半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，其用于檢查具有多個(gè)電的檢查接觸點(diǎn)的檢查目標(biāo)的電特性。檢查設(shè)備包括插槽組件，其中插槽組件包括在縱向方向上可縮回的多個(gè)探針、支撐彼此平行的所述探針的探針支撐器、和包括與所述探針的第一端部接觸的多個(gè)固定接觸點(diǎn)的插槽板；和檢查目標(biāo)載體，其中檢查目標(biāo)載體包括容納所述檢查目標(biāo)從而使所述檢查接觸點(diǎn)面朝所述探針的第二端部的檢查目標(biāo)容納部分，和被插入于所述檢查目標(biāo)與所述探針支撐器之間并包括探針孔的底板元件，其中所述探針孔在與所述檢查接觸點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置穿透底板元件并且所述探針的第二端部穿過所述探針孔。
【專利說明】半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，并且更特別地，涉及這樣一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，其中，當(dāng)檢查半導(dǎo)體裝置的電特性時(shí)，探針和半導(dǎo)體裝置的檢查接觸點(diǎn)之間的接觸公差被降低。
【背景技術(shù)】
[0002]通常，諸如集成芯片(IC)的半導(dǎo)體裝置已經(jīng)在制造過程中通過檢查半導(dǎo)體裝置的電特性而被進(jìn)行與其缺陷有關(guān)的測(cè)試。半導(dǎo)體裝置的電特性是通過在半導(dǎo)體裝置的檢查接觸點(diǎn)(凸點(diǎn)(bump))與包括印刷電路板(PCB)的測(cè)試板的接觸點(diǎn)(焊盤(pad))之間插入探針而被檢查的。同樣，半導(dǎo)體裝置的電特性是在半導(dǎo)體裝置被插入檢查目標(biāo)載體中的同時(shí)被檢查的。
[0003]圖17是示出了傳統(tǒng)的半導(dǎo)體裝置的檢查裝置的結(jié)構(gòu)的視圖。半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備I包括檢查目標(biāo)載體30，其中，半導(dǎo)體裝置10被固定于該載體30上，位于檢查目標(biāo)載體30上方并將固定的半導(dǎo)體裝置10向下推動(dòng)以進(jìn)行測(cè)試的推動(dòng)器，被設(shè)置在檢查目標(biāo)載體30下方的插槽引導(dǎo)件40，和具有用于與固定的半導(dǎo)體裝置的檢查接觸點(diǎn)相接觸的探針50的插槽組件60。
[0004]半導(dǎo)體裝置10的傳統(tǒng)的檢查是通過被安裝到檢測(cè)目標(biāo)載體30上的半導(dǎo)體裝置10的球狀端點(diǎn)IOa與被支撐在插槽組件60中的探針50之間的電接觸執(zhí)行的。此時(shí)，非常小的球狀端點(diǎn)IOa和探針50被以窄間距布置，并且因此在測(cè)試過程中需要非常高的精度。球狀端點(diǎn)IOa和探針50之間的對(duì)準(zhǔn)是通過檢查目標(biāo)載體30的定位孔32與插槽引導(dǎo)件40的定位銷42之間的對(duì)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的。
[0005]在測(cè)試過程中，檢查目標(biāo)載體30在與插槽引導(dǎo)件40連接和分離之間交替，并且因此，通過不斷重復(fù)的連接與分離，定位銷42和定位孔之間的余量(margin)增大。結(jié)果，余量的增大導(dǎo)致球狀端點(diǎn)IOa與探針50之間的失配的問題。同樣，當(dāng)插槽組件60被安裝到插槽引導(dǎo)件40中時(shí)，還可能導(dǎo)致額外的公差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的一個(gè)方面在于提供一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，其能夠在測(cè)試過程中改進(jìn)探針和檢查目標(biāo)的檢查接觸點(diǎn)之間的精確的接觸。
[0007]本發(fā)明的另一方面在于提供一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，其能夠減小探針和檢查目標(biāo)的檢查接觸點(diǎn)之間的接觸阻力。
