專利名稱：振子、振動(dòng)裝置及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種振子、振動(dòng)裝置及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
一直以來，作為用于對(duì)角速度進(jìn)行檢測(cè)的振動(dòng)片，已知一種所謂的“WT型”的陀螺元件(參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I的陀螺元件具有:振動(dòng)體；對(duì)振動(dòng)體進(jìn)行支承的第一支承部、第二支承部；對(duì)振動(dòng)體和第一支承部進(jìn)行連結(jié)的第一梁、第二梁；對(duì)振動(dòng)體和第二支承部進(jìn)行連結(jié)的第三梁、第四梁。此外，振動(dòng)體通過下述構(gòu)件而構(gòu)成，即，基部；從基部起沿著y軸而向兩側(cè)延伸的第一檢測(cè)振動(dòng)臂、第二檢測(cè)振動(dòng)臂；從基部起沿著X軸而向兩側(cè)延伸的第一連結(jié)部臂、第二連結(jié)部臂；從第一連結(jié)臂的頂端部起沿著I軸而向兩側(cè)延伸的第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂；從第二連結(jié)臂的頂端部起沿著I軸而向兩側(cè)延伸的第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂。此外，在專利文獻(xiàn)I的陀螺元件中，第一檢測(cè)電極、第二檢測(cè)電極被設(shè)置在第一檢測(cè)振動(dòng)臂、第二檢測(cè)振動(dòng)臂上，第一驅(qū)動(dòng)電極、第二驅(qū)動(dòng)電極、第三驅(qū)動(dòng)電極、第四驅(qū)動(dòng)電極被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂上。第一檢測(cè)電極及第一驅(qū)動(dòng)電極、第二驅(qū)動(dòng)電極通過第一梁、第二梁而向第一支承部被引出，并與被設(shè)置在第一支承部上的三個(gè)連接端子電連接。與此相同地，第二檢測(cè)電極及第三驅(qū)動(dòng)電極、第四驅(qū)動(dòng)電極通過第三梁、第四梁而向第二支承部被引出，并與被設(shè)置在第二支承部上的三個(gè)連接端子電連接。這種專利文獻(xiàn)I的陀螺元件通過導(dǎo)電性粘合劑而被安裝在安裝基板上。具體而言，六個(gè)連接端子中的每一個(gè)和安裝基板通過導(dǎo)電性粘合劑而被接合，由此，陀螺元件被固定在安裝基板上，并且陀螺元件和安裝基板被電連接。在此，由于被設(shè)置在第一支承部上的三個(gè)連接端子在X軸方向上相互并排設(shè)置，因此當(dāng)例如導(dǎo)電性粘合劑的塗布位置或塗布量發(fā)生偏差，或者陀螺元件相對(duì)于安裝基板的對(duì)準(zhǔn)發(fā)生偏差時(shí)，將存在如下的可能性，即，導(dǎo)電性粘合劑與所對(duì)應(yīng)的連接端子以外的連接端子接觸，或者相鄰的導(dǎo)電性粘合劑彼此接觸，從而陀螺元件無法正確地驅(qū)動(dòng)。即，在專利文獻(xiàn)I的陀螺元件中，如果不高精度地控制導(dǎo)電性粘合劑的塗布位置或塗布量、陀螺元件的對(duì)準(zhǔn)，則存在無法獲得正確地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的陀螺元件的問題。專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-256332號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠防止安裝在安裝基板上時(shí)的導(dǎo)電性固定部件彼此的接觸，從而進(jìn)行正確的驅(qū)動(dòng)的振子及振動(dòng)裝置。本發(fā)明是為了解決上述課題中的至少一部分而被完成的，并能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。
應(yīng)用例I本發(fā)明的振子的特征在于，具備:振動(dòng)片，其具備振動(dòng)體、對(duì)所述振動(dòng)體進(jìn)行支承的支承部、以及對(duì)所述支承部和所述振動(dòng)體進(jìn)行連結(jié)的梁；電極，其被設(shè)置在所述振動(dòng)體上，且至少為兩個(gè)；端子，其被設(shè)置在所述支承部上，并通過被設(shè)置在所述梁上的配線而與所述電極電連接，且至少為兩個(gè)，兩個(gè)所述端子沿著與所述梁的延伸方向交叉的方向，以分離的方式而并排設(shè)置，在兩個(gè)所述端子之間設(shè)置有多個(gè)槽，所述多個(gè)槽沿著與所述梁的延伸方向交叉的方向分離，且沿著所述梁的延伸方向延伸。由此，能夠防止多個(gè)導(dǎo)電性固定部件相互接觸，多個(gè)所述導(dǎo)電性固定部件用于將振子固定在支承基板上，且將被設(shè)置于支承基板上的電極(端子)和被設(shè)置于振子上的電極導(dǎo)通。因此，能夠提供可靠性優(yōu)異的振子。應(yīng)用例2在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，在與所述梁的延伸方向交叉的方向上，于設(shè)置有所述多個(gè)槽的區(qū)域內(nèi)包含所述梁與所述支承部之間的連接部。由于梁與支承部之間的接合部為容易發(fā)生應(yīng)力集中的部分，因此通過以包含這種接合部在內(nèi)的方式設(shè)置多個(gè)槽，從而能夠利用多個(gè)槽來有效地吸收或者緩和在接合部處產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠有效地抑制振子的破損。應(yīng)用例3在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述多個(gè)槽中的至少一個(gè)槽被獨(dú)立設(shè)置。由此，由于能夠防止進(jìn)入到各個(gè)槽中的導(dǎo)電性固定部件通過槽而接觸的情況，因此能夠更加可靠地防止導(dǎo)電性固定部件彼此的接觸。應(yīng)用例4在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體的相反側(cè)的端部在所述支承部的側(cè)面開放。由此，能夠通過槽而明確地將兩個(gè)端子之間隔開。因此，能夠防止例如導(dǎo)電性固定部件彼此順著未設(shè)置有槽的區(qū)域而接觸等的問題。應(yīng)用例5在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部是封閉的。由此，能夠防止流入到槽內(nèi)的導(dǎo)電性固定部件與被設(shè)置在梁上的配線接觸的情況。應(yīng)用例6在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與所述支承部的所述振動(dòng)體側(cè)的邊緣分離。由此，能夠防止流入到槽內(nèi)的導(dǎo)電性固定部件與被設(shè)置在梁上的配線接觸的情況。應(yīng)用例7在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與所述支承部的所述振動(dòng)體側(cè)的邊緣之間的分離距離在3 u m以上且35 m以下。由此，能夠防止流入到槽內(nèi)的導(dǎo)電性固定部件與被設(shè)置在梁上的配線接觸的情況。除此之外，能夠通過槽而明確地將兩個(gè)端子之間隔開。因此，能夠防止例如導(dǎo)電性固定部件彼此順著未設(shè)置有槽的區(qū)域而接觸等的問題。應(yīng)用例8在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述多個(gè)槽中的至少一個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部在所述支承部的側(cè)面開放。由此，能夠通過槽而明確地將兩個(gè)端子之間隔開。因此，能夠防止例如導(dǎo)電性固定部件彼此順著未設(shè)置有槽的區(qū)域而接觸等的問題。應(yīng)用例9在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述多個(gè)槽中的、位于一個(gè)所述端子側(cè)的至少一個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與和所述一個(gè)端子相連接的所述配線接觸，而位于另一個(gè)所述端子側(cè)的至少一個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與和所述另一個(gè)端子相連接的所述配線接觸。由此，能夠防止短路。應(yīng)用例10在本發(fā)明的振子中，優(yōu)選為，所述振動(dòng)體具備:基部；第一檢測(cè)振動(dòng)臂及第二檢測(cè)振動(dòng)臂，其從所述基部起沿著第一方向而向兩側(cè)延伸；第一連結(jié)臂及第二連結(jié)臂，其從所述基部起沿著與所述第一方向正交的第二方向而向兩側(cè)延伸；第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂及第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂，其從所述第一連結(jié)臂起沿著所述第一方向而向兩側(cè)延伸；第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂及第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂，其從所述第二連結(jié)臂起沿著所述第一方向而向兩側(cè)延伸，并且，所述振動(dòng)體通過所述第一檢測(cè)振動(dòng)臂及所述第二檢測(cè)振動(dòng)臂而構(gòu)成檢測(cè)振動(dòng)系統(tǒng)，且通過所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂及所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂而構(gòu)成驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)，所述支承部具備第一支承部及第二支承部，所述第一支承部及所述第二支承部隔著所述振動(dòng)體而沿著所述第一方向?qū)χ门渲?，并在所述第二方向上延伸，所述梁具?