專(zhuān)利名稱(chēng)：測(cè)試座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子元件測(cè)試技術(shù)。然而更特別地是，本發(fā)明詳細(xì)涉及應(yīng)用接觸件測(cè)試電子元件的測(cè)試座。測(cè)試座包括接觸件，該接觸件互連被測(cè)試的電子元件的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)(pad)和負(fù)載板上的相應(yīng)跡線(xiàn) ，并在被測(cè)試的電子元件的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)和負(fù)載板上的相應(yīng)跡線(xiàn)之間提供電子路徑。本發(fā)明關(guān)注于通過(guò)測(cè)試座的相應(yīng)接觸件控制和校準(zhǔn)施加到裝置導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)以及負(fù)載板跡線(xiàn)上的力。
背景技術(shù)：
集成電路裝置測(cè)試是一種觀(guān)察了多年的工序，為的是使電子裝置盡可能獲得高等級(jí)的質(zhì)量控制。測(cè)試器典型地包括形成在與測(cè)試器設(shè)備關(guān)聯(lián)的負(fù)載板上的多條導(dǎo)電跡線(xiàn)。必須將有導(dǎo)線(xiàn)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或無(wú)導(dǎo)線(xiàn)裝置的焊盤(pán)互連到負(fù)載板上的相應(yīng)跡線(xiàn)，以便完成測(cè)試。為了實(shí)現(xiàn)互連，將具有多個(gè)接觸件的測(cè)試座插入被測(cè)裝置和負(fù)載板之間。一個(gè)接觸件的前端將被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)與負(fù)載板上的其相應(yīng)跡線(xiàn)接合。這些年來(lái)，根據(jù)測(cè)試座、負(fù)載板的結(jié)構(gòu)，以及測(cè)試裝置的構(gòu)造，已經(jīng)改進(jìn)了這種接觸件的形狀和結(jié)構(gòu)。以前，人們認(rèn)為在接觸件端接合的不同位置必須具有接帚滑觸(wiping)動(dòng)作，以提供良好的傳輸路徑。然而，隨著技術(shù)進(jìn)步，顯然需要較少的接帚滑觸動(dòng)作，以維持比以前認(rèn)為的更好的傳輸路徑。而且，顯然過(guò)多的接帚滑觸動(dòng)作會(huì)損害位于不同接合點(diǎn)處的元件部分，并且顯著縮短測(cè)試座和測(cè)試器負(fù)載板的壽命。因此，已經(jīng)進(jìn)行了不同的嘗試以使一個(gè)表面相對(duì)于另一個(gè)表面的磨損最小化。然而，本領(lǐng)域的當(dāng)前技術(shù)水平不能限定一種足以使測(cè)試座的效率最大化和使元件部分的磨損以及進(jìn)一步惡化最小化的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的這些問(wèn)題和要求。其優(yōu)點(diǎn)將參照發(fā)明內(nèi)容具體實(shí)施方式
、所附的權(quán)利要求以及附圖而變得更加顯而易見(jiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是一種改進(jìn)的測(cè)試座。其包括具有第一表面的殼體，將該第一表面設(shè)置成與測(cè)試器負(fù)載板的表面接合。殼體具有通常與該殼體的第一表面平行并間隔開(kāi)的第二表面。殼體的第二表面面向與第一表面面向的方向相反的方向。在該殼體中形成至少一個(gè)槽，該槽通過(guò)殼體在其第一和第二表面之間延伸。將接觸件容納在相應(yīng)的槽中。這種接觸件具有前端，該前端通常延伸出該殼體的第二表面，以便與測(cè)試裝置的相應(yīng)導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合。接觸件進(jìn)一步具有限定弓形表面的后端，該弓形表面與形成在測(cè)試器負(fù)載板的表面上的相應(yīng)跡線(xiàn)接合。將接觸件彈性地安裝在其槽中，這樣，當(dāng)接觸件的前端與被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合、并且推進(jìn)到其槽中時(shí)，該接觸件的弓形表面在實(shí)際上沒(méi)有平移或旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)的情況下在該測(cè)試器負(fù)載板的表面上橫跨其相應(yīng)跡線(xiàn)滾動(dòng)。