專利名稱：自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板缺陷檢測(cè)領(lǐng)域，特別是涉及ー種用于檢測(cè)基板缺陷的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)是液晶行業(yè)對(duì)玻璃基板等基板類原料及半成品的常用的檢測(cè)手段。其中自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置可用于檢測(cè)基板表面的圖像是否符合規(guī)定、是否存在由破壞性物質(zhì)造成的壞點(diǎn)以及判定破壞性物質(zhì)等造成的壞點(diǎn)的準(zhǔn)確位置。一般采用自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的CCD (Charge-coupled Device,電荷稱合元件)圖像傳感器對(duì)被檢測(cè)基板拍照得到被檢測(cè)基板的灰度圖像，然后通過(guò)對(duì)該灰度圖像進(jìn)行分析，判定被檢測(cè)基板是否存在壞點(diǎn)。圖I是ー種現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置包括圖·像傳感器11、傳感器固定平臺(tái)12、基板承載平臺(tái)13以及基板傳送模塊(圖中未示出)。該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置使用時(shí)，被檢測(cè)基板14 (如玻璃基板)在基板傳送模塊的驅(qū)動(dòng)下，在基板承載平臺(tái)13上移動(dòng)；同時(shí)設(shè)置在被檢測(cè)基板14上方的圖像傳感器11對(duì)被檢測(cè)基板14的表面進(jìn)行拍照，并將拍照的圖像轉(zhuǎn)換為灰度圖像后，與事先輸入的基板灰度圖像進(jìn)行對(duì)比，依此判定被檢測(cè)基板14是否存在壞點(diǎn)以及壞點(diǎn)的位置。但是該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置只能對(duì)被檢測(cè)基板14的表面的壞點(diǎn)等缺陷進(jìn)行很好的檢測(cè)，如被檢測(cè)基板14的內(nèi)部出現(xiàn)壞點(diǎn)等缺陷，則可能無(wú)法檢測(cè)出來(lái)，從而使得不合格的基板流入到下ーエ序中。故，有必要提供一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可以檢測(cè)到基板內(nèi)部缺陷的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，解決了現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置無(wú)法檢測(cè)到基板內(nèi)部缺陷的技術(shù)問(wèn)題。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下本發(fā)明涉及一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其包括基板承載平臺(tái)，用于承載被檢測(cè)基板；傳感器固定平臺(tái)，設(shè)置在所述被檢測(cè)基板的上方；圖像傳感器，設(shè)置在所述傳感器固定平臺(tái)上，用于對(duì)所述被檢測(cè)基板進(jìn)行拍照；以及背光源，設(shè)置在所述被檢測(cè)基板的下方，與所述圖像傳感器的位置相對(duì)應(yīng)，用于照射所述被檢測(cè)基板的被檢測(cè)部分。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述基板承載平臺(tái)上設(shè)置有ー缺ロ部，所述背光源設(shè)置在所述缺ロ部?jī)?nèi)。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述缺ロ部?jī)?nèi)還設(shè)置有用于提供托カ給所述被檢測(cè)基板的吹風(fēng)模塊，所述背光源設(shè)置在所述吹風(fēng)模塊的上方。
在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述吹風(fēng)模塊根據(jù)所述被檢測(cè)基板的重量設(shè)定風(fēng)壓。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述背光源活動(dòng)設(shè)置在所述缺ロ部?jī)?nèi)，所述背光源與所述傳感器固定平臺(tái)同步運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述缺ロ部?jī)?nèi)還設(shè)置有用于承載所述被檢測(cè)基板的透明玻璃托板，所述背光源設(shè)置在所述透明玻璃托板的下方。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述透明玻璃托板的上表面與所述基板承載平臺(tái)的上表面平齊。