專利名稱：激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光學(xué)干涉儀設(shè)備，具體涉及一種激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中干涉儀設(shè)備，如附圖I所示，調(diào)焦系統(tǒng)和準(zhǔn)直系統(tǒng)，在工作中此兩系統(tǒng)的位置經(jīng)常需要發(fā)生改變，即要么是調(diào)焦系統(tǒng)處在光軸X的位置，要么準(zhǔn)直系統(tǒng)處在光軸X的位置。在主機(jī)體中設(shè)置有調(diào)焦系統(tǒng)和準(zhǔn)直系統(tǒng)，準(zhǔn)直系統(tǒng)可用于對(duì)被測(cè)面的位置進(jìn)行調(diào)整和定位，也就是說，調(diào)整被測(cè)面和光軸X的相對(duì)位置，例如被測(cè)面與光軸X的垂直位置、被測(cè)面的待測(cè)量位置等。在準(zhǔn)直之后即可將準(zhǔn)直系統(tǒng)移走，然后將調(diào)焦系統(tǒng)移至光路中進(jìn)行 調(diào)焦，從而進(jìn)行成像，為了得到清晰的成像，調(diào)焦系統(tǒng)沿X軸方向還需要能直線移動(dòng)。如何設(shè)計(jì)一種結(jié)構(gòu)簡單、故障率低的裝置，能解決調(diào)焦系統(tǒng)和準(zhǔn)直系統(tǒng)的這種可移動(dòng)式設(shè)置，并提高干涉儀的圖像調(diào)節(jié)精度，成為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員努力的方向。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是提供一種激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，此準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單、故障率低，實(shí)現(xiàn)了干涉儀中調(diào)焦系統(tǒng)和準(zhǔn)直系統(tǒng)之間的位置切換并提高了干涉儀的圖像調(diào)節(jié)精度。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，包括調(diào)焦系統(tǒng)、準(zhǔn)直系統(tǒng)，所述調(diào)焦系統(tǒng)固定安裝于小直線導(dǎo)軌的小滑塊上，所述小直線導(dǎo)軌和所述準(zhǔn)直系統(tǒng)固定于一基板上表面，此基板固定安裝于大直線導(dǎo)軌的大滑塊上；所述小滑塊由滑塊本體和固定于滑塊本體外側(cè)端的軸承座塊組成，此軸承座塊的外側(cè)部具有一內(nèi)置有向心關(guān)節(jié)軸承的凹槽區(qū)；一固定支架一端固定于所述基板上，一移動(dòng)杠桿一端安裝到所述凹槽區(qū)內(nèi)向心關(guān)節(jié)軸承上，所述固定支架中部固定有具有支點(diǎn)的支點(diǎn)組件，移動(dòng)杠桿的中部與支點(diǎn)組件活動(dòng)連接，一伸縮部件位于所述固定支架另一端和移動(dòng)杠桿另一端之間可調(diào)節(jié)其之間距離從而使得移動(dòng)杠桿可繞支點(diǎn)組件的支點(diǎn)旋轉(zhuǎn)。上述技術(shù)方案中進(jìn)一步改進(jìn)方案如下
I、上述方案中，所述基板兩側(cè)分別設(shè)置有第一、第二擋塊。2、上述方案中，所述伸縮部件由一細(xì)牙螺桿和供此細(xì)牙螺桿旋入的通孔組成。3、上述方案中，所述固定支架和移動(dòng)杠桿之間并位于細(xì)牙螺桿兩側(cè)均設(shè)置有彈簧。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)和效果
本發(fā)明激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)簡單、故障率低。首先，在大直線導(dǎo)軌的作用下，手動(dòng)拉或推整個(gè)機(jī)構(gòu)組件，就可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)直系統(tǒng)和調(diào)焦系統(tǒng)的位置切換。其次，借助于固定在細(xì)牙螺桿兩側(cè)并與固定支架和移動(dòng)杠桿連接的兩根彈簧的拉力，通過調(diào)節(jié)細(xì)牙螺桿，把力傳遞給移動(dòng)杠桿，使移動(dòng)杠桿繞支點(diǎn)做曲線運(yùn)動(dòng)，通過線性導(dǎo)軌和向心關(guān)節(jié)軸承將移動(dòng)杠桿的曲線運(yùn)動(dòng)軌跡轉(zhuǎn)化為調(diào)焦系統(tǒng)的直線運(yùn)動(dòng)軌跡，從而實(shí)現(xiàn)了干涉儀中調(diào)焦系統(tǒng)精確的沿光軸X正負(fù)方向小范圍內(nèi)的直線移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)手動(dòng)式可操作的精確地獲得清晰的光學(xué)圖像，提高檢測(cè)精度。


