專利名稱：基板檢查裝置及基板檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板檢查裝置及基板檢查方法。
背景技術(shù)：
專利文獻I記載的設(shè)置在印刷基板檢查夾具上的第2可動板，通過經(jīng)由吊持部件安裝在第I可動板上，成為相對于第I可動板自由活動的狀態(tài)(在水平方向上可動的狀態(tài))。并且，在使在第I可動板及吊下的第2可動板向第I可動板下降時，固定在第2可動板上的定位引導(dǎo)銷的圓錐柱狀部，插入到設(shè)置在相對配置的底座部件的定位直線襯套中。由此，可以相對于底座部件確定第2可動板位置。專利文獻I :日本特開2001-74815號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，即使在將基板傾斜放置的情況下，也可以抑制電氣檢查工序中的檢查精度的降低。本發(fā)明的技術(shù)方案I涉及的基板檢查裝置的特征在于，具有相對臺，其可以相對于檢查對象基板位于鉛直方向的上方，上述基板相對于水平方向傾斜地配置；支撐臺，其隔著上述基板與上述相對臺相對配置，被支撐為可以沿上述基板的板厚方向，在與上述相對臺相對地接近或遠離的接近/遠離方向上移動；移動部件，其使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個在上述接近/遠離方向上移動；支撐部件，其具有下表面支撐部和端緣支撐部，上述下表面支撐部安裝為可以相對于上述支撐臺在上述接近/遠離方向上移動，并且，從上述基板的下表面支撐上述基板，上述端緣支撐部支撐上述基板的鉛直方向下側(cè)的端緣；第一預(yù)緊部件，其將上述支撐部件朝向上述相對臺預(yù)緊；多個接觸部件，其在上述接近/遠離方向可移動地安裝于上述相對臺上，并且，如果使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則這些接觸部件分別與在上述基板上形成的多個定位用的圓孔的周圍接觸；第二預(yù)緊部件，其將上述接觸部件朝向上述支撐臺預(yù)緊；保持部件，其在上述接近/遠離方向可移動地安裝于上述支撐臺上，具有下端部直徑大于上述圓孔的圓錐狀或方錐狀的錐部，并且，如果在使上述接觸部件與上述圓孔周圍接觸的狀態(tài)下使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則通過使上述支撐部件抵抗上述第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，上述錐部插入上述圓孔中，從而在上述接觸部件與上述錐部之間保持上述基板；第三預(yù)緊部件，其將上述保持部件朝向上述相對臺預(yù)緊；通電部件，其基端側(cè)安裝在上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個上，前端側(cè)進行伸縮，并且，如果在上述接觸部件和上述錐部之間保持上述基板的狀態(tài)下使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則上述支撐部件抵抗上述第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，上述接觸部件抵抗上述第二預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述相對臺側(cè)移動，上述保持部件抵抗上述第三預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，從而，上述通電部件與設(shè)置在上述基板的一個表面或另一個表面中的至少一個上的用于進行電氣檢查的接觸點接觸而通電；以及檢查部，其在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下，進行上述基板的電氣檢查。本發(fā)明的技術(shù)方案2涉及的基板檢查裝置，在技術(shù)方案I的記載中，其特征在于，在上述支撐部件的下表面支撐部上，設(shè)置支撐上述基板的下表面的多個突起，設(shè)置多個抑制桿，如果在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則在這些抑制桿與上述突起之間夾入上述基板，從而抑制上述基板的扭曲。