由此，實(shí)質(zhì)上消除了接觸件和負(fù)載板之間的磨損。可以想象，接觸件的后端除了限定與負(fù)載板接合的弓形表面之外，還限定了漸成弧形的表面，該逐漸成弧形的表面與其弓形表面成角度地間隔。在本實(shí)施方式中，殼體限定了槽內(nèi)的壁。該壁與該接觸件的后端的漸成弧形的表面接合，并且該漸成弧形的表面與該壁之間的空間關(guān)系使得當(dāng)接觸件的前端與測(cè)試裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合，并且推進(jìn)到相應(yīng)的槽中時(shí)，該逐漸成弧形的表面沿壁移動(dòng)，并且使該接觸件的弓形表面橫跨其相應(yīng)跡線(xiàn)滾動(dòng)。可以想象，由殼體限定的壁相對(duì)于殼體的第一表面以銳角成角度地間隔。這能夠?qū)崿F(xiàn)接觸件的弓形表面在實(shí)際上沒(méi)有平移或旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)的情況下橫跨測(cè)試器負(fù)載板的跡線(xiàn)滾動(dòng)。本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式包括一對(duì)垂直橫跨槽的彈性體，以便影響接觸件的彈性安裝。將前彈性體定位在測(cè)試器負(fù)載板的表面和接觸件之間的通道內(nèi)。鑒于由殼體限定的肩部可用于接合接觸件、并限定它們延伸出殼體第二表面的距離的事實(shí)，將前彈性體預(yù)壓縮。由此，通過(guò)接觸件和負(fù)載板夾持其間的前彈性體完成預(yù)壓縮。當(dāng)前彈性體與被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合時(shí)，它們進(jìn)一步被接觸件壓縮，并推進(jìn)到它們各自的槽中。后彈性體預(yù)加載接觸件的后端。由此保持每個(gè)接觸件的后端相對(duì)于測(cè)試器負(fù)載板的表面上的其相應(yīng)跡線(xiàn)的接觸。本發(fā)明可以使用由貴金屬制成的接觸件。這種接觸件延長(zhǎng)了負(fù)載板的壽命。Neyoro G接觸件是沒(méi)有任何電鍍的固體金合金接觸件。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，這種材料不但延長(zhǎng)了接觸件的壽命，而且延長(zhǎng)了負(fù)載板的壽命。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，通過(guò)使用NeyOT0 G材料作為接觸件，負(fù)載板的壽命至少是在現(xiàn)有技術(shù)中已知的機(jī)構(gòu)中的負(fù)載板的壽命兩倍。因此，本發(fā)明是一種改進(jìn)的測(cè)試座，其針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的要求，并且解決了其問(wèn)題。參照本發(fā)明的具體實(shí)施方式
、附加的權(quán)利要求和附圖，由于這些特征而獲得的更明確的特征和優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見(jiàn)。


附圖1是根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試座的截面圖，其表示響應(yīng)接觸件與被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)的接合的接觸件和彈性體；以及附圖2是在本發(fā)明中使用的接觸件的立體圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參照附圖，其中貫穿幾幅附圖相同的附圖標(biāo)記表示相同的元件，附圖1表示根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試座10。測(cè)試座10意欲與測(cè)試器一起使用，該測(cè)試器典型地用于確定在電子器具中使用的集成電路的質(zhì)量。測(cè)試器與測(cè)試器負(fù)載板12連接，該測(cè)試器負(fù)載板具有在其表面16上形成的導(dǎo)電跡線(xiàn)14，以便能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)試器和被測(cè)集成電路裝置18之間的電子通訊。