專利名稱：一種用于檢測電試樣的電檢測裝置及電檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢測電試樣的電檢測裝置，包括一個線路基板，該線路基板通過觸點間距轉(zhuǎn)換器電連接到一個檢測頭，其中，該線路基板機(jī)械連接至一個第一加強(qiáng)裝置并因此被加強(qiáng)。
背景技術(shù)：
前述類型的電檢測裝置是已知的，被用于電接觸一個電試樣，例如晶片。這包括物理接觸，通過物理接觸，連接到檢測試樣電性能的檢測裝置的電路被接通。通過這種方式， 可以將可靠性好的試樣與可靠性差的試樣區(qū)分開來。已知的電檢測裝置包括一個線路基板，該線路基板通過一個觸點間距轉(zhuǎn)換器與一個檢測頭電連接。檢測頭的觸針與所述觸點間距轉(zhuǎn)換器電連接，用于所述試樣的觸點接通。所述線路基板連接至前述檢測裝置。因此， 由于不斷增加的集成密度，試樣的觸點間距非常小，為了增加可被檢測的布線密度，在接觸頭和線路基板間布置了觸點間距轉(zhuǎn)換器，該轉(zhuǎn)換器將檢測頭的觸針的小觸點間距轉(zhuǎn)變?yōu)檩^大的觸點間距，其中，較大的觸點間距與線路基板上相同大小的觸點間距相互關(guān)聯(lián)，且線路基板優(yōu)選地實現(xiàn)觸點間距的進(jìn)一步放大，最后，觸點間距較大的線路基板觸頭通過適合的導(dǎo)線或類似電纜與檢測裝置連接。由于所述線路基板和接觸頭之間設(shè)有至少一個電連接所需的組件，因此，相關(guān)部件并不總是能夠相互對準(zhǔn)以實現(xiàn)觸點接通，從而使這種電檢測裝置的可靠性受到質(zhì)疑。因此，值得注意的是，接觸頭與觸點間距轉(zhuǎn)換器僅僅是物理電接觸，而觸點間距轉(zhuǎn)換器與線路基板也僅僅是物理電接觸。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種用于檢測電試樣的電檢測裝置，該檢測裝置具有高度的接觸可靠性和功能可靠性，從而能夠準(zhǔn)確地檢測電試樣。本發(fā)明的目的通過如下方式實現(xiàn)至少一個穿過所述線路基板的間隔裝置與所述觸點間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置固定于所述第一加強(qiáng)裝置上。當(dāng)給予一個高的檢測接觸密度時，作用于所述線路基板上的總的物理接觸力可以非常大。為避免由于上述接觸力導(dǎo)致線路基板的機(jī)械變形，第一加強(qiáng)裝置被裝在所述線路基板上。為了實現(xiàn)接觸頭和線路基板之間的無故障物理電連接一兩者之間布置觸點間距轉(zhuǎn)換器以及其它可能的電連接裝置(連接器)——本發(fā)明規(guī)定，觸點間距轉(zhuǎn)換器(空間轉(zhuǎn)換器)相對于線路基板的傾斜度可調(diào)。為此，設(shè)置了傾斜調(diào)節(jié)裝置，該調(diào)節(jié)裝置通過至少一個穿過所述線路基板并與所述觸點間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接的間隔裝置調(diào)節(jié)傾斜度。特別是設(shè)置了一個傾斜元件， 該傾斜元件通過所述至少一個穿過線路基板的間隔裝置與所述觸點間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接， 并通過所述傾斜調(diào)節(jié)裝置固定于所述第一加強(qiáng)裝置上，并且傾斜度為可調(diào)的。因此，所述加強(qiáng)裝置和傾斜元件組成了一個由所述間隔裝置操縱的剛性結(jié)構(gòu)，所述線路基板設(shè)置于這兩個部分之間。然而，由于所述線路基板被所述至少一個間隔裝置穿過，傾斜板的傾斜轉(zhuǎn)動通過所述間隔裝置，使觸點間距轉(zhuǎn)換器產(chǎn)生相應(yīng)的運(yùn)動，但線路基板的位置不會因此而改變。 所述至少一個間隔裝置優(yōu)選無物理接觸地穿過所述電路板上的至少一個孔。