本發(fā)明的技術(shù)方案3涉及的基板檢查方法為，使用技術(shù)方案I所述的基板檢查裝置對基板進行檢查，具有下述工序?qū)⑸鲜龌宓亩司壷卧谥尾考亩司壷尾可希M而從下表面將基板支撐在下表面支撐部上；使用移動部件，使支撐臺及相對臺中的至少一個向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使各個接觸部件與在上述基板上形成的定位用的多個 圓孔的周圍接觸；在上述接觸部件與上述圓孔周圍接觸的狀態(tài)下，使用上述移動部件，使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使上述支撐部件抵抗第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，從而將設(shè)置在保持部件上的錐部插入上述圓孔中，在上述保持部件的上述錐部與上述接觸部件之間保持上述基板；在上述保持部件的上述錐部與上述接觸部件間保持上述基板的狀態(tài)下，使用上述移動部件而使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使上述支撐部件抵抗第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力向支撐臺側(cè)移動，使上述接觸部件抵抗第二預(yù)緊部件的預(yù)緊力向上述相對臺側(cè)移動，使上述保持部件抵抗第三預(yù)緊部件的預(yù)緊力向上述支撐臺側(cè)移動，從而使通電部件與設(shè)置在上述基板的一個表面及另一個表面中的至少一個上的接觸點接觸；以及在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下，利用檢查部進行上述基板的電氣檢查。本發(fā)明技術(shù)方案4涉及的基板檢查方法，在技術(shù)方案3記載中，其特征在于，使用技術(shù)方案2所述的基板檢查裝置進行基板檢查，具有下述工序在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下，使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，在抑制桿和突起之間夾入上述基板，從而抑制上述基板的扭曲。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案I的基板檢查裝置，與將圓柱狀的定位銷插入設(shè)置在基板上的定位用圓孔中進行電氣檢查的情況相比，在傾斜設(shè)置基板的情況下，也可以抑制電氣檢查工序的檢查精度的降低。根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案2的基板檢查裝置，與不從一個表面和另一個表面夾入基板以抑制基板扭曲的情況相比較，可以有效地抑制電氣檢查工序中的檢查精度的降低。根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案3的基板檢查方法，與將圓柱狀的定位銷插入設(shè)置在基板上的定位用的圓孔而進行電氣檢查的情況相比較，在傾斜設(shè)置基板的情況下，也可以抑制電氣檢查工序的檢查精度的降低。根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案4的基板檢查方法,與不從一個表面和另一個表面夾入基板以抑制基板扭曲的情況相比較，可以有效地抑制電氣檢查工序中的檢查精度的降低。


圖1-1 (A ) (B)是表示本實施方式涉及的基板檢查裝置的剖視圖。圖1-2(C) (D)是表示本實施方式涉及的基板檢查裝置的剖視圖。圖1-3 (E) (f)是表示本實施方式涉及的基板檢查裝置的剖視圖。圖1-4(G)是表示本實施方式涉及的基板檢查裝置的剖視圖。圖2(A) (B)是表示本實施方式涉及的基板檢查裝置的側(cè)視圖。圖3是表示本實施方式涉及的基板檢查裝置的分解斜視圖。圖4是表示利用本實施方式涉及的基板檢查裝置檢查的基板的斜視圖。圖5是表示利用本實施方式涉及的基板檢查裝置檢查的基板的斜視圖。
具體實施例方式對于本發(fā)明的實施方式涉及的基板檢查裝置及基板檢查方法的一個例子，根據(jù)圖I至圖5進行說明。此外，圖中表示的箭頭UP表示鉛直方向上方。(整體結(jié)構(gòu))如圖2㈧所示，基板檢查裝置10具有支撐臺12，其支撐檢查對象印刷配線基板100 (以下簡稱為基板100);以及相對臺14，其隔著基板100而與支撐臺12相對地配置。在該支撐臺12上，鉛直方向上方的上表面12A相對于水平方向傾斜。由此，從該上表面12A朝向的方向(從圖中所示的左側(cè))，作業(yè)者通過從支撐臺12和相對臺14之間使基板100出入，從而與將基板水平放置的情況相比較，作業(yè)性得到提高。另外，因為可以使基板檢查裝置10傾斜，所以可以實現(xiàn)空間節(jié)省化。