也就是說(shuō)，電信號(hào)通過(guò)測(cè)試座10在被測(cè)裝置18和測(cè)試設(shè)備之間傳送。附圖1表示設(shè)有多條導(dǎo)線(xiàn)20的DUT封裝，圖中僅表示出其一。雖然附圖1僅表示了被測(cè)裝置18的一部分，但是應(yīng)當(dāng)理解，實(shí)質(zhì)相同的導(dǎo)線(xiàn)基本上沿裝置封裝18的兩相對(duì)側(cè)延伸。附圖1進(jìn)一步表示導(dǎo)線(xiàn)背襯，當(dāng)被測(cè)裝置18以導(dǎo)線(xiàn)20與測(cè)試座10的相應(yīng)接觸件24接觸形成配合時(shí)，導(dǎo)線(xiàn)背襯阻止了導(dǎo)線(xiàn)20的彎曲。通過(guò)柱塞機(jī)構(gòu)(未示出)對(duì)被測(cè)裝置18施加向下的壓力。在進(jìn)行測(cè)試時(shí)，該柱塞壓下接觸件24，以便克服由彈性安裝的接觸件24帶來(lái)的向上偏倚。附圖1表示在被測(cè)裝置18與接觸件24接合之前接觸件24的正常位置。該附圖還以幻象表示了當(dāng)柱塞將被測(cè)裝置壓向其測(cè)試位置時(shí)接觸件的一部分。典型地是，接觸件24的前端26沿柱塞的移動(dòng)軸線(xiàn)行進(jìn)的距離大約是O. 3mm。應(yīng)當(dāng)理解，如下文中所述，鑒于接觸件24的結(jié)構(gòu)，在其下邊上的接觸件24的后端30的弓形表面28將橫跨負(fù)載板12上的相應(yīng)跡線(xiàn)14滾動(dòng)，而且該表面沿該跡線(xiàn)14實(shí)際上沒(méi)有平移或旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)。最佳地是，弓形表面28具有盡可能大的曲率半徑，以便限制施加在跡線(xiàn)14上的沖擊。而且，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，鑒于接觸件24的結(jié)構(gòu)，接觸件24的前端26沿與接觸件對(duì)應(yīng)的被測(cè)裝置18的導(dǎo)線(xiàn)20的平移滑動(dòng)足以在接觸件的前端上實(shí)現(xiàn)有效的擦洗，但在裝置18的導(dǎo)線(xiàn)20上實(shí)現(xiàn)最小的擦洗。例如，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，在裝置18上的平移滑動(dòng)大約是O. 041mm。測(cè)試座10包括殼體32，該殼體總的來(lái)說(shuō)具有與形成跡線(xiàn)14的測(cè)試器負(fù)載板12的表面16接合的第一表面34。殼體32具有大致平行于第一表面、并且與第一表面隔開(kāi)的第二表面36。殼體32的第二表面36與第一表面34相對(duì)。如上所述，殼體32攜帶多個(gè)接觸件24。具有多個(gè)槽38，每個(gè)槽接納單個(gè)的接觸件24。附圖2透視地表示根據(jù)本發(fā)明的單個(gè)接觸件。接觸件24包括第一、第二和第三突起40、42、44。第一突起40由與負(fù)載板12的跡線(xiàn)14接合的接觸件24的后端30限定。第三突起44由與被測(cè)裝置18的導(dǎo)線(xiàn)20或焊盤(pán)接合的接觸件24的前端26限定。如下文中所述，當(dāng)通過(guò)多個(gè)彈性體46、48安裝時(shí)，第二突起42用于與由殼體32限定的肩部49接合。肩部49與第二突起42的接合用于限制接觸件24向上移動(dòng)的程度，并且當(dāng)接觸件24不與被測(cè)裝置接合時(shí)，限制接觸件24的前端26延伸出殼體32的第二表面36的距離。再參照附圖1，測(cè)試座10具有一對(duì)通道50、52，它們通常沿橫在由殼體32中形成的槽38限定的平面中的軸線(xiàn)延伸。這些通道50、52是為了接納彈性體46、48，所述彈性體用于在它們的槽38中安裝接觸件24。附圖1表示接納較大的、前彈性體46的通常為圓形的通道50、以及接納較小的、后彈性體48的通常為矩形的通道52。后彈性體48是預(yù)加載的，并且因?yàn)榻佑|件24的后端30的弓形表面28與負(fù)載板12接合，后彈性體48在一定位置處將與接觸件24的后端30的上邊接合，以便向上推動(dòng)接觸件24的前端26。同樣，被壓縮的前彈性體46還用于向上推動(dòng)接觸件24，通過(guò)被測(cè)集成電路裝置18的導(dǎo)線(xiàn)24或焊盤(pán)將其偏置到初始接觸點(diǎn)。