專利名稱：緊湊型的檢測臺以及應用該檢測臺的檢測方法
技術領域：
本發(fā)明涉及自動化光學檢測設備領域，尤其涉及一種檢測臺以及應用該檢測臺的檢測方法。
背景技術：
通常，平板玻璃、觸摸屏、導光板或液晶面板等器件在制造中需要經過表面結構質量檢測，通過光學檢測判定元器件表面結構是否存有缺陷。在光學檢測過程中，一般先通過第一光學檢測儀對元件表面快速地進行初檢，以判斷是否存在缺陷，初檢后再通過第二光學檢測儀對初檢后的元件表面慢速地進行復檢，以檢查出具體的缺陷，如線路的短路、斷路、錯位等缺陷。 現(xiàn)有的檢測臺如圖5所示，檢測臺包括運載平臺11、支架12，設置在支架12—側的第一光學檢測儀13，設置在支架12另一側的第二光學檢測儀14。檢測一待測物件如平板顯示器15時，平板顯示器15先放置在設有第一光學檢測儀13 —側的運載平臺11上，然后平板顯示器15在推動或帶動作用下，在運載平臺11上朝具有第二光學檢測儀14的另一側運動，即第一方向運動，同時第一光學檢測儀13在垂直第一方向的第二方向運動,如此第一光學檢測儀13實現(xiàn)對平板顯示器15表面的初檢，初檢后的平板顯示器15表面進入到有第二光學檢測儀14的另一側，第二光學檢測儀14在第二方向運動，實現(xiàn)對平板顯示器15表面的復檢。然在隨著待測物件如平板顯示器尺寸的增大，如物件的長度為L，第一光學檢測儀和第二光學檢測儀在第一方向上的距離為D，應用這樣的布局方式，運載平臺的長度至少應為2L+D的尺寸長度，如此，運載平臺的尺寸會很大，從而會加大自動化光學檢測設備的成本。

發(fā)明內容
鑒于以上所述，本發(fā)明有必要提供一種可減小運載平臺尺寸、降低成本的檢測臺。另外，有必要提供一種應用該檢測臺的檢測方法?！N檢測臺，用于檢測待測物件，包括運載平臺、至少一支架，所述每一支架上設有第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀，所述運載平臺用以放置在第一方向運動的待測物件，所述支架設在運載平臺上，至少一支架上的一側或兩側設置有所述第一光學檢測儀，至少一支架上的一側或兩側設置有所述第二光學檢測儀，所述第一光學檢測儀以及第二光學檢測儀在檢測待測物件時沿第二方向運動，所述第一方向與第二方向形成預定角度，所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀對待測物體分段檢測。其中，所述第一光學檢測儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件的缺陷位置，所述第二光學檢測為高倍顯微鏡，以對所述缺陷位置高倍顯示。其中，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學檢測儀或第二光學檢測儀分段同時測量。其中，第一光學檢測儀或第二光學檢測儀排列成兩排，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀將檢測臺分成第一段及第二段。其中，所述第一段、第二段、所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離均為待測物件長度的一半。其中，所述待測物件的長度為L，第一段的長度LI在L/2到L之間，第二段的的長度L2在L/2到L之間，所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離D小于L。其中，所述待測物件的長度為L，所述第一段的長度為L，所述第二段的長度為L/2，所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距 離為L/2。一種檢測臺，用于檢測待測物件，包括運載平臺、支架、第一光學檢測儀、以及第二光學檢測儀，所述運載平臺用以放置在第一方向運動的待測物件，所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀分別列成兩排并設于所述支架上，所述兩排第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀將運載平臺分成第一段、第二段及第三段，所述第一光學檢測儀以及第二光學檢測儀在檢測待測物件時沿第二方向運動，所述第一方向與第二方向形成預定角度，并且所述第一段的長度為LI，第二段的長度為D，第三段的長度為L2，所述待測物的長度為L，使得所述 L〈 = L1+L2〈2L，0〈D〈L。