專利名稱：一種超分辨率紅外熱像儀及用其獲取高分辨率紅外圖像的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種無光學(xué)掃描部件的 超分辨率紅外熱像儀及用其獲取高分辨率紅外圖像的方法，屬于紅外熱成像技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在光電成像系統(tǒng)中，圖像分辨率是一項重要指標(biāo)。更高的分辨率意味著更多的圖像細(xì)節(jié)，對于目標(biāo)探測、識別、航天遙感等應(yīng)用具有極為重要的意義。尤其是對于紅外熱像儀，提升分辨率所帶來的性能提升更加顯著。這是因為紅外探測器的分辨率相對較低，導(dǎo)致紅外圖像的分辨率和細(xì)節(jié)有所欠缺，限制了紅外熱像儀的性能提升。限制圖像分辨率的基本因素有兩種一是光學(xué)衍射極限分辨率，二是探測器采樣頻率(對于面陣探測器，即為空間分辨率)。對于紅外熱像儀而言，光學(xué)衍射極限的影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于探測器采樣頻率。因此，提升紅外探測器焦平面的像元分辨率，可根本上提高圖像的分辨率。但是，提升探測器分辨率的成本很高，技術(shù)難度也較大。相比之下，采用超分辨技術(shù)提升紅外圖像的空間分辨率，其成本較低，靈活性好，可在充分利用現(xiàn)有成像系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，大幅度提升圖像分辨率和圖像質(zhì)量。目前常規(guī)的超分辨率紅外熱像儀，主要是基于光學(xué)掃描部件，在每一幀圖像輸出時間內(nèi)采集多幅相關(guān)性強(qiáng)的低分辨率紅外圖像，然后將這些低分辨率紅外圖像進(jìn)行配準(zhǔn)和重建，合成高分辨率的紅外圖像。這種紅外熱像儀已經(jīng)得以應(yīng)用，并有效地克服了紅外成像系統(tǒng)的限制，提升紅外圖像分辨率。然而，現(xiàn)有的超分辨率紅外熱成像技術(shù)仍然存在一些問題1)由于采用了光學(xué)掃描部件，導(dǎo)致系統(tǒng)體積偏大，成本較高，且影響系統(tǒng)可靠性；2)掃描模式會導(dǎo)致紅外熱像儀的調(diào)制傳遞函數(shù)降低，從而降低成像效果；3)由于掃描參數(shù)的未知性和步進(jìn)動作的精密性，其工程實現(xiàn)的復(fù)雜性和精度控制的難度較高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是提供一種無光學(xué)掃描部件的超分辨率紅外熱像儀，提高紅外圖像的分辨率，以提供更豐富的圖像細(xì)節(jié)和更好的圖像質(zhì)量，增強(qiáng)紅外熱像儀的性能表現(xiàn)，并解決現(xiàn)有超分辨率紅外熱像儀中光學(xué)掃描部件帶來的不利影響。本發(fā)明的另一個目的是提供一種用于本發(fā)明所述的超分辨率紅外熱像儀的紅外光學(xué)系統(tǒng)，使用該光學(xué)系統(tǒng)使本發(fā)明所述的超分辨率紅外熱像儀獲得的圖像質(zhì)量更高。本發(fā)明還有一個目的是使用本發(fā)明的超分辨率紅外熱像儀獲取高分辨率紅外圖像的方法，該方法簡便，容易掌握，能進(jìn)一步確保圖像質(zhì)量。為實現(xiàn)本發(fā)明超分辨率紅外熱像儀的技術(shù)目的，其技術(shù)方案是
一種超分辨率紅外熱像儀，包括位于超分辨率紅外熱像儀的最前端并以光軸0-0’為中心軸的編碼組件，用于接收場景發(fā)射的紅外輻射信號，并對紅外輻射信號進(jìn)行編碼；在編碼組件的后方延光軸0-0’方向依次安裝有紅外光學(xué)系統(tǒng)和面陣紅外探測器焦平面；所述紅外光學(xué)系統(tǒng)用于將通過編碼組件的紅外輻射會聚于面陣紅外探測器焦平面的靶面上，以增強(qiáng)紅外圖像信噪比，并用于面陣紅外探測器焦平面的保護(hù)窗口 ；面陣紅外探測器焦平面用于將紅外輻射信號轉(zhuǎn)換為模擬電信號，并將模擬電信號輸出至紅外成像電路組件當(dāng)中；還有制冷機(jī)，用于為面陣紅外探測器焦平面和紅外光學(xué)系統(tǒng)制冷，使二者保持低溫工作狀態(tài)；紅外成像電路組件用于將接收到模擬電信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，然后解碼和處理，轉(zhuǎn)換為紅外圖像，并用于提供面陣紅外探測器焦平面工作所需要的偏壓信號。進(jìn)一步的技術(shù)方案是