如在前提到的，即使有的話(huà)，與負(fù)載板12上的跡線(xiàn)14接合的弓形表面28沿負(fù)載板12的跡線(xiàn)14也沒(méi)有明顯的平移或旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)。這是因?yàn)橄薅ㄔ跉んw32內(nèi)的成角度的壁54在槽38末端附近最接近其第一表面34。接觸件24的后端30除了限定弓形表面28，還在與由殼體32限定的成角度的壁54接合的接觸件24的后端30的邊緣處具有逐漸成弧形的表面56。配置接觸件24，以使?jié)u成弧形的表面56與由槽38的末端限定的成角度的壁54相作用，從而使弓形表面28的接觸點(diǎn)在其橫跨負(fù)載板的跡線(xiàn)14移動(dòng)時(shí)不會(huì)橫跨跡線(xiàn)14滑動(dòng)。實(shí)際上該運(yùn)動(dòng)完全是滾動(dòng)動(dòng)作(也就是說(shuō)，橫跨跡線(xiàn)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)就像輪子在表面上滾動(dòng)一樣，沒(méi)有任何滑動(dòng))。這由該漸成弧形的表面56引起，由于其輪廓，使得接觸件24的后端30的弓形表面28在沒(méi)有平移滑動(dòng)的情況下滾動(dòng)，此時(shí)保持該漸成弧形的表面56與成角度的壁54接觸的配合。當(dāng)撤回被測(cè)裝置18時(shí)，會(huì)出現(xiàn)反向方向上的滾動(dòng)。如前所述，由于出現(xiàn)裝置的撤回，第二突起42將與由殼體32限定的肩部49接合，以便限制接觸件24向上運(yùn)動(dòng)。還應(yīng)當(dāng)注意到，將被測(cè)裝置18的施力點(diǎn)與接觸件24的后端30和負(fù)載板12上的跡線(xiàn)14的接合點(diǎn)橫向隔開(kāi)相對(duì)遠(yuǎn)的距離。這將增加由滾動(dòng)動(dòng)作獲得的有利優(yōu)勢(shì)(就是說(shuō)，將對(duì)負(fù)載板破壞的可能最小化)。此外，在本發(fā)明中可以使用由貴金屬制成的接觸件。這種接觸件還有助于延長(zhǎng)負(fù)載板的壽命。不具有任何電鍍的固體金合金的Neyoro G接觸件的使用是可以想到的。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，這種材料不但會(huì)延長(zhǎng)接觸件的壽命。并且還通過(guò)最小化對(duì)其上的跡線(xiàn)的破壞延長(zhǎng)了負(fù)載板的壽命。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，該負(fù)載板的壽命至少是在現(xiàn)有技術(shù)中已知構(gòu)造的機(jī)構(gòu)的兩倍。應(yīng)當(dāng)理解，本公開(kāi)的內(nèi)容在許多方面僅是示范性的。在不超出本發(fā)明的范圍的情況下，可以在細(xì)節(jié)上進(jìn)行改變，特別是形狀、尺寸、材料以及部件的接合。因此，本發(fā)明的范圍限定在所附的權(quán)利要求的語(yǔ)言中。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)試座,包括: -具有通常與測(cè)試器負(fù)載板的表面接合的第一表面的殼體，所述殼體進(jìn)一步具有通常與所述第一表面平行、間隔和相對(duì)的第二表面，并且在所述殼體中形成的至少一個(gè)槽通過(guò)所述殼體在所述第一表面和第二表面之間延伸； -容納在相應(yīng)的槽中的接觸件，所述接觸件具有延伸出所述第二表面的前端，以便與被測(cè)裝置的相應(yīng)導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合，并且具有限定弓形表面的后端，所述弓形表面與所述測(cè)試器負(fù)載板的所述表面上的相應(yīng)跡線(xiàn)接合；以及 -在所述相應(yīng)的槽中彈性安裝所述接觸件的裝置，其中，當(dāng)所述接觸件的所述前端與所述被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合、并且推進(jìn)到相應(yīng)的槽中時(shí)，所述弓形表面在實(shí)際上沒(méi)有平移或旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)的情況下橫跨所述相應(yīng)跡線(xiàn)滾動(dòng)，其中，所述接觸件的所述后端進(jìn)一步限定漸成弧形的表面，所述漸成弧形的表面與所述弓形表面成角度地間隔，并且在所述槽內(nèi)，所述殼體限定與所述接觸件的所述后端的所述漸成弧形的表面接合的壁，這樣，當(dāng)所述接觸件的所述前端與所述被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合、并且推進(jìn)到相應(yīng)的槽中時(shí)，所述接觸件的所述漸成弧形的表面沿所述壁移動(dòng)，并且使所述弓形表面橫跨相應(yīng)跡線(xiàn)滾動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試座，其特征在于，所述壁相對(duì)于所述殼體的所述第一表面以一定的弓形角度成角度地間隔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試座，其特征在于，所述彈性安裝所述接觸件的裝置包括由所述接觸件預(yù)壓縮的前彈性體，并且當(dāng)所述接觸件的所述前端與所述被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合、且推進(jìn)到所述槽中時(shí)，所述前彈性體被所述接觸件進(jìn)一步壓縮。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試座，其特征在于，所述彈性安裝所述接觸件的裝置還包括后彈性體，所述后彈性體相對(duì)于所述測(cè)試器負(fù)載板的表面上的相應(yīng)跡線(xiàn)預(yù)加載所述接觸件的后端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)試座，其特征在于，還包括由所述殼體限定的肩部，以便接合所述接觸件，并且限定所述接觸件延伸出所述殼體的所述第二表面的距離。
6.—種測(cè)試座,包括: -殼體，所述殼體具有相對(duì)的表面，以及多個(gè)在所述相對(duì)的表面之中形成的槽，所述槽在所述相對(duì)的表面之間延伸； -多個(gè)接觸件，將一個(gè)接觸件容納在各自相應(yīng)的槽中，所述接觸件具有延伸出所述殼體的相對(duì)表面之一的前端，以便與被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合，并且進(jìn)一步具有限定弓形表面的后端，所述弓形表面與負(fù)載板的表面上的相應(yīng)跡線(xiàn)接合；以及 -在相應(yīng)的槽中安裝各自的接觸件的裝置，以便當(dāng)接觸件響應(yīng)與被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)的接合而移動(dòng)、并推進(jìn)到所述槽中時(shí)，所述接觸件的弓形表面的后端在實(shí)際上沒(méi)有平移或旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)的情況下橫跨相應(yīng)跡線(xiàn)滾動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試座,其特征在于,所述接觸件由NeyoroG制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試座，其特征在于，接觸測(cè)試器負(fù)載板跡線(xiàn)的整個(gè)表面是弧形的。
全文摘要
一種在用于測(cè)試集成電路的改進(jìn)的測(cè)試座。該測(cè)試座包括在其中形成一個(gè)或多個(gè)槽的殼體。可以將接觸件容納在相應(yīng)的槽中并保持在其中，接觸件的后端與負(fù)載板上的跡線(xiàn)接合。通過(guò)一對(duì)彈性體完成安裝，并且該彈性體保持每個(gè)接觸件，從而當(dāng)接觸件的前端與被測(cè)裝置的導(dǎo)線(xiàn)或焊盤(pán)接合、并推進(jìn)到其相應(yīng)的槽中時(shí)，每個(gè)接觸件的后端的弓形表面在實(shí)際上沒(méi)有平移或旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)的情況下橫跨其相應(yīng)的跡線(xiàn)滾動(dòng)。
文檔編號(hào)G01R1/04GK103076467SQ20121056377
公開(kāi)日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2006年7月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月8日
發(fā)明者J·E·洛佩茲, D·B·謝爾, M·L·吉爾克 申請(qǐng)人:約翰國(guó)際有限公司