[0008]本發(fā)明的又一方面在于提供一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，其能夠在檢查目標(biāo)被檢查時(shí)減少探針接觸端部的污染。
[0009]本發(fā)明的再一方面在于提供一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，其能夠在插槽組件的引導(dǎo)突起與檢查目標(biāo)載體的底板元件的引導(dǎo)槽彼此配合時(shí)防止被卡住。
[0010]本發(fā)明的前述和/或其他方面是通過提供一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備實(shí)現(xiàn)的，其用于檢查具有多個(gè)電的檢查接觸點(diǎn)的檢查目標(biāo)的電特性，該檢查設(shè)備包括:插槽組件，該插槽組件包括在縱向方向上可縮回的多個(gè)探針、支撐彼此平行的所述探針的探針支撐器、和包括與所述探針的第一端部接觸的多個(gè)固定接觸點(diǎn)的插槽板；和檢查目標(biāo)載體，該檢查目標(biāo)載體包括容納所述檢查目標(biāo)從而使所述檢查接觸點(diǎn)面朝所述探針的第二端部的檢查目標(biāo)容納部分，和被插入于所述檢查目標(biāo)與所述探針支撐器之間并包括探針孔的底板元件，其中所述探針孔在與所述檢查接觸點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置穿透底板元件并且所述探針的第二端部穿過所述探針孔。
[0011]底板元件和探針支撐器可包括凸起連接部分，該凸起連接部分包括將沿探針的縱向方向連接和對(duì)準(zhǔn)的位于一側(cè)的引導(dǎo)突起和位于另一側(cè)的引導(dǎo)槽。
[0012]所述凸起連接部分被形成為當(dāng)探針支撐器接近底板元件時(shí)，引導(dǎo)突起與引導(dǎo)槽之間的連接早于探針與探針孔之間的連接。
[0013]當(dāng)引導(dǎo)突起與引導(dǎo)槽連接時(shí)，突出部不與突出部容納部分相接觸。
[0014]所述凸起連接部分可包括至少兩對(duì)位于一側(cè)的引導(dǎo)突起和位于另一側(cè)的引導(dǎo)槽，并且所述至少兩對(duì)弓I導(dǎo)突起和弓I導(dǎo)槽在形狀上不同，以便不會(huì)彼此卡住。
[0015]所述不同形狀可包括圓形和橢圓形。
[0016]所述底板元件可包括排塵口。
[0017]發(fā)明效果
[0018]根據(jù)本發(fā)明，檢查目標(biāo)的檢查接觸點(diǎn)與探針之間的接觸是通過底板元件中的探針孔實(shí)現(xiàn)的，從而不僅改進(jìn)了接觸的精度，還減小了接觸阻力。
[0019]根據(jù)本發(fā)明，檢查目標(biāo)載體的中心部被底板元件阻斷，從而具有防止探針下端部被外來異物污染的效果。
[0020]根據(jù)本發(fā)明，被改變的插槽位置被矯正，以防止探針錯(cuò)位，并且與檢查目標(biāo)的檢查接觸點(diǎn)的中心的精確的接觸保護(hù)探針和檢查接觸點(diǎn)不受來自插槽外部的沖擊，從而具有延長(zhǎng)使用壽命的效果。
[0021 ] 根據(jù)本發(fā)明，即使在檢查目標(biāo)被插入檢查目標(biāo)載體中以進(jìn)行電特性檢查的同時(shí)產(chǎn)生振動(dòng)的情況下，檢查目標(biāo)也不會(huì)從檢查目標(biāo)載體上掉落，這是有利的。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是根據(jù)實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備的分解透視圖，
[0023]圖2是圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中的推動(dòng)器200的橫截面視圖，
[0024]圖3-5分別是圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中的檢查目標(biāo)載體300的平面圖、橫截面視圖和底視圖，
[0025]圖6是部分地示出了圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中的檢查目標(biāo)載體300的底板元件320的平面視圖，
