專利名稱：燈模塊，尤其是用于光譜分析裝置的燈模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種燈模塊，尤其是用于光譜分析裝置的燈模塊，包括燈座體，該燈座體為了容納具有由合成石英玻璃制成的燈泡的氘燈而具有帶光束輸出開(kāi)口的空腔，所述光束輸出開(kāi)口被光學(xué)透射兀件封閉。
背景技術(shù)：
從期望波長(zhǎng)范圍中連續(xù)且無(wú)線(line-free)的光譜意義講，光譜分析裝置要求高的光學(xué)穩(wěn)定性。氘燈是用于UV光譜學(xué)的優(yōu)選輻射源，因?yàn)樗鼈儼l(fā)射在ISOnm到大約400nm的范圍中的非常強(qiáng)的UV輻射。為了覆蓋更寬的光譜，具有延伸到可見(jiàn)范圍中的光譜的第二燈一通常是鹵素?zé)粢贿B接到氘燈。這種復(fù)合燈模塊的光譜位于180nm和I IOOnm之間的波長(zhǎng)范圍中。 使用氘燈時(shí)的一個(gè)問(wèn)題是，由于氘等離子體的輻射分量低于190nm，會(huì)形成臭氧。這個(gè)問(wèn)題可以通過(guò)選擇特殊的硼硅酸鹽玻璃一所謂的“UV玻璃” 一來(lái)解決，所述硼硅酸鹽玻璃吸收具有比針對(duì)氘燈燈泡的190nm更小波長(zhǎng)的輻射。但是，UV玻璃沒(méi)有陡削的吸收曲線，而是朝向長(zhǎng)波范圍逐漸變得平坦。因此，190nm和280nm之間的一部分工作輻射仍然在燈泡中被吸收，因此不可用于光譜分析的目的。氘燈的另一種變體使用由合成石英玻璃制成的燈泡，其被完全或部分覆蓋了充當(dāng)針對(duì)190nm以下波長(zhǎng)的干涉或吸收濾波器的層。這種燈類型被定義為“無(wú)臭氧”型，因?yàn)椴粫?huì)從燈泡發(fā)射產(chǎn)生臭氧的波長(zhǎng)的輻射。但是，在燈泡上直接施加臭氧抑制濾波層非常麻煩，而且為燈模塊的進(jìn)一步構(gòu)造提供的凈空空間非常小。市售的還有不帶臭氧濾波器的氘燈，其中，為了在短波光譜范圍中運(yùn)行，將產(chǎn)生的臭氧強(qiáng)制去除到外部，或者所謂的臭氧吸收器在臭氧被釋放到環(huán)境中之前阻擋臭氧。德國(guó)公開(kāi)的專利申請(qǐng)DE 3902144A1公開(kāi)了一種具有石英玻璃燈泡的氘燈。燈泡中透射所生成的輻射的部分在其外側(cè)上被臭氧抑制濾波器覆蓋。這涉及到具有分層構(gòu)造的干涉濾波器，其中各層是在高真空系統(tǒng)中通過(guò)汽相沉積施加的。使用薄膜技術(shù)的這些沉積方法花費(fèi)高昂且沒(méi)有不受限制的適用性，尤其是對(duì)于在彎曲表面上產(chǎn)生均質(zhì)的層結(jié)構(gòu)而言。此外，這些直接在燈泡表面上的濾波層的熱負(fù)載在運(yùn)行期間非常高，從而在生產(chǎn)期間，并且尤其是長(zhǎng)期使用這些燈期間濾波器可能已經(jīng)被損壞。此外，歐洲專利申請(qǐng)公開(kāi)EP 1186828A1公開(kāi)了一種沒(méi)有臭氧濾波器的氘燈。燈泡容納在由鋁制成的燈座體中，通過(guò)冷卻通風(fēng)機(jī)利用來(lái)自后側(cè)的空氣流對(duì)該燈座體進(jìn)行強(qiáng)制通風(fēng)冷卻。燈泡周圍的燈座體被完全封閉到一個(gè)小的開(kāi)口，其裝有用于光束輸出的聚光透鏡。在燈外殼的光束輸出窗口處存在連接件，其向外引導(dǎo)福射。通風(fēng)機(jī)的空氣流實(shí)質(zhì)上使燈座體冷卻或回火，但未達(dá)到管狀光束輸出開(kāi)口中的短波輻射，從而那里以及燈泡上不會(huì)直接產(chǎn)生臭氧。但是，因?yàn)檫@種燈從光束輸出開(kāi)口向外發(fā)射的光譜還包括小于ISOnm的波長(zhǎng)，所以未防止在燈模塊外部形成臭氧。