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      彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法

      文檔序號:5958193閱讀:146來源:國知局
      專利名稱:彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及エ業(yè)檢測技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及ー種彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法。
      背景技術(shù)
      現(xiàn)有技術(shù)中,對于彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測步驟大致如下當(dāng)彩色濾光片進(jìn)入AOI (Automatic Optic Inspection,自動光學(xué)檢測)設(shè)備內(nèi)后,有顯微鏡進(jìn)行移動讀取Mark (標(biāo)記),識別出Mark,確立坐標(biāo)系;TDI CXD (時間延遲積分電荷耦合元件)再對彩色濾 光片進(jìn)行掃描,通過圖像處理與顯微鏡讀取Mark確立的坐標(biāo)系進(jìn)行匹配,輸出缺陷坐標(biāo)。圖I是AOI設(shè)備示意圖,如圖I所示,所述AOI設(shè)備I包括顯微鏡和TDI CCD,并且顯微鏡設(shè)置在顯微鏡龍門架11上,TDI CXD設(shè)置在TDI CXD龍門架12上?,F(xiàn)有檢測方法存在以下缺陷彩色濾光片進(jìn)入AOI設(shè)備內(nèi)后,先由顯微鏡進(jìn)行移動讀取AOI Mark,再由TDI C⑶進(jìn)行圖像掃描,讀取AOI Mark與TDI C⑶掃描分為兩個步驟,導(dǎo)致檢測步驟多,檢測周期比較長,并且造成設(shè)備發(fā)生故障的頻率上升,影響設(shè)備的穩(wěn)定性;顯微鏡龍門架與TDI CCD龍門架屬于兩個不同的龍門架,他們之間存在著坐標(biāo)上的誤差,而TDI CCD所輸出的缺陷坐標(biāo)是以顯微鏡計算的數(shù)據(jù)為基礎(chǔ),這樣缺陷坐標(biāo)的誤差就會很大,不能準(zhǔn)確地對缺陷進(jìn)行處理,影響產(chǎn)品的品質(zhì)。

      發(fā)明內(nèi)容
      (一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是如何提供ー種彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法,以簡化檢測步驟,提高檢測精度。(ニ)技術(shù)方案ー種彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法,其包括步驟A :捕捉彩色濾光片的圖像;B :對所述圖像進(jìn)行處理,得到所述彩色濾光片上灰階變化的臨界點(diǎn);C :根據(jù)所述臨界點(diǎn)捕捉到所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣;D :根據(jù)所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣確定所述彩色濾光片的坐標(biāo)系,根據(jù)所述坐標(biāo)系輸出缺陷坐標(biāo)。其中,所述步驟A中,通過時間延遲積分電荷耦合元件捕捉彩色濾光片的圖像。其中,所述步驟B具體包括步驟BI :對所述圖像進(jìn)行合成;B2 :對合成后的圖像進(jìn)行灰階處理,獲取所述彩色濾光片上各個像素的灰階值;B3 :根據(jù)所述灰階值的變化情況,找到所述彩色濾光片上灰階變化的臨界點(diǎn)。其中,所述標(biāo)記為多個,呈十字形,分別設(shè)置在所述彩色濾光片的拐角處。
      其中,在所述步驟D之后還包括步驟E :修補(bǔ)設(shè)備根據(jù)所述缺陷坐標(biāo)對所述彩色濾光片進(jìn)行修補(bǔ)。(三)有益效果本發(fā)明所述彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法具有以下優(yōu)勢省略了顯微鏡讀取Mark的步驟,通過圖像處理建立坐標(biāo)系并輸出缺陷坐標(biāo)數(shù)據(jù),既減少了設(shè)備的工作周期,提高了檢測效率,又提高了對缺陷坐標(biāo)的檢測精度;避免了由于顯微鏡或者顯微鏡的龍門架出現(xiàn)故障,而影響TDI CCD工作的情況,提高了檢測設(shè)備的穩(wěn)定性;由檢測設(shè)備輸出的缺陷坐標(biāo)更加精確,從而使下游的修補(bǔ)設(shè)備能夠更準(zhǔn)確地找出缺陷位置進(jìn)行修補(bǔ),提升了產(chǎn)品質(zhì)量。