所述的超分辨率紅外熱像儀，其紅外成像電路組件連接在面陣紅外探測器焦平面后方；所述制冷機(jī)安裝在面陣紅外探測器焦平面一側(cè)，并與面陣紅外探測器焦平面和紅外光 學(xué)系統(tǒng)連接。所述的超分辨率紅外熱像儀，其編碼組件包括一個前置安裝板；在前置安裝板后方沿著光軸0-0’方向依次安裝包括前置光學(xué)窗口、膜片陣列、后置光學(xué)窗口、后置安裝板和步進(jìn)轉(zhuǎn)臺；所述前置安裝板用于安裝固定前置光學(xué)窗口，后置安裝板，用于安裝固定后置光學(xué)窗口 ；位于前置光學(xué)窗口和后置光學(xué)窗口之間的膜片陣列由前置安裝板和后置安裝板安裝固定，用于對透光的紅外輻射信號編碼；前置光學(xué)窗口和后置光學(xué)窗口均用于保護(hù)膜片陣列，并使膜片陣列工作在穩(wěn)定的環(huán)境當(dāng)中；所述步進(jìn)轉(zhuǎn)臺用于裝載固定后置安裝板，并驅(qū)動整個編碼組件轉(zhuǎn)動。所述的超分辨率紅外熱像儀，其前置安裝板其中部為能嵌入前置光學(xué)窗口的空心區(qū)域；后置光學(xué)窗口其形狀大小與前置光學(xué)窗口相同；后置安裝板其中部為能嵌入后置光學(xué)窗口的空心區(qū)域；步進(jìn)轉(zhuǎn)臺其中部為一個小于后置掩膜光學(xué)窗口外形的空心區(qū)域。所述的超分辨率紅外熱像儀，其膜片陣列包含一塊對接收的紅外輻射信號透明的正方形的基板和NXN個正方形膜片，其中N為大于等于8，小于等于64的自然數(shù)；所述基板以光軸ο-o’為中心軸。所述的超分辨率紅外熱像儀，其正方形膜片固連在基板朝向前置光學(xué)窗口的平面上，形成一個正方型NXN陣列，用于對紅外輻射信號產(chǎn)生衍射效應(yīng)，從而實現(xiàn)紅外輻射信號編碼功能。所述的超分辨率紅外熱像儀，其基板為硅基板或鍺基板。所述的超分辨率紅外熱像儀，其正方形膜片與基板固連為貼合連接。所述的超分辨率紅外熱像儀，其正方形膜片有兩種，一種為高透光率膜片，另一種為低透光率膜片；高透光率膜片與低透光率膜片的透光率之比為10 : O. 8 I. 5。所述的超分辨率紅外熱像儀，其低透光率膜片的數(shù)量大于等于正方形膜片總數(shù)的1/4，小于等于正方形膜片總數(shù)的3/4，其余的正方形膜片為高透光率膜片。本發(fā)明的用于本發(fā)明所述的超分辨率紅外熱像儀的紅外光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)方案是
按光線先進(jìn)入的構(gòu)件其位置在前來定義相應(yīng)構(gòu)件在前和在后的位置關(guān)系，所述光學(xué)系統(tǒng)它包括一個前置透鏡，用作整個紅外光學(xué)系統(tǒng)的前保護(hù)窗口，維持紅外光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)部環(huán)境狀態(tài)的穩(wěn)定性；一個會聚透鏡，位于前置透鏡之后，用于將編碼后的紅外輻射信號會聚于在其后的面陣紅外探測器焦平面的靶面上，從而提高紅外圖像信號的信噪比；一個后置透鏡，位于會聚透鏡與面陣紅外探測器焦平面之間，用于面陣紅外探測器焦平面的光學(xué)窗口，將紅外光學(xué)系統(tǒng)與面陣紅外探測器焦平面隔離開，從而保持紅外光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定并保持面陣紅外探測器焦平面工作環(huán)境的穩(wěn)定；ー個冷卻套管，用于為紅外光學(xué)系統(tǒng)制冷保持其熱穩(wěn)定性；所述前置透鏡、會聚透鏡和后置透鏡均安裝在冷卻套管內(nèi)部。使用本發(fā)明的超分辨率紅外熱像儀獲取高分辨率紅外圖像的方法技術(shù)方案，包括如下步驟
