專利名稱：晶柱檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種晶柱檢測裝置，可在不對晶柱進行轉(zhuǎn)動的前提下完成檢測，不僅可提高檢測時的效率，同時亦可增加檢測的準確性。
背景技術(shù)：
晶圓(Wafer)是半導體集成電路所用的載體，在制作過程中會在同一晶圓上進行半導體制作過程，而后再將晶圓切割成多個晶片，以降低晶片制作的成本。晶柱(單晶硅晶棒)在經(jīng)過研磨、拋光及切片之后，便可形成一般常見的晶圓，其中制作晶柱的過程稱為長晶。在半導體制作過程中，晶圓的品質(zhì)將會對制作過程的合格率造成直接的影響，而晶圓的品質(zhì)則由晶柱所決定。因此在完成晶柱的制作后通常會進一步 進行晶柱的檢測，以確保晶圓的品質(zhì)及后續(xù)半導體制作過程的合格率。請參閱圖I,為晶柱的構(gòu)造示意圖。如圖所示，晶柱10為柱狀體,并包括有一第一截面111、一第二截面113及至少一側(cè)表面13，其中側(cè)表面13的數(shù)量依據(jù)晶圓種類的不同而有所差異，例如太陽能晶柱10通常包括有四個側(cè)表面13。在將晶柱10切割成晶圓之前，會先對晶柱10進行檢測，以確保晶圓的品質(zhì)，一般而言會對晶柱10的第一截面111、第二截面113及各個側(cè)表面13進行檢測。然而晶柱10的第一截面111、第二截面113及各個側(cè)表面13分別朝不同方向，因此在檢測過程中往往需要翻轉(zhuǎn)晶柱10。在晶柱10翻轉(zhuǎn)的過程中，晶柱10的第一截面111、第二截面113及各個側(cè)表面13將分別朝向檢測單元，使得檢測裝置可分別對晶柱10的第一截面111、第二截面113及各個側(cè)表面13進行檢測。在每一次的翻轉(zhuǎn)之后，都需要對晶柱10進行定位，以確定檢測裝置可順利對晶柱10的各的表面進行檢測，并維持檢測時的準確性。然而晶柱10每一次的翻轉(zhuǎn)及定位都需要花費一定的時間，如此一來將會造成檢測的效率無法有效的提升。此外當晶柱10對位的過程出現(xiàn)誤差，都會對晶柱10檢測的結(jié)果造成影響，并導致檢測的準確性下降。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一目的，在于提供一種晶柱檢測裝置，在檢測晶柱的過程中不需要對晶柱進行翻轉(zhuǎn)，亦不需要反復的對晶柱進行定位，借此將有利于提高晶柱檢測的效率及準確性。本發(fā)明的又一目的，在于提供一種晶柱檢測裝置，主要將檢測單元及攝像單元設(shè)置在晶柱的傳輸路徑上，并在晶柱傳送的過程中完成檢測，并有利于提高晶柱檢測的效率。本發(fā)明的又一目的，在于提供一種晶柱檢測裝置，主要將攝像單元、檢測單元、長度檢測單元及/或秤重單元進行整合，并可有效率的對晶柱的兩個截面、至少一側(cè)表面、長度及/或重量進行測量。為達上述目的，本發(fā)明提供一種晶柱檢測裝置，包括有一第一輸送單元，用以輸送至少一晶柱；一第二輸送單元，用以輸送晶柱；一第一夾持單元，用以夾持晶柱在第一輸送單元及第二輸送單元之間進行位移；至少一檢測單元，用以檢測第二輸送單元上的晶柱的至少一側(cè)表面；至少一攝像單元，用以對第二輸送單元上的晶柱的至少一截面進行攝像；一第三輸送單元，用以輸送晶柱；及一第二夾持單元，用以夾持晶柱在第二輸送單元及第三輸送單元之間進行位移。 本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例,其中第一輸送單兀及第三輸送單兀沿著一第一方向輸送晶柱，而第二輸送單兀沿著一第二方向輸送晶柱，且第一方向與第二方向垂直。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，其中第一夾持單元及第二夾持單元夾持晶柱沿著第一方向進行位移。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，包括有一秤重單 兀，位于第一輸送單兀及第二輸送單元之間，并用以測量晶柱的重量。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，其中第一夾持單元用以夾持晶柱在第一輸送單元、秤重單元及第二輸送單元之間位移。