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述背光源活動(dòng)設(shè)置在所述缺ロ部?jī)?nèi)，所述背光源與所述傳感器固定平臺(tái)同步運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述背光源固定設(shè)置在整個(gè)所述缺ロ部 內(nèi)。在本發(fā)明所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置中，所述透明玻璃托板的上表面貼附有用于防止所述透明玻璃托板的上表面的光反射的吸光貼片。相較于現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置可檢測(cè)到基板內(nèi)部缺陷，解決了現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置無(wú)法檢測(cè)到基板內(nèi)部缺陷的技術(shù)問(wèn)題。為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下


圖I是ー種現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的第一優(yōu)選實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖；圖3為按圖2的截面線A-A’方向所示的截面圖；圖4為本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的第二優(yōu)選實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖；圖5為按圖4的截面線B-B’方向所示的截面圖；其中，附圖標(biāo)記說(shuō)明如下21、圖像傳感器；22、傳感器固定平臺(tái)；23、基板承載平臺(tái)；231、缺ロ部；232、吹風(fēng)模塊；333、透明玻璃托板；334、吸光貼片；24、被檢測(cè)基板；25、背光源。
具體實(shí)施例方式以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語(yǔ)，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「?jìng)?cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用以說(shuō)明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。請(qǐng)參照?qǐng)D2和圖3，圖2為本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的第一優(yōu)選實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖，圖3為按圖2的截面線A-A’方向所示的截面圖。該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置包括基板承載平臺(tái)23、傳感器固定平臺(tái)22、圖像傳感器21以及背光源25。該基板承載平臺(tái)23用于承載被檢測(cè)基板24 ;傳感器固定平臺(tái)22設(shè)置在被檢測(cè)基板24的上方；圖像傳感器21設(shè)置在傳感器固定平臺(tái)22上，用于對(duì)被檢測(cè)基板24進(jìn)行拍照，得到被檢測(cè)基板24的灰度圖像；背光源25設(shè)置在被檢測(cè)基板24的下方，與圖像傳感器21的位置相對(duì)應(yīng)，通過(guò)照射被檢測(cè)基板24的被檢測(cè)部分，使得圖像傳感器21可以更準(zhǔn)確地判斷被檢測(cè)基板24是否具有內(nèi)部缺陷(如壞點(diǎn)等)。
該基板承載平臺(tái)23上設(shè)置有一缺ロ部231，背光源25活動(dòng)設(shè)置在缺ロ部231內(nèi)，背光源25與傳感器固定平臺(tái)22同步運(yùn)動(dòng)，以保證背光源25與圖像傳感器21的位置相對(duì)應(yīng)；缺ロ部231內(nèi)還設(shè)置有用于提供托カ給被檢測(cè)基板24的吹風(fēng)模塊232(如空氣噴射器，Air Jet),該背光源25設(shè)置在吹風(fēng)模塊232的上方并可在吹風(fēng)模塊232的上方運(yùn)動(dòng)，吹風(fēng)模塊232可根據(jù)被檢測(cè)基板24的重量設(shè)定吹風(fēng)的風(fēng)壓，使得被檢測(cè)基板24可穩(wěn)定的從缺ロ部231的上方通過(guò)；而不會(huì)因?yàn)轱L(fēng)壓太小造成被檢測(cè)基板24與基板承載平臺(tái)23的邊緣相撞，也不會(huì)因?yàn)轱L(fēng)壓太大造成被檢測(cè)基板24移動(dòng)的不穩(wěn)定。