專利名稱：間隔變更裝置、電子元件操作裝置以及電子元件測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)試半導(dǎo)體集成電路元件等各種電子元件(以下稱作DUT(DeviCeUnder Test))的測(cè)試裝置上的、在托盤間移換DUT時(shí)變更DUT之間間隔的間隔變更裝置，以及具有該間隔變更裝置的電子元件操作裝置和電子元件測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
已知的是，作為用于測(cè)試電子元件的電子元件測(cè)試裝置，測(cè)試前后在用戶托盤(customer tray)與測(cè)試托盤之間移換DUT。(例如參照專利文獻(xiàn)I)現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:國(guó)際公開(kāi)第2008/041334號(hào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題上述的電子元件測(cè)試裝置中，由于是通過(guò)所謂的提押(pick and press)裝置在托盤之間移換DUT，故其移載能力有限。因此，可以認(rèn)為通過(guò)使保持有DUT的多個(gè)梭子(shuttle)在無(wú)端的軌道上連續(xù)循環(huán),能提高托盤間的DUT的移載能力。在托盤間移載DUT時(shí)，為與移載端的托盤的間隔相適應(yīng)則需變更DUT之間的間隔，因此，在上述的梭子循環(huán)方式的情況下也必須改變DUT之間的間隔。

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種在通過(guò)梭子循環(huán)方式在托盤間移載DUT時(shí)可改變DUT間的間隔的間隔變更裝置。解決技術(shù)問(wèn)題的方法本發(fā)明的間隔變更裝置，是變更被測(cè)電子元件間的間隔的間隔變更裝置，具有:保持所述被測(cè)電子元件的多個(gè)保持構(gòu)件；為所述多個(gè)保持構(gòu)件提供導(dǎo)向的軌道；沿著所述軌道將所述保持構(gòu)件以第I間隔送出的第I移動(dòng)構(gòu)件；具有從所述第I移動(dòng)構(gòu)件接收所述保持構(gòu)件的多個(gè)接收部，沿著所述軌道以第2間隔移動(dòng)所述接收部的第2移動(dòng)構(gòu)件以及控制所述第I移動(dòng)構(gòu)件的送出速度和所述第2移動(dòng)構(gòu)件的接收速度的控制構(gòu)件。上述發(fā)明中，在所述軌道上多個(gè)所述保持構(gòu)件之間的間隔可變也是可以的。上述發(fā)明中，所述控制構(gòu)件通過(guò)使所述第I移動(dòng)構(gòu)件的送出速度與所述第2移動(dòng)構(gòu)件的接收速度不同來(lái)變更所述保持構(gòu)件之間的間隔也是可以的。上述發(fā)明中，所述控制構(gòu)件，通過(guò)在用所述第2移動(dòng)構(gòu)件使所述接收部移動(dòng)的同時(shí)，使所述第I移動(dòng)構(gòu)件間歇性地停止，從而使所述保持構(gòu)件不被傳遞至特定的所述接收部也是可以的。上述發(fā)明中，所述第I移動(dòng)構(gòu)件，通過(guò)在多個(gè)保持構(gòu)件之間相互接觸的狀態(tài)下移動(dòng)最末尾的所述保持構(gòu)件，從而向所述第2移動(dòng)構(gòu)件頂出最前端的所述保持構(gòu)件也是可以的。
上述發(fā)明中，所述第2移動(dòng)構(gòu)件，包含以第2間隔安裝有多個(gè)所述接收部并與所述軌道并行設(shè)置的無(wú)端的傳送帶、呈繩狀鋪設(shè)有所述傳送帶的不少于兩個(gè)的滾輪，以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一個(gè)所述滾輪的電機(jī)也是可以的。上述發(fā)明中，所述間隔變更裝置，包含通過(guò)在所述保持構(gòu)件與所述軌道之間介有壓縮流體以使所述保持構(gòu)件從所述軌道上浮的上浮構(gòu)件也是可以的。上述發(fā)明中，所述第I間隔與所述用戶托盤的容納部之間的間隔實(shí)質(zhì)上相同，所述第2間隔與測(cè)試托盤的插入件間的間隔實(shí)質(zhì)上相同也是可以的。上述發(fā)明中，所述軌道包含，在所述端子朝下的姿勢(shì)下使所述保持構(gòu)件水平移動(dòng)的第I水平部、在所述端子朝上的姿勢(shì)下使所述保持構(gòu)件水平移動(dòng)的第2水平部、沿著垂直方向翻折的連接所述第I水平部的一端與所述第2平部一端之間的第I反轉(zhuǎn)部，以及沿著垂直方向翻折的連接所述第2水平部的另一端以及所述第I水平部另一端之間的第2反轉(zhuǎn)部。所述第I移動(dòng)構(gòu)件將所述保持構(gòu)件從所述第2水平部的一端向另一端移動(dòng)；所述第2移動(dòng)構(gòu)件沿著所述第2反轉(zhuǎn)部將所述保持構(gòu)件從所述第2水平部的另一端向所述第I水平部的另一端移動(dòng)，所述間隔變更裝置具有將所述保持構(gòu)件從所述第I水平部的另一端向一端移動(dòng)的第3移動(dòng)構(gòu)件也是可以的。上述發(fā)明中，所述保持構(gòu)件,具有在所述保持構(gòu)件反轉(zhuǎn)的狀態(tài)下也保持所述被測(cè)電子元件的保持機(jī)構(gòu)也是可以的。上述發(fā)明中，所述間隔變更裝置包含，在所述被測(cè)電子元件的端子朝下或朝上的姿勢(shì)下從第I托盤將所述被測(cè)電子元件移載至所述保持構(gòu)件的第I移載構(gòu)件，以及在所述端子朝上或朝下的姿勢(shì)下從所述保持構(gòu)件將所述被測(cè)電子元件移載至第2托盤的第2移載構(gòu)件也是可以的。 本發(fā)明的電子元件操作裝置，為測(cè)試所述被測(cè)電子元件將所述被測(cè)電子元件裝載于測(cè)試托盤上并搬送，并將所述被測(cè)電子元件推壓于測(cè)試頭的接觸部上。該電子元件操作裝置包含將測(cè)試前的被測(cè)電子元件從用戶托盤移載至測(cè)試托盤的上述的第I間隔變更裝置，或者將測(cè)試后的被測(cè)電子元件從測(cè)試托盤移載至用戶托盤的第2間隔變更裝置中的至少一個(gè)。本發(fā)明的電子元件測(cè)試裝置，用于測(cè)試被測(cè)電子元件，包含測(cè)試頭、將所述電子元件推壓于所述測(cè)試頭的接觸部上的上述電子元件操作裝置，以及電連接于所述測(cè)試頭的測(cè)試器。本發(fā)明中，提供一種間隔變更裝置，該間隔變更裝置由于在第2移動(dòng)構(gòu)件從所述第I移動(dòng)構(gòu)件接收保持構(gòu)件時(shí)，被測(cè)電子元件之間的間隔從第I間隔變更為第2間隔，故通過(guò)梭子循環(huán)方式在托盤間移載被測(cè)電子元件時(shí)，可變換被測(cè)電子元件間的間隔。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電子元件測(cè)試裝置的平面圖。圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電子元件測(cè)試裝置的斜視圖。圖3是表示沿圖1的II1-1II線的截面圖。圖4是表示沿圖1的IV -1V線的截面圖。圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的裝載部的器件搬送裝置的側(cè)面圖。