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，其中晶柱為一太陽能晶柱，并包括有一第一截面、一第二截面及四個側(cè)表面。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，其中檢測單元的數(shù)量為四個，并分別對太陽能晶柱的四個側(cè)表面進行檢測。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，其中攝像單元的數(shù)量為兩個，分別位于第二輸送單元的兩端，并分別對晶柱的第一截面及第二截面進行攝像。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，包括有至少一感測單元用以感測晶柱的位置，而攝像單元則依據(jù)感測單元的感測結(jié)果對晶柱進行攝像。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，包括有一秤重單元，位于第二輸送單元及第三輸送單元之間，并用以測量晶柱的重量。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，其中第二夾持單元用以夾持晶柱在第二輸送單元、秤重單元及第三輸送單元之間位移。本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例，包括有一長度檢測單元，用以檢測第二輸送單元上的晶柱的長度。


圖I :為晶柱的構(gòu)造示意圖；圖2 :為本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例的立體示意圖；圖3 :為本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例的部分構(gòu)件的放大示意圖；圖4 :為本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例的側(cè)視圖；圖5 :為本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例的部分構(gòu)件的放大示意圖；圖6A及圖6B :分別為本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例的部分構(gòu)件的放大示意圖；及圖7 :為本發(fā)明晶柱檢測裝置又一實施例的側(cè)視圖。其中，附圖標記10 晶柱111第一截面113第二截面13 側(cè)表面20 晶柱檢測裝置21 第一輸送單元
211輸送帶213承載架22秤重單元23 第一夾持單元24檢測單元241框架243空間25 第二輸送單元251輸送平臺253承載架255軌道26 攝像單元261第一攝像單元263第二攝像單元
27第二夾持單元281第一感測單元283第二感測單元285長度檢測單元29第三輸送單元291輸送帶293承載架
具體實施例方式請參閱圖2及圖3，分別為本發(fā)明晶柱檢測裝置一實施例的立體示意圖及部分構(gòu)件的放大示意圖。如圖所示，晶柱檢測裝置20主要包括有一第一輸送單元21、一第一夾持單元23、一第二輸送單元25、至少一檢測單元24、至少一攝像單元26、一第二夾持單元27及一第三輸送單元29。透過本發(fā)明所述的晶柱檢測裝置20的應用，將可在不對晶柱10進行轉(zhuǎn)動的前提下完成檢測，不僅可提高檢測時的效率，同時亦可增加檢測的精確性。本發(fā)明所述的第一輸送單元21、第二輸送單元25及第三輸送單元29都是用來輸送晶柱10。在本發(fā)明一實施例中，第一輸送單兀21及第三輸送單兀29用以沿著一第一方向X進行晶柱10的輸送，而第二輸送單元25則用以沿著一第二方向Y進行晶柱10的輸送，例如第一方向X可與第二方向Y垂直，借此將有利簡化晶柱10的輸送動線，并減少晶柱檢測裝置20的體積。當然實際應用時亦可配合其它的機臺調(diào)整第一方向X及第二方向Y的角度，因此第一方向X并不一定要垂直與第二方向Y。在本發(fā)明一實施例中，第一輸送單元21包括有一輸送帶211及多個承載架213，其中承載架213設(shè)置于輸送帶211上，并用以承載待測的晶柱10。當輸送帶211運作時將會帶動承載架213，并以承載架213帶動晶柱10沿著第一方向X進行位移。