第一梁，其穿過所述第一檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第一支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)；第二梁，其穿過所述第一檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第一支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)；第三梁，其穿過所述第二檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第二支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)；第四梁，其穿過所述第二檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第二支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)，所述電極具備被設(shè)置于所述檢測(cè)振動(dòng)系統(tǒng)中的第一檢測(cè)信號(hào)電極、第二檢測(cè)信號(hào)電極、第一檢測(cè)接地電極及第二檢測(cè)接地電極、和被設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)中的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極及驅(qū)動(dòng)接地電極，所述端子具備與所述第一檢測(cè)信號(hào)電極相連接的第一檢測(cè)信號(hào)端子、與所述第二檢測(cè)信號(hào)電極相連接的第二檢測(cè)信號(hào)端子、與所述第一檢測(cè)接地電極相連接的第一檢測(cè)接地端子、與所述第二檢測(cè)接地電極相連接的第二檢測(cè)接地端子、與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極相連接的驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子、以及與所述驅(qū)動(dòng)接地電極相連接的驅(qū)動(dòng)接地端子。由此，能夠通過振子來對(duì)角速度進(jìn)行檢測(cè)。應(yīng)用例11本發(fā)明的振動(dòng)裝置的特征在于，具備:基板，其具備至少兩個(gè)連接襯墊；本發(fā)明的振子，所述連接襯墊和所述端子通過導(dǎo)電性固定部件而被接合在一起。由此，能夠提供可靠性較高的振動(dòng)裝置。應(yīng)用例12在本發(fā)明的振動(dòng)裝置中，優(yōu)選為，在俯視觀察所述基板時(shí)，所述連接襯墊的輪廓與設(shè)置有所述多個(gè)槽的區(qū)域的一部分重疊。由此，由于能夠?qū)⒍鄠€(gè)槽作為刻度(標(biāo)記)來使用，因此能夠更加準(zhǔn)確地實(shí)施相對(duì)于基板的定位。應(yīng)用例13本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，具備本發(fā)明的振子。由此，能夠提供可靠性較高的電子設(shè)備。


圖1為表示本發(fā)明的振動(dòng)裝置的第一實(shí)施方式的圖(剖視圖及俯視圖)。圖2為圖1所示的振動(dòng)裝置所具備的陀螺元件的俯視圖。圖3為圖1所示的振動(dòng)裝置所具備的陀螺元件的俯視圖。圖4為圖3所示的陀螺元件的局部放大圖。圖5為對(duì)圖2所示的陀螺元件的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行說明的俯視圖。圖6為表示現(xiàn)有的陀螺元件的問題點(diǎn)的剖視圖。圖7為用于對(duì)圖4所示的陀螺元件的效果進(jìn)行說明的剖視圖。圖8為本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置所具有的陀螺元件的局部放大圖。
具體實(shí)施例方式以下，根據(jù)附圖所示的實(shí)施方式，對(duì)本發(fā)明的振子及振動(dòng)裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。第一實(shí)施方式首先，對(duì)應(yīng)用了本發(fā)明的振子的振動(dòng)裝置(本發(fā)明的振動(dòng)裝置)的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1為表示本發(fā)明的振動(dòng)裝置的第一實(shí)施方式的圖(剖視圖及俯視圖)，圖2及圖3為圖1所示的振動(dòng)裝置所具備的陀螺元件的俯視圖、圖4為圖3所示的陀螺元件的局部放大圖，圖5為對(duì)圖2所示的陀螺元件的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行說明的俯視圖，圖6為表示現(xiàn)有的陀螺元件的問題點(diǎn)的剖視圖，圖7為用于對(duì)圖4所示的陀螺元件的效果進(jìn)行說明的剖視圖。另外，在下文中，如圖1所示，將相互正交的三個(gè)軸設(shè)為X軸、y軸及z軸，z軸與振動(dòng)裝置的厚度方向一致。此外，將與X軸平行的方向稱為“x軸方向(第二方向)”，將與y軸平行的方向稱為“y軸方向(第一方向)”，并將與z軸平行的方向稱為“z軸方向”。圖1所示的振動(dòng)裝置I具有陀螺元件(振動(dòng)元件)2、和對(duì)陀螺元件2進(jìn)行收納的封裝件9。以下，依次對(duì)陀螺元件2及封裝件9進(jìn)行詳細(xì)說明。陀螺元件2圖2為從上側(cè)(蓋92側(cè))觀察時(shí)的陀螺元件的上表面圖，圖3為從上側(cè)觀察時(shí)的陀螺元件的下表面圖(透視圖)。此外，在圖2及圖3中，為了便于說明，對(duì)電極及端子施加了陰影線。此外，在圖2及圖3中圖示了由相同的陰影線所示的電極及端子電連接。此外，在圖4中，為了便于說明，省略了支承部、梁、電極等的圖示。陀螺元件2為對(duì)繞z軸的角速度進(jìn)行檢測(cè)的“面內(nèi)檢測(cè)型”的傳感器，并且如圖2及圖3所示，通過振動(dòng)片3、被設(shè)置在振動(dòng)片3的表面上的多個(gè)電極、配線及端子而構(gòu)成。
雖然振動(dòng)片3可以由水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰等的壓電材料構(gòu)成，但是在這些壓電材料中，優(yōu)選為，由水晶構(gòu)成。由此，可獲得能夠發(fā)揮優(yōu)異的振動(dòng)特性(頻率特性)的振動(dòng)片3。這種振動(dòng)片3具有:呈所謂的雙T型的振動(dòng)體4 ;第一支承部51及第二支承部52，其對(duì)振動(dòng)體4進(jìn)行支承；第一梁61、第二梁62、第三梁63及第四梁64，其對(duì)振動(dòng)體4和第一支承部51、第二支承部52進(jìn)行連結(jié)。振動(dòng)體4在xy平面上具有寬度，而在z軸方向上具有厚度。這種振動(dòng)體4具有:基部41，其位于中央；第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422，其從基部41起沿著y軸方向而向兩側(cè)延伸；第一連結(jié)臂431、第二連結(jié)臂432，其從基部41起沿著x軸方向而向兩側(cè)延伸；第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442，其從第一連結(jié)臂431的頂端部起沿著y軸方向而向兩側(cè)延伸；第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444，其從第二連結(jié)臂432的頂端部起沿著y軸方向而向兩側(cè)延伸。在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422及第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442、第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的頂端部上，分別設(shè)置有與基端側(cè)相比寬度較大的大致四角形的重量部(錘頭)。通過設(shè)置這種重量部，從而提高陀螺元件2對(duì)角速度的檢測(cè)靈敏度。另外，在下文中，也將該重量部稱為“頂端部”。另外，第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442也可以從第一連結(jié)臂431的延伸方向的中途起延伸，同樣地，第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444也可以從第二連結(jié)臂432的延伸方向的中途起延伸。此外，第一支承部51、第二支承部52分別沿著X軸方向而延伸，振動(dòng)體4位于這些第一支承部51、第二支承部52之間。換言之，第一支承部51、第二支承部52被配置為，隔著振動(dòng)體4而沿著y軸方向?qū)χ?。第一支承?1通過第一梁61、第二梁62而與基部41相連結(jié)，第二支承部52通過第三梁63、第四梁64而與基部41相連結(jié)。第一梁61穿過第一檢測(cè)振動(dòng)臂421與第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441之間并對(duì)第一支承部51和基部41進(jìn)行連結(jié)，第二梁62穿過第一檢測(cè)振動(dòng)臂421與第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443之間并對(duì)第一支承部51和基部41進(jìn)行連結(jié)，第三梁63穿過第二檢測(cè)振動(dòng)臂422與第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442之間并對(duì)第二支承部52和基部41進(jìn)行連結(jié)，第四梁64穿過第二檢測(cè)振動(dòng)臂422與第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444之間并對(duì)第二支承部52和基部41進(jìn)行連結(jié)。這種各個(gè)梁61、62、63、64分別具有沿著X軸方向往復(fù)且沿著y軸方向延伸的蜿蜒部(S字形狀部)，且在X軸方向及y軸方向上具有彈性。此外，各個(gè)梁61、62、63、64由于分別呈具有蜿蜒部的細(xì)長(zhǎng)的形狀，因此在所有方向上均具有彈性。