專(zhuān)利名稱(chēng)：微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀附件，尤其涉及一種微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具。
背景技術(shù)：
目前，雖然可以通過(guò)測(cè)量半導(dǎo)體材料表面電導(dǎo)率激光照射前后微波阻抗的變化，測(cè)得材料的少數(shù)載流子壽命。但是，由于沒(méi)有一種專(zhuān)用的夾具，導(dǎo)致整個(gè)測(cè)試裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、使用不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具。本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，包括一段90°的彎波導(dǎo)，所述彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開(kāi)口端，所述開(kāi)口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，所述測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽；所述彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導(dǎo)的開(kāi)口端。由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，由于包括一段90°的彎波導(dǎo)，彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開(kāi)口端，開(kāi)口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽；彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，小孔裝有激光發(fā)射器，激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向彎波導(dǎo)的開(kāi)口端?？梢酝ㄟ^(guò)測(cè)量半導(dǎo)體材料表面電導(dǎo)率激光照射前后微波阻抗的變化，測(cè)得材料的少數(shù)載流子壽命，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便。


圖I為本發(fā)明實(shí)施例提供的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例中專(zhuān)用測(cè)量夾具的應(yīng)用連接結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、90°的彎波導(dǎo)，2、測(cè)試參考面，3、抗流槽，4、微波反射計(jì)連接端，5、小孔，
6、激光發(fā)射器。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，其較佳的具體實(shí)施方式
是包括一段90°的彎波導(dǎo)，所述彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開(kāi)口、端，所述開(kāi)口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，所述測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽；所述彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導(dǎo)的開(kāi)口端。所述激光發(fā)射器的發(fā)射中心線(xiàn)與所述彎波導(dǎo)的開(kāi)口端的中心軸線(xiàn)重合。所述小孔構(gòu)成一段截止圓波導(dǎo)。所述90°的彎波導(dǎo)可以為E面彎波導(dǎo)或H面彎波導(dǎo)。所述微波反射計(jì)包括微波源，所述微波源通過(guò)定向器件與所述彎波導(dǎo)連接。所述定向器件的輸出端通過(guò)檢波器可以與示波器和/或計(jì)算機(jī)連接。本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，以波導(dǎo)開(kāi)口端為測(cè)試參考 面，可以通過(guò)測(cè)量半導(dǎo)體材料表面電導(dǎo)率激光照射前后微波阻抗的變化，測(cè)得材料的少數(shù)載流子壽命。具體實(shí)施例如圖I所示，測(cè)量夾具是一段90°的彎波導(dǎo)(E面彎或H面彎波導(dǎo))，一端接微波反射計(jì)，一端為帶有抗流槽的開(kāi)口端，被測(cè)材料置于開(kāi)口端(即測(cè)試參考面)?？沽鞑郾ＷC被測(cè)材料表面與測(cè)試端面良好的電接觸。在正對(duì)測(cè)試端波導(dǎo)內(nèi)拐彎處內(nèi)壁的小孔中，裝有激光發(fā)射器，實(shí)現(xiàn)對(duì)端接于測(cè)試端面半導(dǎo)體材料的激光(脈沖或連續(xù)波)照射。對(duì)所使用的微波頻率，小孔相當(dāng)于一段截止圓波導(dǎo)，不會(huì)造成微波泄漏及與激光器間的耦合。如圖2所示，微波反射計(jì)包括微波源、定向器件等，定向器件與本發(fā)明的專(zhuān)用測(cè)量夾具(或稱(chēng)傳感器)和檢波器分別連接。檢波輸出可以接示波器，根據(jù)激光照射前后波形變化讀出少數(shù)載流子壽命；也可以接計(jì)算機(jī)通過(guò)數(shù)據(jù)采集和處理得到少數(shù)載流子壽命。本發(fā)明的專(zhuān)用測(cè)量夾具可以涵蓋所有矩形波導(dǎo)的各頻段。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，其特征在于，包括一段90°的彎波導(dǎo)，所述彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開(kāi)口端，所述開(kāi)口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，所述測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽； 所述彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導(dǎo)的開(kāi)口端。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，其特征在于，所述激光發(fā)射器的發(fā)射中心線(xiàn)與所述彎波導(dǎo)的開(kāi)口端的中心軸線(xiàn)重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，其特征在于，所述小孔構(gòu)成一段截止圓波導(dǎo)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，其特征在于，所述微波反射計(jì)包括微波源，所述微波源通過(guò)定向器件與所述彎波導(dǎo)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，其特征在于，所述定向器件的輸出端通過(guò)檢波器與示波器和/或計(jì)算機(jī)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，其特征在于，所述90°的彎波導(dǎo)為E面彎波導(dǎo)或H面彎波導(dǎo)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專(zhuān)用測(cè)量夾具，包括一段90°的彎波導(dǎo)，彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開(kāi)口端，開(kāi)口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽；彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，小孔裝有激光發(fā)射器，激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向彎波導(dǎo)的開(kāi)口端?？梢酝ㄟ^(guò)測(cè)量半導(dǎo)體材料表面電導(dǎo)率激光照射前后微波阻抗的變化，測(cè)得材料的少數(shù)載流子壽命，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便。
文檔編號(hào)G01R1/04GK102645560SQ201210089039
公開(kāi)日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2012年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月29日
發(fā)明者劉中生, 劉雯蕊, 彭越 申請(qǐng)人:北京大華無(wú)線(xiàn)電儀器廠(chǎng)