專利名稱：晶圓測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體測(cè)試裝置，特別是涉及一種晶圓測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，芯片在制造過程中一般會(huì)用到晶圓測(cè)試裝置。如圖1所示，常用的晶圓測(cè)試裝置包括針卡110、承片臺(tái)120、承片臺(tái)固定座130、固定座安裝板140及移動(dòng)機(jī)構(gòu)。針卡110設(shè)于承片臺(tái)120的上方,承片臺(tái)120固定在承片臺(tái)固定座130上,承片臺(tái)固定座130固定在固定座安裝板140上，固定座安裝板140固定在移動(dòng)機(jī)構(gòu)上。移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以帶動(dòng)固定座安裝板140沿X、Y、Z軸移動(dòng)，從而調(diào)整承片臺(tái)120的位置。承片臺(tái)120在晶圓測(cè)試裝置里面屬于重要機(jī)構(gòu)之一。承片臺(tái)120承載晶圓150上下運(yùn)動(dòng)，晶圓150與針卡110上的探針接觸。在接觸的同時(shí)探針不能扎的太淺或者太深。淺了容易導(dǎo)致探針與晶圓150接觸不良，測(cè)試不準(zhǔn)；深了影響后道工藝和針卡110的壽命。在使用過程中，如果承片臺(tái)120出現(xiàn)與針卡110的探針不平行現(xiàn)象時(shí)，就會(huì)出現(xiàn)上述問題。該晶圓測(cè)試裝置的承片臺(tái)120下面由3個(gè)承片臺(tái)固定座130固定。因?yàn)槌衅_(tái)120要與該晶圓測(cè)試裝置的其它部分絕緣，所以承片臺(tái)固定座130 —般采用塑膠絕緣材料制作。由于受力不均、塑膠材料容易變形及強(qiáng)度不足等原因，3個(gè)承片臺(tái)固定座130中的任何一個(gè)出現(xiàn)變形，承片臺(tái)120就會(huì)出現(xiàn)變形。這樣就導(dǎo)致探針與晶圓150接觸時(shí)會(huì)出現(xiàn)針點(diǎn)深淺不符合要求的問題。從而影響測(cè)試的準(zhǔn)確性及針卡110的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容
基于此，有必要提供一種晶圓測(cè)試裝置，該晶圓測(cè)試裝置具有測(cè)試準(zhǔn)確，針卡使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。一種晶圓測(cè)試裝置，包括具有探針的針卡、承載晶圓的承片臺(tái)、固定承片臺(tái)的承片臺(tái)固定板、固定承片臺(tái)固定板的固定板安裝板及驅(qū)動(dòng)固定板安裝板移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述承片臺(tái)固定板為電性絕緣的板材。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述承片臺(tái)固定板為石板。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述承片臺(tái)固定板為大理石石板。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述大理石石板上設(shè)有固定孔，所述大理石石板通過固定孔與固定板安裝板相固定。在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述大理石石板的固定孔內(nèi)設(shè)有固定螺絲的螺套。 上述晶圓測(cè)試裝置采用承片臺(tái)固定板來代替常用的采用3個(gè)承片臺(tái)固定座來承載承片臺(tái)的方式，由于承片臺(tái)固定板為電性絕緣的板材，所以其受力會(huì)比較均勻。這樣承片臺(tái)就不易出現(xiàn)變形，該晶圓測(cè)試裝置也就具有測(cè)試準(zhǔn)確，針卡使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。


圖1為常用的晶圓測(cè)試裝置示意圖2為一個(gè)實(shí)施例的晶圓測(cè)試裝置示意圖。