歐洲專利申請(qǐng)公開(kāi)EP 1201984A1也公開(kāi)了一種類似的燈設(shè)計(jì)。但是，在這里，除了氘燈之外，還提供了鹵素?zé)簦员阌姓箤挼牟ㄩL(zhǎng)光譜可用于光譜分析。這樣的系統(tǒng)也稱為UV-VIS模塊，因?yàn)楣庾V擴(kuò)展到可見(jiàn)范圍中(VIS=可見(jiàn))。氘燈和鹵素?zé)舯灰粋€(gè)接一個(gè)地布置在公共光軸上。氘燈燈泡的燈座體在光軸中具有公共光束輸出開(kāi)口和用于布置于氘燈后方的鹵素?zé)舻妮椛涞墓馐斎腴_(kāi)口。兩個(gè)燈泡也可以容納在同一燈座體中。在這里，通過(guò)通風(fēng)機(jī)的冷卻也布置于燈外殼的后側(cè)，并且不作用于從光束輸出開(kāi)口發(fā)射的輻射。因?yàn)槲刺峁┏粞鯙V波器一在根據(jù)EP 1186828A1的燈中也是如此，所以僅抑制了燈內(nèi)部的臭氧形成，但燈外部并未得到抑制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明基于如下目標(biāo)提供一種具有帶臭氧濾波器的氘燈的燈模塊，該燈模塊呈現(xiàn)出長(zhǎng)使用壽命，可以經(jīng)濟(jì)地制造，并且確保了在190nm到250nm的波長(zhǎng)范圍中的高強(qiáng)度。
從開(kāi)頭提到的一般類型的氘燈開(kāi)始，根據(jù)本發(fā)明通過(guò)如下方式實(shí)現(xiàn)這個(gè)目的在光束輸出開(kāi)口中并且在光學(xué)透射元件面對(duì)氘燈的一側(cè)上提供VUV邊緣濾波器。在根據(jù)本發(fā)明的氘燈中，使用了由合成石英玻璃制成的燈泡，該燈泡確保了即使在直到大約150nm的短波范圍中都有優(yōu)異的UV透射。該VUV邊緣濾波器吸收波長(zhǎng)小于190nm的短波UV輻射，否則該短波UV輻射可能導(dǎo)致在燈模塊外部形成臭氧。因此可以取消對(duì)應(yīng)的用臭氧濾波器涂覆石英玻璃燈泡的步驟。因此，在燈模塊的外殼或燈座體中布置燈泡有很多可能性。因此，石英玻璃燈泡是代表用于產(chǎn)生燈模塊的經(jīng)濟(jì)構(gòu)件的標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)件?？s寫(xiě)VUV表示真空紫外線，并且指定從大約IOOnm直到大約190nm的光譜范圍。因?yàn)闊襞荼粺糇w圍繞并具有針對(duì)外部空氣的密封，所以在石英玻璃燈泡和外殼內(nèi)部之間僅封入少量的空氣。在這個(gè)狹窄有限的空間中，可能由于從石英玻璃燈泡發(fā)射的短波輻射而形成臭氧并在那里非常迅速地導(dǎo)致飽和氣氛，該飽和氣氛幾乎沒(méi)有對(duì)流，因此對(duì)源自燈模塊的輻射的穩(wěn)定性沒(méi)有影響。決定性重要的是，由于VUV邊緣濾波器布置于光束輸出開(kāi)口中，通過(guò)銳化濾除小于190nm的波長(zhǎng)范圍，防止了在燈模塊的外部環(huán)境中形成臭氧。因此，濾波器在高于190nm的波長(zhǎng)范圍中呈現(xiàn)出高透射，從而對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的燈模塊的大多數(shù)應(yīng)用來(lái)說(shuō)，可用于光譜分析目的的光譜足夠大。由于濾波器布置為與石英玻璃燈泡表面間隔開(kāi)，所以這種布置熱負(fù)載低，這顯著增加了其使用壽命并因此還增加了整個(gè)燈模塊的使用壽命。封閉光束輸出開(kāi)口的光學(xué)透射元件例如涉及聚光透鏡或僅僅充當(dāng)光學(xué)窗口的簡(jiǎn)單圓盤(pán)。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，將燈泡插入燈座體的空腔中，同時(shí)留有間隙，該間隙的間隙寬度處于0. 