因此，即使從外部被施加沖擊，也由于具有利用各個(gè)梁61、62、63、64來吸收沖擊的作用，因此能夠降低或抑制由此產(chǎn)生的檢測(cè)噪聲。以上，對(duì)振動(dòng)片3的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。如圖2及圖3所示，在這種振動(dòng)片3中設(shè)置有檢測(cè)信號(hào)電極710、檢測(cè)信號(hào)配線712、檢測(cè)信號(hào)端子714、檢測(cè)接地電極720、檢測(cè)接地配線722、檢測(cè)接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730、驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732、驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734、驅(qū)動(dòng)接地電極740、驅(qū)動(dòng)接地配線742及驅(qū)動(dòng)接地端子744。為了便于說明，在圖2及圖3中，用右下斜線表示檢測(cè)信號(hào)電極710、檢測(cè)信號(hào)配線712及檢測(cè)信號(hào)端子714，用交叉斜線表示檢測(cè)接地電極720、檢測(cè)接地配線722及檢測(cè)接地端子724，用左下斜線表示驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730、驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732及驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734，用交叉縱橫線表示驅(qū)動(dòng)接地電極740、驅(qū)動(dòng)接地配線742及驅(qū)動(dòng)接地端子744。此外，在圖2及圖3中，用粗線表示被設(shè)置在振動(dòng)片3的側(cè)面上的電極、配線、端子。作為各個(gè)電極710、720、730、740、各個(gè)配線712、722、732、742及各個(gè)端子714、724、734、744，可以采用例如將由鉻構(gòu)成的基底層和由金構(gòu)成的電極層層壓在一起的結(jié)構(gòu)。由此，能夠形成緊貼性良好的各個(gè)電極710、720、730、740、各個(gè)配線712、722、732、742及各個(gè)端子 714、724、734、744。各個(gè)電極710、720、730、740相互電分離。與此相同地，各個(gè)配線712、722、732、742相互電分離，各個(gè)端子714、724、734、744也相互電分離。以下，對(duì)這些各個(gè)電極、各個(gè)配線、各個(gè)端子依次進(jìn)行說明。此外，在下文中，為了便于說明，將圖2中所示的面稱為“上表面”，將圖3中所示的面稱為“下表面”，將對(duì)上表面和下表面進(jìn)行連結(jié)的面稱為“側(cè)面”。(I)檢測(cè)信號(hào)電極、檢測(cè)信號(hào)配線及檢測(cè)信號(hào)端子檢測(cè)信號(hào)電極710被設(shè)置在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的上表面及下表面上。但是，在本實(shí)施方式中，檢測(cè)信號(hào)電極710未被設(shè)置在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的頂端部上。檢測(cè)信號(hào)電極710被配置為，關(guān)于XZ平面面對(duì)稱。檢測(cè)信號(hào)電極710為，用于在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的檢測(cè)振動(dòng)被激勵(lì)時(shí)，對(duì)由該振動(dòng)而產(chǎn)生的壓電材料的變形進(jìn)行檢測(cè)的電極。此外，檢測(cè)信號(hào)配線712被設(shè)置在第一梁61、第三梁63上。更加具體而言，檢測(cè)信號(hào)配線712被設(shè)置在第一梁61、第三梁63的上表面上。而且，檢測(cè)信號(hào)配線712還被設(shè)置在第一梁61與第一支承部51之間的接合部分的側(cè)面、第三梁63與第二支承部52之間的接合部分的側(cè)面、和基部41的上表面及下表面上。這種檢測(cè)信號(hào)配線712被配置為，關(guān)于xy平面面對(duì)稱。此外，檢測(cè)信號(hào)端子714被設(shè)置在第一支承部51、第二支承部52上。更加具體而言，檢測(cè)信號(hào)端子714被設(shè)置在第一支承部51、第二支承部52的上表面及下表面、還有側(cè)面上。被設(shè)置在第一支承部51的上表面、下表面及側(cè)面上的檢測(cè)信號(hào)端子714相互電連接。此外，被設(shè)置在第二支承部52的上表面、下表面及側(cè)面上的檢測(cè)信號(hào)端子714相互電連接。被設(shè)置在第一支承部51上的檢測(cè)信號(hào)端子714相對(duì)于設(shè)置有驅(qū)動(dòng)接地電極740的第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441的頂端部，被配置在y軸的正方向側(cè)。即，被設(shè)置在第一支承部51上的檢測(cè)信號(hào)端子714、和被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441的頂端部上的驅(qū)動(dòng)接地電極740在Y軸方向上對(duì)置。此外，被設(shè)置在第二支承部52上的檢測(cè)信號(hào)端子714相對(duì)于設(shè)置有驅(qū)動(dòng)接地電極740的第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的頂端部，被配置在I軸的負(fù)方向側(cè)。即，被設(shè)置在第二支承部52上的檢測(cè)信號(hào)端子714、和被設(shè)置在第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的頂端部上的驅(qū)動(dòng)接地電極740在y軸方向上對(duì)置。這種檢測(cè)信號(hào)端子714被配置為，關(guān)于xz平面面對(duì)稱。設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)信號(hào)端子(第一檢測(cè)信號(hào)端子)714通過設(shè)置于第一梁61上的檢測(cè)信號(hào)配線712，而與設(shè)置于第一檢測(cè)振動(dòng)臂421上的檢測(cè)信號(hào)電極(第一檢測(cè)信號(hào)電極)710電連接。具體而言，設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)信號(hào)端子714與設(shè)置于第一梁61的上表面上的檢測(cè)信號(hào)配線712相連接，檢測(cè)信號(hào)配線712從第一梁61的上表面起，經(jīng)過第一梁61與基部41之間的接合部分的側(cè)面，以及基部41的上表面及下表面，而與設(shè)置于第一檢測(cè)振動(dòng)臂421的上表面及下表面上的檢測(cè)信號(hào)電極710相連接。由此，能夠?qū)⑼ㄟ^第一檢測(cè)振動(dòng)臂421進(jìn)行振動(dòng)而產(chǎn)生的第一檢測(cè)信號(hào)從檢測(cè)信號(hào)電極710傳遞至被設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)信號(hào)端子714。設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)信號(hào)端子(第二檢測(cè)信號(hào)端子)714通過設(shè)置于第三梁63上的檢測(cè)信號(hào)配線712，而與設(shè)置于第二檢測(cè)振動(dòng)臂422上的檢測(cè)信號(hào)電極(第二檢測(cè)信號(hào)電極)710電連接。具體而言，設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)信號(hào)端子714與設(shè)置于第三梁63的上表面上的檢測(cè)信號(hào)配線712相連接，檢測(cè)信號(hào)配線712從第三梁63的上表面起，經(jīng)過第三梁63與基部41之間的接合部分的側(cè)面，以及基部41的上表面及下表面，而與設(shè)置于第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的上表面及下表面上的檢測(cè)信號(hào)電極710相連接。由此，能夠?qū)⑼ㄟ^第二檢測(cè)振動(dòng)臂422進(jìn)行振動(dòng)而產(chǎn)生的第二檢測(cè)信號(hào)從檢測(cè)信號(hào)電極710傳遞至被設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)信號(hào)端子714。(2)檢測(cè)接地電極、檢測(cè)接地配線及檢測(cè)接地端子檢測(cè)接地電極720被設(shè)置在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的頂端部上。具體而言，檢測(cè)接地電極720被設(shè)置在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的頂端部的上表面及下表面上。而且，檢測(cè)接地電極720被設(shè)置在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的側(cè)面上。設(shè)置于第一檢測(cè)振動(dòng)臂421的上表面、下表面及側(cè)面上的檢測(cè)接地電極720相互電連接。此外，設(shè)置于第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的上表面、下表面及側(cè)面上的檢測(cè)接地電極720相互電連接。這種檢測(cè)接地電極720被配置為，關(guān)于Xz平面面對(duì)稱。檢測(cè)接地電極720具有相對(duì)于檢測(cè)信號(hào)電極710而成為接地的電位。此外，檢測(cè)接地配線722被設(shè)置在第一梁61、第三梁63上。具體而言，檢測(cè)接地配線722被設(shè)置在第一梁61、第三梁63的下表面及側(cè)面上。