為能使傾斜元件能夠相對于所述線路基板傾斜，傾斜元件通過傾斜調(diào)節(jié)裝置被固定于第一加強(qiáng)裝置上， 而所述第一加強(qiáng)裝置與所述線路基板連接且不可移動。如果傾斜元件相對于所述第一加強(qiáng)裝置傾斜，這將引起觸點間距轉(zhuǎn)換器(也稱為空間轉(zhuǎn)換器)相對于所述線路基板出現(xiàn)相應(yīng)的傾斜運(yùn)動。無論本發(fā)明的具體實施例中是否具有傾斜元件，觸點間距轉(zhuǎn)換器的基準(zhǔn)面均相對于線路基板的基準(zhǔn)面調(diào)整傾斜度。通過這種方式，觸點間距轉(zhuǎn)換器與線路基板可以以正確的方式相互對準(zhǔn)，從而在檢測頭的觸針和電試樣(晶片)之間實現(xiàn)良好的接觸，同時， 保證了與線路基板——必要時中間布置電連接裝置(連接器)——的良好接觸。根據(jù)本發(fā)明的一個實施形式，所述間隔裝置穿過所述第一加強(qiáng)裝置。這樣，間隔裝置就延伸到第一加強(qiáng)裝置上遠(yuǎn)離線路基板的一側(cè)，從而使那里能夠設(shè)置傾斜調(diào)節(jié)裝置。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施形式，線路基板具有第一觸點表面，該觸點表面通過接觸裝置連接于觸點間距轉(zhuǎn)換器的對向觸點表面。這里所述的接觸裝置即前述的電連接裝置，也稱連接器。該接觸裝置與線路基板的第一觸點表面物理接觸，同時與觸點間距轉(zhuǎn)換器的對向觸點表面物理接觸。如果接觸裝置能夠補(bǔ)償線路基板與觸點間距轉(zhuǎn)換器之間由于傾斜調(diào)節(jié)而造成的角度偏差，這將是有利的。為此，接觸裝置具有靈活的結(jié)構(gòu)，這樣，當(dāng)在線路基板的基準(zhǔn)面與觸點間距轉(zhuǎn)換器的基準(zhǔn)面之間進(jìn)行傾斜調(diào)節(jié)時，接觸裝置保持著與所述線路基板的第一觸點表面之間以及觸點間距轉(zhuǎn)換器的對向觸點表面之間的物理接觸。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施形式，所述觸點間距轉(zhuǎn)換器具有第二觸點表面，該觸點表面與檢測頭的導(dǎo)電桿/觸針、尤其是撓曲觸針電接觸。所述檢測頭優(yōu)選地具有多個相互間隔的導(dǎo)向板，它具有多個優(yōu)選地由撓曲觸針形成的導(dǎo)電桿穿過的導(dǎo)向開口。所述撓曲觸針的一端與觸點間距轉(zhuǎn)換器的第二觸點表面物理接觸，而撓曲觸針的另一端則與試樣的電接觸端進(jìn)行物理接觸。這樣，在試樣的電檢測過程中，檢測裝置和試樣相互靠近，以和試樣形成物理接觸。檢測裝置和試樣要么一起運(yùn)動，要么其中的一個進(jìn)行運(yùn)動。上述運(yùn)動沿接觸頭的導(dǎo)電桿的縱向進(jìn)行。由于撓曲觸針被優(yōu)選地用作導(dǎo)電桿，它們可以通過在縱向范圍內(nèi)的撓曲來進(jìn)行長度調(diào)節(jié)。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施形式，接觸元件固定地布置在觸點間距轉(zhuǎn)換器上，以用于與試樣的物理電接觸。在前面所述的實施形式中，觸點間距轉(zhuǎn)換器具有第二觸點表面，該觸點表面與導(dǎo)電桿進(jìn)行物理接觸并進(jìn)而導(dǎo)致與試樣形成物理電接觸，與之相反，用于與試樣接觸的接觸元件固定地布置在觸點間距轉(zhuǎn)換器上。這里就沒有優(yōu)選地可拆下的檢測頭。在一個備選的實施形式中，所述接觸裝置直接固定在觸點間距轉(zhuǎn)換器上也是很有利的。接觸裝置直接與觸點間距轉(zhuǎn)換器對應(yīng)并固定于其上?？商娲?，接觸裝置也可以是一個布置在線路基板和觸點間距轉(zhuǎn)換器之間的單獨組件中的元件。本發(fā)明的另一個實施形式中設(shè)有一個第二加強(qiáng)裝置，其中，第一加強(qiáng)裝置布置在線路基板的一側(cè)，而第二加強(qiáng)裝置布置在線路基板的另一側(cè)。這樣，由于兩個加強(qiáng)裝置均與所述線路基板機(jī)械連接，線路基板在兩側(cè)均得到加強(qiáng)。優(yōu)選的是，通過相應(yīng)的壓緊裝置，使兩個加強(qiáng)裝置朝著對方壓緊，從而使線路基板以夾緊和支撐的方式固定在兩者之間。