A、標(biāo)定超分辨率紅外熱像儀的點擴(kuò)展函數(shù)
在步進(jìn)轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)之前標(biāo)定一次，記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為;步進(jìn)轉(zhuǎn)臺順時針旋轉(zhuǎn)90度，記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為Φ2 ;步進(jìn)轉(zhuǎn)臺再順時針旋轉(zhuǎn)90度，記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為Φ3;步進(jìn)轉(zhuǎn)臺再順時針旋轉(zhuǎn)90度，記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為Φ4 ；
B、完成紅外輻射的編碼
場景發(fā)射紅外輻射信號f首先傳輸至編碼組件，編碼組件接收紅外輻射，并對透射后的紅外輻射產(chǎn)生衍射效應(yīng)，從而完成紅外輻射的編碼；
C、會聚編碼后的紅外輻射
透射穿過編碼組件后，紅外輻射傳輸至紅外光學(xué)系統(tǒng)，該紅外光學(xué)系統(tǒng)將編碼后的紅外輻射會聚于面陣紅外探測器焦平面的靶面上；
D、發(fā)送紅外輻射信號轉(zhuǎn)換的模擬電信號
面陣紅外探測器焦平面將編碼后的紅外輻射信號轉(zhuǎn)換為模擬電信號，并輸出至紅外成像電路組件當(dāng)中，并接收紅外成像電路組件發(fā)送的偏置信號，保持正常的工作狀態(tài)；
E、模擬電信號轉(zhuǎn)換并保存第一組紅外圖像信號
紅外成像電路組件接收面陣紅外探測器焦平面發(fā)送的模擬電信號，并將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，然后進(jìn)行解碼和信號處理，轉(zhuǎn)換形成第一組紅外圖像信號め=Φ/，并保存在紅外成像電路組件當(dāng)中；
F、形成并保存第二組紅外圖像信號
步進(jìn)轉(zhuǎn)臺順時針旋轉(zhuǎn)90度，然后再一次完成步驟B至E，形成第二組紅外圖像信號 并保存在紅外成像電路組件當(dāng)中；
G、形成并保存第三組紅外圖像信號
步進(jìn)轉(zhuǎn)臺再次順時針旋轉(zhuǎn)90度，然后再一次完成步驟B至Ε，形成第三組紅外圖像信號め=φ/，并保存在紅外成像電路組件當(dāng)中；
H、形成并保存第四組紅外圖像信號
步進(jìn)轉(zhuǎn)臺再次順時針旋轉(zhuǎn)90度，然后再一次完成步驟B至Ε，形成第四組紅外圖像信號ぬ=ゆ/，并保存在紅外成像電路組件當(dāng)中；
I、融合四組紅外圖像信號形成高分辨率紅外圖像
紅外成像電路組件結(jié)合標(biāo)定的四組點擴(kuò)展函數(shù)，將保存的同一場景下的四組紅外圖像信號進(jìn)行融合，演算出場景發(fā)射的紅外輻射信號f，形成ー幀高分辨率紅外圖像。上述方法進(jìn)ー步的技術(shù)方案是
所述的獲得高分辨率紅外圖像的方法，其演算出場景發(fā)射的紅外輻射信號/，形成ー幀 高分辨率紅外圖像，其步驟為
首先求得/,然后對其進(jìn)行傅里葉逆變換，獲得/的解，最后將這ー幀高分辨率紅外圖像輸出顯示；/根據(jù)下式求得
權(quán)利要求
1.ー種超分辨率紅外熱像儀，其特征在干，包括位于超分辨率紅外熱像儀的最前端并以光軸0-0’為中心軸的編碼組件(100)，用于接收場景(OOl)發(fā)射的紅外輻射信號，并對紅外輻射信號進(jìn)行編碼；在編碼組件(100)的后方延光軸0-0’方向依次安裝有紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)和面陣紅外探測器焦平面(300);所述紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)用于將通過編碼組件(100)的紅外輻射會聚于面陣紅外探測器焦平面(300)的靶面上，以增強(qiáng)紅外圖像信噪比，并用于面陣紅外探測器焦平面(300)的保護(hù)窗ロ ；面陣紅外探測器焦平面(300)用于將紅外輻射信號轉(zhuǎn)換為模擬電信號，并將模擬電信號輸出至紅外成像電路組件(500)當(dāng)中；還有制冷機(jī)(400)，用于為面陣紅外探測器焦平面(300)和紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)制冷，使二者保持低溫工作狀態(tài)；紅外成像電路組件(500)用于將接收到模擬電信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，然后解碼和處理，轉(zhuǎn)換為紅外圖像，并用于提供面陣紅外探測器焦平面(300)工作所需要的偏壓信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，所述紅外成像電路組件(500 )連接在面陣紅外探測器焦平面(300 )后方；所述制冷機(jī)(400 )安裝在面陣紅外探測器焦平面(300)—側(cè)，并與面陣紅外探測器焦平面(300)和紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，所述編碼組件(100)包括ー個前置安裝板(101);在前置安裝板(101)后方沿著光軸0-0’方向依次安裝包括前置光學(xué)窗ロ(102)、膜片陣列(103)、后置光學(xué)窗ロ(104)、后置安裝板(105)和步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)；所述前置安裝板(101)用于安裝固定前置光學(xué)窗ロ(102)，后置安裝板(105)，用于安裝固定后置光學(xué)窗ロ( 104);位于前置光學(xué)窗ロ( 102)和后置光學(xué)窗ロ( 104)之間的膜片陣列(103)由前置安裝板(101)和后置安裝板(105)安裝固定，用于對透光的紅外輻射信號編碼；前置光學(xué)窗ロ(102)和后置光學(xué)窗ロ(104)均用于保護(hù)膜片陣列(103)，并使膜片陣列(103)工作在穩(wěn)定的環(huán)境當(dāng)中；所述步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)用于裝載固定后置安裝板(105)，并驅(qū)動整個編碼組件(100)轉(zhuǎn)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，前置安裝板(101)其中部為能嵌入前置光學(xué)窗ロ( 102)的空心區(qū)域；后置光學(xué)窗ロ( 104)其形狀大小與前置光學(xué)窗ロ( 102)相同；后置安裝板(105)其中部為能嵌入后置光學(xué)窗ロ( 104)的空心區(qū)域；步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)其中部為一個小于后置掩膜光學(xué)窗ロ( 104)外形的空心區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，膜片陣列(103)包含ー塊對接收的紅外輻射信號透明的正方形的基板(103. I)和NXN個正方形膜片(103. 2)，其中N為大于等于8，小于等于64的自然數(shù)；所述基板(103. I)以光軸0-0’為中心軸。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，正方形膜片(103.2)固連在基板(103. I)朝向前置光學(xué)窗ロ(102)的平面上，形成ー個正方型NXN陣列，用于對紅外輻射信號產(chǎn)生衍射效應(yīng)，從而實現(xiàn)紅外輻射信號編碼功能。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，基板(103.I)為硅基板或錯基板。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，正方形膜片(103.2)與基板(103. I)固連為貼合連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求5或6或7或8所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在干，正方形膜片(103. 