還具有介于上述物鏡光學(xué)系統(tǒng)和干涉膜濾光器之間的單線光纖，上述干涉膜濾光器形成為，根據(jù)相對(duì)于向該干涉膜濾光器入射的入射光的入射角度的強(qiáng)度分布的條件，得到與測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性。上述結(jié)構(gòu)的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)被用于亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)等。該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)在被上述亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)使用的情況下由物鏡光學(xué)系統(tǒng)接收從液晶顯示器、燈等光源輻射的光束，另外，在被上述色彩計(jì)使用的情況下由物鏡光學(xué)系統(tǒng)接收來自規(guī)定的照明光源的照射光所帶來的被測(cè)量物的反射光束，然后，通過干涉膜濾光器入射到求取上述光束的強(qiáng)度(亮度或者照度值)的傳感器。由此，該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)可以消除吸收式的濾色器所導(dǎo)致的問題。而且，在該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，單線光纖介于上述物鏡光學(xué)系統(tǒng)和干涉膜濾光器之間，并且上述干涉膜濾光器的透過率特性被調(diào)制。更具體地說，首先，由于構(gòu)成為將單線光纖介于上述物鏡光學(xué)系統(tǒng)和干涉膜濾光器之間，因此無論上述光束從被測(cè)量物的哪個(gè)位置出射，從該單線光纖的出射面會(huì)出射具有規(guī)定的配光分布、且均勻化過的光束。即，在將被測(cè)量物的位置信息、角度信息均勻化的基礎(chǔ)上，光束入射到干涉膜濾光器。而且，接下來，上述干涉膜濾光器的透過率特性被設(shè)定成在入射了來自上述單線光纖的出射面的具有規(guī)定的配光分布的光束時(shí)，透過光束為與傳感器的測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性。即，以往，為了抑制向干涉膜濾光器入射的入射角度所導(dǎo)致的透過率特性的偏差，按照盡量使向該干涉膜濾光器入射的入射光束平行(配光分布窄)的方式下工夫，與此相對(duì)，在上述方式中，向干涉膜濾光器入射的入射光束的配光分布即使變寬，也使配光分布具有均勻性，另一方面，該配光分布與干涉膜濾光器的透過率特性相匹配。由此，這種構(gòu)成的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)發(fā)揮能夠設(shè)定任意的透過率特性，并且光量的損耗也少、穩(wěn)定性高這樣的干涉膜濾光器的優(yōu)點(diǎn)，并且能夠彌補(bǔ)因入射角度導(dǎo)致的透過率特性的偏差大這樣的該干涉膜濾光器的缺點(diǎn)。
另外，對(duì)其他的一方式而言，在上述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，還具備束狀光纖，該束狀光纖將多根光纖素線集束而成，一端側(cè)被入射來自上述物鏡光學(xué)系統(tǒng)的出射光，在另一端側(cè)分開上述多根光纖素線，分別入射到多個(gè)單線光纖。另外，其他的一方式的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)具備接收來自被測(cè)量物的光束的物鏡光學(xué)系統(tǒng)；束狀光纖，該束狀光纖將多個(gè)光纖素線集束而成，一端側(cè)被入射來自上述物鏡光學(xué)系統(tǒng)的出射光，在另一端側(cè)分開上述多根光纖素線；與上述束狀光纖中的上述分開后的各另一端側(cè)分別對(duì)應(yīng)設(shè)置，檢測(cè)來自上述束狀光纖的另一端側(cè)的出射光的多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)，上述多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)分別具備被入射來自上述束狀光纖的另一端側(cè)的出射光的單線光纖；被入射來自上述單線光纖的出射光，以規(guī)定的透過率特性使上述出射光透過的干涉膜濾光器；以及被入射來自上述干涉膜濾光器的出射光，檢測(cè)上述出射光的強(qiáng)度的受光傳感器，上述干涉膜濾光器形成為，根據(jù)相對(duì)于向該干涉膜濾光器入射的入射光的入射角度的強(qiáng)度分布的條件，得到與測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性。另外，對(duì)于其他的一方式而言，在上述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，還具有束狀光纖，該束狀光纖將多個(gè)光纖素線集束而成，一端側(cè)被入射來自上述單線光纖的出射光，在另一端側(cè)分開上述多根光纖素線分別向多個(gè)干涉膜濾光器入射。