另外，支撐臺12被支撐為，可以沿基板100的板厚方向在相對于相對臺14接近或遠離的接近/遠離方向(與板厚方向相同的方向圖示的箭頭A方向)上移動。具體地說，在支撐臺12的端部與相對臺14的端部之間，設(shè)置沿接近/遠離方向延伸的導(dǎo)軌16，由該導(dǎo)軌16引導(dǎo)，支撐臺12沿相對于相對臺14接近/遠離的方向移動。此外，在基板檢查裝置10上設(shè)置操縱桿18，其作為使支撐臺12在接近/遠離方向上移動的移動部件的一個例子。操縱桿18在側(cè)面觀察(圖2的箭頭)形成L字狀，且在彎曲部處設(shè)置向紙面里側(cè)方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸18A。此外，在操縱桿18上設(shè)置支撐部18B，從旋轉(zhuǎn)軸18A向支撐臺12的下表面延伸，端部與支撐臺12的下表面抵接；以及操作部18C，其從旋轉(zhuǎn)軸18A向鉛直方向傾斜上方延伸，且在前端部具有把持部20。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，作業(yè)者把持把持部20，通過使操作部18C以旋轉(zhuǎn)軸18A為中心逆時針地旋轉(zhuǎn)移動，從而支撐部18B以旋轉(zhuǎn)軸18A為中心逆時針旋轉(zhuǎn)移動。由此，支撐部18B的端部將支撐臺12上推，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)(與相對臺14接近的一側(cè)，以下簡稱為接近側(cè))移動(參照圖2 (B))。另外，在基板檢查裝置10上設(shè)置對支撐在支撐臺12上的基板100進行電氣檢查的檢查部28?！从∷⑴渚€基板〉下面，對于基板100進行說明。如圖4、圖5所示，基板100形成矩形，在基板100的一個安裝面100A上安裝表面安裝型的電子部件102 ;以及通孔安裝型的電子部件106，其具有插入通孔中的引線104。電子部件102釬焊在一個安裝面100A側(cè)，作為接觸點的一個例子的焊腳108形成在一個安裝面100A側(cè)。另外，電子部件106通過將其引線104插入基板100的通孔中，釬焊在另一個安裝面100B側(cè)，作為接觸點的一個例子的釬焊部109形成在另一個安裝面100B側(cè)。另一方面，在基板100的另一個安裝面100B上安裝連接器110，該連接器110將其引線112插入基板100的通孔中，釬焊在一個安裝面100A側(cè)。并且，釬焊后的釬焊部114形成在一個安裝面100A側(cè)。另外，在形成矩形狀的基板100的四個角中的三個角處，形成相對于基板檢查裝置10的定位用的圓孔118，在其余一個角形成方孔119。另外，方孔119也可以是圓孔。<支撐臺 相對臺〉 下面，對于由支撐臺12及相對臺14支撐的部件進行說明。如圖I-I(A) (B)、圖3所示，在支撐臺12的上表面12A設(shè)置支撐部件22，其可以相對于支撐臺12在接近/遠離方向上移動。支撐部件22具有俯視觀察為矩形狀的下表面支撐部24，其從下側(cè)支撐基板100 ；以及兩個端緣支撐部26，其設(shè)置在下表面支撐部24的鉛直方向下側(cè)的兩個角部，下端緣朝向水平方向配置，且與基板100的下端緣接觸。此外，在朝向基板100側(cè)的下表面支撐部24的上表面24A上設(shè)置多個突起25，其支撐基板100的下表面。另外，在下表面支撐部24的四個角側(cè)分別設(shè)置圓柱狀的引導(dǎo)桿30，其朝向支撐臺12沿接近/遠離方向延伸，引導(dǎo)桿30的伸出側(cè)可移動地插入形成在支撐臺12上的剖面為圓形的凹部32中。此外，在各個凹部32的內(nèi)部設(shè)置彈簧34，其作為第一預(yù)緊部件的一個例子，將支撐部件22向相對臺14預(yù)緊。由此，未施加外力的支撐部件22利用彈簧34的預(yù)緊力與未圖示的止動部件抵接，配置在支撐部件22的初始位置(參照圖I-I(A) (B))。另外，如圖1-1⑶所示，在相對臺14的下表面設(shè)置作為接觸部件的一個例子的止動銷36，其可以在與相對臺接近/遠離的方向上移動。并且，如果操作操縱桿18(參照圖2)，使支撐臺向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則該止動銷36分別與在基板100上形成的定位用的圓孔118及方孔119的周圍接觸。具體地說，止動銷36具有圓柱狀的引導(dǎo)桿38，其朝向相對臺14沿接近/遠離方向延伸；以及圓柱狀的接觸部40,其固定在引導(dǎo)桿38的端部，并且在內(nèi)部形成臺階狀的圓筒凹部40A。