      圖I是AOI設(shè)備示意圖;圖2是本發(fā)明實(shí)施例所述彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法的流程圖;圖3是所述步驟B的流程圖;圖4是所述標(biāo)記在彩色濾光片上的位置示意圖;圖5是所述標(biāo)記所對應(yīng)的臨界點(diǎn)示意圖;圖6是根據(jù)臨界點(diǎn)捕捉到的所述標(biāo)記的示意圖;圖7是根據(jù)臨界點(diǎn)捕捉到的所述彩色濾光片的邊緣示意圖。
      具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
      作進(jìn)ー步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明,但不用來限制本發(fā)明的范圍。圖2是本發(fā)明實(shí)施例所述彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法的流程圖,如圖2所示,所述方法包括步驟A :捕捉彩色濾光片的圖像。本步驟中,通過時間延遲積分電荷耦合元件(即TDI (XD)捕捉彩色濾光片的圖像,所述圖像具有較高的分辨率。TDI CXD適用于對ー些高速移動的物體成像,其優(yōu)勢是同一景物對多行線陣像元信號相加成像,與普通線陣CCD (尤其是面陣CCD)相比較減小了像元之間響應(yīng)的不均勻性。B :對所述圖像進(jìn)行處理,得到所述彩色濾光片上灰階變化的臨界點(diǎn)。圖3是所述步驟B的流程圖,如圖3所示,所述步驟B具體包括步驟BI :對所述圖像進(jìn)行合成。由于彩色濾光片處于運(yùn)動狀態(tài),TDI CXD所捕捉原始圖像并不能反映完整的彩色濾光片,因此,需要首先對所述圖像進(jìn)行合成,以得到能夠反映完整的彩色濾光片的圖像,以便后續(xù)處理。B2:對合成后的圖像進(jìn)行灰階處理,獲取所述彩色濾光片上各個像素的灰階值。B3 :根據(jù)所述灰階值的變化情況,找到所述彩色濾光片上灰階變化的臨界點(diǎn)?;译A值代表了圖像中像素由最暗到最亮之間不同亮度的層次級別,當(dāng)圖像中包含標(biāo)記(即Mark)時,會在標(biāo)記與背景圖像的交界處出現(xiàn)灰階值跳變的現(xiàn)象。同理,在所述彩色濾光片的邊緣處,也會出現(xiàn)灰階值跳變的現(xiàn)象。這種灰階值跳變的現(xiàn)象對應(yīng)于一系列灰階變化的臨界點(diǎn),而根據(jù)這些臨界點(diǎn)可以捕捉到所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣。C :根據(jù)所述臨界點(diǎn)捕捉到所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣。圖4是所述標(biāo)記在彩色濾光片上的位置示意圖,如圖4所示,本實(shí)施例中,所述標(biāo)記為四個,呈十字形,分別設(shè)置在所述彩色濾光片的四個拐角處。所述標(biāo)記可以用于后續(xù)建立所述彩色濾光片的坐標(biāo)系,考慮到建立坐標(biāo)系的需要,其數(shù)量還可以是3個、5個等等。圖5是所述標(biāo)記所對應(yīng)的臨界點(diǎn)示意圖;圖6是根據(jù)臨界點(diǎn)捕捉到的所述標(biāo)記的示意圖。如圖5和圖6所示,根據(jù)所述標(biāo)記所對應(yīng)的臨界點(diǎn)可以清晰地捕捉到所述彩色濾光片上的標(biāo)記,在獲得所述標(biāo)記的過程中,并未如傳統(tǒng)方法那樣用到顯微鏡,從而簡化了處理步驟,提高了檢測效率。圖7是根據(jù)臨界點(diǎn)捕捉到的所述彩色濾光片的邊緣示意圖,如圖7所示,基干與捕捉所述標(biāo)記相同的原理,可以捕捉得到所述彩色濾光片的邊緣。D :根據(jù)所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣確定所述彩色濾光片的坐標(biāo)系,根據(jù)所述坐標(biāo)系輸出缺陷坐標(biāo)。首先以所述標(biāo)記為例進(jìn)行說明,參見圖4,根據(jù)圖4中至少三個標(biāo)記,可以建立一個對應(yīng)所述彩色濾光片的直角坐標(biāo)系,并且確定坐標(biāo)原點(diǎn)。比如,將左下角標(biāo)記的中心記作點(diǎn)0,將左上角標(biāo)記的中心記作點(diǎn)Y,將右下角標(biāo)記的中心記作點(diǎn)X,則可建立ー個以0點(diǎn)為原點(diǎn),以O(shè)、X所在直線為X軸,以O(shè)、Y所在直線為y軸的直角坐標(biāo)系,根據(jù)該直角坐標(biāo)系可以為所述彩色濾光片上每個點(diǎn)賦予ー個坐標(biāo),從而可以根據(jù)該直角坐標(biāo)系輸出缺陷坐標(biāo)。當(dāng)根據(jù)所述彩色濾光片的邊緣確定所述彩色濾光片的坐標(biāo)系時,可以選擇兩個相互垂直的邊緣建立ー個與上述直角坐標(biāo)系相類似的直角坐標(biāo)系,比如,以左側(cè)邊緣和下側(cè)邊緣的交點(diǎn)為原點(diǎn),以左側(cè)邊緣所在直線為y軸,以下側(cè)邊緣所在直線為X軸建立直角坐標(biāo)系,然后根據(jù)該直角坐標(biāo)系輸出缺陷坐標(biāo)。由于所述彩色濾光片的邊緣并不一定標(biāo)準(zhǔn),所以依據(jù)所述標(biāo)記確定的直角坐標(biāo)系相比依據(jù)所述彩色濾光片的邊緣所確定的直角坐標(biāo)系具有更高的精度,所得到的缺陷坐標(biāo)也相應(yīng)地更加精確。