根據(jù)本發(fā)明的一個優(yōu)選實施形式，觸點間距轉(zhuǎn)換器與第二加強(qiáng)裝置相對應(yīng)。所述第二加強(qiáng)裝置優(yōu)選地具有一個容納通孔，所述觸點間距轉(zhuǎn)換器以不接觸的方式至少局部地容納于其中。這種布置使得所述第二加強(qiáng)裝置與所述線路基板直接結(jié)合，同時，通過容納通孔使所述觸點間距轉(zhuǎn)換器與線路基板靠近。為了操縱由傾斜元件引起的觸點間距轉(zhuǎn)換器的傾斜運(yùn)動，所述觸點間距轉(zhuǎn)換器不能靠在所述第二加強(qiáng)裝置上。由于所述觸點間距轉(zhuǎn)換器以不接觸的方式處于所述第二加強(qiáng)裝置的容納通孔中，因此傾斜運(yùn)動不會受到阻礙。對于前述的傾斜調(diào)節(jié)，優(yōu)選地采用形式為螺紋螺栓的傾斜調(diào)節(jié)裝置。所述螺紋螺栓可以為調(diào)節(jié)螺栓和/或定位螺栓。所述調(diào)節(jié)螺栓用于在所述傾斜元件和所述第一加強(qiáng)裝置之間產(chǎn)生一個合適的角度位置，而所述定位螺栓則用于固定該角度位置。這樣，所述調(diào)節(jié)螺栓可調(diào)節(jié)地旋入到所述傾斜元件中，而調(diào)節(jié)螺栓的一個端部則支撐在所述第一加強(qiáng)裝置上。所述定位螺栓旋入到所述第一加強(qiáng)裝置中，其頭部以壓緊方式緊貼在所述傾斜部件上。 傾斜調(diào)節(jié)也可以以其它方式進(jìn)行。為此，可優(yōu)選地采用下方墊有塞尺片(特殊的箔，具有非常精細(xì)的厚度等級)的螺栓。該特殊箔優(yōu)選地由鋼或鋅白銅制成。所述傾斜元件優(yōu)選為傾斜板。所述線路基板優(yōu)選為電路板。所述第一和/或第二加強(qiáng)裝置優(yōu)選為板狀。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施形式，所述間隔裝置具有一個間隔套。該間隔套的一端與觸點間距轉(zhuǎn)換器緊密接觸，另一端則與傾斜元件緊密接觸。發(fā)明優(yōu)選地采用從側(cè)面使所述線路基板與觸點間距轉(zhuǎn)換器對齊的對準(zhǔn)裝置，以便通過這種方式使線路基板的第一觸點表面相對于觸點間距轉(zhuǎn)換器的對向觸點表面定位，從而使處于中間的接觸裝置(連接器)能使相互對應(yīng)的第一觸點表面和對向觸點表面之間相互電連接。根據(jù)本發(fā)明的另一個實施形式，所述傾斜調(diào)節(jié)裝置設(shè)置于所述間隔裝置上。所述傾斜調(diào)節(jié)裝置和所述第一加強(qiáng)裝置共同作用。此外，發(fā)明還優(yōu)選采用多個相互間隔開的間隔裝置。本發(fā)明還涉及一種電試樣的電檢測方法，特別是使用上述檢測裝置，該檢測裝置具有一個線路基板，該線路基板通過觸點間距轉(zhuǎn)換器和檢測頭電連接，其中，所述線路基板與一個第一加強(qiáng)裝置機(jī)械連接并由此加強(qiáng)，同時，至少一個穿過所述線路基板的間隔裝置與所述觸點間距轉(zhuǎn)換器機(jī)械連接，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置固定在所述第一加強(qiáng)裝置上。這種方法的其它優(yōu)選實施形式由權(quán)利要求提供。