2)有兩種，一種為高透光率膜片(103. 21)，另ー種為低透光率膜片(103. 22);高透光率膜片(103. 21)與低透光率膜片(103. 22)的透光率之比為10 : O. 8 I. 5。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的超分辨率紅外熱像儀，其特征在于，低透光率膜片(103.22)的數(shù)量大于等于正方形膜片(103. 2)總數(shù)的1/4，小于等于正方形膜片(103. 2)總數(shù)的3/4，其余的正方形膜片(103. 2)為高透光率膜片(103. 21)。
11.ー種用于權(quán)利要求I所述的超分辨率紅外熱像儀的紅外光學(xué)系統(tǒng)，其特征在干，按光線先進(jìn)入的構(gòu)件其位置在前來定義相應(yīng)構(gòu)件在前和在后的位置關(guān)系，所述光學(xué)系統(tǒng)(200)它包括ー個前置透鏡(201 )，用作整個紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)的前保護(hù)窗ロ，維持紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)內(nèi)部環(huán)境狀態(tài)的穩(wěn)定性；一個會聚透鏡(202),位于前置透鏡(201)之后,用于將編碼后的紅外輻射信號會聚于在其后的面陣紅外探測器焦平面(300)的靶面上，從而提高紅外圖像信號的信噪比；ー個后置透鏡(203)，位于會聚透鏡(202)與面陣紅外探測器焦平面(300)之間，用于面陣紅外探測器焦平面(300)的光學(xué)窗ロ，將紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)與面陣紅外探測器焦平面(300)隔離開，從而保持紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)內(nèi)部環(huán)境的穩(wěn)定并保持面陣紅外探測器焦平面(300)工作環(huán)境的穩(wěn)定；ー個冷卻套管(204)，用于為紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)制冷保持其熱穩(wěn)定性；所述前置透鏡(201)、會聚透鏡(202)和后置透鏡(203)均安裝在冷卻套管(204)內(nèi)部。
12.—種用上述任ー權(quán)利要求所述的超分辨率紅外熱像儀獲取高分辨率紅外圖像的方法，其特征在于，包括如下步驟 A、標(biāo)定超分辨率紅外熱像儀的點擴(kuò)展函數(shù) 在步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)旋轉(zhuǎn)之前標(biāo)定一次,記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為;步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)順時針旋轉(zhuǎn)90度，記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為Φ2 ;步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)再順時針旋轉(zhuǎn)90度，記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為Φ3;步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)再順時針旋轉(zhuǎn)90度，記錄此時點擴(kuò)展函數(shù)為Φ4; B、完成紅外輻射的編碼 場景(001)發(fā)射紅外輻射信號f首先傳輸至編碼組件(100)，編碼組件(100)接收紅外輻射，并對透射后的紅外輻射產(chǎn)生衍射效應(yīng)，從而完成紅外輻射的編碼； C、會聚編碼后的紅外輻射 