而且，檢測(cè)接地配線722被設(shè)置在基部41的上表面及下表面上。檢測(cè)接地配線722被配置為，關(guān)于XZ平面面對(duì)稱。此外，檢測(cè)接地端子724被設(shè)置在第一支承部51、第二支承部52上。具體而言，檢測(cè)接地端子724被設(shè)置在第一支承部51、第二支承部52的上表面及下表面、還有側(cè)面上。設(shè)置于第一支承部51的上表面、下表面及側(cè)面上的檢測(cè)接地端子724相互電連接。此外，設(shè)置于第二支承部52的上表面、下表面及側(cè)面上的檢測(cè)接地端子724相互電連接。設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)接地端子724相對(duì)于設(shè)置有檢測(cè)接地電極720的第一檢測(cè)振動(dòng)臂421的頂端部，被配置在y軸的正方向側(cè)。即，設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)接地端子724、和設(shè)置于第一檢測(cè)振動(dòng)臂421的頂端部上的檢測(cè)接地電極720在y軸方向上對(duì)置。此外，設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)接地端子724相對(duì)于設(shè)置有檢測(cè)接地電極720的第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的頂端部，被配置在y軸的負(fù)方向側(cè)。即，設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)接地端子724、和設(shè)置于第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的頂端部上的檢測(cè)接地電極720在y軸方向上對(duì)置。這種檢測(cè)接地端子724被配置為，關(guān)于XZ平面面對(duì)稱。設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)接地端子(第一檢測(cè)接地端子)724通過設(shè)置于第一梁61上的檢測(cè)接地配線722，而與設(shè)置于第一檢測(cè)振動(dòng)臂421上的檢測(cè)接地電極(第一檢測(cè)接地電極)720電連接。具體而言，設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)接地端子724與設(shè)置于第一梁61的下表面及側(cè)面上的檢測(cè)接地配線722相連接，檢測(cè)接地配線722從第一梁61的下表面及側(cè)面起，經(jīng)過基部41的上表面及下表面，而與設(shè)置于第一檢測(cè)振動(dòng)臂421的上表面及下表面上的檢測(cè)接地電極720相連接。設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)接地端子(第二檢測(cè)接地端子)724通過設(shè)置于第三梁63上的檢測(cè)接地配線722，而與設(shè)置于第二檢測(cè)振動(dòng)臂422上的檢測(cè)接地電極(第二檢測(cè)接地電極)720電連接。具體而言，設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)接地端子724與設(shè)置于第三梁63的下表面及側(cè)面上的檢測(cè)接地配線722相連接，檢測(cè)接地配線722從第三梁63的下表面及側(cè)面起，經(jīng)過基部41的上表面及下表面，而與設(shè)置在第二檢測(cè)振動(dòng)臂422的上表面及下表面上的檢測(cè)接地電極720相連接。如上文所述，配置有檢測(cè)信號(hào)電極710、檢測(cè)信號(hào)配線712、檢測(cè)信號(hào)端子714、和檢測(cè)接地電極720、檢測(cè)接地配線722、檢測(cè)接地端子724。由此，在第一檢測(cè)振動(dòng)臂421上所產(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)能夠以設(shè)置于第一檢測(cè)振動(dòng)臂421上的檢測(cè)信號(hào)電極710與檢測(cè)接地電極720之間的電荷的形式而呈現(xiàn)，并以信號(hào)的形式而從設(shè)置于第一支承部51上的檢測(cè)信號(hào)端子714和檢測(cè)接地端子724中獲取。此外，在第二檢測(cè)振動(dòng)臂422上所產(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)能夠以設(shè)置于第二檢測(cè)振動(dòng)臂422上的檢測(cè)信號(hào)電極710與檢測(cè)接地電極720之間的電荷的形式而呈現(xiàn)，并以信號(hào)的形式而從設(shè)置于第二支承部52上的檢測(cè)信號(hào)端子714和檢測(cè)接地端子724中獲取。(3)驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極、驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線及驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442上。但是，在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730未被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的頂端部上。具體而言，驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的上表面及下表面上。而且，驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730還被設(shè)置在第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的側(cè)面、和第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的頂端部的上表面及下表面上。設(shè)置于第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443的上表面、下表面及側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730相互電連接。此外，設(shè)置于第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的上表面、下表面及側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730相互電連接。這種驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730被配置為，關(guān)于Xz平面面對(duì)稱。驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730為用于使第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442、第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)被激勵(lì)的電極。驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732被設(shè)置在第二梁62、第四梁64上。具體而言，驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732被設(shè)置在第二梁62、第四梁64的上表面上。而且，驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732被設(shè)置在基部41的上表面、第一連結(jié)臂431的上表面、和第一連結(jié)臂431、第二連結(jié)臂432的側(cè)面上。這種驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732被配置為，關(guān)于XZ平面面對(duì)稱。驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734被設(shè)置在第二支承部52上。具體而言，驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734被設(shè)置在第二支承部52的上表面及下表面、還有側(cè)面上。設(shè)置于第二支承部52的上表面、下表面及側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734相互電連接。設(shè)置于第二支承部52上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734相對(duì)于設(shè)置有驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730的第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的頂端部，被配置在I軸的負(fù)方向側(cè)。即，設(shè)置于第二支承部52上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734、和設(shè)置于第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的頂端部上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730在y軸方向上對(duì)置。設(shè)置于第二支承部52上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734通過設(shè)置于第四梁64上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732，而與設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442、第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730電連接。