根據(jù)一個典型的實施例，附圖顯示了本發(fā)明。圖I顯示了用于檢測電試樣的電檢測裝置的縱向剖面示意圖，其中檢測裝置沒有完全地顯示全部的部件。圖2顯示了圖I的檢測裝置的縱向剖面的透視圖，其中沒有顯示連接頭。圖3顯示了檢測裝置的觸點間距轉(zhuǎn)換器和傾斜元件的透視圖。圖4顯示了圖3的排列的另一個角度的透視圖。圖5顯示了穿過電檢測裝置的區(qū)域的縱向剖面示意圖，其中沒有顯示連接頭。圖6顯示了另一實施例的穿過電檢測裝置的區(qū)域的縱向剖面的透視圖。
圖7為圖6的檢測裝置的詳細(xì)視圖。圖8為圖6的檢測裝置的更詳細(xì)的視圖。
具體實施例方式圖I顯示了檢測裝置1，但沒有顯示所有的部件。檢測裝置I具有接觸頭2(也稱為檢測頭2)，接觸頭2上具有導(dǎo)電桿4，導(dǎo)電桿4被可位移地處于導(dǎo)向孔3內(nèi)，該導(dǎo)電桿4優(yōu)選為撓曲觸針。導(dǎo)電桿4具有自由端5，它可與電試樣(圖未示)的觸點物理接觸。為此， 將檢測裝置I下降到試樣上，或者試樣被抬高到檢測裝置1，或者兩者相互靠近。導(dǎo)電桿4 的另一端6與一個觸點間距轉(zhuǎn)換器7物理接觸，該觸點間距轉(zhuǎn)換器7具有支架8和電觸點間距轉(zhuǎn)換電路9。支架8優(yōu)選為金屬支架。所述觸點間距轉(zhuǎn)換電路9與所述陶瓷支架8固定連接。支架8具有一個凹槽10，所述觸點間距轉(zhuǎn)換電路9以下陷的方式容納于其中。該觸點間距轉(zhuǎn)換器7在靠近所述接觸頭2的一側(cè)具有一個基準(zhǔn)面11。一個線路基板12，優(yōu)選為印刷電路板13，非?？拷鲇|點間距轉(zhuǎn)換器7。該印刷電路板13具有多個第一觸點表面14，所述第一接觸表面與多個大表面觸點15電連接，其中，所述第一觸點表面14設(shè)置在線路基板12的一個面16上，而大表面觸點15設(shè)置在另一個面17上。在觸點間距轉(zhuǎn)換器 7和線路基板12之間設(shè)置有電接觸裝置18，該電接觸裝置18在一個絕緣支架19上具有多個電觸點20。在朝向線路基板12的面21上，觸點間距轉(zhuǎn)換器7具有多個設(shè)置在電觸點間距轉(zhuǎn)換電路9區(qū)域的對向觸點表面22，所述對向觸點表面22通過觸點20電連接至所述第一觸點表面14。在觸點間距轉(zhuǎn)換電路9區(qū)域，觸點間距轉(zhuǎn)換器7具有多個與所述對向觸點表面22電連接的第二觸點表面23。所述導(dǎo)電桿4的末端6以物理接觸的方式抵靠在所述第二接觸表面23上。從試樣(圖未示)的角度，檢測裝置I具有以下電通路，其中，為了簡便起見，這里僅描述這些通路中的一個。其它通路與描述的通路相似。當(dāng)檢測電試樣時，試樣的一個觸點與導(dǎo)電桿4的末端5形成物理接觸,導(dǎo)電桿4的另一端6與所述第二觸點表面23中的一個形成物理接觸，該第二觸點表面23在所述觸點間距轉(zhuǎn)換電路9內(nèi)通過導(dǎo)線與對向觸點表面22中的一個連接，一個觸點20的一端以物理接觸的方式靠在所述對向觸點表面22上， 所述觸點20的另一端以物理接觸的方式靠在一個所述第一觸點表面14上，該第一觸點表面14在線路基板12內(nèi)通過導(dǎo)線與大表面觸點15中的一個相連接。大表面觸點15通過電線(圖未示)連接到一個檢測裝置。很明顯，電檢測電流通路可以在檢測裝置和試樣間形成，以檢測試樣的無差錯電性能。導(dǎo)電桿4的觸點間距對應(yīng)于試樣的觸點密度。觸點間距轉(zhuǎn)換器7用于將緊密的觸點間距變?yōu)椴痪o密的觸點間距。如圖I所示，對向觸點表面22相比第二觸點表面23具有更大的相互間隔。由于大表面觸點15的觸點間距大于第一觸點表面14的觸點間距，通過所述線路基板12，第一觸點表面14的觸點間距被再次增大。為了能夠調(diào)整觸點間距轉(zhuǎn)換器7的基準(zhǔn)面11相對于線路基板12的基準(zhǔn)面24的傾斜角度，提供了一個傾斜裝置25(圖2)。線路基板12的基準(zhǔn)面24對應(yīng)于該組件的面16。圖2再次顯示了圖I的設(shè)置，但是沒有畫出接觸頭2和接觸裝置18，同時圖I中的檢測裝置I的朝下的區(qū)域在圖2中變?yōu)槌?。從圖2明顯可以看到，第一加強(qiáng)裝置26和第二加強(qiáng)裝置27與線路基板12連接。