第三輸送單元29與第一輸送單元21為相同類型的輸送單元，并包括有一輸送帶291及至少一承載架293。在本發(fā)明一實施例中，第二輸送單元25包括有一輸送平臺251、至少一承載架253及至少一輸送軌道255，其中承載架253設(shè)置于輸送平臺251上，并用以承載待測的晶柱10，而輸送平臺251則可沿著輸送軌道255移動，使得晶柱10沿著第二方向Y位移。請配合參閱圖4，第一夾持單元23位于第一輸送單元21及第二輸送單元25上方，并用以夾持晶柱10，使得晶柱10在第一輸送單元21及第二輸送單元25之間進行位移。在本發(fā)明一實施例中，第一夾持單元23主要用以將第一輸送單元21所輸送的晶柱10夾持至第二輸送單兀25。在本發(fā)明一實施例中，晶柱檢測裝置20亦可具有測量晶柱10重量的功能。晶柱檢測裝置20包括有一秤重單元22 (如圖4的虛線所示)，并用以測量晶柱10的重量，例如可將秤重單元22設(shè)置于第一輸送單元21及第二輸送單元25之間，而第一夾持單元23則用以夾持晶柱10在第一輸送單元21、秤重單元22及第二輸送單元25之間位移。第一夾持單元23可將第一輸送單元21所輸送的晶柱10夾持至秤重單元22，在秤重單元22完成晶柱10的重量測量之后，再透過第一夾持單元23將晶柱10由秤重單元22夾持至第二輸送單元25。當然在不同實施例中，亦可將秤重單元22設(shè)置于第二輸送單元25及第三輸送單元29之間，詳細的實施方式將再后續(xù)的實施例中說明。透過秤重單元22的設(shè)置，將可使得晶柱檢測裝置20具有較完整的檢測功能，并可用以測量晶柱10的重量。但對本發(fā)明所述的晶柱檢測裝置20，秤重單元22并非必要的構(gòu)件，換言之，在不同實施例中晶柱檢測裝置20亦可不包括有秤重單元22，并將秤重單元22設(shè)置于晶柱檢測裝置20的外部或其他的構(gòu)件上。 檢測單元24位于第二輸送單元25傳輸晶柱10的路徑上，并于第二輸送單元25輸送晶柱10的過程中，以檢測單元24對第二輸送單元25上的晶柱10的至少一側(cè)表面13進行檢測。請參閱圖I所示，晶柱10通常為柱狀體，并包括有兩個截面111/113及至少一側(cè)表面13，以太陽能晶柱10為例，其包括有一第一截面111、一第二截面113及四個側(cè)表面
13。在本發(fā)明一實施例中，檢測單元24的數(shù)量為四個，并于第二輸送單元25傳輸晶柱10的過程中，分別以四個檢測單元24對晶柱10的四個側(cè)表面13進行檢測，如圖3所示。請配合參閱圖5，在本發(fā)明一實施例中，可將檢測單元24設(shè)置于一框架241上，例如框架241可為一四方形的環(huán)狀構(gòu)造，并于四方形框架241的各個邊框上設(shè)計有至少一檢測單元24，框架241內(nèi)部包括有一空間243，使得晶柱10可由框架241中的空間243通過，并以各個邊框上的檢測單元241分別對晶柱10的各個側(cè)表面13進行檢測，例如可檢測晶柱10的各個側(cè)表面13的平面度。本發(fā)明所述的檢測單元24的數(shù)量并不限定為四個，在實際應用時可依據(jù)晶柱10的種類、幾何形狀及側(cè)表面13的數(shù)量調(diào)整檢測單元24的數(shù)量及設(shè)置的位置或角度。請配合參閱圖6A及圖6B，攝像單元26用以對晶柱10的至少一截面111/113進行影像的擷取，在本發(fā)明一實施例中，攝像單元26的數(shù)量可為兩個，分別為第一攝像單元261及第二攝像單元263，且第一攝像單元261及第二攝像單元263分別位于第二輸送單元25的兩端，并分別用以對第二輸送單元上25的晶柱10的至少一截面(如第一截面111及第二截面113)進行攝像。在本發(fā)明一實施例中，晶柱檢測裝置20還包括有至少一感測單元，并用以感測晶柱10的位置，而攝像單元26則依據(jù)感測單元的感測結(jié)果對晶柱10進行攝像。在本發(fā)明一實施例中，感測單元的數(shù)量可為兩個，分別為第一感測單元281及第二感測單元283，并可依據(jù)第一攝像單元261及第二攝像單元263的焦點調(diào)整第一感測單元281及第二感測單元283的位置。在本發(fā)明一實施例中，第一感測單元281可設(shè)置于第一攝像單元261的焦點上，而第二感測單元則設(shè)置于第二攝像單元263的焦點上。當?shù)谝桓袦y單元281感測到晶柱10通過時，便可以第一攝像單元261對晶柱10的第一截面111進行攝像，使得第一攝像單元261可取得清楚的影像，如圖6A所示。當?shù)诙袦y單元283感測到晶柱10離開時，便可以第二攝像單元263對晶柱10的第二截面113進行攝像，使得第二攝像單元263可取得清楚的影像，如圖6B所示。在第二輸送單元25輸送晶柱10的過程中，則可透過檢測單元24對晶柱10的四個側(cè)表面13進行檢測，如圖3所示。