具體而言，驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734與設(shè)置于第四梁64的上表面上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732相連接，驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732從第四梁64的上表面起，經(jīng)過基部41的上表面以及第一連結(jié)臂431的上表面，而與設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的上表面上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730相連接。而且，驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732從第一連結(jié)臂431的上表面起，經(jīng)過第一連結(jié)臂431的側(cè)面，而與設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的下表面上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730相連接。此外，驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732還能夠從基部41的上表面起，經(jīng)過第二連結(jié)臂432的上表面及側(cè)面，而與設(shè)置于第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的上表面及下表面上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730相連接。由此，能夠?qū)⒂糜谑沟谝或?qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442、第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)從驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734傳遞至驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730。(4)驅(qū)動(dòng)接地電極、驅(qū)動(dòng)接地配線及驅(qū)動(dòng)接地端子驅(qū)動(dòng)接地電極740被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的頂端部上。具體而言，驅(qū)動(dòng)接地電極740被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的頂端部的上表面及下表面上。而且，驅(qū)動(dòng)接地電極740還被設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的側(cè)面上。設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441的上表面、下表面及側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)接地電極740相互電連接。此外，設(shè)置于第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的上表面、下表面及側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)接地電極740相互電連接。而且，驅(qū)動(dòng)接地電極740可以被設(shè)置在第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的上表面及下表面上。但是，在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)接地電極740未被設(shè)置在第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的頂端部上。這種驅(qū)動(dòng)接地電極740被配置為，關(guān)于xz平面面對(duì)稱。驅(qū)動(dòng)接地電極740具有相對(duì)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730而成為接地的電位。此外，驅(qū)動(dòng)接地配線742被設(shè)置在第二梁62、第四梁64上。具體而言，驅(qū)動(dòng)接地配線742被設(shè)置在第二梁62、第四梁64的下表面及側(cè)面上。而且，驅(qū)動(dòng)接地配線742被設(shè)置在基部41的下表面、第一連結(jié)臂431的側(cè)面、第二連結(jié)臂432的下表面、和第二連結(jié)臂432的側(cè)面上。這種驅(qū)動(dòng)接地配線742被配置為，關(guān)于XZ平面面對(duì)稱。此外，驅(qū)動(dòng)接地端子744被設(shè)置在第一支承部51上。具體而言，驅(qū)動(dòng)接地端子744被設(shè)置在第一支承部51的上表面及下表面、還有側(cè)面上。設(shè)置于第一支承部51的上表面、下表面及側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)接地端子744相互電連接。設(shè)置于第一支承部51上的驅(qū)動(dòng)接地端子744相對(duì)于設(shè)置有驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730的第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443的頂端部，被配置在y軸的正方向側(cè)。即，設(shè)置于第一支承部51上的驅(qū)動(dòng)接地端子744、和設(shè)置于第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443的頂端部上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730在y軸方向上對(duì)置。此外，設(shè)置于第一支承部51上的驅(qū)動(dòng)接地端子744通過設(shè)置于第二梁62上的驅(qū)動(dòng)接地配線742，而與設(shè)置在第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442、第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444上的驅(qū)動(dòng)接地電極740電連接。具體而言，驅(qū)動(dòng)接地端子744與設(shè)置于第二梁62的下表面及側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)接地配線742相連接，驅(qū)動(dòng)接地配線742從第二梁62的下表面及側(cè)面起，經(jīng)過基部41的下表面以及第一連結(jié)臂431的側(cè)面，而與設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的上表面及下表面上的驅(qū)動(dòng)接地電極740相連接。而且，驅(qū)動(dòng)接地配線742從基部41的下表面起，經(jīng)過第二連結(jié)臂432的下表面及側(cè)面，而與設(shè)置于第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的上表面及下表面上的驅(qū)動(dòng)接地電極740相連接。
如上文所述，配置有驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730、驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線732、驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734、和驅(qū)動(dòng)接地電極740、驅(qū)動(dòng)接地配線742、驅(qū)動(dòng)接地端子744。由此，能夠通過向設(shè)置于第二支承部52上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734、與設(shè)置于第一支承部51上的驅(qū)動(dòng)接地端子744之間施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從而使設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442、第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444上的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730和驅(qū)動(dòng)接地電極740之間產(chǎn)生電場(chǎng)，進(jìn)而使上述各個(gè)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)。如以上所說明的那樣，在第一支承部51上，檢測(cè)信號(hào)端子714、檢測(cè)接地端子724及驅(qū)動(dòng)接地端子744沿著X軸方向并排，且被分離設(shè)置。具體而言，如圖4所示，在沿著X軸方向延伸的第一支承部51的中央部(與第一梁61的接合部51a和與第二梁62的接合部51b之間的區(qū)域)SI上，設(shè)置有檢測(cè)接地端子724，在第一支承部51的一個(gè)端部(與接合部51a相比靠圖4中右側(cè)的區(qū)域)S2上，設(shè)置有檢測(cè)信號(hào)端子714，在第一支承部51的另一個(gè)端部(與接合部51b相比靠圖4中左側(cè)的區(qū)域)S3上，設(shè)置有驅(qū)動(dòng)接地端子744。在這種第一支承部51的下表面(涂布有后述的導(dǎo)電性固定部件8的面)上、且檢測(cè)信號(hào)端子714和檢測(cè)接地端子724之間，設(shè)置有多個(gè)槽512。此外，設(shè)置有多個(gè)槽512的區(qū)域S4在X軸方向上包含接合部51a。多個(gè)槽512分別沿著y軸方向延伸，且沿著X軸方向而相互分離設(shè)置。S卩，多個(gè)槽512分別被獨(dú)立設(shè)置。此外，雖然如圖4所示，各個(gè)槽512的圖4中上側(cè)的端部(振動(dòng)體4的相反側(cè)的端部)512a在第一支承部51的側(cè)面開放，但圖4中下側(cè)的端部(振動(dòng)體4側(cè)的端部)512b未在第一支承部51的側(cè)面開放，而是封閉的。