第一加強(qiáng)裝置26和線路基板12的表面17接觸。第二加強(qiáng)裝置27設(shè)置于線路基板12的表面16上。第一加強(qiáng)裝置26和第二加強(qiáng)裝置27通過夾緊裝置28相互緊靠，以使線路基板12以夾持的方式容納于兩者之間，并因此而加強(qiáng)了所述線路基板。第二加強(qiáng)裝置27具有一個容納通孔29，所述觸點間距轉(zhuǎn)換器7以不接觸的方式容納于其中。該觸點間距轉(zhuǎn)換器7被多個間隔裝置30固定在那里，這些間隔裝置30以無物理連接的方式穿過線路基板12的孔31，并延伸至一個傾斜元件32。該傾斜元件32特別地被設(shè)置為傾斜板33。該傾斜元件32通過傾斜調(diào)節(jié)裝置34可傾斜地連接于所述第一加強(qiáng)裝置26。該間隔裝置30以無物理連接的方式穿過所述第一加強(qiáng)裝置26的孔35。圖5清晰地顯示了傾斜調(diào)節(jié)裝置34的結(jié)構(gòu)。該傾斜調(diào)節(jié)裝置34具有螺紋螺栓36 和37，其中，螺紋螺栓36被設(shè)置為調(diào)節(jié)螺栓38，而螺紋螺栓37被設(shè)置為定位螺栓39。從圖3和圖4可以明顯看到，傾斜元件32具有多個相互間隔設(shè)置的調(diào)節(jié)螺栓38和定位螺栓 39，其中，每一種情形都是一個調(diào)節(jié)螺栓38鄰接一個定位螺栓39。在圖3和圖4所示的典型實施例中，傾斜元件32被設(shè)置為矩形傾斜板33，該傾斜板33包括，在傾斜板33的四個邊的區(qū)域內(nèi)的，設(shè)有一個調(diào)節(jié)螺栓38和一個定位螺栓39的突出部分40。如圖5所示，這種布置使得每一個調(diào)節(jié)螺栓38可以通過其螺紋被調(diào)節(jié)旋入傾斜元件32的螺孔41中，并且留出其一端42抵靠在所述第一加強(qiáng)裝置26的一個外部側(cè)面43 上。相關(guān)聯(lián)的定位螺栓39旋入所述第一加強(qiáng)裝置26的螺孔44中，并以拉緊方式將所述定位螺栓39的頭45抵靠在傾斜元件32上。因此，定位螺栓39朝向第一加強(qiáng)裝置26的方向推動所述傾斜元件32，以便所述調(diào)節(jié)螺栓38的末端42被朝向所述第一加強(qiáng)裝置26的外側(cè)43壓緊。容易看出，源自第一加強(qiáng)裝置26的傾斜元件32的間隔位置可以根據(jù)調(diào)節(jié)螺栓 38的伸出長度，即旋入深度，而被調(diào)節(jié)。由于提供了多對調(diào)節(jié)螺栓38和定位螺栓39，并考慮到其相對于所述第一加強(qiáng)裝置26的傾斜角度，傾斜元件32的位置可以通過傾斜調(diào)節(jié)裝置34被調(diào)節(jié)到需要的位置。由于傾斜元件32通過間隔裝置30被牢固地連接于觸點間距轉(zhuǎn)換器7，當(dāng)傾斜元件32的傾斜角度被調(diào)節(jié)時，觸點間距轉(zhuǎn)換器7的位置，特別是傾斜位置， 被改變。緊接著，通過傾斜調(diào)節(jié)裝置34，觸點間距轉(zhuǎn)換器7的基準(zhǔn)面11可以相對于線路基板12的基準(zhǔn)面24被調(diào)節(jié)。此外，從圖2-5中可以看出，對準(zhǔn)裝置46顯示為定位銷47的形式，用于對線路基板12相對于觸點間距轉(zhuǎn)換器7進(jìn)行側(cè)向?qū)?zhǔn)。這種對準(zhǔn)也稱為對正，以確保第一觸點表面 14以正確的方式在所述印刷電路板13的板的延伸方向上與對向觸點表面22對齊。這樣, 棒狀對準(zhǔn)裝置46，優(yōu)選的非圓形，最好是截面為橢圓形，插入對應(yīng)的線路基板12的導(dǎo)向孔 48和觸點間距轉(zhuǎn)換器7的導(dǎo)向孔49。所述對準(zhǔn)裝置46通過固定螺栓50被固定于傾斜元件32。這些導(dǎo)向孔48和導(dǎo)向孔49構(gòu)成了棒狀對準(zhǔn)裝置46的通道。