并且，引導(dǎo)桿38可移動地插入形成在相對臺14上的剖面為圓形的凹部42中。另外，在各個凹部42的內(nèi)部設(shè)置作為第二預(yù)緊部件的一個例子的彈簧44，其將止動銷36向支撐臺12預(yù)緊。由此，未施加外力的止動銷36通過彈簧44的預(yù)緊力與未圖示的止動部件抵接，配置在止動銷36的初始位置(參照圖I(A) (B))。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，如前所述，如果操作操縱桿18 (參照圖2)而使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則止動銷36的接觸部40與形成在基板100上的定位用的圓孔118及方孔119的周圍接觸(參照圖1-2(0)。另外，如圖1-2 (C)所示，作為保持部件的一個例子的引導(dǎo)銷46與止動銷36相對地設(shè)置，可以相對于支撐臺12在接近/遠離方向移動。各個引導(dǎo)銷46具有作為錐部的一個例子的圓錐部46A，其形成圓錐狀，插入圓孔118及方孔119中。此外，引導(dǎo)銷46具有圓柱狀的圓柱部46B，其支撐該圓錐部46A。并且，圓柱部46B可移動地插入形成在支撐臺12上的剖面為圓形的凹部48中。另夕卜，各個凹部48的內(nèi)部設(shè)置作為第三預(yù)緊部件的一個例子的彈簧52，其將引導(dǎo)銷46向相對臺14預(yù)緊。由此，未施加外力的引導(dǎo)銷46利用彈簧52的預(yù)緊力而與未圖示的止動部件抵接，且配置在引導(dǎo)銷46的初始位置(參照圖I(A) (B) (C))。在這里，彈簧44的預(yù)緊力(全部彈簧44的預(yù)緊力的合 計預(yù)緊力)與彈簧34的預(yù)緊力(全部彈簧34的預(yù)緊力的合計預(yù)緊力)相比較大(強)。另外，彈簧52的預(yù)緊力(全部彈簧52的預(yù)緊力的合計預(yù)緊力)與彈簧34的預(yù)緊力(全部彈簧34的預(yù)緊力的合計預(yù)緊力)相比較大(強)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在止動銷36與圓孔118及方孔119的周圍接觸的狀態(tài)下，如果操作操縱桿18 (參照圖2)而使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則使支撐部件22抵抗彈簧34的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動。由此，引導(dǎo)銷46的圓錐部46A插入圓孔118及方孔119中，在止動銷36與圓錐部46A之間保持基板100(參照圖1_2(D))。另外，如圖1_2(D)所示，設(shè)置作為通電部件的一個例子的探測銷56，其基端部安裝在相對臺14上，前端部向支撐臺12側(cè)延伸，并且，前端側(cè)進行伸縮。而且，如果在止動銷36與圓錐部46A之間保持基板100的狀態(tài)下操作操縱桿18 (參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則該探測銷56的前端部與基板100的焊腳108接觸(參照圖1-3 (E))。具體地說，操作操縱桿18(參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動。由此，使支撐部件22抵抗彈簧34的預(yù)緊力，進一步向支撐臺12側(cè)移動，使止動銷36抵抗彈簧44的預(yù)緊力，進一步向相對臺14側(cè)移動，使弓I導(dǎo)銷46抵抗彈簧52的預(yù)緊力，進一步向支撐臺12側(cè)移動。并且，探測銷56的前端與焊腳108接觸(參照圖1-3 (E))。另外，如圖1_3(E))所示，設(shè)置作為通電部件的一個例子的探測銷60，其基端部安裝在支撐臺12上，前端部向相對臺14側(cè)延伸，并且，前端側(cè)進行伸縮。而且，如果在止動銷36與圓錐部46A之間保持基板100的狀態(tài)下操作操縱桿18 (參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則該探測銷60的前端部與基板100的釬焊部109接觸(參照圖 1-3 (F))。具體地說，操作操縱桿18(參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動。由此，使支撐部件22抵抗彈簧34的預(yù)緊力，向支撐臺12側(cè)移動，使止動銷36抵抗彈簧44的預(yù)緊力向相對臺14側(cè)移動，使引導(dǎo)銷46抵抗彈簧52的預(yù)緊力向支撐臺12側(cè)移動。