另外，其他的一方式的測(cè)量用光 學(xué)系統(tǒng)具備接收來自被測(cè)量物的光束的物鏡光學(xué)系統(tǒng)；被入射來自上述物鏡光學(xué)系統(tǒng)的出射光的一個(gè)單線光纖；束狀光纖，該束狀光纖將多個(gè)光纖素線集束而成，一端側(cè)被入射來自上述單線光纖的出射光，在另一端側(cè)分開上述多個(gè)光纖素線；與上述束狀光纖中的上述分開后的各另一端側(cè)分別對(duì)應(yīng)設(shè)置，檢測(cè)來自上述束狀光纖的另一端側(cè)的出射光的多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)，上述多個(gè)測(cè)色光學(xué)系統(tǒng)分別具備被入射來自上述束狀光纖的另一端側(cè)的出射光，使上述出射光以規(guī)定的透過率特性透過的干涉膜濾光器；以及被入射來自上述干涉膜濾光器的出射光，檢測(cè)上述出射光的強(qiáng)度的受光傳感器，上述干涉膜濾光器形成為，根據(jù)相對(duì)于向該干涉膜濾光器入射的入射光的入射角度的強(qiáng)度分布的條件，得到與測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性。這些上述各結(jié)構(gòu)的各測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)通過進(jìn)一步插入束狀光纖，能夠?qū)⑹芄夤馐种?，取得多個(gè)不同的受光靈敏度數(shù)據(jù)，并且使位置信息均勻化。另外，對(duì)于其他的一方式而言，在這些上述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，上述單線光纖具有其纖芯直徑30倍以上的長度。對(duì)上述結(jié)構(gòu)的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)來說，上述單線光纖越長，該入射配光的影響越被緩和，即出射位置、出射角度變得隨機(jī)，能夠得到與漫射板同樣的擴(kuò)散效果(其中，光量的減少比漫射板小)。由此，通過使上述單線光纖的長度為纖芯直徑的30倍以上的長度，該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)能夠?qū)⑷肷涔饩鶆蚧爻錾洌⑶夷軌蚴钩錾浣嵌鹊姆植家怨饫w固有的NA條件出射。另外，對(duì)于其他的一方式而言，在這些上述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，向上述干涉膜濾光器入射的入射角度的展寬相對(duì)于該干涉膜濾光器的法線在15度以上。上述結(jié)構(gòu)的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)通過使上述規(guī)定的配光分布、即立體角(錐形角)展寬到上述的15度以上，能夠減少相對(duì)于該干涉膜濾光器的傾斜的誤差。另外，對(duì)于其他的一方式而言，在這些上述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，在上述束狀光纖和單線光纖之間填充有光學(xué)粘合劑或者樹脂。
上述結(jié)構(gòu)的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)能夠減少或不產(chǎn)生在上述束狀光纖和單線光纖的接合部處的面間反射，能夠減少它們之間的光量損耗。另外，對(duì)于其他的一方式而言，在這些上述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，在上述束狀光纖和單線光纖之間，形成有具有不產(chǎn)生光的干涉的間隔的間隙。上述結(jié)構(gòu)的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)通過將上述束狀光纖和單線光纖之間設(shè)定為不產(chǎn)生光的干涉的、即波長量級(jí)的10倍(5 μ m)左右的間隙(空氣層)，能夠減少在上述束狀光纖和單線光纖的接合部處的光量損耗。另外，對(duì)于其他的一方式而言，在這些上述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中，在上述單線光纖的入射端側(cè)或者出射端側(cè)還具備聚光透鏡。上述結(jié)構(gòu)的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)能夠使上述干涉膜濾光器以及受光傳感器小型化。特別是，在將上述聚光透鏡設(shè)置在上述束狀光纖和單線光纖之間的情況下，該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)能夠?qū)尉€光纖的直徑變細(xì)，由此能夠縮短該單線光纖?！ち硗?，其他的一方式的亮度計(jì)，色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)使用這些上述的任意一種測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)使用了干涉膜濾光器的高精度的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)。本申請(qǐng)是以2010年5月14日申請(qǐng)的日本國專利申請(qǐng)?zhí)卦?010 — 112186為基礎(chǔ)的發(fā)明，其內(nèi)容被包含在本申請(qǐng)中。為了表現(xiàn)本發(fā)明，上述參照附圖并通過實(shí)施方式來適當(dāng)且充分地說明了本發(fā)明，但應(yīng)認(rèn)識(shí)到本領(lǐng)域技術(shù)人員可以容易地對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行變更以及/或者改進(jìn)。