對準(zhǔn)裝置46以不接觸的方式穿過所述第一加強(qiáng)裝置26的孔51。隨后，由于間隔裝置30(優(yōu)選為間隔套)的存在，在觸點間距轉(zhuǎn)換器7和傾斜元件 32之間確保了一個確定的間隔。所述觸點間距轉(zhuǎn)換電路9優(yōu)選不可分離地與支架8連接， 優(yōu)選為粘接。具體地，四個調(diào)節(jié)螺栓38將它們的末端42壓向也被稱為背部加強(qiáng)件的第一加強(qiáng)裝置26，。因此，使用這四根調(diào)節(jié)螺栓38可以調(diào)節(jié)所述傾斜元件32和第一加強(qiáng)裝置26 之間的間隔。由于所述第一加強(qiáng)裝置26被牢固地連接于線路基板12，而所述傾斜元件32 固定于所述觸點間距轉(zhuǎn)換器7，所述調(diào)節(jié)螺栓38可以用于調(diào)節(jié)/設(shè)定觸點間距轉(zhuǎn)換器7的基準(zhǔn)面11以及線路基板12的基準(zhǔn)面24之間的角度。在設(shè)置了基準(zhǔn)面11和基準(zhǔn)面24之間的角度后，擰緊定位螺栓39。這樣就使相對于對方調(diào)節(jié)后的基準(zhǔn)面11和基準(zhǔn)面24固定下來。圖6-8涉及檢測裝置的另一個優(yōu)選實施例。圖1-5的實施例的描述在本實施例中也可以使用，因此，下文將僅描述兩者的區(qū)別。與已描述過的實施例相比，圖6-8的實施例不使用傾斜元件。圖6顯示了本實施例的檢測裝置I的一部分，其中，圖6的角度相對于圖 2所示的實施例旋轉(zhuǎn)了 180度，由圖可見，多個顯示為相互間隔的螺紋螺栓60的形式的間隔裝置30被固定于觸點間距轉(zhuǎn)換器7上。螺紋螺栓60具有頭部61，通過將螺紋螺栓60旋入觸點間距轉(zhuǎn)換器7的螺孔63中，頭部61被緊密地抵靠于觸點間距轉(zhuǎn)換器7的容納孔62 中。螺紋螺栓60的軸64綽綽有余的穿過線路基板12的導(dǎo)向孔48，到達(dá)第一加強(qiáng)裝置26 的容納孔65。如圖7所示，每個容納孔65均具有一個內(nèi)螺紋的大直徑部分66，一個鄰接大直徑部分66的沒有螺紋的較小直徑部分67，以及一個同樣沒有螺紋的更小直徑的部分68。所述部分68可以相對于關(guān)聯(lián)的螺紋螺栓60的軸64自由運(yùn)動。旋上螺紋螺栓60的是一個螺帽69，其凸緣70抵靠在臺階71’上。該臺階71’位于部分66和部分67之間。位于凸緣 70的另一側(cè)的是一個螺環(huán)71，該螺環(huán)71具有外螺紋，并旋入部分66的內(nèi)螺紋。螺環(huán)71的內(nèi)部覆蓋了螺帽69的連接端口 73。在螺住的情況下，螺環(huán)71朝向臺階71’壓緊螺帽69。從這里顯然可以看出，將螺帽69旋上各自相應(yīng)的螺紋螺栓60適當(dāng)?shù)木嚯x，觸點間距轉(zhuǎn)換器7可以以相對于線路基板12適當(dāng)?shù)膬A斜角度被調(diào)整，其中，通過旋緊相關(guān)的螺環(huán) 71，相應(yīng)的螺帽可以被固定。與圖1-5所示的實施例明顯不同，從圖6-8可以明顯看到，觸點間距轉(zhuǎn)換電路9沒有與容納孔10粘接，而是插入到支架8的容納孔10中，并通過凸出的夾板75的方式固定， 所述夾板75由固定螺栓74固定。夾板75伸出所述觸點間距轉(zhuǎn)換電路9。為保持觸點間距轉(zhuǎn)換電路9在長方形或正方形凹槽10中的可靠定位，凹槽10的兩側(cè)均設(shè)置了夾緊彈簧 76’所述夾緊彈簧76迫使觸點間距轉(zhuǎn)換電路9緊貼在凹槽10的相對的邊緣77上，從而確保高精確度的定位。觸點間距轉(zhuǎn)換電路9的定位方法當(dāng)然也可以由圖1-5的實施例來提供。當(dāng)然，圖 6-8的實施例也可以使用粘接的觸點間距轉(zhuǎn)換電路9。由于減少了傾斜板，圖6-8的實施例的檢測裝置I的結(jié)構(gòu)高度更低。由于不使用傾斜板，該實施例也更經(jīng)濟(jì)。