附圖I為現(xiàn)有技術(shù)干涉儀光學(xué)成像系統(tǒng)集成框圖示意 附圖2為本發(fā)明準(zhǔn)直系統(tǒng)處于光軸X的結(jié)構(gòu)示意 附圖3為本發(fā)明調(diào)焦系統(tǒng)處于光軸X的結(jié)構(gòu)示意 附圖4為本發(fā)明主視結(jié)構(gòu)簡 附圖5為本發(fā)明俯視結(jié)構(gòu)簡 附圖6為本發(fā)明調(diào)焦系統(tǒng)處于光軸X的結(jié)構(gòu)簡 附圖7為本發(fā)明準(zhǔn)直系統(tǒng)處于光軸X的結(jié)構(gòu)簡 附圖8為本發(fā)明調(diào)焦系統(tǒng)與固定支架和移動(dòng)杠桿通過支點(diǎn)連接的結(jié)構(gòu)簡 附圖9為附圖7的A-A剖面結(jié)構(gòu)簡 附圖10為附圖7的B-B剖面結(jié)構(gòu)簡 附圖11為本發(fā)明準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡圖。以上附圖中1、準(zhǔn)直系統(tǒng)；2、調(diào)焦系統(tǒng)；3、小直線導(dǎo)軌；4、小滑塊；5、基板；6、大直線導(dǎo)軌；7、大滑塊；8、滑塊本體；9、軸承座塊；10、向心關(guān)節(jié)軸承；11、凹槽區(qū)；12、固定支架；13、移動(dòng)杠桿；14、支點(diǎn)；15、支點(diǎn)組件；16、伸縮部件；161、細(xì)牙螺桿；162、通孔；171、第一擋塊；172、第二擋塊；18、彈簧。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述
實(shí)施例一種激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，如附圖2-11所示，包括準(zhǔn)直系統(tǒng)I、調(diào)焦系統(tǒng)2，所述調(diào)焦系統(tǒng)2固定安裝于小直線導(dǎo)軌3的小滑塊4上，所述小直線導(dǎo)軌3和所述準(zhǔn)直系統(tǒng)I固定于一基板5上表面，此基板5固定于安裝于大直線導(dǎo)軌6的大滑塊7上；所述小滑塊4由滑塊本體8和固定于滑塊本體8外側(cè)端的軸承座塊9組成，此軸承座塊9的外側(cè)部具有一內(nèi)置有向心關(guān)節(jié)軸承10的凹槽區(qū)11 ;一固定支架12 —端固定于所述基板5上，一移動(dòng)杠桿13 —端安裝到所述凹槽區(qū)11內(nèi)向心關(guān)節(jié)軸承10上，所述固定支架12中部固定有具有支點(diǎn)14的支點(diǎn)組件15，移動(dòng)杠桿13的中部與支點(diǎn)組件15活動(dòng)連接，一伸縮部件16位于所述固定支架12另一端和移動(dòng)杠桿13另一端之間可調(diào)節(jié)其之間距離從而使得移動(dòng)杠桿13可繞支點(diǎn)組件15的支點(diǎn)14旋轉(zhuǎn)；所述伸縮部件16由一細(xì)牙螺桿161和供此細(xì)牙螺桿161旋入的通孔162組成。上述基板5兩側(cè)分別設(shè)置有第一、第二擋塊171、172，實(shí)現(xiàn)對(duì)基板5的行程進(jìn)行限位，有利于準(zhǔn)直系統(tǒng)I、調(diào)焦系統(tǒng)2的切換。
上述固定支架12和移動(dòng)杠桿13之間并位于細(xì)牙螺桿16兩側(cè)均設(shè)置有彈簧18。(I)準(zhǔn)直系統(tǒng)I、調(diào)焦系統(tǒng)2兩系統(tǒng)位置的變換
具體如圖6、圖7所示。準(zhǔn)直系統(tǒng)I、調(diào)焦系統(tǒng)2兩系統(tǒng)位置的變換，通過大導(dǎo)軌和基板5連接，兩邊的擋塊上裝有磁鐵，解決了兩系統(tǒng)的定位問題，只要在右邊給一個(gè)力拉或推整個(gè)機(jī)構(gòu)組件就可以實(shí)現(xiàn)。(2)調(diào)焦系統(tǒng)2的直線移動(dòng)
如圖8所示為調(diào)焦系統(tǒng)與固定支架和移動(dòng)杠桿13連接的結(jié)構(gòu)圖，下面從這個(gè)結(jié)構(gòu)圖的不同剖面詳細(xì)地分析一下以下兩點(diǎn)
①利用向心關(guān)節(jié)軸承把曲線運(yùn)動(dòng)分解
