專利名稱：基板檢測裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉 及液晶面板技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板檢測裝置及方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)是利用液晶材料的特性來顯示圖像的一種平板顯示裝置(Flat Panel Display, FPD)，其相較于其他顯示裝置而言具輕薄、低驅(qū)動(dòng)電壓及低功耗等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為整個(gè)消費(fèi)市場上的主流產(chǎn)品。液晶面板是液晶顯示器最主要的組成元件，液晶面板的制作工藝主要為將薄膜式晶體管陣列基板及彩色濾光片基板貼合，并將液晶層設(shè)置在兩基板之間。該薄膜式晶體管陣列基板及彩色濾光片基板均為在基板上通過沉積薄膜層、曝光、蝕刻等制程而形成?；逶谶M(jìn)行上述制程時(shí)，若基板上粘附有雜質(zhì)，會(huì)對上述制程產(chǎn)生不良影響甚至是造成基板報(bào)廢，嚴(yán)重影響液晶面板的良率，造成基板的浪費(fèi)。而玻璃碎屑則是對液晶面板的良率影響最大的雜質(zhì)，因此，急切需要一種能快速檢測基板上是否存在玻璃碎屑的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種基板檢測裝置，旨在快速地檢測出基板上是否存在玻璃屑。本發(fā)明提供了一種基板檢測裝置，包括光源、光檢測裝置，所述光源、光檢測裝置均設(shè)置在基板的同一側(cè)，且所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向呈夾角設(shè)置。優(yōu)選地，所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。優(yōu)選地，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為 70-110。。優(yōu)選地，光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90。。優(yōu)選地，還包括控制裝置，所述控制裝置與光檢測裝置連接，用于控制光檢測裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明還提供了一種基板檢測方法，包括以下步驟將基板置于檢測臺(tái)上；將光源放置及光檢測裝置放置在基板的同一側(cè)，且光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測裝置接收光線的方向呈夾角設(shè)置，并開啟光源及光檢測裝置；若光檢測裝置檢測到光信號(hào)，則返回存在玻璃屑的結(jié)果信息。優(yōu)選地，所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。優(yōu)選地，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為 70-110。。
優(yōu)選地，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90°。優(yōu)選地，還包括在開啟光源及光檢測裝置后，控制光檢測裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明通過 設(shè)置光源及光檢測裝置的恰當(dāng)位置，使光檢測裝置可以僅接收到光源經(jīng)過玻璃屑發(fā)生折射的光線，從而可以快速地檢測出基板上是否存在玻璃屑。


圖I是本發(fā)明基板檢測裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明基板檢測裝置中光源照射有玻璃屑的基板后的光線的路徑示意圖；圖3是本發(fā)明基板檢測方法一實(shí)施例的流程示意圖；圖4是本發(fā)明基板檢測方法另一實(shí)施例的流程示意圖。本發(fā)明目的的實(shí)現(xiàn)、功能特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將結(jié)合實(shí)施例，參照附圖做進(jìn)一步說明。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合說明書附圖及具體實(shí)施例進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。圖I是本發(fā)明提出的一種基板檢測裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。參照圖I，該基板檢測裝置包括光源I、光檢測裝置2，其用于檢測基板3，所述光源
I、光檢測裝置2均設(shè)置在基板3的同一側(cè)，且所述光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板3呈夾角設(shè)置，所述光檢測裝置2接收光線的方向與光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向呈夾角設(shè)置。上述基板檢測裝置，在光源I發(fā)出的光線，遇到其他雜質(zhì)，可能會(huì)反射或被吸收；而遇到玻璃屑時(shí)則會(huì)發(fā)生折射，如圖2所示。因此，將光檢測裝置2設(shè)置在適當(dāng)?shù)奈恢?，即使其僅能接收到經(jīng)過玻璃屑發(fā)生折射后的光線，而不能接收經(jīng)基板3或其他雜質(zhì)發(fā)生反射的光線，從而可以快速檢測出基板3上是否有玻璃屑。上述光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板3的夾角為0-90°，光檢測裝置2接受光線的方向與基板3的夾角為0-90°。上述光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測裝置2接收光線的方向形成的夾角為70-110°。其中，該夾角優(yōu)選為90°。為了使得光檢測裝置2能夠更準(zhǔn)確的檢測玻璃屑，上述基板檢測裝置還可以包括控制裝置(圖中未示出)，所述控制裝置與光檢測裝置2連接，用于控制光檢測裝置2以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。如圖2所示，其是本發(fā)明基板檢測裝置中光源照射有玻璃屑的基板后的光線的路徑示意圖。控制光檢測裝置2相對于基板3進(jìn)行上、下、左、右方向上的運(yùn)動(dòng)。當(dāng)然，在運(yùn)動(dòng)時(shí)，光檢測裝置2接收光線的方向與光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角必須在70-110°。