換言之，端部512b與第一支承部51的邊緣是分離的。只要槽512不與設(shè)置在接合部51a上的各個(gè)配線712、722相接觸，則各個(gè)槽512的端部512b的位置優(yōu)選為，盡可能位于振動(dòng)體4側(cè)。具體而言，端部512b和第一支承部51的側(cè)面(邊緣)之間的分離距離優(yōu)選為，例如在3 μ m以上且35 μ m以下。作為槽512的個(gè)數(shù)，只要為兩個(gè)以上，則不被特別限定，雖然可以為三個(gè)，可以為四個(gè)，也可以為五個(gè)以上，但優(yōu)選為五個(gè)以上。由此，如后文所述的效果將更加顯著。雖然作為槽512的寬度，未被特別限定，但是優(yōu)選為，在20 μ m以上且30 μ m以下。此外，雖然作為相鄰的槽512的分離距離未被特別限定，但是優(yōu)選為，在10 μ m以上且20 μ m以下。此外，雖然作為槽512的深度未被特別限定，但是優(yōu)選為，在ΙΟμπι以上且40μπι以下。通過將槽512設(shè)置為這種尺寸、配置，從而如后文所述的效果將更加顯著。此外，在第一支承部51的下表面上、且驅(qū)動(dòng)接地端子744和檢測(cè)接地端子724之間，設(shè)置有多個(gè)槽514。另外，設(shè)置有多個(gè)槽514的區(qū)域S5在X軸方向上包含接合部51b。由于多個(gè)槽514的結(jié)構(gòu)與前文所述的多個(gè)槽512相同，因此省略其說明。同樣地，在第二支承部52上，檢測(cè)信號(hào)端子714、檢測(cè)接地端子724及驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734沿著X軸方向并排，且被分離設(shè)置。具體而言，如圖4所示，在沿著X軸方向延伸的第二支承部52的中央部(與第三梁63的接合部52a和與第四梁64的接合部52b之間的區(qū)域)S6上，設(shè)置有檢測(cè)接地端子724，在第二支承部52的一個(gè)端部(與接合部52a相比靠圖4中右側(cè)的區(qū)域)S7上，設(shè)置有檢測(cè)信號(hào)端子714，在第二支承部52的另一個(gè)端部(與接合部52b相比靠圖4中左側(cè)的區(qū)域)S8上，設(shè)置有驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734。此外，在第二支承部52的下表面上、且檢測(cè)信號(hào)端子714和檢測(cè)接地端子724之間，設(shè)置有多個(gè)槽522。此外，設(shè)置有多個(gè)槽522的區(qū)域S9在X軸方向上包含接合部52a。由于多個(gè)槽522的結(jié)構(gòu)與前文所述的多個(gè)槽512相同，因此省略其說明。此外，在第二支承部52的下表面上、且檢測(cè)接地端子724和驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734之間，設(shè)置有多個(gè)槽524。此外，設(shè)置有多個(gè)槽524的區(qū)域SlO在x軸方向上包含接合部52b。由于多個(gè)槽524的結(jié)構(gòu)與前文所述的多個(gè)槽512相同，因此省略其說明。這種結(jié)構(gòu)的陀螺元件2以下述的方式對(duì)繞z軸的角速度ω進(jìn)行檢測(cè)。在陀螺元件2中，當(dāng)在未施加角速度ω的狀態(tài)下，于驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極730和驅(qū)動(dòng)接地電極740之間產(chǎn)生電場(chǎng)時(shí)，如圖5 (a)所示，各個(gè)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444將向箭頭標(biāo)記A所示的方向進(jìn)行彎曲振動(dòng)。此時(shí)，由于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442、和第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444進(jìn)行關(guān)于穿過中心點(diǎn)G (重心G)的yz平面面對(duì)稱的振動(dòng)，因此基部41、第一連結(jié)臂431、第二連結(jié)臂432、和第一檢測(cè)振動(dòng)臂421、第二檢測(cè)振動(dòng)臂422基本不進(jìn)行振動(dòng)。當(dāng)在進(jìn)行該驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的狀態(tài)下，對(duì)陀螺元件2施加繞z軸的角速度ω時(shí)，將產(chǎn)生如圖5(b)所示的振動(dòng)。即，箭頭標(biāo)記B方向上的科里奧利力將作用于驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443>444及連結(jié)臂431、432上,與該箭頭標(biāo)記B方向上的振動(dòng)相呼應(yīng),箭頭標(biāo)記C方向上的檢測(cè)振動(dòng)將被激勵(lì)。而且，檢測(cè)信號(hào)電極710及檢測(cè)接地電極720對(duì)通過該振動(dòng)而產(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)臂421、422的變形進(jìn)行檢測(cè)，從而求出角速度ω。封裝件封裝件9為對(duì)陀螺元件2進(jìn)行收納的構(gòu)件。另外，在封裝件9中，除了收納有陀螺元件2之外，還可以收納有實(shí)施對(duì)陀螺元件2的驅(qū)動(dòng)等的IC芯片等。在俯視觀察時(shí)(從xy平面進(jìn)行觀察時(shí))，這種封裝件9呈大致矩形形狀。封裝件9具有:基座91，其具有向上表面開放的凹部；蓋(蓋體)92，其以堵塞凹部的開口的方式與基座相接合。此外，基座91具有板狀的底板911、和設(shè)置于底板911的上表面邊緣部上的框狀的側(cè)壁912。這種封裝件9在其內(nèi)側(cè)具有收納空間S，并且在該收納空間S內(nèi)，氣密性地收納并設(shè)置有陀螺元件2。陀螺元件2在第一支承部51、第二支承部52處，通過焊錫、銀膏、導(dǎo)電性粘合劑(使金屬粒子等的導(dǎo)電性填充物分散在樹脂材料中的粘合劑)等的導(dǎo)電性固定部件8而被固定在底板911的上表面上。由于第一支承部51、第二支承部52位于陀螺元件2的y軸方向上的兩個(gè)端部上，因此能夠通過將這樣的部分固定在底板911上，從而使陀螺元件2的振動(dòng)體4被雙臂支承，進(jìn)而將陀螺元件2穩(wěn)定地固定在底板911上。因此，抑制了陀螺元件2的不必要的振動(dòng)(欲檢測(cè)的振動(dòng)以外的振動(dòng))，從而提高了陀螺元件2對(duì)角速度ω的檢測(cè)精度。此外，導(dǎo)電性固定部件8以與設(shè)置在第一支承部51、第二支承部52上的兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)端子714、兩個(gè)檢測(cè)接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734及驅(qū)動(dòng)接地端子744相對(duì)應(yīng)(接觸)，且相互分離的方式設(shè)置有六個(gè)。此外，在底板911的上表面上，設(shè)置有與兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)端子714、兩個(gè)檢測(cè)接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子734及驅(qū)動(dòng)接地端子744相對(duì)應(yīng)的六個(gè)連接襯墊10，并且通過導(dǎo)電性固定部件8，而使上述各個(gè)連接襯墊10和與其相對(duì)應(yīng)的任一端子電連接。由于通過采用這樣的結(jié)構(gòu)，從而能夠?qū)?dǎo)電性固定部件8作為用于將陀螺元件2固定在底板911上的固定部件而使用，且作為實(shí)施與陀螺元件2之間的電連接的連接部件而使用，因此能夠?qū)崿F(xiàn)振動(dòng)裝置I的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。此外，導(dǎo)電性固定部件8在陀螺元件2與底板911之間形成間距(間隙)，并且還能夠作為對(duì)陀螺元件2與底板911的接觸進(jìn)行防止的間距材料而被使用。由此，能夠防止由于與底板911的接觸而導(dǎo)致的陀螺元件2的斷裂和破損，從而成為能夠進(jìn)行準(zhǔn)確的角速度的檢測(cè)并發(fā)揮優(yōu)異的可靠性的振動(dòng)裝置I。另外，各個(gè)連接襯墊10通過未圖示的導(dǎo)體柱而向封裝件9的外部被引出，或者在將IC芯片等收納于封裝件9內(nèi)時(shí)，與該IC芯片電連接。作為基座91的結(jié)構(gòu)材料，雖然未被特別限定，但可以使用氧化鋁等的各種陶瓷。此外，作為蓋92的結(jié)構(gòu)材料，雖然未被特別限定，但可以為線膨脹系數(shù)與基座91的結(jié)構(gòu)材料近似的部件。例如，當(dāng)將基座91的結(jié)構(gòu)材料設(shè)為前文所述那樣的陶瓷時(shí)，優(yōu)選采用科瓦鐵鎳鈷合金等的材料。另外，基座91與蓋92之間的接合未被特別限定，例如，既可以通過粘合劑而接合，也可以通過縫焊等而接合。在此，如前文所述，在陀螺元件2的第一支承部52上設(shè)置有槽512、514，而在第二支承部52上設(shè)置有槽522、524。通過設(shè)置這種槽512、514、522、524，從而能夠發(fā)揮如下的效果。如前文所述，陀螺元件2通過導(dǎo)電性固定部件8而被固定在底板911上。在此，在將陀螺元件2固定于底板911上的工序中，例如，通過在設(shè)置于底板911上的六個(gè)連接襯墊10上分別涂布銀膏(導(dǎo)電性固定部件)8，并且，以使陀螺元件2的下表面朝向底板911側(cè)的方式載置陀螺元件2，以使所塗布的銀膏8與所對(duì)應(yīng)的端子714、724、734、744接觸，并按壓陀螺元件2，且使銀膏固化，從而通過銀膏8而使陀螺元件2被固定在底板911上。因此，當(dāng)例如未能將銀膏8準(zhǔn)確地涂布在預(yù)定位置上時(shí)，在現(xiàn)有的陀螺元件(從陀螺元件2中去除槽512、514、522、524之后的陀螺元件)中，如圖6所示，在按壓陀螺元件2時(shí)，銀膏8洇散，洇散的銀膏8彼此接觸，從而在它們之間有可能產(chǎn)生短路。