此外，探測銷56的前端側(cè)進行收縮。由此，探測銷60的前端穿過設(shè)置在下表面支撐部24上的通孔24B，與釬焊部109接觸(參照圖1_3(F))。另外，如圖1_3(F)所示，設(shè)置作為抑制桿的一個例子的壓桿64，其為桿狀，基端部安裝在相對臺14上，前端部向支撐臺12側(cè)延伸，與設(shè)置在下表面支撐部24上的突起25相對。并且，在探測銷56與焊腳108接觸，且探測銷60與釬焊部109接觸的狀態(tài)下，操作操縱桿18 (參照圖2)而使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動。由此，在壓桿64與突起25之間夾入基板100，從而抑制基板100的扭曲(參照圖I-(G))。(作用)
下面，與使用基板檢查裝置10檢查基板100的基板檢查方法一起，說明基板檢查裝置10的作用。此外，在下述檢查工序中，對每個工序說明操縱桿18的操作程度(操作角度)，但是，操縱桿18的操作是一連串的動作。首先，如圖1-1 (A) (B)所示，在未操作操縱桿18 (參照圖2)的狀態(tài)下，使基板100的端緣與支撐部件22的端緣支撐部26接觸，使下表面支撐部24支撐基板100的下表面。然后，如圖1-2(C)所示，操作操縱桿18 (參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使止動銷36的接觸部40與在基板100上形成的定位用的圓孔118及方孔119的周圍接觸。然后，如圖1-2 (D)所示，在止動銷36與圓孔118的周圍接觸的狀態(tài)下，操作操縱桿18 (參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使支撐部件22抵抗彈簧34的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動。并且，將引導(dǎo)銷46的圓錐部46A插入圓孔118及方孔119中，在止動銷36和圓錐部46A之間保持基板100。 由此，通過使各個圓孔118的圓邊緣利用接觸部40被各個圓錐部46A擠壓，使基板100沿基板100的面內(nèi)方向移動，校正基板100的位置偏移(將基板100定位在正確的位置)。然后，如圖1-3 (E)所示，在止動銷36與圓錐部46A之間保持基板100的狀態(tài)下，操作操縱桿18 (參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動。由此，使支撐部件22抵抗彈簧34的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動，使止動銷36抵抗彈簧44的預(yù)緊力而向相對臺14側(cè)移動，使引導(dǎo)銷46抵抗彈簧52的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動。并且，使探測銷56的前端與焊腳108接觸。然后，如圖1-3 (F)所示，在使探測銷56的前端與焊腳108接觸的狀態(tài)下，操作操縱桿18 (參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動。由此，使支撐部件22抵抗彈簧34的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動，使止動銷36抵抗彈簧44的預(yù)緊力而向相對臺14側(cè)移動，使引導(dǎo)銷46抵抗彈簧52的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動。另外，使探測銷56的前端側(cè)收縮，使探測銷60的前端側(cè)與釬焊部109接觸。然后，如圖1-4 (G)所示，在使探測銷56與焊腳108接觸，進而探測銷60與釬焊部109接觸的狀態(tài)下，操作操縱桿18 (參照圖2)，使支撐臺12向接近/遠離方向的接近側(cè)移動。由此，使支撐部件22抵抗彈簧34的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動，使止動銷36抵抗彈簧44的預(yù)緊力而向相對臺14側(cè)移動，使引導(dǎo)銷46抵抗彈簧52的預(yù)緊力而向支撐臺12側(cè)移動。另外，使探測銷56的前端側(cè)收縮，此外，使探測銷60的前端側(cè)收縮。并且，在壓桿64與突起25之間夾入基板100，抑制基板100的扭曲。然后，如圖2⑶所示，在這種狀態(tài)下，檢查部28經(jīng)由探測銷56及探測銷60進行基板100的電氣檢查。如上說明，各個圓孔118的圓邊緣通過接觸部40被各個圓錐部擠壓，從而與將圓柱狀的定位銷插入定位孔中的情況相比，即使在傾斜放置基板100的情況下，也可以校正基板100的位置偏移(在基準(zhǔn)位置配置基板100)。另外，由于基板100的位置偏移被校正，所以即使在傾斜放置基板100的情況下，也可以抑制電氣檢查工序的檢查精度的降低。另外，在壓桿64與突起25之間夾入基板100，從而可以抑制基板100的扭曲。