從圖9可以看出，移動(dòng)杠桿13與調(diào)焦系統(tǒng)2通過一個(gè)向心關(guān)節(jié)軸承10連接，固定向心關(guān)節(jié)軸承10的軸承座塊9又與小直線導(dǎo)軌3相連，保證了調(diào)焦系統(tǒng)2是沿直線移動(dòng)。利用向心關(guān)節(jié)軸承10有一定的轉(zhuǎn)角的特性，可以分解曲線運(yùn)動(dòng)，從而不至于要求外力很大，或是發(fā)生調(diào)焦系統(tǒng)2直線運(yùn)動(dòng)被卡死的情況。其中，向心關(guān)節(jié)軸承10與軸承座塊9之間還需 要有一定的間隙。 ②添加支點(diǎn)
如圖10所示，移動(dòng)杠桿13與固定支架12通過銷釘座用螺絲連接后，再與銷釘座一起用銷釘固定。另外移動(dòng)杠桿13與固定支架12之間在細(xì)牙螺桿16兩側(cè)分別還需要有彈簧18拉著，并且外力作用于移動(dòng)杠桿13也是靠細(xì)牙螺桿16來實(shí)現(xiàn)。這樣的結(jié)構(gòu)使在輕松調(diào)節(jié)細(xì)牙螺桿的條件下，就能實(shí)現(xiàn)調(diào)焦系統(tǒng)2在小范圍內(nèi)沿著小直線導(dǎo)軌3往返直線移動(dòng)。上述實(shí)施例只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，包括準(zhǔn)直系統(tǒng)(I)、調(diào)焦系統(tǒng)(2)，所述調(diào)焦系統(tǒng)(2)固定安裝于小直線導(dǎo)軌(3)的小滑塊(4)上，所述小直線導(dǎo)軌(3)和所述準(zhǔn)直系統(tǒng)(I)固定于一基板(5)上表面,此基板(5)固定安裝于大直線導(dǎo)軌(6)的大滑塊(7)上；其特征在于所述小滑塊(4)由滑塊本體(8)和固定于滑塊本體(8)外側(cè)端的軸承座塊(9)組成，此軸承座塊(9)的外側(cè)部具有一內(nèi)置有向心關(guān)節(jié)軸承(10)的凹槽區(qū)(11);一固定支架(12)—端固定于所述基板(5)上，一移動(dòng)杠桿(13)—端安裝到所述凹槽區(qū)(11)內(nèi)向心關(guān)節(jié)軸承(10)上，所述固定支架(12)中部固定有具有支點(diǎn)(14)的支點(diǎn)組件(15)，移動(dòng)杠桿(13)的中部與支點(diǎn)組件(15)活動(dòng)連接，一伸縮部件(16)位于所述固定支架(12)另一端和移動(dòng)杠桿(13)另一端之間可調(diào)節(jié)其之間距離從而使得移動(dòng)杠桿(13)可繞支點(diǎn)組件(15)的支點(diǎn)(14)旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于所述基板(5)兩側(cè)分別設(shè)置有第一、第二擋塊(171、172)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于所述伸縮部件(16)由一細(xì)牙螺桿(161)和供此細(xì)牙螺桿(161)旋入的通孔(162)組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，其特征在于所述固定支架(12)和移動(dòng)杠桿(13)之間并位于細(xì)牙螺桿(161)兩側(cè)均設(shè)置有彈簧(18)。
全文摘要
本發(fā)明公開一種激光干涉儀中的準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，包括調(diào)焦系統(tǒng)、準(zhǔn)直系統(tǒng)，所述調(diào)焦系統(tǒng)固定安裝于小直線導(dǎo)軌的小滑塊上，所述小直線導(dǎo)軌和所述準(zhǔn)直系統(tǒng)固定于一基板上表面，此基板固定安裝于大直線導(dǎo)軌的大滑塊上；所述小滑塊由滑塊本體和固定于滑塊本體外側(cè)端的軸承座塊組成，此軸承座塊的外側(cè)部具有一內(nèi)置有向心關(guān)節(jié)軸承的凹槽區(qū)；一固定支架一端固定于所述基板上，一移動(dòng)杠桿一端安裝到所述凹槽區(qū)內(nèi)向心關(guān)節(jié)軸承上，移動(dòng)杠桿的中部與支點(diǎn)組件活動(dòng)連接，一伸縮部件位于所述固定支架另一端和移動(dòng)杠桿另一端之間。本發(fā)明準(zhǔn)直與調(diào)焦機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單、故障率低，實(shí)現(xiàn)了干涉儀中調(diào)焦系統(tǒng)和準(zhǔn)直系統(tǒng)之間的位置切換，并實(shí)現(xiàn)了手動(dòng)式可操作的調(diào)節(jié)干涉儀的圖像清晰度，提高檢測(cè)精度。
文檔編號(hào)G01B9/02GK102721363SQ20121019608
公開日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月14日
發(fā)明者張慧麗, 李海林, 韓森 申請(qǐng)人:蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司