如被檢測(cè)基板24較重，則將吹風(fēng)模塊232的風(fēng)壓設(shè)置的較大；如被檢測(cè)基板24較輕，則將吹風(fēng)模塊232的風(fēng)壓設(shè)置的較小。本實(shí)施例中的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置使用時(shí)，根據(jù)被檢測(cè)基板24的重量設(shè)定好吹風(fēng)模塊232的吹風(fēng)風(fēng)壓，然后將被檢測(cè)基板24放置在基板承載平臺(tái)23上，由基板傳送模塊(圖中未示出)驅(qū)動(dòng)被檢測(cè)基板24按圖2中的X方向運(yùn)動(dòng)。當(dāng)被檢測(cè)基板24經(jīng)過(guò)基板承載平臺(tái)23的缺ロ部231的時(shí)候，被檢測(cè)基板24在吹風(fēng)模塊232的作用下位于缺ロ部231的上方，背光源25和傳感器固定平臺(tái)22同步運(yùn)動(dòng)(如圖3所示的方向)，傳感器固定平臺(tái)22上的圖像傳感器21對(duì)位于缺ロ部231上方的被檢測(cè)基板24進(jìn)行缺陷檢測(cè)。由于背光源25設(shè)置在被檢測(cè)基板24的下方，而圖像傳感器21設(shè)置在被檢測(cè)基板24的上方，背光源25出射的光線可以透過(guò)被檢測(cè)基板24的整個(gè)被檢測(cè)部分，這樣不僅被檢測(cè)基板24的表面的缺陷會(huì)影響圖像傳感器21獲得的灰度圖像，而且被檢測(cè)基板24的內(nèi)部缺陷也會(huì)影響圖像傳感器21獲得的灰度圖像，因此可通過(guò)比對(duì)圖像傳感器21獲得的灰度圖像和事先輸入的基板灰度圖像，來(lái)判斷被檢測(cè)基板24的表面或內(nèi)部是否存在缺陷。這里的被檢測(cè)基板24可以是純玻璃基板，也可以是沉積有金屬層等不透明材料的具有一定功能的基板。請(qǐng)參照?qǐng)D4和圖5，圖4為本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置的第二優(yōu)選實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)圖，圖5為按圖4的截面線B-B’方向所示的截面圖。本實(shí)施例與本發(fā)明的第一優(yōu)選實(shí)施例的區(qū)別在于，基板承載平臺(tái)23的缺ロ部231內(nèi)未設(shè)置吹風(fēng)模塊，而是設(shè)置有用于承載被檢測(cè)基板24的透明玻璃托板333，背光源25設(shè)置在透明玻璃托板333的下方；透明玻璃托板333的上表面與基板承載平臺(tái)23的上表面平齊。背光源25活動(dòng)設(shè)置在缺ロ部231內(nèi)，這時(shí)背光源25與傳感器固定平臺(tái)22同步運(yùn)動(dòng)，以保證對(duì)缺ロ部231上方的被檢測(cè)基板24的被檢測(cè)部分進(jìn)行缺陷檢測(cè)。
當(dāng)然背光源25也可固定設(shè)置在整個(gè)缺ロ部231，這樣背光源25不需要運(yùn)動(dòng)，只需要傳感器固定平臺(tái)22帶著圖像傳感器21在缺ロ部231上方運(yùn)動(dòng)，對(duì)被檢測(cè)基板24的被檢測(cè)部分進(jìn)行缺陷檢測(cè)即可。為了使得圖像傳感器21具有更好的檢測(cè)效果，該透明玻璃托板333的上表面貼附有用于防反射的吸光貼片334 (該吸光貼片334與透明玻璃托板333的厚度比例僅為了更好的顯示，并非實(shí)際厚度比例)。該吸光貼片334可以避免透明玻璃托板333的上表面的光反射影響圖像傳感器21獲取的灰度圖像而產(chǎn)生缺陷誤判。該吸光貼片334只有單向吸光作用，背光源25發(fā)出的光可以不被其吸收而直接透過(guò)。本實(shí)施例中的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置使用吋，只需將被檢測(cè)基板24放置在基板承載平臺(tái)23上，由基板傳送模塊(圖中未示出)驅(qū)動(dòng)被檢測(cè)基板24按圖4中的Y方向運(yùn)動(dòng)。當(dāng)被檢測(cè)基板24經(jīng)過(guò)透明玻璃托板333 (即基板承載平臺(tái)23的缺ロ部231)的時(shí)候，背光源25和傳感器固定平臺(tái)22同步運(yùn)動(dòng)(如圖5所示的方向，當(dāng)然背光源25也可固定設(shè)置)，傳感 器固定平臺(tái)22上的圖像傳感器21對(duì)透明玻璃托板333上方的被檢測(cè)基板24進(jìn)行缺陷檢測(cè)。由于背光源25設(shè)置在被檢測(cè)基板24的下方，而圖像傳感器21設(shè)置在被檢測(cè)基板24的上方，背光源25出射的光線可以透過(guò)被檢測(cè)基板24的整個(gè)被檢測(cè)部分，這樣不僅被檢測(cè)基板24的表面的缺陷會(huì)影響圖像傳感器21獲得的灰度圖像，而且被檢測(cè)基板24的內(nèi)部缺陷也會(huì)影響圖像傳感器21獲得的灰度圖像，因此可通過(guò)比對(duì)圖像傳感器21獲得的灰度圖像和事先輸入的基板灰度圖像，來(lái)判斷被檢測(cè)基板24的表面或內(nèi)部是否存在缺陷。