一種使用上述檢測臺的檢測方法，包括以下步驟將待測物件置入運載平臺的一端；使待測物件在第一方向運動，同時啟動第一光學檢測儀，第一光學檢測儀在垂直第一方向的第二方向運動，與待測物件在第一方向運動從而實現(xiàn)對待測物件表面的初檢；待待測物件表面初檢完成，移出在運載平臺上方的第一光學檢測儀并且開啟第二光學檢測儀，使待測物件在第一方向運動，第二光學檢測儀在垂直第一方向的第二方向運動，與待測物件在第一方向運動而實現(xiàn)對待測物件表面的復檢。其中，所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀分別列成兩排或多排設于所述支架上并將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀分段同時或交替檢測。相較于現(xiàn)有技術，本發(fā)明檢測臺通過在支架兩側設置第一光學檢測儀，以及在支架的兩側或一側設置第二光學檢測儀，可使得檢測時，待測物件放置在初始位置位于運載平臺的一段時，其一段可伸過支架與另一段的第一光學檢測儀或第二光學檢測儀平齊，從而可避免僅有一側設有第一光學檢測儀或第二光學檢測儀而與該第一光學檢測儀或第二光學檢測儀對齊而需要的更大位置長度，然后通過支架的兩側的第一光學檢測儀或第二光學檢測儀來初查或者復查，如此可減小運載平臺的尺寸，從而降低設備的成本；且在初檢過程中，通過兩側的第一光學檢測儀對待測物件兩段分別同時掃描，可節(jié)省掃描時間，提高檢測效率。


圖I為本發(fā)明第一較佳實施例檢測臺示意圖2為本發(fā)明檢測線路示意圖；圖3為本發(fā)明第二較佳實施例檢測臺示意圖；圖4為本發(fā)明第三較佳實施例檢測臺示意圖；
圖5為現(xiàn)有的檢測臺示意圖。
具體實施例方式為詳細說明本發(fā)明的技術內容、構造特征、所實現(xiàn)目的及效果，以下結合實施方式并配合附圖詳予說明。請參閱圖1，本發(fā)明第一較佳實施例所示檢測臺20，包括運載平臺21、支架22、第一光學檢測儀23、以及第二光學檢測儀24。所述運載平臺21用以承載待測物件25。運載平臺21上可設置傳送裝置(圖未示)，以帶動待測物件25在第一方向上運動，如沿著圖I的水平方向。運載平臺21上亦可不設傳送帶，通過外物推拉待測物件25在運載平臺21在一方向上滑動。所述支架22在本發(fā)明較佳實施例中為U型門，支架22設在運載平臺21上，將運載平臺21分成第一段211及第二段212，支架22形成通道(圖未示)可供待測物件25穿過從第一段211運行至第二段212。所述第一光學檢測儀23和第二光學檢測儀24在第一方向上的距離為D，第一段211的長度為LI，第二段212的長度為L2。所述支架22也可以為龍門結構。所述第一光學檢測儀23以及所述第二光學檢測儀24分別設置在支架22的兩側或一側，且所述第一光學檢測儀23以及第二光學檢測儀24在檢測待測物件時沿第二方向運動，如圖I中的鉛垂方向。在檢測的過程中，所述待測物件25沿著第一方向運動，所述第一光學檢測儀23沿著第二方向移動，從而使第一光學檢測儀23掃描待測物件25的整個待側面，從而實現(xiàn)了對待測物件25的初步檢測。在檢測的過程中，所述待測物件25沿著第一方向運動，所述第二光學檢測儀24沿著第二方向移動，從而使第二光學檢測儀24掃描待測物件25的經初步檢測疑似缺陷位置，從而實現(xiàn)了對待測物件25的復檢。在本發(fā)明的較佳實施例中，所述第一光學檢測儀23為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件大致的缺陷位置。所述第二光學檢測儀24為高倍顯微鏡，用以對所述缺陷位置高倍顯示，以便對缺陷進一步確認。本第一較佳實施例中，該支架22的一段的兩側分別設置有所述第一光學檢測儀23，該支架22另一段的兩側分別設置有所述第二光學檢測儀24。較佳地，所待測物件25的長度為L，第一段211的長度LI為L/2，第二段212的長度L2為L/2，所述第一光學檢測儀23和第二光學檢測儀24在第一方向上的距離D為L/2。如此，運載平臺的總體長度為3L/2，小于長度2L+D。