對(duì)于銀膏8的塗布位置和塗布量而言，由于在裝置的精度上存在某種程度的偏差，因此比較容易產(chǎn)生上述的問題。因此，在陀螺元件2中，通過在第一支承部51、第二支承部52上設(shè)置槽512、514、522、524，從而防止了這種問題的產(chǎn)生。以下，雖然進(jìn)行具體說明，但由于各個(gè)槽512、514、522,524的作用和效果相互相同，因此僅代表性地對(duì)槽512進(jìn)行說明。如圖7所示，與檢測(cè)接地端子724、檢測(cè)信號(hào)端子714相對(duì)應(yīng)的銀膏8分別由于對(duì)陀螺元件2進(jìn)行的按壓而洇散。此時(shí)，即使與檢測(cè)接地端子724相對(duì)應(yīng)的銀膏8的塗布位置偏向于檢測(cè)信號(hào)端子714側(cè)，洇散的銀膏8也會(huì)進(jìn)入到多個(gè)槽512中的位于檢測(cè)接地端子724側(cè)的槽512 (512a)內(nèi)，從而不會(huì)進(jìn)一步向檢測(cè)信號(hào)端子714側(cè)洇散。同樣地，即使與檢測(cè)信號(hào)端子714相對(duì)應(yīng)的銀膏8的塗布位置偏向于檢測(cè)接地端子724側(cè)，洇散的銀膏8也會(huì)進(jìn)入到多個(gè)槽512中的位于檢測(cè)信號(hào)端子714側(cè)的槽512 (512b)內(nèi)，從而不會(huì)進(jìn)一步向檢測(cè)信號(hào)端子724側(cè)洇散。以此種方式，通過在檢測(cè)接地端子724與檢測(cè)信號(hào)端子714之間設(shè)置多個(gè)槽512，從而能夠防止相鄰的銀膏8彼此的接觸。此外，如前文所述，各個(gè)槽512的振動(dòng)體4側(cè)的端部512b是封閉的。因此，通過該端部，從而防止了滯留于槽512內(nèi)的銀膏8進(jìn)一步向振動(dòng)體4側(cè)流動(dòng)的情況，由此，防止了設(shè)置于第一梁61上的配線與銀膏8之間的接觸，從而能夠防止配線與銀膏8之間的短路的發(fā)生。
尤其是，當(dāng)如前文所述那樣，端部512b與第一支承部51的側(cè)面(邊緣)之間的分離距離在3 μ m以上且35 μ m以下時(shí)，能夠更加明確地將檢測(cè)接地端子724和檢測(cè)信號(hào)端子714之間隔開，從而能夠抑制例如銀膏8彼此順著未設(shè)置有槽512的區(qū)域而接觸的情況。此外，如前文所述，各個(gè)槽512的振動(dòng)體的相反側(cè)的端部512a在第一支承部51的側(cè)面開放。因此，通過槽512，可明確地將檢測(cè)接地端子724和檢測(cè)信號(hào)端子714之間隔開，從而能夠防止例如銀膏8彼此順著未設(shè)置有槽512的區(qū)域而接觸的情況。因此，能夠可靠地防止銀膏8彼此的接觸。此外，通過設(shè)置多個(gè)槽512，從而還能夠發(fā)揮如下的效果。即，通過設(shè)置多個(gè)槽512，能夠使區(qū)域S4與其他部分相比較柔軟，從而能夠使區(qū)域S4作為吸收或緩和應(yīng)力的緩沖部而發(fā)揮功能。由于區(qū)域S4中所包含的與第一梁61之間的接合部51a為容易發(fā)生應(yīng)力集中的部分，因此能夠通過區(qū)域S4而有效地吸收或緩和在接合部51a處所產(chǎn)生的應(yīng)力。因此，能夠有效地抑制陀螺元件2的破損。此外，由于陀螺元件2 (振動(dòng)片3)的結(jié)構(gòu)材料與底板911的結(jié)構(gòu)材料不同，因此當(dāng)振動(dòng)裝置I升溫時(shí)，經(jīng)由導(dǎo)電性固定部件8，而使振動(dòng)片3因熱膨脹系數(shù)的差而產(chǎn)生應(yīng)力。具體而言，當(dāng)?shù)装?11的熱膨脹系數(shù)大于振動(dòng)片3的熱膨脹系數(shù)時(shí)，施加有欲使第一支承部51、第二支承部52在X軸方向上伸長(zhǎng)的應(yīng)力，而當(dāng)?shù)装?11的熱膨脹系數(shù)小于振動(dòng)片3的熱膨脹系數(shù)時(shí)，施加有欲使第一支承部51、第二支承部52在X軸方向上收縮的應(yīng)力。由于能夠通過設(shè)置有多個(gè)槽512的區(qū)域S4來吸收或緩和這種應(yīng)力，因此能夠抑制陀螺元件2的非預(yù)期的變形，從而能夠防止陀螺元件2的檢測(cè)精度的降低。在此，優(yōu)選為，在從xy平面觀察時(shí)，連接襯墊10的輪廓與設(shè)置有多個(gè)槽512的區(qū)域S4的一部分重疊。由此，由于能夠?qū)⒍鄠€(gè)槽512作為刻度(標(biāo)記)來使用，因此能夠更加準(zhǔn)確地實(shí)施陀螺元件2 (振動(dòng)片3)相對(duì)于底板911的定位。第二實(shí)施方式接下來，對(duì)本發(fā)明的振動(dòng)裝置的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖8為本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置所具有的陀螺元件的局部放大圖。以下，對(duì)于第二實(shí)施方式的振動(dòng)裝置，以與前文所述的實(shí)施方式之間的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，對(duì)于相同的事項(xiàng)，則省略其說明。本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的振動(dòng)裝置除了陀螺元件所具有的槽的結(jié)構(gòu)有所不同以外，與前文所述的第一實(shí)施方式相同。另外，對(duì)與前文所述的第一實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)記相同的符號(hào)。此外，由于多個(gè)槽512、多個(gè)槽514、多個(gè)槽522、多個(gè)槽524為相互相同的結(jié)構(gòu)，因此在下文中代表性地對(duì)多個(gè)槽512進(jìn)行說明。如圖8所示，多個(gè)槽512中的、位于檢測(cè)信號(hào)端子714側(cè)的槽512’的一端512b’在第一支承部51的側(cè)面開放，且與檢測(cè)信號(hào)配線712接觸。此外，多個(gè)槽512中的、位于檢測(cè)接地端子724側(cè)的槽512”的一端512b”在第一支承部51的側(cè)面開口，且與檢測(cè)接地配線722接觸。通過采用這種結(jié)構(gòu)，從而能夠通過多個(gè)槽512 (尤其是槽512’、512”)而在7軸方向的整個(gè)區(qū)域內(nèi)將檢測(cè)信號(hào)端子714和檢測(cè)接地端子724之間隔開。因此，能夠可靠地防止銀膏8彼此的接觸。此外，即使與檢測(cè)信號(hào)端子714相對(duì)應(yīng)的銀膏8流入到槽512’內(nèi)，也由于該銀膏8與檢測(cè)信號(hào)配線712接觸，因此不會(huì)發(fā)生由于銀膏8而導(dǎo)致的短路。同樣地，即使與檢測(cè)接地端子724相對(duì)應(yīng)的銀膏8流入到槽512”內(nèi)，也由于該銀膏8與檢測(cè)接地配線722接觸，因此不會(huì)發(fā)生由于銀膏8而導(dǎo)致的短路。根據(jù)這種第二實(shí)施方式，也能夠發(fā)揮與前文所述的第一實(shí)施方式相同的效果。上述這種振動(dòng)裝置I能夠組裝到各種電子設(shè)備中。雖然作為組裝了振動(dòng)裝置I的本發(fā)明的電子設(shè)備未被特別限定，但是能夠應(yīng)用于如下的裝置中，即，個(gè)人計(jì)算機(jī)(例如，便攜型個(gè)人計(jì)算機(jī))、移動(dòng)電話等的移動(dòng)體終端、數(shù)碼相機(jī)、噴墨式噴出裝置(例如，噴墨式打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、平板型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括帶有通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、臺(tái)式電子計(jì)算機(jī)、電子游戲機(jī)、游戲用控制器、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)控器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS(Point of Sale)終端、醫(yī)療設(shè)備(例如，電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖儀、心電圖計(jì)測(cè)裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測(cè)器、各種測(cè)量設(shè)備、計(jì)量設(shè)備類(例如，車輛、飛機(jī)、船舶的計(jì)量設(shè)備類)、飛行模擬器、頭戴式顯示器、運(yùn)動(dòng)軌跡、運(yùn)動(dòng)跟蹤、運(yùn)動(dòng)控制器、PDR (行人位置方位計(jì)測(cè))等。以上，雖然根據(jù)圖示的各個(gè)實(shí)施方式來對(duì)本發(fā)明的振子及振動(dòng)裝置進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施方式，各個(gè)部分的結(jié)構(gòu)可以置換成具有相同功能的任意的結(jié)構(gòu)。此外，也可以附加其他的任意的結(jié)構(gòu)體或工序。此外，本發(fā)明的振動(dòng)裝置也可以為將所述各個(gè)實(shí)施方式中的、任意兩個(gè)以上的結(jié)構(gòu)(特征)組合在一起的振動(dòng)裝置。符號(hào)說明SI SlO…區(qū)域；1…振動(dòng)裝置；2…陀螺兀件；22...基部；3…振動(dòng)片；4…振動(dòng)體；41…基部；421…第一檢測(cè)振動(dòng)臂；422…第二檢測(cè)振動(dòng)臂；431…第一連結(jié)臂；432…第二連結(jié)臂；441…第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂；442…第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂；443…第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂；444…第四驅(qū) 動(dòng)振動(dòng)臂；51…第一支承部；512…槽；512a、512b…端部；512b’、512b”----端；514…槽；