權(quán)利要求
1.一種用于檢測電試樣的電檢測裝置(1)，包括一個線路基板(12)，該線路基板通過一個觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)電連接至一個檢測頭(2)，所述線路基板(12)機(jī)械連接至一個第一加強(qiáng)裝置(26)并因此得到加強(qiáng)，其特征在于多個間隔裝置(30)機(jī)械連接至所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置(34)固定于所述第一加強(qiáng)裝置(26)，所述間隔裝置 (30)相互間隔開，穿過所述線路基板(12)并設(shè)置為螺紋螺栓(60)，螺紋螺栓(60)的軸(64)留有余隙地穿過線路基板(12)的導(dǎo)向孔(48)，嚙合進(jìn)第一加強(qiáng)裝置(26)的各自的容納孔(65)，每個容納孔￠5)均具有一個內(nèi)螺紋的大直徑部分(66)，一個鄰接大直徑部分￠6)的沒有螺紋的較小直徑部分￠7)，以及一個同樣沒有螺紋的更小直徑的部分(68)，其中，所述更小直徑的部分￠8)相對于相聯(lián)的螺紋螺栓￠0)的軸￠4)具有間隙，螺帽(69)旋在螺紋螺栓(60)上，該螺帽(69)利用凸緣(70)抵靠在臺階(71，)上，該臺階(71’ )位于大直徑部分(66)和較小直徑部分(67)之間，螺環(huán)(71)位于凸緣(70)的另一側(cè)，該螺環(huán)(71)具有外螺紋(72)，該外螺紋(72)旋入大直徑部分￠6)的內(nèi)螺紋，以及螺環(huán)(71)在旋緊的情況下朝向臺階(71’ )壓緊螺帽(69)。
2.如權(quán)利要求I所述的電檢測裝置，其特征在于螺環(huán)(71)的內(nèi)部覆蓋螺帽(69)的連接端口(73)。
3.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述線路基板(12)包括第一觸點表面(14)，所述第一觸點表面(14)通過接觸裝置(18)連接至所述觸點間距轉(zhuǎn)換器⑵的對向觸點表面(22)。
4.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述接觸裝置(18)補(bǔ)償由傾斜調(diào)節(jié)引起的所述線路基板(12)和所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)之間的角度偏差。
5.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)包括一個第二觸點表面(23)，所述第二觸點表面(23)與檢測頭(2)的導(dǎo)電桿/接觸針(4)、優(yōu)選為撓曲觸針電接觸。
6.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于用于與所述電試樣物理電接觸的接觸元件固定地布置在所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)上。
7.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述接觸裝置(18)直接固定布置在所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)上。
8.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于還具有一個第二加強(qiáng)裝置(27)，其中，所述第一加強(qiáng)裝置(26)設(shè)置于所述線路基板(12)的一個面上，而所述第二加強(qiáng)裝置(27)設(shè)置于所述線路基板(12)的另一個面上。
9.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)分配給所述第二加強(qiáng)裝置(27)。