應用所述的檢測臺20的檢測所述待測物件25時，將待測物件25置入運載平臺21的第一段211，待測物件25的末段與第一段211外側平齊，前段穿入支架22的通道，且與設置在第二段212的第一光學檢測儀23對齊。然后使待測物件25朝第二段212運動，同時開啟支架22的兩側的第一光學檢測儀23,待測物件25在第一方向運動,第一光學檢測儀23在垂直第一方向的第二方向運動，與待測物件25在第一方向運動，當待測物件25前段運動到第二段212的外側平齊時，待測物件25的末段恰進入到支架22的通道內，如此，支架22的兩側的第一光學檢測儀23分別將待測物件25的一半?yún)^(qū)域掃描完成，如此實現(xiàn)對待測物件25整個表面的初檢。在初檢過程中，待測物件25的前段在被第二段212的第一光學檢測儀23掃描的同時，第一段211的第一光學檢測儀23對待測物件25的后段進行掃描，節(jié)省了初檢的掃描時間。然后使待測物件25朝第一段211運動，同時退出第一光學檢測儀23開啟支架22的兩側的第二光學檢測儀24，待測物件25在第一方向運動，第二光學檢測儀24在垂直第一方向的第二方向運動，與待測物件25在第一方向運動，當待測物件25末端運動到第一段211的外側平齊時，待測物件25的前段恰進入到支架22的通道內，如此，支架22的兩側的光第二光學檢測儀24分別將待測物件25的一半?yún)^(qū)域掃描完成，如此實現(xiàn)對待測物件25整個表面的復檢。
本發(fā)明可以采用待測物件25最小移動法，最小第二光學檢測儀24移動法，或者待測物件25與二光學檢測儀24位移總和最小法進行檢測，從而優(yōu)化檢測路徑。結合參閱圖2，本發(fā)明較佳實施例的復檢示意圖，箭頭方向代表復檢的順序。初檢后獲知整個待測物件25表面缺陷點的具體位置，通過支架22的兩側的第二光學檢測儀24分別掃描聚焦抓取缺陷點，為了便于說明，將支架22的兩側的第二光學檢測儀24分別定義為左側顯微鏡、右側顯微鏡，以兩側的第二光學檢測儀24各取五個復檢點的影響為例。在通過初步檢測獲取疑似缺陷位置信息后,每一缺陷坐標位置為(Xi、Yi),其中，i為待測點的次序，本發(fā)明較佳實施例的一種復檢流程如下通過計算機分析獲得支架22的兩側的第二光學檢測儀24即左側顯微鏡與右側顯微鏡需要分別掃描的缺陷點及兩側的第二光學檢測儀24對應的最佳的優(yōu)化路徑，其計算方式可以為第一方向位移最小法、第二方向位移最小法、或者第一方向與第二方向位移之和最小法。例如圖2中，右側第二光學檢測儀24需要抓取第1、2、3、4、5共五個缺陷點的圖像，左側第二光學檢測儀24需要抓取6、7、8、9、10五個缺陷點的圖像；右側第二光學檢測儀24從起始位置移到第I缺陷點所在縱坐標Yl位置，左側第二光學檢測儀24移動第6缺陷點的Y6位置；沿著水平方向移動待測物體25，使其第I缺陷點移動至右側第二光學儀器24 ；右側第二光學檢測儀24聚焦，微調并抓取第I缺陷點的影像； 移動待測物體25至第6缺陷點移動至左側第二光學檢測儀24，微調左側第二光學檢測儀24并抓取第6缺陷點的影像，同時右側第二光學檢測儀24移動至第2缺陷點所在的縱坐標位置Y2 ；類似地，兩邊分別復檢一個缺陷點，在檢測左側的缺陷點過程中，右側的第二光學檢測24移動至下一個缺陷點所對應的縱坐標的位置，在檢測右側的缺陷點過程中，左側的第二光學檢測24移動至下一個缺陷點所對應的縱坐標的位置，如此可以大大減少檢測的時間。進一步地，若采用自動跟蹤聚焦顯微鏡，則所述的微調步驟可以省略。請參閱圖3，本發(fā)明第二較佳實施例所示的檢測臺30，其結構與第一較佳實施例大致相同，其區(qū)別在于所述待測物件25的長度為L，第一段211的長度LI在L/2到L之間，第二段212的長度L2在L/2到L之間，當LI < L2時，所述支架兩側的光學檢測儀在第一方向上的距離D在L-Ll與L之間，當L1>L2時，所述支架兩側的光學檢測儀在第一方向上的距離D在L-L2與L之間。如此，運載平臺21的總體長度為L1+L2+D，小于長度2L+D。應用該第二較佳實施例中所述的檢測臺30的檢測所述待測物件25的過程與所述第一較佳實施例的過程相同，在此不再詳述?？梢钥闯觯珼+LlD+L2 彡 L, L1+L2 彡 2L-2D ;機臺總長度 L1+L2+D 彡 2L-D ;當 LI = L2 = L-D = L/2 時，平