[0026]圖7是沿圖6中的線1-1看去的橫截面視圖，
[0027]圖8和9分別是圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中的插槽引導(dǎo)件400的平面圖和橫截面視圖，
[0028]圖10和11分別是圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中的插槽組件500的透視圖和局部橫截面視圖，[0029]圖12是示出了根據(jù)另一實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中的底板元件620的平面圖，
[0030]圖13是示出了根據(jù)另一實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中的探針支撐器710的透視圖，
[0031]圖14a是橫截面視圖，示出了這樣一種狀態(tài)，即，推動(dòng)器200、檢查目標(biāo)載體300、插槽引導(dǎo)件400和插槽組件500在圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中被首次對(duì)準(zhǔn)，
[0032]圖14b是示出了圖14a的‘A’部分的局部放大的橫截面視圖，
[0033]圖15a是橫截面視圖，示出了這樣一種狀態(tài)，即，推動(dòng)器200、檢查目標(biāo)載體300、插槽引導(dǎo)件400和插槽組件500在圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中被二次對(duì)準(zhǔn)，
[0034]圖15b是不出了圖15a的‘B’部分的局部放大的橫截面視圖，
[0035]圖16a是橫截面視圖，示出了這樣一種狀態(tài)，即，推動(dòng)器200、檢查目標(biāo)載體300、插槽引導(dǎo)件400和插槽組件500在圖1的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中被最終對(duì)準(zhǔn)，
[0036]圖16b是示出了圖16a的‘C’部分的局部放大的橫截面視圖，以及
[0037]圖17是示出了傳統(tǒng)的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備的橫截面視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]這里，將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。為進(jìn)行清楚的描述，與描述無關(guān)的內(nèi)容將被省略。同樣，通篇文件中類似的附圖標(biāo)記用于表示相同或類似的元件，并且上、下、左和右方向都是以附圖的正面作為參照加以設(shè)定的。
[0039]如圖1所示，根據(jù)示例性實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備100包括:檢查目標(biāo)載體300，其中，半導(dǎo)體裝置10固定于該檢查目標(biāo)載體300上；推動(dòng)器200，其被設(shè)置在檢查目標(biāo)載體300上方并在測(cè)試過程中推動(dòng)被固定的半導(dǎo)體裝置10 ;底板元件320，其被可拆卸地支撐在檢查目標(biāo)載體300的底板上；插槽引導(dǎo)件400，其被設(shè)置在檢查目標(biāo)載體300的下方；和插槽組件500，其與插槽引導(dǎo)件400連接并支撐多個(gè)探針522。
[0040]如圖2所示，推動(dòng)器200包括按壓突起220和第一定位銷202，其中，按壓突起220將固定于檢查目標(biāo)載體300上的半導(dǎo)體裝置10向上按壓，第一定位銷202插入被形成于檢查目標(biāo)裝置300中的第一定位孔中，以精確地按壓半導(dǎo)體裝置10。
[0041]如圖3-5所示，檢查目標(biāo)載體300包括在中央具有開口 312以容納半導(dǎo)體裝置10的檢查目標(biāo)容納部310和被可拆卸地支撐在檢查目標(biāo)容納部310的底板上的底板元件320。例如，底板元件320可通過螺釘325可拆卸地連接到檢查目標(biāo)容納部分310。
