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      一種還原爐微漏檢測方法

      文檔序號:5948203閱讀:370來源:國知局
      專利名稱:一種還原爐微漏檢測方法
      技術領域
      本發(fā)明涉及工業(yè)生產(chǎn)領域,更具體的說,是涉及一種還原爐微漏檢測方法。
      背景技術
      還原爐被廣泛應用在各種工業(yè)領域中,如化工領域,多晶硅制造領域等。還原爐的生產(chǎn)過程,是一個全自動,全封閉流程的一個反應過程,其反應氣體主要包括TCS、H2等。而TCS為具有刺激性氣味、在空氣中極易燃燒、遇明火則強烈燃燒、燃燒時發(fā)出紅色火焰和白煙的氣體。H2和TCS都是爆炸性氣體,一旦泄漏到還原爐廠房中,會造成還原爐操作車間的人身安全。現(xiàn)有技術中是通過肥皂水檢測法對還原爐進行檢測,其中,肥皂水檢測法是將肥皂水涂到還原爐的連接處,查看有無氣泡產(chǎn)生,有氣泡則說明還原爐漏氣,沒有氣泡則說明 還原爐不漏氣,但這種方法需要檢測人員認真仔細的檢查每處連接閥門,工作量較大。

      發(fā)明內(nèi)容
      有鑒于此,本發(fā)明提供了一種還原爐微漏檢測方法,以克服現(xiàn)有技術中需要檢測人員認真仔細的檢查每處連接閥門,工作量較大的問題。為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術方案一種還原爐微漏檢測方法,包括A :對待檢測還原爐沖入使所述待檢測還原爐達到第一預設壓力值的氣體;B :檢測當所述還原爐達到第一預設壓力值時的該還原爐的實際壓力值;C :比較所述第一預設壓力值與所述實際壓力值的大小,若所述第一預設壓力值與所述實際壓力值的差值大于第二預設值,則判定所述待檢測還原爐漏氣。優(yōu)選的,所述第一預設壓力值為所述待檢測還原爐的正常操作壓力值。優(yōu)選的,步驟A具體為通過DCS系統(tǒng)打開進料閥門,將N2沖入待檢測還原爐,直到所述待檢測還原爐達到第一預設壓力值時,停止沖入氣體。優(yōu)選的,所述第二預設壓力值為O. OlBar。優(yōu)選的,在步驟C后還包括步驟D 在判定所述待檢測還原爐漏氣時,啟動報警裝置。優(yōu)選的,所述報警裝置為聲音報警器和/或LED指示燈。經(jīng)由上述的技術方案可知,與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明提供了一種還原爐微漏檢測方法,通過對待檢測還原爐沖入預設壓力值的氣體;并檢測當前還原爐的實際壓力值;t匕較預設壓力值與實際壓力值的大小,當所述預設壓力值與所述實際壓力值的差值大于某設定壓力差值時,則判定所述待檢測還原爐漏氣。本發(fā)明提供的還原爐微漏檢測方法準確有效的檢測了還原爐是否漏氣,操作簡單并節(jié)省了大量的人力。


      為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。圖I為現(xiàn)有技術中的一種還原爐的生產(chǎn)過程圖;圖2為本發(fā)明實施例提供的一種還原爐微漏檢測方法的流程圖。
      具體實施方式