圖6是圖5所示的器件搬送裝置的梭子以及導(dǎo)軌的側(cè)面圖。圖7是沿著圖6的YD-VII線的截面圖。圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的器件搬送裝置的變形例的側(cè)面圖。圖9 (a) 圖9 (e)是表示從本發(fā)明的實(shí)施方式的從用戶托盤至梭子的移載動(dòng)作的示意圖，圖9 (a)是表示該移載動(dòng)作的概要的示意圖，圖9 (b) 圖9 (e)示出了該移載動(dòng)作的各個(gè)步驟的示意圖。圖10表示了圖5中所示的器件搬送裝置的間隔變更機(jī)構(gòu)的放大圖。圖11是表示第2送出裝置的送出速度以及第3送出裝置的接收動(dòng)作的關(guān)系的示意圖。圖12 (a) 圖12 (e)是表示從本發(fā)明的實(shí)施方式的梭子至測(cè)試托盤的移載動(dòng)作的示意圖；圖12 (a)是表示該移載動(dòng)作概要的示意圖，圖12 (b) 圖12 (e)是表示該移載動(dòng)作的各步驟的示意圖。圖13是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電子元件操作裝置的測(cè)試部以及測(cè)試頭上部的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖14 (a) 圖14 (f)是表示本發(fā)明實(shí)施方式的從測(cè)試托盤至梭子的移載動(dòng)作的圖，圖14 Ca)表示了該移載動(dòng)作的概要，圖14 (b) 圖14 Cf)表示了該移載動(dòng)作的各個(gè)步驟的示意圖。圖15 (a) 圖15 (e)是表示本發(fā)明實(shí)施方式的從梭子至用戶托盤的移載動(dòng)作的不意圖，圖15 (a)表不了該移載動(dòng)作的概要的不意圖，圖15 (b) 圖15 (e)表不了該移載動(dòng)作的概要。發(fā)明的
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1及圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電子元件測(cè)試裝置的平面圖以及斜視圖、圖3表示沿圖1的II1-1II線的截面圖、圖4是表示沿圖1的IV -1V線的截面圖。首先，針對(duì)本實(shí)施方式的電子元件測(cè)試裝置I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行大致說(shuō)明。本實(shí)施方式的電子元件測(cè)試裝置1，在向DUT100施加高溫或者低溫的熱應(yīng)力的狀態(tài)下(或者常溫狀態(tài)下)測(cè)試該DUT100是否恰當(dāng)動(dòng)作，并且根據(jù)該測(cè)試結(jié)果對(duì)DUT100進(jìn)行分類。該電子元件測(cè)試裝置包含測(cè)試頭2、測(cè)試器3以及處理器10。該電子元件測(cè)試裝置I將DUT100裝載于測(cè)試托盤120上并搬送，并對(duì)DUT100進(jìn)行測(cè)試，但是在此前后在用戶托盤110與測(cè)試托盤120之間進(jìn)行DUT100的換載。另外，本實(shí)施方式的處理器10相當(dāng)于本發(fā)明的電子元件操作裝置的一個(gè)例子。本實(shí)施方式的處理器10，如圖1 圖4所示，包含容納部20、裝載部30、加熱部60、測(cè)試部70、除熱部80以及卸載部90。容納部20容納有多個(gè)用于容納測(cè)試前以及測(cè)試完成后的DUT100的用戶托盤110。該用戶托盤110，從其他工序?qū)UT100向處理器10搬入或搬出，具有可容納DUT100的多個(gè)容納部111 (參照?qǐng)D9 Ca)以及圖15 (a))。該容納部111以第I間隔Pl成列布置。裝載部30，從由容納部20提供的用戶托盤110，將測(cè)試前DUT100換載至測(cè)試托盤120后，將該測(cè) 試托盤120搬送至加熱部60上。該測(cè)試托盤120，用于在處理器10內(nèi)部循環(huán)，具有多個(gè)(例如256個(gè))形成有保持DUT100的凹部123的插入件122 (參照?qǐng)D12 (a)、圖13及圖14 (a)。該插入件122，以較第I間隔Pl大的第2間隔P2呈列布置(P1〈P2)。加熱部60從裝載部30接收測(cè)試托盤120后，對(duì)裝載于該測(cè)試托盤120上的測(cè)試前DUT100施予高溫(例如室溫 +160° C)或者低溫(例如-60° C 室溫)的熱應(yīng)力，之后將測(cè)試托盤120搬送至測(cè)試部70上。本實(shí)施方式中，如圖2 圖4所示，測(cè)試頭2以反轉(zhuǎn)狀態(tài)安裝于處理器10上，借助形成于處理器10上部的開(kāi)口 11，使測(cè)試頭2的插座201面向處理器10的測(cè)試部70的內(nèi)部。測(cè)試部70，通過(guò)將裝載于由加熱部60送至的測(cè)試托盤120上的DUT100推壓于測(cè)試頭2的插座201上，使DUT100的端子110與插座201的接觸引腳202電接觸。另外，沒(méi)有特別圖示，在測(cè)試頭2上，多個(gè)(例如512個(gè))插座201呈列布置，測(cè)試托盤120上的插入件122的排列與該插座201的排列對(duì)應(yīng)。如圖3所示，測(cè)試頭2借助于電纜301連接于測(cè)試器3，通過(guò)處理器10將DUT推壓于插座201上，例如，借助該插座201測(cè)試器3向DUT100輸入輸出測(cè)試信號(hào)，從而進(jìn)行DUT100的測(cè)試。順便提一下，測(cè)試頭2上的插座201，在DUT100種類交換時(shí)，適時(shí)交換為與該DUT100相對(duì)應(yīng)的插座。除熱部80，從測(cè)試部70接收測(cè)試托盤120，從測(cè)試完成后的DUT100上去除熱應(yīng)力之后，將該測(cè)試托盤120搬送至卸載部90上。卸載部90，在從該測(cè)試托盤120將測(cè)試完成后的DUT100移換至與測(cè)試結(jié)果對(duì)應(yīng)的用戶托盤110上的同時(shí)，對(duì)DUT100進(jìn)行分類。容納有該測(cè)試完成后的DUT100的用戶托盤110容納于容納部20中。另外，將全部的DUT100移載后而變空的測(cè)試托盤120，通過(guò)托盤搬送裝置58 (參照?qǐng)D1)被送回 至裝載部30。下面針對(duì)處理器10的各個(gè)部分進(jìn)行說(shuō)明。< 容納部 20>如圖1及圖2所示，容納部20包含測(cè)試前托盤存儲(chǔ)器21、測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22以及空托盤存儲(chǔ)器23。測(cè)試前托盤存儲(chǔ)器21，容納有多個(gè)用于容納測(cè)試前DUT100的用戶托盤110。另一方面，測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22，容納有多個(gè)用于容納根據(jù)測(cè)試結(jié)果分類的DUT100的用戶托盤110。另外，空存儲(chǔ)器23，容納有未容納DUT100的空用戶托盤110。