專利名稱：一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置，屬于光學檢測技術領域。
背景技術：
目前，在高精尖的光學系統(tǒng)中，雜散光直接影響了系統(tǒng)的性能，而作為光學系統(tǒng)重要組成部分的光學透鏡，其光潔度也一直影響著系統(tǒng)中雜散光的水平，但對于光學透鏡的雜散光檢測問題還沒有直接的解決方法。通常是利用原子力顯微鏡等微觀檢測儀器進行表明微觀檢測，或者利用積分球等設備將透鏡裝配到鏡頭中以后再進行系統(tǒng)檢測，這些方法都有成本高、設備便攜性差和效率低等諸多缺點。系統(tǒng)雜散光問題也已經成為高端光學系統(tǒng)繼續(xù)發(fā)展的瓶頸
發(fā)明內容
本發(fā)明為解決現有技術對光學透鏡雜散光檢測方法成本高、設備便攜性差及效率低的問題。本發(fā)明提供一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置。本發(fā)明是通過以下技術方案實現的一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置，該裝置由照明系統(tǒng)、中心遮攔、有限遠距離成像系統(tǒng)和CXD系統(tǒng)組成，且各個組成部分同軸放置；照明系統(tǒng)發(fā)出的平行光入射到待檢透鏡上，光經待檢透鏡聚焦到有限遠距離成像系統(tǒng)上的中心遮攔上；部分光被待檢透鏡表面的散射點散射，光經散射后再經有限遠距離成像系統(tǒng)成像在CXD系統(tǒng)上。本發(fā)明的有益效果本發(fā)明裝置照明系統(tǒng)提供平行光，平行光入射到待檢透鏡將聚焦在有限遠距離成像系統(tǒng)上的中心遮攔上，部分光入射到待檢透鏡的雜散點上，則被散射，光經過散射后再經有限遠距離成像系統(tǒng)成像在CXD系統(tǒng)上，從而實現待檢透鏡的雜散光檢測，該裝置具有成本低、效率高、方便攜帶的優(yōu)點。


圖I :本發(fā)明一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置示意圖。圖2 :本發(fā)明一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置另一示意圖。圖中1、照明系統(tǒng)，2、待檢透鏡，3、中心遮攔，4、有限遠距離成像系統(tǒng)，5、C⑶系統(tǒng)，6、目鏡系統(tǒng)。
具體實施例方式下面結合附圖對本發(fā)明作進一步說明。如圖I所示，本發(fā)明一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置的示意圖，該裝置由照明系統(tǒng)I、中心遮攔3、有限遠距離成像系統(tǒng)4和CXD系統(tǒng)5組成，且各個組成部分同軸放置；照明系統(tǒng)I發(fā)出的平行光入射到待檢透鏡2上，光經待檢透鏡2聚焦到有限遠距離成像系統(tǒng)4上的中心遮攔3上；部分光被待檢透鏡2表面的散射點散射，散射光再經有限遠距尚成像系統(tǒng)4成像在(XD系統(tǒng)5上。如圖2所示，照明系統(tǒng)I發(fā)出的平行光入射到待檢透鏡2上，光經待檢透鏡2聚焦到有限遠距離成像系統(tǒng)4上的中心遮攔3上；部分光被待檢透鏡2表面的散射點散射，散射光再經有限遠距離成像系統(tǒng)4成像，由目鏡系統(tǒng)6將散射光的像投影到無窮遠，供人眼直接觀察。照明系統(tǒng)I發(fā)出平行光或者有一定發(fā)散角(會聚角)的光束，光入射到待檢透鏡2上，待檢透鏡2將光線聚焦，焦點在有限遠成像系統(tǒng)4第一面透鏡表面的軸向位置，在第一面透鏡表面中心鍍制吸收或反射膜形成中心遮攔3，可以遮擋照明系統(tǒng)I發(fā)射并經待檢透鏡2聚焦的光能，同時給系統(tǒng)帶來最小限度地中心遮攔。