51a…接合部;51b…接合部；52…第二支承部；522…槽；524…槽；52a…接合部；52b…接合部;61…第一梁;62…第二梁;63…第三梁;64…第四梁;710…檢測(cè)信號(hào)電極；712…檢測(cè)信號(hào)配線；714…檢測(cè)信號(hào)端子；720…檢測(cè)接地電極；722…檢測(cè)接地配線；724…檢測(cè)接地端子；730…驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極；732…驅(qū)動(dòng)信號(hào)配線；734…驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子；740…驅(qū)動(dòng)接地電極；742…驅(qū)動(dòng)接地配線；744…驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子；8…導(dǎo)電性固定部件(銀膏)；9…封裝件；91…基座；911…底板；912…側(cè)壁；92...蓋；10…連接襯墊。
權(quán)利要求
1.一種振子，其特征在于，具備: 振動(dòng)片，其具備振動(dòng)體、對(duì)所述振動(dòng)體進(jìn)行支承的支承部、以及對(duì)所述支承部和所述振動(dòng)體進(jìn)行連結(jié)的梁； 電極，其被設(shè)置在所述振動(dòng)體上，且至少為兩個(gè)； 端子，其被設(shè)置在所述支承部上，并通過被設(shè)置在所述梁上的配線而與所述電極電連接，且至少為兩個(gè)， 兩個(gè)所述端子沿著與所述梁的延伸方向交叉的方向，以分離的方式而并排設(shè)置， 在兩個(gè)所述端子之間設(shè)置有多個(gè)槽，所述多個(gè)槽沿著與所述梁的延伸方向交叉的方向分離，且沿著所述梁的延伸方向延伸。
2.如權(quán)利要求1所述的振子，其中， 在與所述梁的延伸方向交叉的方向上，于設(shè)置有所述多個(gè)槽的區(qū)域內(nèi)包含所述梁與所述支承部之間的連接部。
3.如權(quán)利要求1或2所述的振子，其中， 所述多個(gè)槽中的至少一個(gè)槽被獨(dú)立設(shè)置。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的振子，其中， 所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體的相反側(cè)的端部在所述支承部的側(cè)面開放。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的振子，其中， 所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部是封閉的。
6.如權(quán)利要求5所述的振子，其中， 所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與所述支承部的所述振動(dòng)體側(cè)的邊緣分離。
7.如權(quán)利要求6所述的振子，其中， 所述多個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與所述支承部的所述振動(dòng)體側(cè)的邊緣之間的分離距離在3 u m以上且35 u m以下。
8.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的振子，其中， 所述多個(gè)槽中的至少一個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部在所述支承部的側(cè)面開放。
9.如權(quán)利要求8所述的振子，其中， 所述多個(gè)槽中的、位于一個(gè)所述端子側(cè)的至少一個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與和所述一個(gè)端子相連接的所述配線接觸，而位于另一個(gè)所述端子側(cè)的至少一個(gè)槽的所述振動(dòng)體側(cè)的端部與和所述另一方端子相連接的所述配線接觸。
10.如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的振子，其中， 所述振動(dòng)體具備:基部；第一檢測(cè)振動(dòng)臂及第二檢測(cè)振動(dòng)臂，其從所述基部起沿著第一方向而向兩側(cè)延伸；第一連結(jié)臂及第二連結(jié)臂，其從所述基部起沿著與所述第一方向正交的第二方向而向兩側(cè)延伸；第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂及第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂，其從所述第一連結(jié)臂起沿著所述第一方向而向兩側(cè)延伸；第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂及第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂，其從所述第二連結(jié)臂起沿著所述第一方向而向兩側(cè)延伸，并且，所述振動(dòng)體通過所述第一檢測(cè)振動(dòng)臂及所述第二檢測(cè)振動(dòng)臂而構(gòu)成檢測(cè)振動(dòng)系統(tǒng)，且通過所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂及所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂而構(gòu)成驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)， 所述支承部具備第一支承部及第二支承部，所述第一支承部及所述第二支承部隔著所述振動(dòng)體而沿著所述第一方向?qū)χ门渲?，并在所述第二方向上延伸，所述梁具?第一梁，其穿過所述第一檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第一支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)；第二梁，其穿過所述第一檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第一支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)；第三梁，其穿過所述第二檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第二支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)；第四梁，其穿過所述第二檢測(cè)振動(dòng)臂與所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，并對(duì)所述第二支承部和所述基部進(jìn)行連結(jié)， 所述電極具備被設(shè)置于所述檢測(cè)振動(dòng)系統(tǒng)中的第一檢測(cè)信號(hào)電極、第二檢測(cè)信號(hào)電極、第一檢測(cè)接地電極及第二檢測(cè)接地電極、和被設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)中的驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極及驅(qū)動(dòng)接地電極， 所述端子具備與所述第一檢測(cè)信號(hào)電極相連接的第一檢測(cè)信號(hào)端子、與所述第二檢測(cè)信號(hào)電極相連接的第二檢測(cè)信號(hào)端子、與所述第一檢測(cè)接地電極相連接的第一檢測(cè)接地端子、與所述第二檢測(cè)接地電極相連接的第二檢測(cè)接地端子、與所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)電極相連接的驅(qū)動(dòng)信號(hào)端子、以及與所述驅(qū)動(dòng)接地電極相連接的驅(qū)動(dòng)接地端子。
11.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，具備: 基板，其具備至少兩個(gè)連接襯墊； 權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的振子， 所述連接襯墊和所述端子通過導(dǎo)電性固定部件而被接合在一起。
12.如權(quán)利要求11所述的振動(dòng)裝置，其中， 在俯視觀察所述基板時(shí)，所 述連接襯墊的輪廓與設(shè)置有所述多個(gè)槽的區(qū)域的一部分重疊。
13.—種電子設(shè)備,其特征在于,具備: 權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的振子。
全文摘要
本發(fā)明提供振子、振動(dòng)裝置及電子設(shè)備，其能夠防止安裝在安裝基板上時(shí)的導(dǎo)電性固定部件彼此的接觸，從而進(jìn)行正確的驅(qū)動(dòng)。振子(2)具有振動(dòng)片(3)，其具有振動(dòng)體(4)、對(duì)振動(dòng)體(4)進(jìn)行支承的第一支承部(51)、第二支承部(52)、及對(duì)第一支承部(51)、第二支承部(52)和振動(dòng)體(4)進(jìn)行連結(jié)的四個(gè)梁(61、62、63、64)；電極(710～740)，其被設(shè)置在振動(dòng)體(4)上；端子(712～742)，其被設(shè)置在第一支承部(51)、第二支承部(52)上，并通過被設(shè)置在梁(61、62、63、64)上的配線(712～742)而與電極(710～740)電連接，在相鄰的一對(duì)端子之間設(shè)置有多個(gè)槽(512)，所述多個(gè)槽(512)在預(yù)定方向上分離，且在與預(yù)定方向交叉的方向上延伸。
文檔編號(hào)G01C19/5733GK103115619SQ20121046041
公開日2013年5月22日 申請(qǐng)日期2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月16日
發(fā)明者大澤征司, 山口啓一, 鹽原利彥, 磯野裕一, 菊池尊行 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社