本實(shí)施例中，設(shè)有6個(gè)測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22，最多可根據(jù)測(cè)試結(jié)果將DUT100分為6類。上述的存儲(chǔ)器21 23，沒(méi)有特別圖示，具有框狀的托盤支撐架以及可升降該托盤支撐架的升降機(jī)。托盤支撐架內(nèi)疊置有多個(gè)用戶托盤110，該用戶托盤的疊置體通過(guò)升降機(jī)上下移動(dòng)。另外，由于所有存儲(chǔ)器21 23均為同一結(jié)構(gòu)，測(cè)試前托盤存儲(chǔ)器21、測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22、空托盤存儲(chǔ)器23的數(shù)目并不限定于上述，可任意設(shè)定。而且，托盤存儲(chǔ)器21 23的總數(shù)也不限定于上述。另外，該容納部20具有可移送用戶托盤110的移動(dòng)臂24。例如，從測(cè)試前托盤存儲(chǔ)器21的最上節(jié)的用戶托盤110中將所有的DUT100提供給裝載部30后該用戶托盤110變空的情況下，該托盤移動(dòng)臂24將該用戶托盤110從測(cè)試前托盤存儲(chǔ)器21移動(dòng)至空托盤存儲(chǔ)器23中。
另外，例如，測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22的最上節(jié)用戶托盤110在裝滿測(cè)試后DUT100的情況下，托盤移動(dòng)臂24將新的空用戶托盤110從空托盤存儲(chǔ)器23移動(dòng)至該測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22。另外，容納部20的結(jié)構(gòu)，并不限定于此。例如，托盤移送臂24從測(cè)試前托盤存儲(chǔ)器21與測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22將最上節(jié)的用戶托盤110取出并移載至套板上，該套板通過(guò)面向在處理器10裝置底座上形成的窗部上升，向裝載部30與卸載部90提供用戶托盤110也是可以的。< 裝載部 30>圖5是表示本實(shí)施方式的裝載部的器件搬送裝置的側(cè)視圖、圖6是表示該器件搬送裝置的梭子以及導(dǎo)軌的側(cè)面圖、圖7是沿著圖6的YD - VII線的截面圖、圖8是表示本實(shí)施方式的器件搬送裝置的變形例的側(cè)面圖、圖9 (a) 圖9 (e)是表示從本實(shí)施方式的用戶托盤至梭子的移載動(dòng)作的示意圖、圖10表示了圖5所示的器件搬送裝置的間隔變更機(jī)構(gòu)的放大圖、圖11是表示第2送出裝置的送出速度以及第3送出裝置的接收動(dòng)作的關(guān)系的示意圖、圖12 (a) 圖12 (e)是表示本實(shí)施方式的從梭子至測(cè)試托盤的移載動(dòng)作的示意圖。裝載部30，如圖1所示，包含器件移載裝置40以及器件搬送裝置50A。本實(shí)施例中，通過(guò)器件移載裝置40將DUT100從用戶托盤110移載至器件搬送裝置50A上后，通過(guò)該器件搬送裝置50A將DUT1 00移載至測(cè)試托盤120上。本實(shí)施方式的器件移載裝置40的第I可動(dòng)頭43以及器件搬送裝置50A，相當(dāng)于本發(fā)明的第I間隔變更裝置的一個(gè)例子。器件移載裝置40，將DUT100從用戶托盤110移換至器件搬送裝置50A上。如圖所示，具有沿X方向設(shè)置的一對(duì)X向軌道41、在該X向軌道41上沿X向滑移的第IY向軌道42以及由該第IY向軌道42支撐的可動(dòng)頭43。第I可動(dòng)頭43，具有均上下可動(dòng)的多個(gè)(例如36個(gè))吸著頭431 (參照?qǐng)D5及圖9(a))，可同時(shí)吸著保持多個(gè)DUT100。另外，該第I可動(dòng)頭43的吸著頭431，以與上述的用戶托盤110的容納部111相同的第I間隔P1，呈一列的布置。本實(shí)施方式的器件移載裝置40的第I可動(dòng)頭43相當(dāng)于本發(fā)明的第I移載構(gòu)件的一個(gè)例子。再者，該第I可動(dòng)頭43具有用于打開(kāi)后述梭子51的卡閂513的卡閂開(kāi)啟器432。該卡閂開(kāi)啟器432，具有向下突出的突起433，可獨(dú)立于吸著頭431上下移動(dòng)。另外，如圖1所示，該器件移載裝置40，除上述的第I可動(dòng)頭43外，還具有2個(gè)可動(dòng)頭45、47，但是這些可動(dòng)頭45、47，在后述卸載部90上，將DUT100從器件搬送裝置50B移載至用戶托盤110上時(shí)使用。順便提一下，第2可動(dòng)頭45由可在X向軌道41上滑移的第2Y向軌道44支撐，與第I可動(dòng)頭43—樣，具有上下可動(dòng)的多個(gè)(例如36個(gè))吸著頭451 (參照?qǐng)D15 (a))以及獨(dú)立于該吸著頭451的上下可動(dòng)的卡閂開(kāi)啟器452。另一方面，第3可動(dòng)頭47、也由可在X向軌道41上滑移的第3Y向軌道46支撐，但是，該第3可動(dòng)頭47為與發(fā)生頻率低的測(cè)試結(jié)果對(duì)應(yīng)，可在第3Y向軌道46上沿Y向移動(dòng)。另外，沒(méi)有特別圖示，該第3可動(dòng)頭47具有第I以及第2可動(dòng)頭43、45同樣的吸著頭以及卡閂開(kāi)啟器，但是吸著頭的數(shù)目較第I以及第2可動(dòng)頭43、45少。器件搬送裝置50A，如圖5及圖6所示，包含保持DUT100的多個(gè)梭子51、為梭子51提供導(dǎo)向的導(dǎo)軌52、使梭子51在導(dǎo)軌52上移動(dòng)的第I 第3送出裝置53 55、將DUT100從梭子51移換至測(cè)試托盤120上的卡閂開(kāi)啟器56A，以及控制第I 第3的送出裝置53 55的控制裝置57。本實(shí)施方式的梭子(搬送載體)51相當(dāng)于本發(fā)明的保持構(gòu)件的一個(gè)例子，本實(shí)施方式的第I導(dǎo)軌521相當(dāng)于本發(fā)明的軌道的一個(gè)例子，本發(fā)明的第2送出裝置54相當(dāng)于本發(fā)明的第I移動(dòng)構(gòu)件的一個(gè)例子，本實(shí)施方式的第3送出裝置55相當(dāng)于本發(fā)明的第2移動(dòng)構(gòu)件的一個(gè)例子，本實(shí)施方式的控制裝置57相當(dāng)于本發(fā)明控制構(gòu)件的一個(gè)例子。另外，本實(shí)施方式的第I送出裝置53相當(dāng)于本發(fā)明的第3移動(dòng)構(gòu)件的一個(gè)例子，本實(shí)施方式的卡閂開(kāi)啟器56A相當(dāng)于本發(fā)明的第2移載構(gòu)件的一個(gè)例子。梭子51，如圖7所示，包含保持DUT100的器件保持部511以及安裝有該器件保持部511的基部515。器件保持部511具有容納DUT100的器件容納穴512、在該器件容納穴512內(nèi)限制DUT100的一對(duì)卡閂513。另外，本實(shí)施方式的卡閂513，相當(dāng)于本發(fā)明的保持機(jī)構(gòu)的一個(gè)例子。