通過第一攝像單元261及第二攝像單元263所取得的晶柱10截面的影像，將可進一步分析晶柱10的第一截面111及第二截面113，例如可分析第一截面111及第二截面113的各個夾角的角度。在本發(fā)明一實施例中，晶柱檢測裝置20亦可包括有一長度檢測單元285，并可用以檢測晶柱10的長度。例如可搭配光學尺的原理測量出晶柱10的長度。此外在不同實施例中，亦可透過檢測單元24計算出晶柱10的長度，而不用額外設(shè)置長度檢測單元285。在第二輸送單元25輸送晶柱10的過程中，便可完成晶柱10的第一截面111及第二截面113的攝像，并完成晶柱10的側(cè)表面13及長度的檢測。此外，在檢測晶柱10的過程中亦不需要對晶柱10進行翻轉(zhuǎn)，不僅可提高晶柱10檢測時的準確度，亦有利于檢測效率的提升。 第二夾持單元27位于第二輸送單元25及第三輸送單元29上方，并用以夾持晶柱10在第二輸送單元25及第三輸送單元29之間進行位移。在本發(fā)明一實施例中，當晶柱10的檢測及攝像步驟完成后，便可透過第二夾持單元27將晶柱10由第二輸送單元25夾持至第三輸送單元29，并以第三輸送單元29將經(jīng)過檢測的晶柱10輸送至晶柱檢測裝置10的外部，如此一來便完成晶柱10的檢測動作。在本發(fā)明一實施例中，第一夾持單元23及第二夾持單元27用以夾持晶柱10沿著第一方向X進行位移。在本發(fā)明上述實施例中，主要是將秤重單元22設(shè)置在第一輸送單元21及第二輸送單元25之間，并在完成晶柱10的重量測量之后，再以檢測單元24及攝像單元26對晶柱10進行檢測及攝像。請參閱圖7所示，在不同實施例中亦可將秤重單元22設(shè)置在第二輸送單元25與第三輸送單元29之間，而第二夾持單元27則可夾持晶柱10在第二輸送單元25、秤重單元22及第三輸送單元29之間進行位移。例如第二夾持單元27可將第二輸送單元25上的晶柱10夾持至秤重單元22進行重量的測量，而后再將秤重單元22上的晶柱10夾持至第三輸送單元29，同樣可以完成晶柱10的完整的檢測動作。在本發(fā)明中所述的連接指的是一個或多個物體或構(gòu)件之間的直接連接或者是間接連接，例如可在一個或多個物體或構(gòu)件之間存在有一個或多個中間連接物。說明書的系統(tǒng)中所描述的也許、必須及變化等字眼并非本發(fā)明的限制。說明書所使用的專業(yè)術(shù)語主要用以進行特定實施例的描述，并不為本發(fā)明的限制。說明書所使用的單數(shù)量詞(如一個及該個)亦可為多個，除非在說明書的內(nèi)容有明確的說明。例如說明書所提及的一個裝置可包括有兩個或兩個以上的裝置的結(jié)合，而說明書所提的一物質(zhì)則可包括有多種物質(zhì)的混合。以上所述者，僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并非用來限定本發(fā)明實施的范圍，SP凡依本發(fā)明申請專利范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所為的均等變化與修飾，均應包括于本發(fā)明的申請專利范圍內(nèi)。雖然已透過舉例方式在附圖中描述了本發(fā)明的具體實施方式
，并在本文中對其作了詳細的說明，但是本發(fā)明還允許有各種修改和替換形式。本發(fā)明的附圖內(nèi)容可為不等比例，附圖及其詳細的描述僅為特定型式的揭露，并不為本發(fā)明的限制，相反的，依據(jù)專利范圍的精神和范圍內(nèi)進行修改、均等構(gòu)件及其置換皆為本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種晶柱檢測裝置，其特征在于，包括有 一第一輸送單兀，用以輸送至少一晶柱； 一第二輸送單元，用以輸送該晶柱； 一第一夾持單元，用以夾持該晶柱在第一輸送單元及該第二輸送單元之間進行位移； 至少一檢測單元，用以檢測該第二輸送單元上的晶柱的至少一側(cè)表面； 至少一攝像單元，用以對該第二輸送單元上的晶柱的至少一截面進行攝像； 一第三輸送單元，用以輸送該晶柱；及 一第二夾持單元，用以夾持該晶柱在該第二輸送單元及該第三輸送單元之間進行位移。