由此，可以解釋為本領(lǐng)域技術(shù)人員實(shí)施的變更方式或者改進(jìn)方式只要不脫離權(quán)利要求書所記載的權(quán)利要求項(xiàng)所要求的權(quán)利范圍的水平，該變更方式或者該改進(jìn)方式就包括在該權(quán)利要求項(xiàng)所要求的權(quán)利范圍中。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)以及使用了該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)的亮度計(jì)、色彩亮度計(jì)以及色彩計(jì)。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，在該測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)中用物鏡光學(xué)系統(tǒng)接收來自被測(cè)量物的光束，進(jìn)而利用干涉膜濾光器以規(guī)定的透過率特性使所述光束透過后，入射到求取所述光束的強(qiáng)度的傳感器，其特征在于， 所述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)還具有存在于所述物鏡光學(xué)系統(tǒng)和干涉膜濾光器之間的單線光纖， 所述干涉膜濾光器形成為，根據(jù)相對(duì)于向該干涉膜濾光器入射的入射光的入射角度的強(qiáng)度分布的條件，得到與測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 所述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)具備多個(gè)所述單線光纖、多個(gè)所述干涉膜濾光器以及多個(gè)所述傳感器， 所述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)還具備束狀光纖，該束狀光纖是將多根光纖素線集束而成的，一端側(cè)入射來自所述物鏡光學(xué)系統(tǒng)的出射光，在另一端側(cè)分開所述多根光纖素線來分別入射到所述多個(gè)單線光纖。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 所述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)具備一個(gè)所述單線光纖，并且具備多個(gè)所述干涉膜濾光器以及多個(gè)傳感器， 所述測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)還具備束狀光纖，該束狀光纖是將多根光纖素線集束而成的，一端側(cè)入射來自所述單線光纖的出射光，在另一端側(cè)分開所述多根光纖素線來分別入射到所述多個(gè)干涉膜濾光器。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 所述單線光纖具有該單線光纖的纖芯直徑30倍以上的長度。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 向所述干涉膜濾光器入射的入射角度的展寬相對(duì)于該干涉膜濾光器的法線在15度以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 在所述束狀光纖和單線光纖之間填充有光學(xué)粘合劑或者樹脂。
7.根據(jù)利要求2或3所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 在所述束狀光纖和單線光纖之間形成有具有不產(chǎn)生光的干涉的間隔的間隙。
8.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任一項(xiàng)所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于， 在所述單線光纖的入射端側(cè)或者出射端側(cè)還具備聚光透鏡。
9.一種亮度計(jì)，其特征在于， 該亮度計(jì)使用權(quán)利要求I 8中任一項(xiàng)所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)。
10.一種色彩亮度計(jì)，其特征在于， 該色彩亮度計(jì)使用權(quán)利要求I 8中任一項(xiàng)所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)。
11.一種色彩計(jì)，其特征在于， 該色彩計(jì)使用權(quán)利要求I 8中任一項(xiàng)所述的測(cè)量用光學(xué)系統(tǒng)。
全文摘要
在本發(fā)明所涉及的測(cè)量探頭(40)中，測(cè)量光在經(jīng)由干涉膜濾光器(13A、14A、15A)由受光傳感器(13B、14B、15B)接收之前，被入射到單線光纖(13C、14C、15C)。而且，干涉膜濾光器(13A、14A、15A)被形成為，根據(jù)相對(duì)于向該干涉膜濾光器(13A、14A、15A)入射的入射光的入射角度的強(qiáng)度分布的條件，得到與測(cè)量參數(shù)對(duì)應(yīng)的透過率特性。由此，本發(fā)明的測(cè)量探頭(40)使用干涉膜濾光器(13A、14A、15A)，并且能夠降低因其入射角度帶來的透過率特性的偏差的影響。
文檔編號(hào)G01M11/00GK102893138SQ20118002390
公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2011年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者鶴谷克敏 申請(qǐng)人:柯尼卡美能達(dá)精密光學(xué)儀器株式會(huì)社