[0042]檢查目標(biāo)載體300包括第一定位孔302和303，推動(dòng)器200的第一定位銷202被插入第一定位孔中。左和右第一定位孔302具有橢圓形形狀，中心第一定位孔303具有圓形形狀。左和右第一定位孔302的橢圓形形狀被用于減小定位公差。
[0043]檢查目標(biāo)容納部分310可包括在中央具有開口 312的底座314，和被安裝到底座314的開口 312并且通過彈性連接部316在上、下、左和右方向上可以浮動(dòng)的浮動(dòng)元件318。當(dāng)然，底座314和浮動(dòng)元件318可以被制造成一個(gè)整體。
[0044]檢查目標(biāo)載體300可包括被布置在開口 312的內(nèi)壁上的鎖銷(未示出)，以緊固和支撐半導(dǎo)體裝置10。
[0045]檢查目標(biāo)10可包括集成芯片(IC)或類似的半導(dǎo)體裝置，但不限于此。可選擇地，其他裝置也適于檢查電特性。
[0046]如圖6和7所述，底板元件320包括被設(shè)置成與插槽組件500 (其將在下文中加以描述)的探針522對(duì)應(yīng)的多個(gè)探針孔322、被圓形地形成在與插槽組件500的引導(dǎo)突起(pro jection) 524相對(duì)應(yīng)的位置上的引導(dǎo)槽324、將底板元件320可拆卸地緊固到檢查目標(biāo)容納部分310的螺釘孔326、和被矩形地開在中心部位以用于在測(cè)試過程中排出灰塵或類似污染物的排塵口 328。底板元件320可包括第二定位孔329，第二定位孔329中插入檢查目標(biāo)容納部分310的第二定位銷(未示出)以便底板元件320被精確地緊固到檢查目標(biāo)容納部分310的浮動(dòng)元件318。
[0047]引導(dǎo)槽324與插槽組件500的引導(dǎo)突起523 —同形成凸起(embossed)連接部分324，524。引導(dǎo)槽324可具有橢圓形形狀或除圓形之外的各種形狀。中心排塵口 328可依據(jù)半導(dǎo)體裝置10的形狀而被形成在外部，并且可具有圓形形狀或除矩形形狀之外的各種形狀。
[0048]如圖7和10所示，底板元件320在其底面上形成有突出部(protrusion)容納部分321，以容納插槽組件500 (其將在下文中描述)的突出部514。突出部容納部分321可包括從底部到頂部的錐形部323以便于容納突出部514。突出部容納部分321在中心形成有探針孔322。
[0049]與突出部容納部分321接觸的探針孔322的入口可以通過對(duì)邊緣進(jìn)行倒圓而形成漸縮的部分，從而探針522能夠在測(cè)試過程中被安全地插入。同樣，探針孔322包括位于其頂部上的槽部327，半導(dǎo)體裝置20的球形端子IOa可以被放置在所述槽部327上。
[0050]如圖8和9所示，插槽引導(dǎo)件400包括與插槽組件500 (其將在下文中描述)相連接的連接孔412，和具有中空的圓柱形形狀并且與檢查目標(biāo)載體300的第三定位孔304可拆卸地連接的第三定位銷414。第三定位銷414的內(nèi)部空間形成第四定位孔415，推動(dòng)器200的第一定位銷202被插入到第四定位孔中。在測(cè)試過程中，插槽引導(dǎo)件400的第三定位銷414被插入到檢查目標(biāo)載體300的第三定位孔304中，并且用于半導(dǎo)體裝置10的球形端子IOa與探針522的首次對(duì)準(zhǔn)。即，推動(dòng)器200的第一定位銷202穿透檢查目標(biāo)載體300的第一定位孔302并且經(jīng)由第三定位孔304插入到座位插槽引導(dǎo)件400 (其將在下文中描述)的第三定位銷414的內(nèi)部空間的第四定位孔415中。插槽引導(dǎo)件400可包括在第三定位銷下方突出的突起416，以便與下文中將加以描述的插槽板530相連接。
[0051]圖10和11是示出了根據(jù)示例性實(shí)施例的插槽組件500的視圖。插槽組件500包括支撐多個(gè)探針522的探針支撐器510、被裝配到底板元件320的引導(dǎo)槽324中的引導(dǎo)突起524、和用于安裝探針支撐器510的插槽板530。如上文所述，引導(dǎo)突起524與底板元件320的引導(dǎo)槽324 —同形成凸起連接部分324，524。探針支撐器510可以被連接到插槽板530 (其將在下文中加以描述)。