5mm到5mm的波長(zhǎng)范圍中。此外，已經(jīng)證明有利的是，光學(xué)透射元件在光束輸出開(kāi)口中布置為與燈泡有最大20mm的間隔。通過(guò)燈泡周圍空間和用于光束解耦的這種幾何設(shè)計(jì)，使得這個(gè)體積中的臭氧形成效果被最小化。在這種布置中，迅速達(dá)到臭氧氣氛的飽和，從而不會(huì)對(duì)發(fā)射的輻射產(chǎn)生時(shí)變效果。通過(guò)飽和臭氧氣氛內(nèi)的最短可能光程長(zhǎng)度，由于200nm到300nm范圍中的臭氧吸收而導(dǎo)致的任何強(qiáng)度損失都被最小化。此外，在可冷卻的燈座體與燈泡表面具有小間隔時(shí)，產(chǎn)生最佳的冷卻效果。如果將間隙保持在真空下或用無(wú)氧氣體填充，則可以實(shí)現(xiàn)在對(duì)燈座體內(nèi)的臭氧形成實(shí)現(xiàn)完全抑制方面的進(jìn)一步優(yōu)化。氮?dú)饣蛏踔炼栊詺怏w適于作為無(wú)氧氣體。優(yōu)選地，將燈座體形成為金屬冷卻體。根據(jù)燈模塊的運(yùn)行，燈泡迅速變得非常熱并且必須要進(jìn)行冷卻。如果燈座體由金屬一例如鋁成分一制成，則導(dǎo)熱性良好的金屬充當(dāng)冷卻體，從而可以取消額外的通風(fēng)或其他冷卻措施，實(shí)現(xiàn)燈模塊的經(jīng)濟(jì)運(yùn)行。在優(yōu)選實(shí)施例中，邊緣濾波器在光束輸出開(kāi)口中直接布置于光學(xué)透射兀件的表面上。本實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)是，在該光學(xué)系統(tǒng)中，相對(duì)于單獨(dú)的邊緣濾波器，輻射必須通過(guò)的或吸收輻射的邊界面的數(shù)量減少，并且比較起來(lái)可用輻射的部分高出大約8%。此外，可以通過(guò)經(jīng)濟(jì)的方法在透鏡或光滑窗口上沉積這樣的邊緣濾波器。對(duì)該邊緣濾波器布置的替代方案在于，濾波器在光束輸出開(kāi)口中布置為與光學(xué)透射元件的表面間隔開(kāi)。這種布置的優(yōu)點(diǎn)在于，可以將邊緣濾波器用作獨(dú)立的部件，并且如有必要還可以被替換。這種類型的濾波片是魯棒的，并且它們?cè)诠馐敵鲩_(kāi)口中的組裝是簡(jiǎn) 單的。例如，將它們提供為由吸收性濾波器玻璃制成的片或涂覆有濾波器材料的合成石英玻璃制成的片形式。因?yàn)榕c燈泡相比單獨(dú)的濾波器部件幾乎不受機(jī)械負(fù)載作用，因此該濾波器部件可以比燈泡壁顯著更薄。濾波器部件的優(yōu)選厚度位于0. I到Imm范圍中，尤其優(yōu)選的是最大為0. 3_。由于厚度更小，所以濾波器部件中對(duì)期望光輻射的透射比對(duì)燈泡來(lái)說(shuō)的更大。有利地，VUV邊緣濾波器是吸收濾波器或干涉濾波器或這兩種濾波器類型的組合。吸收濾波器由吸收性材料，例如吸收UV的玻璃構(gòu)成。它們是經(jīng)濟(jì)的，但常常呈現(xiàn)出稍微陡峭的吸收邊緣，這取決于材料且不會(huì)變化。象例如在DE3902144A1中描述的干涉濾波器避免了這些缺點(diǎn)。這些濾波器由帶涂層的基底材料構(gòu)成，其中吸收邊緣的位置可能受到涂層厚度的影響。已經(jīng)證實(shí)有效的是邊緣濾波器包括多層材料。在由多層材料制成的邊緣濾波器中，可以針對(duì)實(shí)際要求更好地調(diào)整和優(yōu)化吸收邊緣的位置和斜率。此外，在具有多個(gè)層的情況下，可以減少透射波長(zhǎng)區(qū)域中所謂“波紋”的濾波器效果，這種濾波器效果要?dú)w因于干涉效應(yīng)。邊緣濾波器的吸收邊緣優(yōu)選位于180nm到200nm范圍中。為了減少或防止從燈外殼發(fā)射臭氧，優(yōu)選相對(duì)于外部密封光束輸出開(kāi)口。