各個(gè)卡閂513均具有置于器件容納穴512底部的第I保持部513a，置于器件容納穴512上部的第2保持部513b、從第2保持部513b向外側(cè)延伸的抵接部513c，以及使第I保持部513a和第2保持部513b連接的回轉(zhuǎn)軸513d。第I保持部513a、第2保持部513b以及抵接部513c形成為一個(gè)整體。該卡閂513可旋轉(zhuǎn)地支撐于回轉(zhuǎn)軸513d之上，通過(guò)扭簧等施力部件(未圖示)，向器件容納穴512內(nèi)部的方向(圖中的箭頭方向)施力。將DUT100容納于該器件容納穴512中后，如圖所示，通過(guò)第I保持部513a保持DUT100的端子101側(cè)的同時(shí)，第2保持部513b抵接于DUT100的上部。因此，將DUT100容納于器件保持部511后，通過(guò)卡閂513將DUT100固定于容納穴512內(nèi)部，使得即使梭子51上下反轉(zhuǎn)DUT100也不會(huì)落下。另一方面，在基部515的兩側(cè)，形成有沿著梭子51前后方向的一對(duì)軌道容納槽516。通過(guò)若干條間隙,將導(dǎo)軌52的第I導(dǎo)軌521插入于該軌道容納槽516中。梭子51沿著該第I導(dǎo)軌521導(dǎo)向。`導(dǎo)軌52,如圖6所不，包含第I導(dǎo)軌521以及第2導(dǎo)軌525。第I導(dǎo)軌521，具有由在水平方向上延伸的第I以及第2水平部521a，521b以及連接這些水平部521a、521b的第I及第2反轉(zhuǎn)部521c、521d形成的環(huán)狀形狀(無(wú)端形狀)。梭子51，可繞該第I導(dǎo)軌521的全周移動(dòng)(循環(huán))。本實(shí)施方式中，第I及第2反轉(zhuǎn)部521a、521b沿著垂直方向翻折。在第I水平部521a上，在DUT100的端子101朝下的姿勢(shì)下移動(dòng)梭子51，但是在第2水平部521b上，在DUT100的端子101朝上的姿勢(shì)下移動(dòng)梭子51。另外，從如圖6所示的狀態(tài)以軸向?yàn)橹行膶⒌贗導(dǎo)軌521旋轉(zhuǎn)90度，同時(shí)繞著第I導(dǎo)軌521的全周，在DUT100的端子101朝上或者朝下的姿勢(shì)下移動(dòng)梭子51的結(jié)構(gòu)也是可以的。另外，第I導(dǎo)軌521的整體形狀，只要為無(wú)端的形狀即可，并不限定于上述的具有2個(gè)反轉(zhuǎn)部的形狀。該第I導(dǎo)軌521的水平部521a、521b上，如圖7所示，形成有流路522以及吹出口523。流路522沿著第I以及第2水平部521a，521b的軸向方向延伸，連接于供給壓縮空氣等壓縮流體的壓縮機(jī)524。吹出口 523，從該流路522向第I導(dǎo)軌521的上面以及側(cè)面開(kāi)□。
從該吹出口 523排出壓縮空氣后，由于該壓縮空氣介于梭子51的軌道容納槽516以及第I導(dǎo)軌511之間，梭子51從導(dǎo)軌521上浮。因此，因梭子51在第I導(dǎo)軌521上移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的摩擦顯著降低，故可在減少成本的同時(shí)也可實(shí)現(xiàn)免維修。本實(shí)施方式的第I導(dǎo)軌521的流路522以及吹出口 523與壓縮機(jī)524相當(dāng)于本發(fā)明的上浮構(gòu)件的一個(gè)例子。另一方面，第I導(dǎo)軌521的反轉(zhuǎn)部521c、521d上，未形成有流路522以及吹出口523，但如圖6所示，該反轉(zhuǎn)部52lc、52Id的外側(cè)，置有第2導(dǎo)軌525。沒(méi)有特別圖示，第2導(dǎo)軌525的內(nèi)部，也形成有供給壓縮空氣的流路，從該流路面向第I導(dǎo)軌521的反轉(zhuǎn)部521c，521d開(kāi)口的吹出口。通過(guò)從該第2導(dǎo)軌525的吹出口向梭子51的上部吹壓縮空氣，梭子51在通過(guò)反轉(zhuǎn)部521c，521d時(shí)梭子51的晃動(dòng)和噪聲受到抑制。另外，圖5中，省略該第2導(dǎo)軌525。代替上述的靜壓方式，如圖8所示，將軸承支座517安裝于梭子51’上，通過(guò)將該軸承支座517在導(dǎo)軌52’上轉(zhuǎn)動(dòng)，使梭子51’在導(dǎo)軌52’上移動(dòng)也是可以的?；蛘?，沒(méi)有特別圖示，代替導(dǎo)軌，通過(guò)傳送帶移動(dòng)梭子也是可以的?；氐綀D5，第 I導(dǎo)軌521上，安裝有多個(gè)(例如100個(gè)以上)的梭子51，這些梭子51的間隔可任意變化。另外，在第I導(dǎo)軌521上使梭子51相互接觸后，該梭子51之間的間隔設(shè)定為與上述的用戶托盤110的容納部111之間的間隔Pl實(shí)質(zhì)上相同。另外，在第I導(dǎo)軌521上使梭子51之間相互接觸的情況下，梭子51之間的間隔，為用戶托盤110的容納部111之間的間隔Pl的整數(shù)倍也是可以的。第I送出裝置53，如圖所示，沿著第I導(dǎo)軌521的第I水平部521a設(shè)置。該第I送出裝置53，具有滾輪531、532、傳送帶533、電機(jī)534、滑道535、滑塊536、氣缸537以及抵接塊538。一對(duì)滾輪531、532上呈繩狀鋪設(shè)有傳送帶533，該傳送帶533，與第I導(dǎo)軌521的第I水平部521a平行設(shè)置。另外，電機(jī)534可旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一個(gè)滾輪531。導(dǎo)軌535也與傳送帶533 —樣,與第I水平部521a平行設(shè)置?；瑝K536可在該導(dǎo)軌535上移動(dòng)的同時(shí)，固定于傳送帶533上。滑塊536的頂端，安裝有可在上下方向伸縮的氣缸537，氣缸537的頂端安裝有抵接于梭子51的抵接塊538。該第I送出裝置53，在將氣缸537伸長(zhǎng)的狀態(tài)下，通過(guò)電機(jī)534使?jié)L輪531以圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。通過(guò)將滑塊536向圖中左方移動(dòng)，使梭子51在第I水平部52Ia上移動(dòng)。此時(shí)，通過(guò)抵接塊538推最末尾的梭子51，使梭子51之間相互接觸后，使多個(gè)梭子51 —并移動(dòng)。順便提一下，在使抵接塊538回到原點(diǎn)的情況下，在將氣缸547縮短的狀態(tài)下，將滾輪531以圖中逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)，使抵接塊538向圖中右方移動(dòng)。另外，由于梭子51上形成有槽或者穴，將抵接塊538插入到該槽中或者穴中的結(jié)構(gòu)也是可以的。而且，如圖所示，第I導(dǎo)軌521的第I水平部521a的端部附近設(shè)有制動(dòng)器539。該制動(dòng)器539，具有可上下伸縮的氣缸539a，安裝于該氣缸539a的頂端的擋塊539b，通過(guò)將氣缸539a伸長(zhǎng)，可在第I導(dǎo)軌521的第I水平部521a的端部使梭子51停止。該第I水平部521a的端部的側(cè)邊置有通過(guò)器件移載裝置40的第I可動(dòng)頭43取出DUT100的用戶托盤110。