[0052]如果需要，也可以通過在底板元件320中形成引導(dǎo)突起520并且在探針支撐器510中形成引導(dǎo)槽324的方式提供所述凸起連接部分324，524。在該實(shí)施例中，凸起連接部分324，524包括布置在探針支撐器510中的四個(gè)引導(dǎo)突起524，和布置在底板元件320中的四個(gè)引導(dǎo)槽324，但其并不僅限于此。可選擇地，可以布置三個(gè)或更少、或五個(gè)或更多的引導(dǎo)突起和引導(dǎo)槽以獲得相同的效果。當(dāng)然，如果僅布置一個(gè)引導(dǎo)突起524和一個(gè)引導(dǎo)槽324，則他們必須被設(shè)計(jì)成具有橢圓形、三角形、矩形或具有預(yù)定尺寸的其他形狀，因?yàn)楫?dāng)引導(dǎo)突起524和引導(dǎo)槽324的每個(gè)橫截面都具有圓形形狀時(shí)，將不具有定位效果。
[0053]插槽板530可包括印刷電路板(PCB)，印刷電路板具有固定的接觸點(diǎn)焊盤532和電連接到測(cè)試儀(未示出)的電路圖案(未示出)。如圖11所示，探針522的第一端部523從探針支撐器510的底部突出。探針522的該突出的第一端部523在測(cè)試過程中與插槽板530的固定的接觸點(diǎn)焊盤532接觸。
[0054]探針支撐器510包括突出部514，突出部514的一部分被突出的探針522支撐。突出部514被布置在與底板元件320的突出部容納部分321相對(duì)應(yīng)的位置處并在測(cè)試過程中被容納在形成于檢查目標(biāo)載體300的底板元件320的底部上的突出部容納部分321中。探針522的第二端部525從突出部容納部分321的頂部突出。探針522的第二端部525在測(cè)試過程中被插入到檢查目標(biāo)載體的底板元件320的探針孔322中。
[0055]探針522可由任意部件實(shí)現(xiàn)，只要它能夠通過彈性體在縱向方向上可縮回。例如，可使用彈性針(pogo pin)，其中諸如彈簧的彈性體被插入到中空的筒中，并且上和下柱塞分別部分地從所述筒突出并在上和下柱塞之間設(shè)有彈性體。在圖8中，探針522的兩個(gè)突出的端部523，525被認(rèn)為是所述上和下柱塞。
[0056]圖12是示出了根據(jù)另一示例性實(shí)施例的底板元件620的結(jié)構(gòu)的平面圖。這里，除引導(dǎo)突起之外，與底板元件620對(duì)應(yīng)的插槽組件的結(jié)構(gòu)是相同的，因此為方便起見，關(guān)于它的描述將被省略。當(dāng)然，引導(dǎo)突起的形狀必須與圖12中所示的底板元件620的引導(dǎo)槽624a、624b、624c、624d的形狀相對(duì)應(yīng)。例如，如果引導(dǎo)槽具有圓形形狀，則相應(yīng)的引導(dǎo)突起必須具有橫截面為圓形的銷形狀。如果引導(dǎo)槽具有橢圓形形狀，則相應(yīng)的引導(dǎo)突起必須具有橫截面為橢圓形的銷形狀。
[0057]底板元件620包括被設(shè)置成與插槽組件的探針相對(duì)應(yīng)的探針孔622，被形成在與插槽組件的引導(dǎo)突起的相對(duì)應(yīng)的位置上的引導(dǎo)槽624a、624b、624c和624d，將底板元件620可拆卸地連接到檢測(cè)目標(biāo)容納部的螺釘孔626，和形成在中心部以在測(cè)試過程中排出諸如灰塵的污染物的開口為矩形的排塵口 628。底板元件620可包括插有檢查目標(biāo)容納部的第二定位銷(未示出)的第二定位孔629，以便被精確地固定到檢查目標(biāo)容納部。
[0058]引導(dǎo)槽624與插槽組件的引導(dǎo)突起(未示出)一同形成凸起連接部分。如圖12所示，底板元件320的四個(gè)引導(dǎo)槽624a、624b、624c和624d在形狀上彼此可不同。在圖6所示的底板元件320中，四個(gè)引導(dǎo)槽324具有圓形形狀，而圖9示出了橢圓形引導(dǎo)槽624a、624b、624c與圓形引導(dǎo)槽624d的混合。
[0059]四個(gè)引導(dǎo)槽624a、624b、624c和624d在形狀上彼此不同的原因是具有上述橫截面的四個(gè)引導(dǎo)槽624a、624b、624c和624d和插槽組件的四個(gè)引導(dǎo)突起(未示出)在被連接形成每個(gè)對(duì)時(shí)可防止被卡住。即，如果四個(gè)對(duì)的形狀都類似于圓形并且如果只有很少的公差，則它們可能彼此連接得太緊或太松，從而損壞探針或球形端子。然而，如果在不同的方向上提供橢圓形形狀，則當(dāng)存在位置公差時(shí)，它們將不會(huì)彼此匹配，從而不會(huì)導(dǎo)致探針或球形端子的損壞。
[0060]底板元件620在中央部形成有開口為菱形的排塵口 628。