另外，該光檢測裝置2也可以設(shè)置多個(gè)，例如兩個(gè)，以光源為中心呈對稱結(jié)構(gòu)。圖3是本發(fā)明基板檢測方法一實(shí)施例的流程示意圖。參照圖3，該基板檢測方法，包括以下步驟步驟SOI、將基板3置于檢測臺(tái)上；步驟S02、將光源I及光檢測裝置2分別放置在基板3的同一側(cè)，且光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板3呈夾角設(shè)置，光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測裝置2接收光線的方向呈夾角設(shè)置，并開啟光源I及光檢測裝置2 ；上述光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板3的夾角為0-90°，光檢測裝置2接受光線的方向與基板3的夾角為0-90°。上述光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測裝置2接收光線的行進(jìn)方向之間的夾角為70-110°。其中，該夾角優(yōu)選為90°。步驟S03、若光檢測裝置2檢測到光信號(hào)，則返回存在玻璃屑的結(jié)果信息。上述基板檢測方法，主要利 用了光的物理特性，即光源I發(fā)出的光線，遇到其他雜質(zhì)，可能會(huì)反射或被吸收；而遇到玻璃屑時(shí)則會(huì)發(fā)生折射，如圖2所示。因此，將光檢測裝置2設(shè)置在適當(dāng)?shù)奈恢茫词蛊鋬H能接收到經(jīng)過玻璃屑發(fā)生折射后的光線，而不能接收經(jīng)基板3或其他雜質(zhì)發(fā)生反射的光線，從而可以快速檢測出基板3上是否有玻璃屑。參照圖4，其為本發(fā)明基板檢測方法另一實(shí)施例的流程示意圖。在上述方法實(shí)施例的基礎(chǔ)上，本實(shí)施例基板檢測方法中，步驟S02之后還包括步驟S04、控制光檢測裝置2以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。為了使得光檢測裝置2能夠更準(zhǔn)確的檢測玻璃屑，可以通過控制裝置來控制光檢測裝置2以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。如圖2所示，可以控制光檢測裝置2相對于基板進(jìn)行上、下、左、右的運(yùn)動(dòng)。當(dāng)然，在運(yùn)動(dòng)時(shí)，光檢測裝置2接收到的折射光線的行進(jìn)方向與光源I發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角必須在70-110°。另外，該光檢測裝置2也可以設(shè)置多個(gè)，例如兩個(gè)，以光源為中心呈對稱結(jié)構(gòu)。以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并非因此限制其專利范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種基板檢測裝置，其特征在于，包括光源、光檢測裝置，所述光源、光檢測裝置均設(shè)置在基板的同一側(cè)，且所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向呈夾角設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為70-110°。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測裝置，其特征在于，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90°。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的基板檢測裝置，其特征在于，還包括控制裝置，所述控制裝置與光檢測裝置連接，用于控制光檢測裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。
6.一種基板檢測方法，其特征在于，包括以下步驟 將基板置于檢測臺(tái)上； 將光源放置及光檢測裝置放置在基板的同一側(cè)，且光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與光檢測裝置接收光線的方向呈夾角設(shè)置，并開啟光源及光檢測裝置； 若光檢測裝置檢測到光信號(hào)，則返回存在玻璃屑的結(jié)果信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢測方法，其特征在于，所述光源發(fā)出的光線行進(jìn)方向與基板的夾角為0-90°。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測方法，其特征在于，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為70-110°。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測方法，其特征在于，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向形成的夾角為90°。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項(xiàng)所述的基板檢測方法，其特征在于，還包括 在開啟光源及光檢測裝置后，控制光檢測裝置以預(yù)置的軌跡運(yùn)動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明公開一種基板檢測裝置及方法，該基板檢測裝置包括光源、光檢測裝置，所述光源、光檢測裝置均設(shè)置在基板的同一側(cè)，且所述光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向與基板呈夾角設(shè)置，所述光檢測裝置接收光線的方向與光源發(fā)出的光線的行進(jìn)方向呈夾角設(shè)置。本發(fā)明通過設(shè)置光源及光檢測裝置的合適位置，使光檢測裝置可以僅接收到光源經(jīng)過玻璃屑發(fā)生折射的光線，從而可以快速地檢測出基板上是否存在玻璃屑。
文檔編號(hào)G01N21/88GK102621149SQ20121007557
公開日2012年8月1日 申請日期2012年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月21日
發(fā)明者鄭文達(dá) 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司