透射穿過編碼組件(100)后，紅外輻射傳輸至紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)，該紅外光學(xué)系統(tǒng)(200)將編碼后的紅外輻射會聚于面陣紅外探測器焦平面(300)的靶面上； D、發(fā)送紅外輻射信號轉(zhuǎn)換的模擬電信號 面陣紅外探測器焦平面(300)將編碼后的紅外輻射信號轉(zhuǎn)換為模擬電信號，并輸出至紅外成像電路組件(500)當(dāng)中，并接收紅外成像電路組件(500)發(fā)送的偏置信號，保持正常的工作狀態(tài)； E、模擬電信號轉(zhuǎn)換并保存第一組紅外圖像信號 紅外成像電路組件(500)接收面陣紅外探測器焦平面(300)發(fā)送的模擬電信號，并將其轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號，然后進(jìn)行解碼和信號處理，轉(zhuǎn)換形成第一組紅外圖像信號めニゅ/，并保存在紅外成像電路組件(500)當(dāng)中； F、形成并保存第二組紅外圖像信號 步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)順時針旋轉(zhuǎn)90度，然后再一次完成步驟B至E，形成第二組紅外圖像信號g2=(p2f，并保存在紅外成像電路組件(500 )當(dāng)中； G、形成并保存第三組紅外圖像信號步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)再次順時針旋轉(zhuǎn)90度，然后再一次完成步驟B至E，形成第三組紅外圖像信號g3=Φ3f，并保存在紅外成像電路組件(500)當(dāng)中； H、形成并保存第四組紅外圖像信號 步進(jìn)轉(zhuǎn)臺(106)再次順時針旋轉(zhuǎn)90度，然后再一次完成步驟B至E，形成第四組紅外圖像信號g4=Φ4f，并保存在紅外成像電路組件(500)當(dāng)中； I、融合四組紅外圖像信號形成高分辨率紅外圖像 紅外成像電路組件(500)結(jié)合標(biāo)定的四組點擴(kuò)展函數(shù)，將保存的同一場景下的四組紅外圖像信號進(jìn)行融合，演算出場景(001)發(fā)射的紅外輻射信號/，形成ー幀高分辨率紅外圖像。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的獲得高分辨率紅外圖像的方法，其特征在于，所述演算出場景(001)發(fā)射的紅外輻射信號/，形成ー幀高分辨率紅外圖像，其步驟為 首先求得/ ,然后對其進(jìn)行傅里葉逆變換，獲得/的解，最后將這ー幀高分辨率紅外圖像輸出顯示；/根據(jù)下式求得其中/、&和教分別為f、gi φ,.的傅里葉變換； i=l, 2，3，4，代表采集的紅外圖像信號組數(shù)； τ為^的共軛； P為正則化參數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種超分辨率紅外熱像儀及用其獲取高分辨率紅外圖像的方法。紅外熱像儀包括位于最前端的編碼組件，在編碼組件的后方延光軸方向依次安裝有紅外光學(xué)系統(tǒng)和面陣紅外探測器焦平面，還有制冷機(jī)，用于為面陣紅外探測器焦平面和紅外光學(xué)系統(tǒng)制冷，使二者保持低溫工作狀態(tài)。應(yīng)用方法包括會聚編碼后的紅外輻射、發(fā)送紅外輻射信號轉(zhuǎn)換的模擬電信號、模擬電信號轉(zhuǎn)換并保存紅外圖像信號等步驟，最后融合多組紅外圖像信號形成高分辨率紅外圖像。本發(fā)明的優(yōu)點是無光學(xué)掃描部件，改進(jìn)了紅外熱像儀的分辨率性能，提高了熱像儀的可靠性和穩(wěn)定性，提高了整個成像設(shè)備的圖像質(zhì)量；重量輕，實現(xiàn)難度低，制造和使用成本低。
文檔編號G01J5/10GK102661801SQ20121018343
公開日2012年9月12日 申請日期2012年6月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月6日
發(fā)明者余徽, 張智杰, 王晨晟, 陳福勝 申請人:中國船舶重工集團(tuán)公司第七一七研究所, 華中科技大學(xué)