[0061]如圖13所示，根據(jù)另一示例性實(shí)施例的探針支撐器710設(shè)有突出部714，突出部714包括位于四個(gè)角附近的四個(gè)引導(dǎo)突起725和在其中心部突出的探針522。當(dāng)半導(dǎo)體裝置10的球形端子IOa被布置在中心時(shí)，可以使用這種探針支撐器710。[0062]下面將結(jié)合圖14a至16b描述半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備100的操作。
[0063]圖14a至16b示出了被檢查的半導(dǎo)體裝置10，其中，插槽組件500、插槽引導(dǎo)件400、檢查目標(biāo)載體300和推動(dòng)器200在半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備中被依次地對(duì)準(zhǔn)。
[0064]首先，如圖14a所示，推動(dòng)器200的第一定位銷202被依次插入檢查目標(biāo)載體的第一定位孔303和第三定位孔304，以及插槽引導(dǎo)件400的第四定位孔415。隨后，固定于檢查目標(biāo)載體300上的半導(dǎo)體裝置10的球形端子IOa與插槽組件500的探針522被首次對(duì)準(zhǔn)。此時(shí)，如圖14b所示，探針支撐器510的引導(dǎo)突起524未插入檢查目標(biāo)載體300的底板元件320的引導(dǎo)槽324中。
[0065]隨后，如果檢查目標(biāo)載體300與插槽引導(dǎo)件400完全地連接，則探針支撐器510的弓I導(dǎo)突起524被少許地裝配到檢查目標(biāo)載體300的底板元件320的引導(dǎo)槽324中，如圖15a和15b所示，使得固定于檢查目標(biāo)載體300上的半導(dǎo)體裝置10的球形端子IOa與插槽組件500的探針522可以被二次對(duì)準(zhǔn)。此時(shí)，插槽組件500的探針522未被插入到檢查目標(biāo)載體300的底板元件320的探針孔322中。
[0066]最后，如果推動(dòng)器200被按壓以進(jìn)行測(cè)試，則浮動(dòng)元件318被彈性連接部分316向下推動(dòng)并因此固定的半導(dǎo)體裝置10也被向下移動(dòng)，如圖16a所示，從而固定于檢查目標(biāo)載體300上的半導(dǎo)體裝置10的球形端子IOa與插槽組件500的探針522可以被第三次對(duì)準(zhǔn)。此時(shí)，探針支撐器510的引導(dǎo)突起524被完全地插入到檢查目標(biāo)載體300的底板元件320的引導(dǎo)槽324中，并且同時(shí)，探針522被插入底板元件320的探針孔322中，如圖16b所示。結(jié)果，被插入探針孔322中的探針522與半導(dǎo)體裝置的球形端子IOa相接觸。
[0067]如圖15a和15b所示，插槽組件500的引導(dǎo)突起524可以被設(shè)計(jì)成在檢查目標(biāo)載體300被完全連接到插槽引導(dǎo)件400時(shí)不插入檢查目標(biāo)載體300的引導(dǎo)槽324中。在這種情況下，插槽組件500的引導(dǎo)突起524和檢查目標(biāo)載體300的引導(dǎo)槽324在推動(dòng)器200的推動(dòng)下連接。
[0068]根據(jù)前文描述的半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備的操作，被檢查的半導(dǎo)體裝置10的球形端子與探針522的第二端部525接觸，同時(shí)至少部分地插入探針孔322中，從而將探針522的第二端部525與球形端子IOa之間的接觸空間限制到探針孔322的內(nèi)側(cè)。結(jié)果，半導(dǎo)體裝置10的球形端子IOa和插槽組件500的探針522不僅精確地彼此接觸，而且減小了接觸阻力。
[0069]同樣，引導(dǎo)突起524與引導(dǎo)槽324之間的連接早于探針522與探針孔322之間的連接，藉此引導(dǎo)探針522與探針孔322的精確的連接，并保護(hù)微細(xì)的探針522防止其可能因?yàn)闆_擊或碰撞而損壞。
[0070]為了使引導(dǎo)突起524與引導(dǎo)槽324之間的連接早于探針522與探針孔322之間的連接，底板元件320需要突出部容納部分321容納探針支撐器510的突出部514。同樣，當(dāng)突出部容納部分321容納突出部514時(shí)，它們可能不會(huì)彼此接觸。當(dāng)突出部514碰撞突出部容納部分321時(shí)，探針522可能改變位置，并且因?yàn)樘结?22未被精確地插入探針孔322中而被損壞。