這里的被檢測(cè)基板24可以是純玻璃基板，也可以是沉積有金屬層等不透明材料的具有一定功能的基板。由于使用透明玻璃托板333代替吹風(fēng)模塊支撐位于缺ロ部231的被檢測(cè)基板24，且透明玻璃托板333的上表面與基板承載平臺(tái)23的上表面平齊，使得被檢測(cè)基板24的重量不會(huì)對(duì)被檢測(cè)基板24移動(dòng)的產(chǎn)生影響，保證了被檢測(cè)基板24不會(huì)與基板承載平臺(tái)23的邊緣相撞，大大增加了本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置對(duì)不同規(guī)格的被檢測(cè)基板24的兼容性。本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置可檢測(cè)到基板內(nèi)部的缺陷，解決了現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置無(wú)法檢測(cè)到基板內(nèi)部缺陷的技術(shù)問(wèn)題。綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括 基板承載平臺(tái)，用于承載被檢測(cè)基板； 傳感器固定平臺(tái)，設(shè)置在所述被檢測(cè)基板的上方； 圖像傳感器，設(shè)置在所述傳感器固定平臺(tái)上，用于對(duì)所述被檢測(cè)基板進(jìn)行拍照；以及 背光源，設(shè)置在所述被檢測(cè)基板的下方，與所述圖像傳感器的位置相對(duì)應(yīng)，用于照射所述被檢測(cè)基板的被檢測(cè)部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述基板承載平臺(tái)上設(shè)置有一缺口部，所述背光源設(shè)置在所述缺口部?jī)?nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述缺口部?jī)?nèi)還設(shè)置有用于提供托力給所述被檢測(cè)基板的吹風(fēng)模塊，所述背光源設(shè)置在所述吹風(fēng)模塊的上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述吹風(fēng)模塊根據(jù)所述被檢測(cè)基板的重量設(shè)定風(fēng)壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述背光源活動(dòng)設(shè)置在所述缺口部?jī)?nèi)，所述背光源與所述傳感器固定平臺(tái)同步運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述缺口部?jī)?nèi)還設(shè)置有用于承載所述被檢測(cè)基板的透明玻璃托板，所述背光源設(shè)置在所述透明玻璃托板的下方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述透明玻璃托板的上表面與所述基板承載平臺(tái)的上表面平齊。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述背光源活動(dòng)設(shè)置在所述缺口部?jī)?nèi)，所述背光源與所述傳感器固定平臺(tái)同步運(yùn)動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述背光源固定設(shè)置在整個(gè)所述缺口部?jī)?nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述透明玻璃托板的上表面貼附有用于防止所述透明玻璃托板的上表面的光反射的吸光貼片。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置。該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置包括基板承載平臺(tái)、傳感器固定平臺(tái)、圖像傳感器以及背光源。本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置可檢測(cè)到基板的內(nèi)部缺陷，解決了現(xiàn)有的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置無(wú)法檢測(cè)到基板內(nèi)部缺陷的技術(shù)問(wèn)題。
文檔編號(hào)G01N21/956GK102759531SQ20121025943
公開(kāi)日2012年10月31日 申請(qǐng)日期2012年7月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月25日
發(fā)明者林勇佑 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司