10.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述第二加強(qiáng)裝置(27)具有一個容納孔(29)，所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)以不接觸的方式至少局部容納于其中。
11.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述線路基板(12)配置成一個印刷電路板(13)。
12.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于所述第一加強(qiáng)裝置 (26)和/或所述第二加強(qiáng)裝置(27)配置成板形。
13.如前述權(quán)利要求中任一項所述的電檢測裝置，其特征在于還設(shè)有一個對準(zhǔn)裝置 (46)，從側(cè)面使所述線路基板(12)與所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)對齊。
14.一種電試樣的電檢測方法，使用前述一項或多項權(quán)利要求所述的檢測裝置(1)，所述檢測裝置(I)包括一個線路基板(12)，所述線路基板(12)通過一個觸點間距轉(zhuǎn)換器(7) 電連接至一個檢測頭(2)，其中，所述線路基板(12)機(jī)械連接至一個第一加強(qiáng)裝置(26)并由此得到加強(qiáng)，其特征在于多個穿過所述線路基板(12)的間隔裝置(30)機(jī)械連接至所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置(34)固定于所述第一加強(qiáng)裝置(26)，所述間隔裝置(30)相互間隔開，穿過所述線路基板(12)并設(shè)置為螺紋螺栓(60)，螺紋螺栓(60)的軸(64)留有余隙地穿過線路基板(12)的導(dǎo)向孔(48)，嚙合進(jìn)第一加強(qiáng)裝置(26)的各自的容納孔(65)，每個容納孔￠5)均具有一個內(nèi)螺紋的大直徑部分(66)，一個鄰接大直徑部分￠6)的沒有螺紋的較小直徑部分￠7)，以及一個同樣沒有螺紋的更小直徑的部分(68)，其中，所述更小直徑的部分￠8)相對于相聯(lián)的螺紋螺栓￠0)的軸￠4)具有間隙，螺帽(69)旋在螺紋螺栓(60)上，該螺帽(69)利用凸緣(70)抵靠在臺階(71，)上，該臺階(71’ )位于大直徑部分(66)和較小直徑部分(67)之間，螺環(huán)(71)位于凸緣(70)的另一側(cè)，該螺環(huán)(71)具有外螺紋(72)，該外螺紋(72)旋入大直徑部分￠6)的內(nèi)螺紋，以及通過將螺帽(69)旋接各自相應(yīng)的螺紋螺栓(60)適當(dāng)?shù)木嚯x，觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)以相對于線路基板(12)期望的傾斜角度被調(diào)整，其中，通過旋緊相應(yīng)的螺環(huán)(71)而固定相應(yīng)的螺帽(69)的位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于檢測電試樣的電檢測裝置，包括一個線路基板，該線路基板通過一個觸點間距轉(zhuǎn)換器與一個檢測頭電連接，其中，所述線路基板與一個第一加強(qiáng)裝置機(jī)械連接并因此得到加強(qiáng)。至少一個穿過所述線路基板(12)的間隔裝置(30)機(jī)械連接至所述觸點間距轉(zhuǎn)換器(7)，并通過傾斜調(diào)節(jié)裝置(34)固定在所述第一加強(qiáng)裝置(26)上。
文檔編號G01R1/073GK102590569SQ20121005409
公開日2012年7月18日 申請日期2009年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月26日
發(fā)明者米夏埃爾·霍洛謝爾, 西爾維婭·埃爾勒, 貝里斯拉夫·科皮拉斯, 貢特爾·伯姆 申請人:精煉金屬股份有限公司