對(duì)于致密性的最低要求，聚光透鏡和燈外殼之間的細(xì)牙螺紋可能就足夠了。在展寬波長(zhǎng)范圍的方面，尤其優(yōu)選燈模塊的一個(gè)實(shí)施例，其中在燈座體的空腔中布置第二光譜燈，該第二光譜燈的光束通過(guò)氣燈的燈泡被弓I導(dǎo)到光束輸出開(kāi)口。對(duì)于分光光度測(cè)定而言，有利的是可用光譜的波長(zhǎng)范圍盡可能寬。使用具有與氘燈不同的發(fā)射光譜的第二光譜燈與這個(gè)要求背道而馳。此外，視情況而定，甚至可以僅使用兩個(gè)光譜燈中的一個(gè)，從而這樣的燈模塊可更靈活使用。對(duì)于分光光度計(jì)應(yīng)用而言，已經(jīng)證明有效的是第二光譜燈是鹵素?zé)艋騆ED(發(fā)光二極管)。鹵素?zé)糁械湫褪褂玫妮椛涞牟ㄩL(zhǎng)范圍位于350到IlOOnm的范圍中。因此，與氘燈的組合覆蓋了 190nm到IlOOnm的寬光譜。


在結(jié)合附圖閱讀時(shí)，將更好地理解上述發(fā)明內(nèi)容以及以下具體實(shí)施方式
。為了圖解本發(fā)明的目的，在附圖中示出了當(dāng)前優(yōu)選的實(shí)施例。但是要理解，本發(fā)明不限于圖示的精確布置和手段。在附圖中
圖I是根據(jù)本發(fā)明的具有直接位于聚光透鏡表面上的濾波器的燈模塊實(shí)施例的示意性側(cè)視截面圖；以及
圖2是根據(jù)本發(fā)明的類似于圖I、但具有與聚光透鏡間隔開(kāi)的濾波器的燈模塊的另一實(shí)施例的示意性側(cè)視截面圖。
具體實(shí)施方式

示例 I :
圖I以示意圖示出的根據(jù)本發(fā)明的燈模塊實(shí)施例具有由鋁制成的燈座體1，該燈座體I充當(dāng)冷卻體。燈座體I具有空腔la，其中可以插入一個(gè)或多個(gè)光譜燈。在實(shí)際情況下，在燈座體I的空腔Ia中插入具有石英玻璃燈泡2的氘燈以及在同一光軸上的具有燈泡3的鹵素?zé)?。氘燈的燈?由合成石英玻璃構(gòu)成。為了能夠?qū)Σ迦霟糇wI的空腔Ia中的燈泡2最優(yōu)地利用燈座體I的冷卻效果，將燈泡2插入燈座體I中，同時(shí)在燈座體I和燈泡2之間留有小間隙12。間隙寬度等于大約2mm。用空氣填充間隙體積，使得在這個(gè)小體積中，從燈泡2發(fā)射的波長(zhǎng)<190nm的輻射分量形成臭氧。但是，對(duì)于非常小的體積來(lái)說(shuō)，該氣氛非?？斓剡_(dá)到臭氧飽和，然而，這實(shí)際對(duì)從燈模塊發(fā)射的輻射的質(zhì)量沒(méi)有影響。如果甚至要在這個(gè)間隙體積中防止形成臭氧，可以將間隙體積抽空或用無(wú)氧氣體填充或沖洗，無(wú)氧氣體例如是氮?dú)饣驓鍤狻４送?，燈座體I在中心光軸的方向上具有連接件作為光束輸出開(kāi)口 4。在這個(gè)光束輸出開(kāi)口 4中，平面凸聚光透鏡5安裝有VUV邊緣濾波器6，該濾波器6安裝在該平面凸聚光透鏡面對(duì)燈泡2的側(cè)面上。聚光透鏡5和VUV邊緣濾波器6形成一體的部件，其在燈模塊的光軸上布置在與氘燈燈泡2的表面大約3_的間隔處。聚光透鏡5和濾波器6的安裝被實(shí)現(xiàn)為使得這些部件全部結(jié)合在光束輸出開(kāi)口 4中的密封環(huán)固定件10中。因此確保了在燈座體I的周圍和空腔Ia之間不能發(fā)生空氣交換。VUV邊緣濾波器6是具有多層布置的干涉濾波器。通過(guò)在聚光透鏡5上直接布置濾波器6，使得針對(duì)所發(fā)射的輻射的邊界表面數(shù)目被最小化，與具有獨(dú)立于聚光透鏡來(lái)布置的濾波器的布置相比，這將可用輻射的部分增大了高達(dá)8%。在替代實(shí)施例中，邊緣濾波器6由干涉濾波器和吸收濾波器的組合構(gòu)成。在這里，在由吸收性材料制成的基底部件上施加由幾個(gè)干涉層制成的層系統(tǒng)。在光軸上在燈座體I的與光束輸出開(kāi)口 4相反的端部上，如開(kāi)頭所述，在氘燈后方布置具有燈泡3的鹵素?zé)?。從鹵素?zé)魺襞?發(fā)射的輻射通過(guò)氘燈的燈泡2，可選地由透鏡8或透鏡系統(tǒng)聚焦。因此，兩個(gè)光譜燈的波長(zhǎng)范圍擴(kuò)展到更寬光譜，燈模塊的光束輸出開(kāi)口 4中的VUV邊緣濾波器6僅將該光譜截去小于190nm的波長(zhǎng)范圍。示例 2