[0071]在根據(jù)本發(fā)明的檢查設(shè)備100中，檢查目標(biāo)載體300的開口 312未完全打開，而是被底板元件320阻斷，從而防止檢查目標(biāo)10掉落，并防止探針522的尖端部在測(cè)試過程中被從檢查目標(biāo)載體300的頂部掉落的外來異物污染。[0072]盡管已經(jīng)示出和描述了幾個(gè)示例性的實(shí)施例，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會(huì)意識(shí)到，在不脫離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的前提下可以在這些示例性實(shí)施例中作出各種改變，因此本發(fā)明的范圍被定義在所附權(quán)利要求及其等同技術(shù)方案中。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體裝置的檢查設(shè)備，其用于檢查具有多個(gè)電的檢查接觸點(diǎn)的檢查目標(biāo)的電特性，該檢查設(shè)備包括: 插槽組件，該插槽組件包括在縱向方向上可縮回的多個(gè)探針、支撐彼此平行的所述探針的探針支撐器、和包括與所述探針的第一端部接觸的多個(gè)固定接觸點(diǎn)的插槽板；和 檢查目標(biāo)載體，該檢查目標(biāo)載體包括容納所述檢查目標(biāo)從而使所述檢查接觸點(diǎn)面朝所述探針的第二端部的檢查目標(biāo)容納部分，和被插入于所述檢查目標(biāo)與所述探針支撐器之間并包括探針孔的底板元件，其中所述探針孔在與所述檢查接觸點(diǎn)對(duì)應(yīng)的位置穿透底板元件并且所述探針的第二端部穿過所述探針孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其中，所述底板元件和所述探針支撐器包括凸起連接部分，該凸起連接部分包括將沿探針的縱向方向連接和對(duì)準(zhǔn)的位于一側(cè)的引導(dǎo)突起和位于另一側(cè)的引導(dǎo)槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查設(shè)備，其中，所述凸起連接部分被形成為當(dāng)探針支撐器接近底板元件時(shí)，引導(dǎo)突起與引導(dǎo)槽之間的連接早于探針與探針孔之間的連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其中，所述探針孔沿探針的所述縱向方向容納所述檢查接觸點(diǎn)的至少一部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢查設(shè)備，其中，所述探針支撐器包括在所述探針的區(qū)域中的、朝向所述底板元件突出的突出部，并且所述底板元件包括用于容納所述突出部的突出部容納部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查設(shè)備，其中，當(dāng)引導(dǎo)突起與引導(dǎo)槽連接時(shí)，所述突出部不與所述突出部容納部分相接觸。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢查設(shè)備，其中，所述凸起連接部分包括至少兩對(duì)位于一側(cè)的引導(dǎo)突起和位于另一側(cè)的引導(dǎo)槽，并且所述至少兩對(duì)引導(dǎo)突起和引導(dǎo)槽在形狀上不同，以便不會(huì)彼此卡住。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查設(shè)備，其中，所述不同形狀包括圓形和橢圓形。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查設(shè)備，其中，所述底板元件包括排塵口。
【文檔編號(hào)】G01R31/26GK103430031SQ201180069246
【公開日】2013年12月4日 申請(qǐng)日期:2011年9月16日 優(yōu)先權(quán)日:2011年3月14日
【發(fā)明者】李彩允 申請(qǐng)人:李諾工業(yè)有限公司