此外，以特定的實施方式對本發(fā)明做了詳細說明，但本發(fā)明并不限定于該實施方式，在本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以實施其他各種實施方式，這一點對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是明確的。例如，在上述實施方式中，作為錐部的一個例子，以圓錐狀的圓錐部46A為例進行了說明，但也可以是大于或等于三個角的方錐形狀。另外，也可以是沒有頂部的圓臺形狀。另外，在上述實施方式中，通過使支撐臺12在接近/遠離方向移動，從而使支撐臺12與相對臺14相對地接近，但也可以通過使相對臺14在接近/遠離方向移動，從而使支撐臺14與相對臺14相對地接近。此外,也可以通過使二者移動,使支撐臺12與相對臺14相對地接近。另外，在上述實施方式中，設(shè)置3個定位用的圓孔118，但并不特別限定于3個，可以是2個,或者大于或等于4個。另外，在上述實施方式中，設(shè)置與基板100的一個安裝面100A接觸的探測銷56，和與基板100的另一個安裝面100B接觸的探測銷60，但也可以僅是其中的一個探測銷。
另外，在上述實施方式中，表示相對臺14沿基板100的厚度方向移動，但本發(fā)明并不限定于此。例如，如特開平07-146336號公報中的上表面單元所示，也可以是相對臺經(jīng)由減震器而可自由轉(zhuǎn)動地安裝在導(dǎo)軌16上的結(jié)構(gòu)。S卩，相對臺14只要是相對于與水平方向傾斜地配置的檢查對象基板100位于鉛直方向上方的結(jié)構(gòu)即可。在該結(jié)構(gòu)中，使相對臺14轉(zhuǎn)動而關(guān)閉的狀態(tài)(特開平07-146336號公報的圖I的狀態(tài))相對于圖I-I(A)所示的狀態(tài)。
權(quán)利要求
1.一種基板檢查裝置，其特征在于，具有 相對臺，其可以相對于檢查對象基板位于鉛直方向的上方，上述基板相對于水平方向傾斜地配置； 支撐臺，其隔著上述基板與上述相對臺相對配置，被支撐為可以沿上述基板的板厚方向，在與上述相對臺相對地接近或遠離的接近/遠離方向上移動； 移動部件，其使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個在上述接近/遠離方向上移動； 支撐部件，其具有下表面支撐部和端緣支撐部，上述下表面支撐部安裝為可以相對于上述支撐臺在上述接近/遠離方向上移動，并且，從上述基板的下表面支撐上述基板，上述端緣支撐部支撐上述基板的鉛直方向下側(cè)的端緣； 第一預(yù)緊部件，其將上述支撐部件朝向上述相對臺預(yù)緊； 多個接觸部件，其在上述接近/遠離方向可移動地安裝于上述相對臺上，并且，如果使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則這些接觸部件分別與在上述基板上形成的多個定位用的圓孔的周圍接觸；第二預(yù)緊部件，其將上述接觸部件朝向上述支撐臺預(yù)緊； 保持部件，其在上述接近/遠離方向可移動地安裝于上述支撐臺上，具有下端部直徑大于上述圓孔的圓錐狀或方錐狀的錐部，并且，如果在使上述接觸部件與上述圓孔周圍接觸的狀態(tài)下使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則通過使上述支撐部件抵抗上述第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，上述錐部插入上述圓孔中，從而在上述接觸部件與上述錐部之間保持上述基板；第三預(yù)緊部件，其將上述保持部件朝向上述相對臺預(yù)緊； 