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參考圖2，一個(gè)實(shí)施例提供一種晶圓測(cè)試裝置。該晶圓測(cè)試裝置包括具有探針的針卡210、承載晶圓的承片臺(tái)220、固定承片臺(tái)220的承片臺(tái)固定板230、固定承片臺(tái)固定板230的固定板安裝板240及驅(qū)動(dòng)固定板安裝板240移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。承片臺(tái)固定板230為電性絕緣的板材。移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以帶動(dòng)承片臺(tái)220沿著X、Y、Z軸方向移動(dòng)，從而方便針卡210上的探針與晶圓150接觸，以對(duì)晶圓150進(jìn)行測(cè)試。該晶圓測(cè)試裝置采用承片臺(tái)固定板230來代替常用的采用3個(gè)承片臺(tái)固定座來承載承片臺(tái)的方式。由于承片臺(tái)固定板230為電性絕緣的板材，所以其受力會(huì)比較均勻。這樣承片臺(tái)220就不易出現(xiàn)變形，該晶圓測(cè)試裝置也就具有測(cè)試準(zhǔn)確，針卡使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。在該實(shí)施例中，該晶圓測(cè)試裝置的承片臺(tái)固定板230采用的石板，更具體的為大理石石板。大理石本身具有強(qiáng)度高、剛性好、抗變形、絕緣等性能。將大理石加工成需要的形狀與尺寸來承載承片臺(tái)220，大理石具有的強(qiáng)度高、剛性好、抗變形的特點(diǎn)可以改變承片臺(tái)220不穩(wěn)定的現(xiàn)象。這樣，針卡210上的探針接觸晶圓250時(shí)，就不容易出現(xiàn)探針扎的太淺或者太深的問題。從而使該晶圓測(cè)試裝置的測(cè)試更加準(zhǔn)確，同時(shí)進(jìn)一步延長(zhǎng)針卡110的壽命。進(jìn)一步的，該晶圓測(cè)試裝置的大理石石板上設(shè)有固定孔，大理石石板通過固定孔與固定板安裝板相固定。由于大理石屬于脆性材料，攻螺紋時(shí)容易崩裂，為了使大理石石板固定的更好，大理石石板的固定孔內(nèi)設(shè)有固定螺絲的螺套。這樣，大理石石板可以通過螺套固定在固定板安裝板240上。該晶圓測(cè)試裝置采用承片臺(tái)固定板來代替常用的采用3個(gè)承片臺(tái)固定座來承載承片臺(tái)的方式。且承片臺(tái)固定板采用大理石板材，所以承片臺(tái)受力比較均勻、剛性好、抗變形。這樣承片臺(tái)220就不易出現(xiàn)變形，該晶圓測(cè)試裝置具有測(cè)試準(zhǔn)確，針卡使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，包括具有探針的針卡、承載晶圓的承片臺(tái)、固定承片臺(tái)的承片臺(tái)固定板、固定承片臺(tái)固定板的固定板安裝板及驅(qū)動(dòng)固定板安裝板移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述承片臺(tái)固定板為電性絕緣的板材。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述承片臺(tái)固定板為石板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述承片臺(tái)固定板為大理石石板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述大理石石板上設(shè)有固定孔，所述大理石石板通過固定孔與固定板安裝板相固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓測(cè)試裝置，其特征在于，所述大理石石板的固定孔內(nèi)設(shè)有固定螺絲的螺套。
全文摘要
本發(fā)明提供一種晶圓測(cè)試裝置，該晶圓測(cè)試裝置包括具有探針的針卡、承載晶圓的承片臺(tái)、固定承片臺(tái)的承片臺(tái)固定板、固定承片臺(tái)固定板的固定板安裝板及驅(qū)動(dòng)固定板安裝板移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，承片臺(tái)固定板為電性絕緣的板材。該晶圓測(cè)試裝置采用承片臺(tái)固定板來代替常用的采用3個(gè)承片臺(tái)固定座來承載承片臺(tái)的方式，由于承片臺(tái)固定板為電性絕緣的板材，所以其受力會(huì)比較均勻。這樣承片臺(tái)就不易出現(xiàn)變形，該晶圓測(cè)試裝置也就具有測(cè)試準(zhǔn)確，針卡使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01R1/04GK103018496SQ20121054531
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月14日
發(fā)明者龔虎, 張偉, 梁錦昌, 江耀燕, 門洪達(dá) 申請(qǐng)人:深圳市天微電子有限公司