有限遠距離成像系統(tǒng)4屬于近距離成像，系統(tǒng)的放大倍率、數值孔徑和視場由待檢透鏡2的面積及檢測精度要求決定。系統(tǒng)設計波長為照明光源的波長。由于待檢透鏡2表面存在一定曲率且待檢透鏡具有一定口徑，簡單成像會存在較大的像差。有限遠距離成 像系統(tǒng)4自物方第一片雙膠合透鏡為消色差透鏡，第二片透鏡起到場鏡和準直的效果，最后三片透鏡為消球差鏡組，這樣便可以在有限遠距離成像系統(tǒng)4的像方得到待檢透鏡2清晰的像。待檢透鏡2置于有限遠距離成像系統(tǒng)4的物距位置，且待檢透鏡2要和有限遠距離成像系統(tǒng)4同軸放置，照明系統(tǒng)I的部分光被待檢透鏡2的缺陷、瑕疵點或表面灰塵散射，形成散射光，這部分散射光對于有限遠距離成像系統(tǒng)4來說，是以待檢透鏡2表面為物距的點光源所發(fā)出的，散射光經有限遠距離成像系統(tǒng)4成像。用C⑶系統(tǒng)5接收以上散射光的像點，CXD置于有限遠成像系統(tǒng)的像距位置且與有限遠距離成像系統(tǒng)4同軸放置，和待檢透鏡2為共軛位置關系，CXD系統(tǒng)5采集的信號經電腦處理，經過顯示屏進行觀察，便可以觀測到待檢透鏡的缺陷、瑕疵點的分布及灰塵污染物的密度。或者將目鏡系統(tǒng)6置于有限遠距離成像系統(tǒng)4后，使得目鏡系統(tǒng)6的物面位置和有限遠距離成像系統(tǒng)4的像面位置重合，由目鏡系統(tǒng)6將散射光的像投影到無窮遠，供人眼直接觀察。從而實現雜散光檢測。
權利要求
1.一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置，其特征是，該裝置由照明系統(tǒng)(I)、中心遮攔(3)、有限遠距離成像系統(tǒng)(4)和C⑶系統(tǒng)(5)組成，且各個組成部分同軸放置；照明系統(tǒng)(I)發(fā)出的平行光入射到待檢透鏡(2)上，光經待檢透鏡(2)聚焦到有限遠距離成像系統(tǒng)(4)上的中心遮攔(3)上；部分光被待檢透鏡(2)表面的散射點散射，光經散射后再經有限遠距離成像系統(tǒng)(4)成像在(XD系統(tǒng)(5)上。
2.根據權利要求I所述的一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置，其特征在于，中心遮攔(3)位于有限遠距離成像系統(tǒng)(4)的第一個透鏡的前表面中心位置。
3.根據權利要求I所述的一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置，其特征在于，所述C⑶系統(tǒng)(5)替換成目鏡系統(tǒng)(6)，且光經散射后再經有限遠距離成像系統(tǒng)(4)成像在目鏡系統(tǒng)(6)的物面位置上。
全文摘要
一種便攜式中心遮攔結構雜散光檢測裝置，屬于光學檢測技術領域，為解決現有技術對光學透鏡雜散光檢測方法成本高、設備便攜性差及效率低的問題，本發(fā)明裝置由照明系統(tǒng)、中心遮攔、有限遠距離成像系統(tǒng)和CCD系統(tǒng)組成，且各個組成部分同軸放置；照明系統(tǒng)發(fā)出的平行光入射到待檢透鏡上，光經待檢透鏡聚焦到有限遠距離成像系統(tǒng)上的中心遮攔上；部分光被待檢透鏡表面的散射點散射，光經散射后再經有限遠距離成像系統(tǒng)成像在CCD系統(tǒng)上，該裝置具有成本低、效率高、方便攜帶的優(yōu)點。
文檔編號G01N21/49GK102944533SQ201210488298
公開日2013年2月27日 申請日期2012年11月26日 優(yōu)先權日2012年11月26日
發(fā)明者張紅鑫, 孫明哲, 卜和陽, 盧振武 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所