本實(shí)施方式中，如圖所示，第I送出裝置53在制動(dòng)器539之前第I導(dǎo)軌521上裝入梭子51，且將制動(dòng)器539與抵接塊538之間的梭子51的數(shù)目，設(shè)定為與用戶托盤110上的沿Y方向的容納部511的數(shù)目相同。然后，將梭子51裝入到制動(dòng)器539與抵接塊538之間后，如圖9 (a)所示，器件移載裝置40的第I可動(dòng)頭43從用戶托盤110將多個(gè)DUT100同時(shí)移載至該梭子51上。具體的，首先，第I可動(dòng)頭43接近用戶托盤110并保持DUT100 (圖9(b))。接著，第I可動(dòng)頭43在梭子51上方移動(dòng)后，僅通過(guò)使卡閂開(kāi)啟器432下降并通過(guò)突起433推壓梭子51的卡閂513的抵接部513c以打開(kāi)卡閂513。然后，第I可動(dòng)頭43使吸著頭431下降，在將DUT100載置于卡閂513的第I保持部513a上后(圖9 (d))，使吸著頭431及卡閂開(kāi)啟器432上升(圖9 (e))。上述的要點(diǎn)中，將DUT100移載至裝于制動(dòng)器539以及抵接塊538之間的全部的梭子51后，第I送出裝置53借助后續(xù)的空的梭子51，推壓最末尾的梭子51，一并移動(dòng)全部的梭子51。由第I送出裝置53推壓于第I導(dǎo)軌521的第I反轉(zhuǎn)部521c上的梭子51,由于自重，從第I反轉(zhuǎn)部521c移動(dòng)至第2水平部521b。第2送出裝置54，如圖5及圖10所示，沿著第I導(dǎo)軌521的第2水平部521b設(shè)置。該第2送出裝置54與上述第I送出裝置53 —樣具有一對(duì)滾輪541、542，傳送帶543，電機(jī)544，導(dǎo)軌545，滑塊546，氣缸547以及抵接塊548。該第2送出裝置54也與上述第I送出裝置53相同，在將氣缸547伸長(zhǎng)的狀態(tài)下，通過(guò)移動(dòng)滑塊548，可在第2水平部521b上向圖中右方移動(dòng)梭子51，通過(guò)用抵接塊538推壓最末尾的梭子51，使得梭子51之間相互接觸，之后向第3送出裝置55集中移動(dòng)規(guī)定的數(shù)目(例如，與測(cè)試托盤120的沿Y向的插入件122的數(shù)目相同)的梭子51。另外，該第2送出裝置54的頂端附近，也設(shè)有使梭子51在第2水平部521b上停止的制動(dòng)器549。第3送出裝置55，如圖5及圖10所示，與第I導(dǎo)軌521的水平部521a，521b以及第2反轉(zhuǎn)部521d重復(fù)設(shè)置，包含沿第I導(dǎo)軌521設(shè)置的傳送帶551、呈繩狀鋪設(shè)有該傳送帶551的一對(duì)滾輪552、553以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一個(gè)滾輪552的電機(jī)554。傳送帶551的外周面上，設(shè)有可與形成于梭子51底面的卡合槽514 (參照?qǐng)D10)卡合的多個(gè)引腳555。該引腳555以與上述的測(cè)試托盤120的插入件122的間隔相同的第2間隔P2置于傳送帶551之上。本實(shí)施方式的引腳555相當(dāng)于本發(fā)明的接收部的一個(gè)例子。該第3送出裝置55，由第2送出裝置54供給梭子51后，傳送帶551的引腳555卡合于梭子51的卡合槽514中，且第3送出裝置55以第2水平部521b、第2反轉(zhuǎn)部521d、第I水平部521a的順序，使梭子51沿著第I導(dǎo)軌521移動(dòng)。另外，圖10左側(cè)的滾輪552的半徑比同圖中右側(cè)的滾輪553的半徑小。傳送帶551與第I導(dǎo)軌521的第2水平部521b以及第2反轉(zhuǎn)部521d重復(fù)，但其為可從第I水平部521a逐漸分離的結(jié)構(gòu)。因此，通過(guò)第3送出裝置55將梭子51搬送至第I水平部521a上后，解除置于該第I水平部521a上的梭子51與引腳555的卡合。本實(shí)施方式中，如圖5所示，第I 第3送出裝置53 55由控制裝置57控制，但是該控制裝置57控制第2以及第3送出裝置54、55使第2送出裝置54的梭子51的送出速度與第3送出裝置55的梭子51的接收速度不同。具體的 ，如圖11所示，控制裝置57控制第2以及第3送出裝置54、55使引腳555靠近第3送出裝置55的移動(dòng)速度(接收速度，如圖中的實(shí)線所示。)快于抵接塊548靠近第2送出裝置54的移動(dòng)速度(送出速度，如圖中虛線所示。)。因此，第3送出裝置55在從第2送出裝置54接收梭子51時(shí)，第2水平部521b上的梭子51間的Y向間隔由Pl變換為P2。順便提一下，本實(shí)施方式中，每當(dāng)通過(guò)器件搬送裝置50A將DUT100裝載于測(cè)試托盤120的沿Y向的一列插入件122的全部中，托盤搬送裝置58僅將測(cè)試托盤120沿X向移動(dòng)插入件122的I個(gè)間隔。據(jù)此，DUT100之間的X向的間隔，可從用戶托盤110的容納部111的間隔變更為測(cè)試托盤120的插入件122的間隔。另外，如上所述，測(cè)試頭2上安裝有多個(gè)(例如512個(gè))插座201，但是這些插座201中存在因故障不能使用的情況。這樣的情況下，將從用戶托盤110將DUT100移載至測(cè)試托盤120上時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)中不將DUT100裝載于測(cè)試托盤120上的與故障插座201對(duì)應(yīng)的插入件122上(所謂的關(guān)閉DUT功能，即DUT off功能)。本實(shí)施方式中，如圖11的單點(diǎn)劃線與雙點(diǎn)劃線所示，通過(guò)在第3送出裝置54的接收速度(如圖中單點(diǎn)劃線所示)維持于規(guī)定值的同時(shí)，使第2送出裝置55的送出速度(如圖中的雙點(diǎn)劃線所示。)間歇性的變?yōu)榱?即，使第2送出裝置54間歇性地停止)，實(shí)現(xiàn)上述的DUT off 功能。具體的，在通過(guò)第3送出裝置55驅(qū)動(dòng)電機(jī)554的狀態(tài)下，與未裝載DUT100的插入件122對(duì)應(yīng)的引腳555，接近來(lái)自第2送出裝置54的接收位置RP(參照?qǐng)D10)時(shí)，通過(guò)使第2送出裝置54的電機(jī)544暫時(shí)停止(即，使梭子51靠近第2送出裝置54的送出速度臨時(shí)為0)，不向該引腳555提供梭子51。然后，該引腳555經(jīng)過(guò)該接收位置RP后，第2送出裝置54再次驅(qū)動(dòng)電機(jī)544，將梭子51提供給下一個(gè)引腳555。另外，若第3送出裝置55的送出速度與第2送出裝置54的接收速度之間具有大的速度差，不將第2送出裝置54的送出速度完全變?yōu)榱阋彩强梢缘?。如圖5所示，第3送出裝置55的下方，置有從梭子51接收DUT100的測(cè)試托盤120。第3送出裝置55，將規(guī)定數(shù)目(例如，與測(cè)試托盤120的沿Y向的插入件122的數(shù)目相同)的梭子51移至測(cè)試托盤12 0的插入件122上后，使電機(jī)554暫時(shí)停止。該測(cè)試托盤120的下方，置有卡閂開(kāi)啟器56A。