      為了引用和清楚起見,下文中使用的技術名詞的說明、簡寫或縮寫總結如下TSC是SiHCL3 (三氯化硅)的縮寫。下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參閱附圖1,為現(xiàn)有技術中的一種還原爐的生產(chǎn)過程圖,在還原爐反應過程中,TCS、H2閥門處于打開狀態(tài),N2閥門處于關閉狀態(tài);尾氣系統(tǒng),尾氣回收閥門處于打開狀態(tài),含氫尾氣與不含氫尾氣都處于關閉狀態(tài)。因此,還原爐在反應過程中,不僅要嚴防反應氣體的外漏,還要嚴防反應氣體的內(nèi)漏,一旦反應氣體泄漏到含氫或不含氫尾氣中,不僅會帶來生產(chǎn)物的浪費,而且可能會產(chǎn)生爆炸,由于還原爐中的氫氣進入三廢處理后與氧氣產(chǎn)生爆炸。還需要嚴防其他不需要反應的氣體進入到還原爐,影響多晶硅產(chǎn)品的質(zhì)量。在還原爐正式反應前,需要對還原爐做嚴格的氣密試驗,防止還原爐產(chǎn)生微漏,從而確保還原爐安全、可靠穩(wěn)定的運行?,F(xiàn)有技術中是通過肥皂水檢測法對還原爐進行檢測,其中,肥皂水檢測法是將肥皂水涂到還原爐的連接處,查看有無氣泡產(chǎn)生,有氣泡則說明還原爐漏氣,沒有氣泡則說明還原爐不漏氣,但這種方法需要檢測人員認真仔細的檢查每處連接閥門,工作量較大。實施例一針對上述技術問題,本發(fā)明提供了一種還原爐微漏檢測方法,請參見圖2,包括SlOl :對待檢測還原爐沖入使所述待檢測還原爐達到第一預設壓力值的氣體;S102:檢測當所述待檢測還原爐達到第一預設壓力值時的該還原爐的實際壓力值;S103:比較所述第一預設壓力值與所述實際壓力值的大小,若所述第一預設壓力值與所述實際壓力值的差值大于第二預設值,則判定所述待檢測還原爐漏氣。具體的,實際操作中,假定還原爐的操作壓力是6Bar,設計壓力是9Bar,則定義還原爐的氣密試驗壓力也是6Bar。本發(fā)明提供的一種還原爐微漏檢測方法,首先對待檢測的還原爐沖壓,當待檢測的還原爐的壓力達到6Bar,即還原爐的操作壓力,停止對還原爐沖入氣體,并通過DCS系統(tǒng)記錄此時的壓力,即所述第一預設壓力值。除此,還需要通過檢測壓力值的儀表檢測當待檢測還原爐達到第一預設壓力值時的該還原爐的實際壓力值,并通過還原爐的實際壓力值與DCS系統(tǒng)記錄的壓力值進行比較,如發(fā)現(xiàn)還原爐的實際壓力與記錄的壓力偏差大于第二預設值,則認為氣密試驗失敗,即表明待測還原爐漏氣,反之,則說明還原爐不漏氣。優(yōu)選的,所述第二預設壓力值為O. OlBar,該值為多次實驗獲得。在判定所述待檢測還原爐處于漏氣狀態(tài)時,其漏氣結果具體的可以分為當實際壓力值大于記錄壓力O. OlBar,認為有其他氣體泄漏到還原爐中;當記錄壓力大于實際壓力O. OlBar,即認為還原爐中的氣體泄漏到含氫尾氣或不含氫尾氣中,或者是還原爐的進料、尾氣閥門、還原爐的連接法蘭有外漏現(xiàn)象。優(yōu)選的,步驟A可以為通過DCS系統(tǒng)打開進料閥門,將N2沖入待檢測還原爐,直到所述待檢測還原爐達到第一預設壓力值時,停止沖入氣體。優(yōu)選的,在步驟C后還包括步驟D :在判定所述待檢測還原爐漏氣時,啟動報警裝置。其中報警裝置可以為聲音報警器、LED指示燈和/或顯示屏。綜上所述與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明提供了一種還原爐微漏檢測方法,通過對待檢測還原爐沖入預設壓力值的氣體;并檢測當前還原爐的實際壓力值;比較預設壓力值與實際壓力值的大小,當所述預設壓力值與所述實際壓力值的差值大于某設定壓力差值時,則判定所述待檢測還原爐漏氣。本發(fā)明提供的還原爐微漏檢測方法準確有效的檢測了還原爐是否漏氣,操作簡單并節(jié)省了大量的人力。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例提供的裝置而言,由于其與實施例提供的方法相對應,所以描述的比較簡單,相關之處參見方法部分說明即可。對所提供的實施例的上述說明,使本領域?qū)I(yè)技術人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。因此,本發(fā)明 將不會被限制于本文所示的這些實施例,而是要符合與本文所提供的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
      權利要求
      1.ー種還原爐微漏檢測方法,其特征在于,包括 A :對待檢測還原爐沖入使所述待檢測還原爐達到第一預設壓力值的氣體; B :檢測當所述待檢測還原爐達到第一預設壓カ值時的該還原爐的實際壓カ值; C :比較所述第一預設壓力值與所述實際壓カ值的大小,若所述第一預設壓カ值與所述實際壓力值的差值大于第二預設值,則判定所述待檢測還原爐漏氣。
      2.根據(jù)權利要求I所述的檢測方法,其特征在于,所述第一預設壓カ值為所述待檢測還原爐的正常操作壓カ值。
      3.根據(jù)權利要求I所述的檢測方法,其特征在于,步驟A具體為 通過DCS系統(tǒng)打開進料閥門,將N2沖入待檢測還原爐,直到所述待檢測還原爐達到第一預設壓カ值時,停止沖入氣體。
      4.根據(jù)權利要求I所述的檢測方法,其特征在于,所述第二預設壓カ值為O.OlBar。
      5.根據(jù)權利要求I所述的檢測方法,其特征在于,在步驟C后還包括步驟D 在判定所述待檢測還原爐漏氣時,啟動報警裝置。
      6.根據(jù)權利要求5所述的檢測方法,其特征在干,所述報警裝置為聲音報警器和/或LED指示燈。
      全文摘要
      本發(fā)明提供了一種還原爐微漏檢測方法,通過對待檢測還原爐沖入預設壓力值的氣體;并檢測當前還原爐的實際壓力值;比較預設壓力值與實際壓力值的大小,當所述預設壓力值與所述實際壓力值的差值大于某設定壓力差值時,則判定所述待檢測還原爐漏氣,反之則判定待檢測還原爐不漏氣。本發(fā)明提供的還原爐微漏檢測方法準確有效的檢測了還原爐是否漏氣,操作簡單并節(jié)省了大量的人力。
      文檔編號G01M3/26GK102661837SQ201210149798
      公開日2012年9月12日 申請日期2012年5月15日 優(yōu)先權日2012年5月15日
      發(fā)明者周欣, 張建慶, 朱勤華, 樊少冬 申請人:新疆大全新能源有限公司
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