根據(jù)圖2的燈模塊實(shí)質(zhì)上由與示例I所述的相同布置構(gòu)成。但是，在這里將VUV邊緣濾波器9設(shè)計(jì)成自支承濾波片，其固定在光束輸出開(kāi)口 4中并且與平面凸聚光透鏡5有3_的間隔。利用螺紋環(huán)10安裝濾波片9，通過(guò)螺紋環(huán)將濾波片旋入光束輸出開(kāi)口 4中。在替代實(shí)施例中，在光束輸出開(kāi)口 4中夾緊或結(jié)合濾波片。在這種情況下，濾波片9由合成石英玻璃制成，該合成石英玻璃涂覆有濾波器材料制成的層。它能夠容易地安裝和拆除，從而甚至容易用不同濾波器類型進(jìn)行可能的替換或進(jìn)行修理。該安裝被形成為使得在燈座體I的環(huán)境和空腔Ia之間不能發(fā)生空氣交換。為此目的，濾波片9經(jīng)由密封環(huán)抵靠肩部(未示出)，其中該濾波片通過(guò)彈簧環(huán)從燈內(nèi)部向外擠壓該肩部，該彈簧環(huán)又放置在光束輸出開(kāi)口 4中的凹槽中。在這一實(shí)施例中，取消了在光束輸出方向上在VUV邊緣濾波器9之后插入光束輸出開(kāi)口 4中的聚光透鏡5的密封固定，這簡(jiǎn)化了替換(如有必要)。
邊緣濾波器在燈模塊的光軸上布置為與氘燈燈泡2的表面有3_的間隔。不應(yīng)該超過(guò)這一間隔，因?yàn)榉駝t擴(kuò)展的間隙體積將變得過(guò)大，該間隙體積處于光束輸出開(kāi)口 4中直到VUV邊緣濾波器9處且位于氘燈的燈泡2和燈座體I的空腔12之間。在這些條件下，那里產(chǎn)生的臭氧氣氛在對(duì)流的影響下可能發(fā)生滲透，這又可能對(duì)所發(fā)射的波長(zhǎng)光譜的穩(wěn)定性產(chǎn)生不利影響。此外，輻射強(qiáng)度受到含臭氧氣氛中的吸收的不利影響。具有自支承VUV邊緣濾波器9的燈模塊實(shí)施例尤其適于用作輻射源，用于液相色譜法(HPLC和UHPLC)、毛細(xì)管電泳和薄膜色譜法中的光譜儀。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將要認(rèn)識(shí)到，可以對(duì)上述實(shí)施例做出改變而不脫離其寬泛的發(fā)明構(gòu)思。因此要理解，本發(fā)明不限于所公開(kāi)的特定實(shí)施例，而是意在覆蓋所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明精神和范圍之內(nèi)的修改。
權(quán)利要求
1.一種包括燈座體(I)的燈模塊，所述燈座體具有容納氘燈(2)的空腔(12)，所述氘燈具有由合成石英玻璃制成的燈泡，所述空腔(12)具有用光學(xué)透射元件(5)封閉的光束輸出開(kāi)口(4)，以及VUV邊緣濾波器(6 ;9)在所述光束輸出開(kāi)口(4)中位于所述光學(xué)透射元件(5)面對(duì)所述氣燈(2)的一側(cè)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中在所述燈座體的空腔(12)中定位所述燈泡，留下間隙(2a)，所述間隙具有0. 5mm到5mm范圍中的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的燈模塊，其中所述間隙(2a)保持在真空下或用無(wú)氧氣體填充。