      在得到所述缺陷坐標(biāo)后,可以采用修補(bǔ)設(shè)備根據(jù)所述缺陷坐標(biāo)對所述彩色濾光片進(jìn)行修補(bǔ),以保證所述彩色濾光片的質(zhì)量可靠。本發(fā)明實(shí)施例所述彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法具有以下優(yōu)勢省略了顯微鏡讀取Mark的步驟,通過圖像處理建立坐標(biāo)系并輸出缺陷坐標(biāo)數(shù)據(jù),既減少了設(shè)備的工作周期,提高了檢測效率,又提高了對缺陷坐標(biāo)的檢測精度;避免了由于顯微鏡或者顯微鏡的龍門架出現(xiàn)故障,而影響TDI CCD工作的情況,提高了檢測設(shè)備的穩(wěn)定性;由檢測設(shè)備輸出的缺陷坐標(biāo)更加精確,從而使下游的修補(bǔ)設(shè)備能夠更準(zhǔn)確地找出缺陷位置進(jìn)行修補(bǔ),提升了產(chǎn)品質(zhì)量。以上實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明,而并非對本發(fā)明的限制,有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下,還可以做出各種變化和變型,因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇,本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
      權(quán)利要求
      1.一種彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法,其特征在于,包括步驟 A :捕捉彩色濾光片的圖像; B :對所述圖像進(jìn)行處理,得到所述彩色濾光片上灰階變化的臨界點(diǎn); C :根據(jù)所述臨界點(diǎn)捕捉到所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣; D :根據(jù)所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣確定所述彩色濾光片的坐標(biāo)系,根據(jù)所述坐標(biāo)系輸出缺陷坐標(biāo)。
      2.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于,所述步驟A中,通過時間延遲積分電荷耦合元件捕捉彩色濾光片的圖像。
      3.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于,所述步驟B具體包括步驟 BI :對所述圖像進(jìn)行合成; B2 :對合成后的圖像進(jìn)行灰階處理,獲取所述彩色濾光片上各個像素的灰階值; B3 :根據(jù)所述灰階值的變化情況,找到所述彩色濾光片上灰階變化的臨界點(diǎn)。
      4.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于,所述標(biāo)記為多個,呈十字形,分別設(shè)置在所述彩色濾光片的拐角處。
      5.如權(quán)利要求I所述的方法,其特征在于,在所述步驟D之后還包括步驟E:修補(bǔ)設(shè)備根據(jù)所述缺陷坐標(biāo)對所述彩色濾光片進(jìn)行修補(bǔ)。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種彩色濾光片上缺陷坐標(biāo)的檢測方法,涉及工業(yè)檢測領(lǐng)域。所述方法包括步驟捕捉彩色濾光片的圖像;對所述圖像進(jìn)行處理,得到所述彩色濾光片上灰階變化的臨界點(diǎn);根據(jù)所述臨界點(diǎn)捕捉到所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣;根據(jù)所述彩色濾光片上的標(biāo)記或者所述彩色濾光片的邊緣確定所述彩色濾光片的坐標(biāo)系,根據(jù)所述坐標(biāo)系輸出缺陷坐標(biāo)。所述方法具有以下優(yōu)勢省略了顯微鏡讀取Mark的步驟,通過圖像處理建立坐標(biāo)系并輸出缺陷坐標(biāo)數(shù)據(jù),既減少了設(shè)備的工作周期,提高了檢測效率,又提高了對缺陷坐標(biāo)的檢測精度。
      文檔編號G01N21/88GK102854195SQ20121035721
      公開日2013年1月2日 申請日期2012年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月21日
      發(fā)明者張鐵軼, 余道平, 劉超強(qiáng), 張祥 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司
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