該卡閂開(kāi)啟器56A，如圖12 (a)所示，具有可插入形成于測(cè)試托盤120的插入件122的通孔124中的突起561以及支撐該突起561的支撐板562。支撐板562可通過(guò)氣缸等上下移動(dòng)。該卡閂開(kāi)啟器56A從梭子51將DUT100移換至測(cè)試托盤120上。具體的，該卡閂開(kāi)啟器56A，從下方接近測(cè)試托盤120 (圖12 (b))，并將突起561插入至插入件122的通孔124中(圖12 (C))。接下來(lái)，卡閂開(kāi)啟器56A進(jìn)一步使突起561上升，通過(guò)用該突起561推壓梭子51的卡閂513的抵接部513c，打開(kāi)卡閂513(圖12(d))。據(jù)此，保持于卡閂513的第2保持部513b中的DUT100，從梭子51的器件容納穴512移載至插入件122的凹部123內(nèi)之后，卡閂開(kāi)啟器56A從測(cè)試托盤120上分離(圖12 (e))。DUT100變空的梭子51，通過(guò)第3送出裝置55被搬送至第I導(dǎo)軌521的第I水平部521a上。另一方面，通過(guò)器件搬送裝置50A將用于移載DUT100的測(cè)試托盤120搬送至加熱部60上。〈加熱部60>加熱部60，如圖2及圖4所示，在通過(guò)垂直搬送裝置(未圖示)提升由裝載部30提供的測(cè)試托盤120的同時(shí)，對(duì)裝載于該測(cè)試托盤120上的DUT100施加規(guī)定的熱應(yīng)力。
如此，本實(shí)施方式中，該加熱部60上，因?qū)y(cè)試托盤120向上方搬送，故可使加熱部60的高度與測(cè)試部70的高度相同。這樣，由于加熱部60與置于處理器10上的測(cè)試頭2的干涉變難，故可使測(cè)試頭2的尺寸的自由度變高。另外，一般的，加熱部上的檢測(cè)測(cè)試托盤的異常的傳感器等，設(shè)置于測(cè)試部的正前方。與此相對(duì)，本實(shí)施方式中，通過(guò)將加熱部60上的測(cè)試托盤120向上方搬送，可從上方接近由測(cè)試部70供給的正前方的測(cè)試托盤120，故可容易消除測(cè)試托盤120的堵塞，維修性也變好。該加熱部60上，使溫度控制用模塊接觸于裝載于測(cè)試托盤120上的各個(gè)DUT100，通過(guò)加熱或者冷卻DUT100，控制DUT100的溫度。該模塊內(nèi)部，形成有供給溫媒與冷媒的流路，通過(guò)調(diào)節(jié)溫媒與冷媒各自的流量，控制模塊的溫度。具體的，例如，可使用國(guó)際公開(kāi)第2009/017495號(hào)與國(guó)際公開(kāi)第2010/137137號(hào)等記載的溫度控制裝置。另外，代替利用類似上述利用流體的溫度控制裝置，采用像現(xiàn)有技術(shù)的回聲室方式也是可以的。在該情況下，將加熱部60整體容納于恒溫槽內(nèi)部，通過(guò)用加熱器等使恒溫槽內(nèi)的空氣溫度變高，從而對(duì)DUT100加熱。另一方面，在冷卻DUT100的情況下，用液態(tài)氮對(duì)恒溫槽內(nèi)的空氣進(jìn)行降溫。在加熱部60對(duì)DUT100施加規(guī)定的熱應(yīng)力后，將用于裝載該DUT100的測(cè)試托盤120搬送至測(cè)試部70。而且，本實(shí)施方式中，如圖1及圖2所示，將兩個(gè)測(cè)試托盤120并列地從加熱部60搬送至測(cè)試部70?！礈y(cè)試部70>
圖13為表示本實(shí)施方式的處理器的測(cè)試部的測(cè)試頭上部結(jié)構(gòu)的截面圖。如上所述，本實(shí)施方式中，如圖3及圖4所示，測(cè)試頭2的插座201借助開(kāi)口 11從上方面向處理器10的測(cè)試部70的內(nèi)部。該測(cè)試部70上置有與測(cè)試頭2的插座201相對(duì)的Z驅(qū)動(dòng)裝置71。如圖13所示，該Z驅(qū)動(dòng)裝置71的頂板72上，安裝有多個(gè)推桿73，推桿73為與測(cè)試頭2的插座201對(duì)應(yīng)呈列地排列于頂板72上。Z驅(qū)動(dòng)裝置71使頂板72上升后，推桿73將DUT100推壓到插座201上，使DUT100的端子101電接觸于插座201的接觸引腳202。另夕卜，該推桿73上也設(shè)置有使用上述流體的溫度控制裝置，可控制測(cè)試中的DUT100的溫度。本實(shí)施方式中，如圖所示，測(cè)試頭2的插座201上設(shè)置有定位板203。在該定位板203上，形成有與插座201的接觸引腳202對(duì)應(yīng)的多個(gè)通孔204。通過(guò)Z驅(qū)動(dòng)裝置71使DUT100接近插座201，將DUT100的端子101插入到定位板203的通孔204中，通過(guò)通孔201為端子101提供導(dǎo)向以確定DUT100相對(duì)于插座201的位置。順便提一下，插入件122，在懸于XY平面的狀態(tài)下，保持于測(cè)試托盤120的框架121上。通過(guò)將設(shè)置于插座201周圍的導(dǎo)銷205插入到插入件122的導(dǎo)孔124中，確定插入件122相對(duì)于插座201的位置?，F(xiàn)有技術(shù)中的處理器，由于是借助插入件確定DUT相對(duì)于插座的位置的，故在裝載部上設(shè)置有精準(zhǔn)器(Preciser)。在從用戶托盤移載至測(cè)試托盤時(shí)通過(guò)將DUT臨時(shí)載置于該精準(zhǔn)器上，正確確定DUT相對(duì)于插入件的位置。與此相對(duì)，本實(shí)施方式中，如上所述，由于是通過(guò)安裝于插座201上的定位板203確定DUT相對(duì)于插座201的直接位置，故在裝載部30上不需要精準(zhǔn)器，可有效利用處理器10內(nèi)的空間。另外，如現(xiàn)有技術(shù)，借助插入件確定DUT相對(duì)于插座的位置的情況下，有必要對(duì)在處理器內(nèi)部循環(huán)的所有測(cè)試托盤的所有插入件設(shè)置位置確定機(jī)構(gòu)(例如導(dǎo)芯(guidcore))，但是，本實(shí)施方式中，由于僅僅在測(cè)試頭2的插座201上設(shè)置定位板203就能達(dá)到目的，故可大幅度降低成本。本實(shí)施方式中，在測(cè)試部70上，同時(shí)測(cè)試裝載于2個(gè)測(cè)試托盤120上的多個(gè)(例如512個(gè))DUT100，測(cè)試完畢之后將用于裝載該DUT100的2個(gè)測(cè)試托盤120搬送至除熱部80?！闯裏岵?0>如圖2以及圖4所示，通過(guò)垂直搬送裝置(未在圖中示出)提升從測(cè)試部70搬出的測(cè)試托盤120的同時(shí)，從裝載于該測(cè)試托盤120上的DUT100上去除由加熱部60施加熱應(yīng)力。另外，除熱部80上，通過(guò)垂直搬送裝置使從測(cè)試部70搬出的測(cè)試托盤120下降，與上述的加熱部60 —樣，使除熱部80的高度與測(cè)試部70的高度相同也是可以的，但是，由于通過(guò)使除熱部80上的測(cè)試托盤120向上移動(dòng)，可由傳送帶搬送裝置將測(cè)試托盤120從測(cè)試部70搬送至除熱部80，故可以降低處理器10的成本。在向加熱部60中的DUT100施加高溫?zé)釕?yīng)力的情況下，在該除熱部80，通過(guò)使用風(fēng)扇等對(duì)DUT100送風(fēng)冷卻使其回到室溫。與此相對(duì)，在對(duì)加熱部60的DUT100施加低溫的熱應(yīng)力的情況下，在除熱部80，通過(guò)向DUT100吹溫風(fēng)或者用加熱器將DUT100加熱使其回到不