臺長度最短。從第一、第二較佳實施例可看出，通過在支架22兩側設置第一光學檢測儀23，以及在支架22的兩側設置第二光學檢測儀24，可使得檢測時，待測物件25放置在運載平臺21初始位置位的一段時，待測物件25的一段可伸過支架與另一段的第一光學檢測儀23或光學第二光學檢測儀24平齊，從而可相對僅在支架一側設有第一光學檢測儀、另一側設置第二光學檢測儀的運載平臺21節(jié)省了的長度，然后通過支架的兩側的第一光學檢測儀23或第二光學檢測儀24來初查或者復查，如此減小運載平臺21的尺寸，從而降低設備的成本；且無需對經過支架下通道長度D的時間空閑，可節(jié)省時間，提高了檢測效率。 請參閱圖4，本發(fā)明第三較佳實施例所示的檢測臺40，其結構與第一較佳實施例大致相同，其區(qū)別在于該支架22僅一側分別設置有所述第二光學檢測儀24，且位于運載平臺21的第一段211。所待測物件25的長度為L，如此，為了確保復檢能被第二光學檢測儀24完全掃描到，則第一段211的長度需為L，所述第一光學檢測儀23和第二光學檢測儀24在第一方向上的距離D與第二段212的長度L2之和為L，從而整個運載平臺21的總體長度為2L，小于長度2L+D。較佳地，本第三實施例中，所述第一光學檢測儀23和第二光學檢測儀24在第一方向上的距離D與第二段212的長度均為L/2。應用該第二較佳實施例中所述的檢測臺30的檢測所述待測物件25的過程與所述第一較佳實施例的過程相同，在此不再詳述。有必要說明的是在初檢中，所述待測物件25的前段可與第一段211的第一光學檢測儀23平齊，亦可伸過支架與第二段212的第一光學檢測儀23平齊。然本發(fā)明通過在支架22兩側均設置第一光學檢測儀23，如此可減小初檢掃描時間，如此，需將所述待測物件25的前段伸過支架與第二段212的第一光學檢測儀23平齊，從而，在待測物件25的前段在被第二段212的第一光學檢測儀23掃描的同時，第一段211的第一光學檢測儀23對待測物件25的后段進行掃描，節(jié)省了初檢的掃描時間。在復檢中，待測物件25的前段與末段均需通過設置在支架22第一段211的所述第二光學檢測儀24掃描。綜上，本發(fā)明檢測臺通過在支架兩側設置第一光學檢測儀，以及在支架的兩側或一側設置第二光學檢測儀，可使得檢測時，待測物件放置在位于運載平臺初始位置的一段時，待測物件的一段可伸過支架與支架另一側的第一光學檢測儀或光學第二光學檢測儀平齊，從而可避免僅有一側設有第一光學檢測儀或第二光學檢測儀而與該第一光學檢測儀或第二光學檢測儀對齊而需要的更大位置長度，然后通過支架的兩側的第一光學檢測儀或第二光學檢測儀來初查或者復查，如此可減小運載平臺的尺寸，從而降低設備的成本；且在檢測過程中，通過兩側的第一光學檢測儀對待測物件兩段同時分別掃描，可節(jié)省掃描時間，提高檢測效率。所述支架亦可為多個支架排列形成構成一整體的支架，第一光學檢測儀與第二光學檢測儀設置在該整體支架的兩側。此外，本發(fā)明的檢測臺還可以設置兩個、三個及其他數(shù)量的支架，每一支架上安裝第一光學檢測儀及第二光學檢測儀，通過提高支架的數(shù)量，可以采用類似上述方法對待測物分段分別同時檢測，進一步提高了檢測速度。上述實施例為本發(fā)明較佳的實施方式，但本發(fā)明的實施方式并不受上述實施例的限制，其他的任何未背離本發(fā)明的精神實質與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化， 均應為等效的置換方式，都包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
權利要求
1.一種緊湊型的檢測臺，用于檢測待測物件，包括運載平臺、至少一支架，所述每一支架上設有第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀，所述運載平臺用以放置在第一方向運動的待測物件，所述支架設在運載平臺上，其特征在于至少一支架上的一側或兩側設置有所述第一光學檢測儀，至少一支架上的一側或兩側設置有所述第二光學檢測儀，所述第一光學檢測儀以及第二光學檢測儀在檢測待測物件時沿第二方向運動，所述第一方向與第二方向形成預定角度，所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀對待測物體分段檢測。
2.根據(jù)權利要求I所述的檢測臺，其特征在于所述第一光學檢測儀為低倍顯微鏡，用以快速掃描待測物件以檢測待測物件的缺陷位置，所述第二光學檢測為高倍顯微鏡，以對所述缺陷位置高倍顯示。