2.如權(quán)利要求I所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，其中該第一輸送單元及該第三輸送單兀沿著一第一方向輸送該晶柱，而該第二輸送單兀沿著一第二方向輸送該晶柱，且該第一方向與該第二方向垂直。
3.如權(quán)利要求2所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，其中該第一夾持單元及該第二夾持單元夾持該晶柱沿著該第一方向進行位移。
4.如權(quán)利要求I所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，包括有一秤重單元，位于該第一輸送單元及該第二輸送單元之間，并用以測量該晶柱的重量。
5.如權(quán)利要求4所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，其中該第一夾持單元用以夾持該晶柱在該第一輸送單元、該秤重單元及該第二輸送單元之間位移。
6.如權(quán)利要求I所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，其中該晶柱為一太陽能晶柱，并包括有一第一截面、一第二截面及四個側(cè)表面。
7.如權(quán)利要求6所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，其中該檢測單元的數(shù)量為四個，并分別對該太陽能晶柱的四個側(cè)表面進行檢測。
8.如權(quán)利要求I所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，其中該攝像單元的數(shù)量為兩個，分別位于該第二輸送單元的兩端，并分別對該晶柱的第一截面及第二截面進行攝像。
9.如權(quán)利要求8所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，包括有至少一感測單元用以感測該晶柱的位置，而該攝像單元則依據(jù)該感測單元的感測結(jié)果對該晶柱進行攝像。
10.如權(quán)利要求I所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，包括有一秤重單元，位于該第二輸送單元及該第三輸送單元之間，并用以測量該晶柱的重量。
11.如權(quán)利要求10所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，其中該第二夾持單元用以夾持該晶柱在該第二輸送單元、該秤重單元及該第三輸送單元之間位移。
12.如權(quán)利要求I所述的晶柱檢測裝置，其特征在于，包括有一長度檢測單元，用以檢測該第二輸送單元上的晶柱的長度。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)于一種晶柱檢測裝置，主要包括有一第一輸送單元、一第二輸送單元、一第一夾持單元、一第三輸送單元及一第二夾持單元，其中第一夾持單元及第二夾持單元用以夾持晶柱。第二輸送單元的輸送路徑上設(shè)置有至少一檢測單元，而第二輸送單元的兩端則設(shè)置有至少一攝像單元。在第二輸送單元輸送晶柱的過程中，可透過檢測單元檢測晶柱的至少一側(cè)表面，并透過攝像單元對晶柱的兩個截面進行攝像。透過本發(fā)明所述的晶柱檢測裝置，將可在不對晶柱進行轉(zhuǎn)動的前提下完成檢測，不僅可提高檢測時的效率，同時亦可增加檢測的準確性。
文檔編號G01B11/04GK102679890SQ20121013495
公開日2012年9月19日 申請日期2012年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月28日
發(fā)明者林恩寧 申請人:亞亞科技股份有限公司