會(huì)結(jié)露程度的溫度。

在除熱部80從DUT100上將熱應(yīng)力去除后，將裝載有該DUT100的測(cè)試托盤120，逐一搬送至卸載部90?！葱遁d部90>圖14 (a) 圖14 (f)表示了本實(shí)施方式的從測(cè)試托盤至梭子的移載動(dòng)作的示意圖，圖15 (a) 圖15 (e)表示了本實(shí)施方式的從梭子至用戶托盤的移載動(dòng)作的示意圖。卸載部90，如圖1所示，包含2個(gè)器件搬送裝置50B，可從一個(gè)或者2個(gè)測(cè)試托盤120將DUT100移載至用戶托盤110上。該卸載部90的器件搬送裝置50B，除了卡閂開(kāi)啟器56B的結(jié)構(gòu)，與上述的裝載部30的器件搬送裝置50A相同。如圖14(a)所示，卸載部90的卡閂開(kāi)啟器56B，具有上推DUT100的上推單元564，支撐板562上形成有可使該上推單元564通過(guò)的通孔563。上推單元564通過(guò)氣缸等可相對(duì)支撐板562獨(dú)立升降。在卸載部90，使用該卡閂開(kāi)啟器56B，從測(cè)試托盤120將DUT100移載至器件搬送裝置50B的梭子51上。本實(shí)施方式的卡閂開(kāi)啟器56B相當(dāng)于本發(fā)明的第I移載構(gòu)件的一個(gè)例子。具體的，該卡閂開(kāi)啟器56B，從下方接近測(cè)試托盤120 (圖14 (b))，支撐板562與上推單元564上升，之后將突起561插入到插入件122的通孔124中(圖14 (c))，通過(guò)以突起561推壓梭子51的抵接部513c，打開(kāi)卡閂513 (如14 (d))。接著，僅上推單元564上升，將DUTlOO置于打開(kāi)的卡閂513之間(圖14 (e))。然后，僅支撐板562下降使卡閂513關(guān)閉，將DUT100保持于該卡閂513的第2保持部513b上后，上推單元564下降并與DUT100分離(圖14 (f))0另外，將沿著測(cè)試托盤120的Y向的一列的全部插入件122中的DUT100移動(dòng)至梭子51之后，托盤搬送裝置58將測(cè)試托盤120在X向上僅移動(dòng)插入件122的一個(gè)間隔。而且，將DUT100從測(cè)試托盤120上的全部的插入件122運(yùn)出后，該空的測(cè)試托盤120，通過(guò)托盤搬送裝置58被送回裝載部30。再者，作為托盤搬送裝置58的具體實(shí)施例，例如可以列舉出傳送帶輸送機(jī)以及旋轉(zhuǎn)滾輪等。通過(guò)卡閂開(kāi)啟器56B將DUT100移至梭子51后，器件搬送裝置50B，通過(guò)第3送出裝置55以及第I送出裝置53將梭子51移至用戶托盤110的附近。此時(shí)，如圖5以及圖10所示，通過(guò)第3送出裝置55將梭子51搬送至第I導(dǎo)軌521的第I水平部521a，梭子51脫離第3送出裝置55的引腳555后，梭子51之間的間隔不再受約束。另外，由于同一測(cè)試結(jié)果的DUT100不規(guī)則置于測(cè)試托盤120上，現(xiàn)有的提押裝置中是從測(cè)試托盤120上個(gè)別地拿取同一測(cè)試結(jié)果的DUT100。與此相對(duì)， 本實(shí)施方式中，與上述的DUT off功能的要領(lǐng)相同，卸載部90的器件搬送裝置50B將第3送出裝置55的接收速度維持在規(guī)定的速度以上的同時(shí)，使第2送出裝置54的送出速度間歇性地停止，之后為將梭子51僅提供給測(cè)試托盤120上同一測(cè)試結(jié)果的DUT100,而將梭子51從第2送出裝置54傳遞到第3送出裝置55上。據(jù)此，由于將DUT100容納于被第3送出裝置55搬送至第I水平部521a的全部的梭子51中，故可實(shí)現(xiàn)卸載部90的分類作業(yè)的效率。然后，第I送出裝置53在第I水平部521a上制動(dòng)器539之前裝入梭子51后，如圖15 Ca)所示，通過(guò)上述的器件搬送裝置40的第2以及第3可動(dòng)頭45、47，從器件搬送裝置50B的梭子51中將DUT100移載至用戶托盤110上。本實(shí)施方式的第2以及第3可動(dòng)頭45、47，相當(dāng)于本發(fā)明的第2移載構(gòu)件的一個(gè)例子，本實(shí)施方式的器件移載裝置40的第2以及第3可動(dòng)頭45，47和器件搬送裝置50B相當(dāng)于本發(fā)明的第2間隔變更裝置的一個(gè)例子。具體的，以第2可動(dòng)頭45為例進(jìn)行說(shuō)明，首先，第2可動(dòng)頭45僅使卡閂開(kāi)啟器452下降，且用突起453推壓梭子51的卡閂513的抵接部513c，使卡閂513打開(kāi)(圖15 (b))。此時(shí)，卡閂513的第I保持部513a上推DUT100。接下來(lái)，第2可動(dòng)頭45，僅使吸著頭451下降并吸著保持DUT100 (圖15 (c))，在使吸著頭451上升后，使卡閂開(kāi)啟器452上升(圖15 (d))。然后，第2可動(dòng)頭45，在移至用戶托盤110的上方之后，使吸著頭451下降，并將DUT100載置于用戶托盤110的容納部111內(nèi)部(圖15 Ce))。在該卸載部90處DUT100移載過(guò)程中，對(duì)應(yīng)于容納部20的6個(gè)測(cè)試后托盤存儲(chǔ)器22，分配各自不同的測(cè)試結(jié)果。通過(guò)第2以及第3可動(dòng)頭45、47將DUT100移載至與DUT100的測(cè)試結(jié)果對(duì)應(yīng)的用戶托盤110上，從而根據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)DUT100進(jìn)行分類。器件搬送裝置50B，從裝于擋塊539與抵接塊538之間的全部的梭子51中搬出DUT100后，第I送出裝置53借助后續(xù)的空的梭子51推壓最末尾的梭子51，一并移動(dòng)全部的梭子51。由第I送出裝置53從第I反轉(zhuǎn)部521c推出的梭子51，由于自重，從第I反轉(zhuǎn)部521c移動(dòng)到第2水平部521b上。如上所述，本實(shí)施方式中，在用戶托盤110與測(cè)試托盤120之間移載DUT100時(shí)，通過(guò)使多個(gè)梭子51在無(wú)端狀的第I導(dǎo)軌521上循環(huán)從而可依次搬送DUT100，故可提高托盤110、120間的DUT100的移載能力。與此相對(duì)，通過(guò)現(xiàn)有的提押裝置在托盤間移載DUT的情況下，提押裝置的頭部為拿取DUT而返回至一邊的托盤時(shí)，另一邊的托盤變?yōu)榇龣C(jī)狀態(tài)，因此，提高DUT的移載能力有限。另外，本實(shí)施方式中，第I導(dǎo)軌521包含在垂直方向翻折的反轉(zhuǎn)部521c、521d，故可在托盤110、120間進(jìn)行DUT100的移載動(dòng)作的同時(shí)也可使DUT100反轉(zhuǎn)。因此，可簡(jiǎn)化將測(cè)試頭2置于處理器10上方類型的電子元件測(cè)試裝置I的結(jié)構(gòu)。順便提一下，通過(guò)將測(cè)試頭2置于處理器10的上方，可提高測(cè)試頭2的尺寸的自由度。