3.根據(jù)權利要求I所述的檢測臺，其特征在于所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀的數(shù)量至少為二，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學檢測儀或第二光學檢測儀分段同時測量。
4.根據(jù)權利要求I所述的檢測臺，其特征在于第一光學檢測儀或第二光學檢測儀排列成兩排，所述第一光學檢測儀或第二光學檢測儀將檢測臺分成第一段及第二段。
5.根據(jù)權利要求3所述的檢測臺，其特征在于所述第一段、第二段、所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離均為待測物件長度的一半。
6.根據(jù)權利要求3所述的檢測臺，其特征在于所述待測物件的長度為L，第一段的長度LI在L/2到L之間，第二段的的長度L2在L/2到L之間，所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離D小于L。
7.根據(jù)權利要求3所述的檢測臺，其特征在于所述待測物件的長度為L，所述第一段的長度為L，所述第二段的長度為L/2，所述兩排第一光學檢測儀之間或者所述兩排第二光學檢測儀之間在第一方向上的距離為L/2。
8.一種緊湊型的檢測臺，用于檢測待測物件，包括運載平臺、支架、第一光學檢測儀、以及第二光學檢測儀，所述運載平臺用以放置在第一方向運動的待測物件，其特征在于所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀分別列成兩排并設于所述支架上，所述兩排第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀將運載平臺分成第一段、第二段及第三段，所述第一光學檢測儀以及第二光學檢測儀在檢測待測物件時沿第二方向運動，所述第一方向與第二方向形成預定角度，并且所述第一段的長度為LI，第二段的長度為D，第三段的長度為L2，所述待測物的長度為L，使得所述L〈 = L1+L2〈2L，0〈D〈L。
9.一種權利要求1-8任意一項所述檢測臺的檢測方法，包括以下步驟 將待測物件置入運載平臺的一端； 使待測物件在第一方向運動，同時啟動第一光學檢測儀，第一光學檢測儀在垂直第一方向的第二方向運動，與待測物件在第一方向運動從而實現(xiàn)對待測物件表面的初檢； 待待測物件表面初檢完成，移出在運載平臺上方的第一光學檢測儀并且開啟第二光學檢測儀，使待測物件在第一方向運動，第二光學檢測儀在垂直第一方向的第二方向運動，與待測物件在第一方向運動而實現(xiàn)對待測物件表面的復檢。
10.根據(jù)權利要求9所述的檢測臺的檢測方法，其特征在于所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀分別列成兩排或多排設于所述支架上并將待測物體分成若干段，所述待測物體為第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀分段同時或交替檢 測。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種緊湊型的檢測臺以及應用該檢測臺的檢測方法。該檢測臺，用于檢測待測物件，包括運載平臺、至少一支架，所述每一支架上設有第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀，所述運載平臺用以放置在第一方向運動的待測物件，所述支架設在運載平臺上，至少一支架上的一側或兩側分別設置有所述第一光學檢測儀，至少一支架上的一側或兩側設置有所述第二光學檢測儀，所述第一光學檢測儀以及第二光學檢測儀在檢測待測物件時沿第二方向運動，所述第一方向與第二方向形成預定角度，所述第一光學檢測儀和/或第二光學檢測儀對待測物體分段檢測。本發(fā)明可減小運載平臺的尺寸，從而降低設備的成本。
文檔編號G01N21/89GK102879405SQ20121037656
公開日2013年1月16日 申請日期2012年9月29日 優(yōu)先權日2012年9月29日
發(fā)明者裴世鈾, 李波, 溫曄, 楊鐵成, 張梁, 孫繼忠 申請人:肇慶中導光電設備有限公司