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中所述光學(xué)透射元件(5)在所述光束輸出開(kāi)口(4)中布置為與所述燈泡有最大20mm的間隔。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊,其中所述燈座體(I)包括金屬冷卻體。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中所述VUV邊緣濾波器(6)在所述光束輸出開(kāi)口(4)中直接布置于所述光學(xué)透射元件(5)的表面上。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中所述VUV邊緣濾波器(9)在所述光束輸出開(kāi)口(4)中布置為與所述光學(xué)透射元件(5)面對(duì)所述氘燈(2)的表面間隔開(kāi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的燈模塊，其中所述VUV邊緣濾波器(9)具有0.I到Imm范圍中的厚度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的燈模塊，其中所述VUV邊緣濾波器(9)具有0.3mm的最大厚度。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中所述VUV邊緣濾波器(6;9)是從吸收濾波器、干涉濾波器和這兩種濾波器的組合中選擇的。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中所述VUV邊緣濾波器(6；9)包括多層材料。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中所述光束輸出開(kāi)口(4)相對(duì)于外部是密封的。
13.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，其中所述VUV邊緣濾波器(6;9)具有在180-200nm范圍中的吸收邊緣。
14.根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊，還包括布置在所述燈座體(I)的空腔(Ia)中的第二光譜燈(3)，所述第二光譜燈(3)的光束通過(guò)所述氘燈(2)的燈泡被引導(dǎo)到所述光束輸出開(kāi)口⑷。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的燈模塊，其中所述第二光譜燈(3)是從鹵素?zé)艉桶l(fā)光二極管中選擇的。
16.一種光譜分析裝置，包括根據(jù)權(quán)利要求I所述的燈模塊。
全文摘要
一種用于光譜分析裝置的已知燈模塊包括燈座體，該燈座體具有空腔，用于容納具有由合成石英玻璃制成的燈泡的氘燈。該空腔具有用光學(xué)透射元件封閉的光束輸出開(kāi)口。為了提供一種具有帶臭氧濾波器的氘燈的燈模塊，該燈模塊呈現(xiàn)出長(zhǎng)的使用壽命，可以經(jīng)濟(jì)地制造，并且確保了190nm和250nm之間的波長(zhǎng)范圍中的高強(qiáng)度，為這種已知的燈模塊在光束輸出開(kāi)口中光學(xué)透射元件面對(duì)氘燈的一側(cè)上提供VUV邊緣濾波器。
文檔編號(hào)G01J3/10GK102759401SQ201210127480
公開(kāi)日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2012年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月28日
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