再者，本實(shí)施方式中，裝載部30以及卸載部90上，在第3送出裝置55從第2送出裝置54接收梭子51時(shí)，可使DUT100間的間隔由Pl變?yōu)镻2，故即使對(duì)托盤110、120間的DUT100的移載采用梭子循環(huán)方式，也可在移載的同時(shí)變更DUT100間的間隔。另外，上述說(shuō)明的實(shí)施方式，是為了使本發(fā)明容易理解而記載的，并不用以限制本發(fā)明，因此，上述實(shí)施方式中所揭示的各種要素旨在包含屬于本發(fā)明技術(shù)范圍的全部設(shè)計(jì)變更和等同替換。符號(hào)說(shuō)明I...電子元件測(cè)試裝置2.. 測(cè)試頭201...插座203...定位板`3.. 測(cè)試器10...處理器20...容納部30.. 裝載部40.. 器件移載裝置43.. 第I可動(dòng)頭45...第2可動(dòng)頭47.. 第3可動(dòng)頭50A.. 器件搬送裝置51...梭子511.. 器件保持部513...卡 H515...基部52.. 導(dǎo)軌521.. 第 I 導(dǎo)軌521a.. 第 I 水平部521b. 第 2 水平部521c. 第 I 反轉(zhuǎn)部521b. 第 2 反轉(zhuǎn)部
522...流路523.. 吹出口524.. 壓縮機(jī)53.. 第I送出裝置54.. 第2送出裝置55.. 第3送出裝置555...引腳56A...卡円開(kāi)啟器57.. 控制裝置60...加熱部70.. 測(cè)試部80...除熱部90...卸載部50B.. 器 件搬送裝置56B...卡円開(kāi)啟器100...DUT110.. 用戶托盤120.. 測(cè)試托盤122...插入件。
權(quán)利要求
1.一種間隔變更裝置，用于變更被測(cè)電子元件間的間隔，其特征在于，具有: 用于保持所述被測(cè)電子元件的多個(gè)保持構(gòu)件； 用于為所述多個(gè)保持構(gòu)件提供導(dǎo)向的軌道； 沿著所述軌道以第I間隔送出所述保持構(gòu)件的第I移動(dòng)構(gòu)件； 具有從所述第I移動(dòng)構(gòu)件接收所述保持構(gòu)件的多個(gè)接收部，沿著所述軌道以第2間隔移動(dòng)所述接收部的第2移動(dòng)構(gòu)件； 用于控制所述第I移動(dòng)構(gòu)件的送出速度以及所述第2移動(dòng)構(gòu)件的接收速度的控制構(gòu)件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔變更裝置，其特征在于， 在所述軌道上，多個(gè)所述保持構(gòu)件之間的間隔可變。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔變更裝置，其特征在于， 所述控制構(gòu)件，通過(guò)使所述第I移動(dòng)構(gòu)件的送出速度與所述第2移動(dòng)構(gòu)件的接收速度不同來(lái)變更所述保持構(gòu)件之間的間隔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔變更裝置，其特征在于， 所述控制構(gòu)件，通過(guò)在用所述第2移動(dòng)構(gòu)件使所述接收部移動(dòng)的同時(shí)，使所述第I移動(dòng)構(gòu)件間歇性地停止，從而使所述保持構(gòu)件不被傳遞至特定的所述接收部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔變更裝置，其特征在于， 所述第I移動(dòng)構(gòu)件，通過(guò)在多個(gè)保持構(gòu)件之間相互接觸的狀態(tài)下移動(dòng)最末尾的所述保持構(gòu)件，從而向所述第2移動(dòng)構(gòu)件頂出最前端的所述保持構(gòu)件。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔變更裝置，其特征在于， 所述第2移動(dòng)構(gòu)件具有: 以第2間隔安裝有多個(gè)所述接收部，與所述軌道并行設(shè)置的無(wú)端的傳送帶； 呈繩狀鋪設(shè)有所述傳送帶的不少于兩個(gè)的滾輪； 以及用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一個(gè)所述滾輪的電機(jī)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔變更裝置，其特征在于， 所述第I間隔與所述用戶托盤的容納部之間的間隔實(shí)質(zhì)上相同， 所述第2間隔與測(cè)試托盤的插入件之間的間隔實(shí)質(zhì)上相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的間隔變更裝置，其特征在于，包含: 在所述被測(cè)電子元件的端子朝下或朝上的姿勢(shì)下從第I托盤將所述被測(cè)電子元件移載至所述保持構(gòu)件的第I移載構(gòu)件，以及 在所述端子朝上或朝下的姿勢(shì)下從所述保持構(gòu)件將所述被測(cè)電子元件移載至第2托盤的第2移載構(gòu)件。
9.一種電子元件操作裝置，為測(cè)試所述被測(cè)電子元件而將所述被測(cè)電子元件裝載于測(cè)試托盤上并搬送，并將所述被測(cè)電子元件推壓于測(cè)試頭的接觸部，其特征在于，包含: 將測(cè)試前的被測(cè)電子元件從用戶托盤移載至測(cè)試托盤的如權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的第I間隔變更裝置，或者 將測(cè)試后的被測(cè)電子元件從測(cè)試托盤移載至用戶托盤的如權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的第2間隔變更裝置中的至少一個(gè)。
10.一種電子元件測(cè)試裝置，用于測(cè)試被測(cè)電子元件，其特征在于，包含:測(cè)試頭； 如權(quán)利要求9所述的將所述電子元件推壓于所述測(cè)試頭的接觸部的電子元件操作裝置；以及 電連接于所述測(cè)試頭的測(cè)試器 。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在通過(guò)梭子循環(huán)方式在托盤間移載DUT時(shí)，可變更DUT間的間隔的間隔變更裝置。該間隔變更裝置，具有用于保持DUT100的多個(gè)梭子51、為多個(gè)梭子51提供導(dǎo)向的第一導(dǎo)軌521、將梭子51沿第一導(dǎo)軌521以第一間隔P1送出的第2送出裝置54、具有從第2送出裝置接收梭子51的多個(gè)引腳555并使引腳555沿著第1導(dǎo)軌521以間隔P2移動(dòng)的第3送出裝置55以及用于控制第2送出裝置54的送出速度和第3送出裝置55的接收速度的控制裝置57。
文檔編號(hào)G01R31/26GK103226154SQ20121057044
公開(kāi)日2013年7月31日 申請(qǐng)日期2012年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月28日
發(fā)明者中嶋治希 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試