通電部件，其基端側(cè)安裝在上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個上，前端側(cè)進行伸縮，并且，如果在上述接觸部件和上述錐部之間保持上述基板的狀態(tài)下使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則上述支撐部件抵抗上述第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，上述接觸部件抵抗上述第二預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述相對臺側(cè)移動，上述保持部件抵抗上述第三預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，從而，上述通電部件與設(shè)置在上述基板的一個表面或另一個表面中的至少一個上的用于進行電氣檢查的接觸點接觸而通電；以及 檢查部，其在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下，進行上述基板的電氣檢查。
2.如權(quán)利要求I所述的基板檢查裝置，其特征在于， 在上述支撐部件的下表面支撐部上，設(shè)置支撐上述基板的下表面的多個突起， 設(shè)置多個抑制桿，如果在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，則在這些抑制桿與上述突起之間夾入上述基板，從而抑制上述基板的扭曲。
3.一種基板檢查方法，其特征在于， 使用權(quán)利要求I所述的基板檢查裝置對基板進行檢查， 具有下述工序 將上述基板的端緣支撐在支撐部件的端緣支撐部上，進而從下表面將基板支撐在下表面支撐部上；使用移動部件，使支撐臺及相對臺中的至少一個向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使各個接觸部件與在上述基板上形成的定位用的多個圓孔的周圍接觸； 在上述接觸部件與上述圓孔周圍接觸的狀態(tài)下，使用上述移動部件，使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使上述支撐部件抵抗第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力而向上述支撐臺側(cè)移動，從而將設(shè)置在保持部件上的錐部插入上述圓孔中，在上述保持部件的上述錐部與上述接觸部件之間保持上述基板； 在上述保持部件的上述錐部與上述接觸部件間保持上述基板的狀態(tài)下，使用上述移動部件而使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向上述接近/遠離方向的接近側(cè)移動，使上述支撐部件抵抗第一預(yù)緊部件的預(yù)緊力向支撐臺側(cè)移動，使上述接觸部件抵抗第二預(yù)緊部件的預(yù)緊力向上述相對臺側(cè)移動，使上述保持部件抵抗第三預(yù)緊部件的預(yù)緊力向上述支撐臺側(cè)移動，從而使通電部件與設(shè)置在上述基板的一個表面及另一個表面中的至少一個上的接觸點接觸；以及 在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下，利用檢查部進行上述基板的電氣檢查。
4.如權(quán)利要求3所述的基板檢查方法，其特征在于， 使用權(quán)利要求2所述的基板檢查裝置進行基板檢查， 具有下述工序在上述通電部件與上述接觸點接觸的狀態(tài)下，使用上述移動部件使上述支撐臺及上述相對臺中的至少一個向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，在抑制桿和突起之間夾入上述基板，從而抑制上述基板的扭曲。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板檢查裝置及基板檢查方法，其特征在于，在傾斜放置基板的情況下，也可以抑制電氣檢查工序的檢查精度的降低。在止動銷(36)與圓孔(118)周圍接觸的狀態(tài)下，操作操縱桿而使支撐臺(12)向接近/遠離方向的接近側(cè)移動，抵抗彈簧34的預(yù)緊力而使支撐部件(22)向支撐臺(12)側(cè)移動。并且，將引導(dǎo)銷(46)的圓錐部(46A)插入圓孔(118)中，在止動銷(36)和圓錐部(46A)之間保持基板(100)。圓孔(118)的圓邊緣通過接觸部(40)被各個圓錐部(46A)擠壓，使基板(100)沿基板(100)的表面方向移動，使基板(100)的位置偏移得到校正，從而可以抑制電氣檢查工序的檢查精度降低。
文檔編號G01R31/00GK102928685SQ20121002875
公開日2013年2月13日 申請日期2012年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月11日
發(fā)明者川本幸則, 岡田真彰 申請人:富士施樂株式會社