專利名稱：一種單粒子效應(yīng)測試裝置及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及空間輻射效應(yīng)模擬試驗技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種單粒子效應(yīng)測試裝置及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
空間環(huán)境中存在許多高能帶電粒子，而航天器、衛(wèi)星等各種飛行器在宇宙空間運行時常常會因為這些高能帶電粒子的輻射，產(chǎn)生各種故障，在各種故障中由單粒子效應(yīng)引起的故障占主要比例。單粒子效應(yīng)是指單個高能粒子與半導(dǎo)體器件相互作用誘發(fā)器件的狀態(tài)發(fā)生變化、甚至導(dǎo)致永久損傷的一種現(xiàn)象，單粒子效應(yīng)影響著各種飛行器的可靠性和使用壽命。因此，如何對飛行器的電子元器件的單粒子效應(yīng)進(jìn)行測試，從而能夠采取一定的抗輻射加固措施，提高其可靠性，成為人們?nèi)找嫜芯康闹攸c?，F(xiàn)有技術(shù)中通過對被測器件進(jìn)行單粒子效應(yīng)地面模擬試驗，研究其規(guī)律性和依賴因素，為飛行器抗輻射加固技術(shù)提供參考。單粒子效應(yīng)地面模擬試驗需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，在進(jìn)行單粒子效應(yīng)模擬試驗時，需要將被測器件放置在測試板中，測試板置于真空腔體內(nèi)，并固定在加速器試驗平臺上，然后對真空腔體進(jìn)行抽真空，在輻照環(huán)境下，由加速器產(chǎn)生高能帶電粒子，輻射到測試板的被測器件上，輻照過程中對被測器件進(jìn)行實時檢測。但是現(xiàn)有的這種測試方式，測試板可放置的被測器件有限，而每次更換測試板上的被測器件時都需要對真空腔體進(jìn)行抽真空操作，在抽真空過程中，加速器的資源并沒有得到利用，因此，當(dāng)被測器件數(shù)量較多時，增加了操作次數(shù)，使得操作繁瑣，且浪費了加速器的資源。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種單粒子效應(yīng)測試裝置及系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中操作繁瑣和浪費加速器的資源的問題。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案一種單粒子效應(yīng)測試裝置，包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和與所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連的測試母板，所述測試母板上設(shè)置有多個測試子板，其中每一測試子板用于安裝被測器件；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于獲取控制請求，并根據(jù)控制請求驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或者停止，使得每一測試子板接收加速器朝固定方向所輻射的高能帶電粒子。優(yōu)選地,所述控制請求攜帶控制參數(shù),所述控制參數(shù)包括時間參數(shù)、速度參數(shù)、方向參數(shù)和位移參數(shù)，則所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)具體根據(jù)攜帶控制參數(shù)的控制請求按照所述控制參數(shù)驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止。優(yōu)選地,所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、設(shè)置在轉(zhuǎn)軸上的執(zhí)行單元、以及與所述執(zhí)行單元連接的控制單元；
所述測試母板具體與所述執(zhí)行單元相連；所述控制單元具體用于根據(jù)控制請求驅(qū)動所述執(zhí)行單元繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動或停止，以帶動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止。優(yōu)選地，還包括設(shè)置有朝向所述加速器輻射方向的輻照口的外殼，所述外殼用于與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，并將所述測試母板和所述測試子板罩住。優(yōu)選地，還包括軸承和連接件，所述軸承外圈與所述外殼相連，由所述外殼固定；所述軸承內(nèi)圈通過連接件與所述測試母板相連，與所述測試母板一起轉(zhuǎn)動或停止。優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)采用閉環(huán)步進(jìn)電機控制系統(tǒng)或者伺服電機控制系統(tǒng)。優(yōu)選地，所述測試子板通過連接器垂直的插裝在所述測試母板上，形成多邊形立體結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，，所述測試母板為圓形結(jié)構(gòu)。 優(yōu)選的，所述軸承為交叉滾珠軸承。一種單粒子效應(yīng)測試系統(tǒng)，包括上述任一項所述的測試裝置、加速器和加速器試驗平臺，所述加速器朝固定方向輻射高能帶電粒子，所述測試裝置設(shè)置在所述加速器試驗平臺上，且位于所述加速器的輻射方向上。經(jīng)由上述的技術(shù)方案可知，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明公開提供了一種單粒子效應(yīng)測試裝置及系統(tǒng)，在該測試裝置中包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連的測試母板，所述測試母板上設(shè)置有多個測試子板，通過將被測器件安裝在測試子板上，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)根據(jù)控制請求帶動測試母板轉(zhuǎn)動或停止，使得每一測試子板接收加速器朝固定方向輻射的高能帶電粒子。在該測試裝置中，通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動測試母板，使得可以在測試母板上設(shè)置多塊測試子板，從而增加測試子板的數(shù)量，進(jìn)而增加了被測器件的數(shù)量，減少了更換被測器件的次數(shù)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中，由于需要頻繁的更換被測器件而使得操作繁瑣的問題，且每次更換被測器件進(jìn)行抽真空操作浪費加速器的資源的問題。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明一種單粒子效應(yīng)測試裝置的一個實施例的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明一種單粒子效應(yīng)測試裝置的另一個實施例的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明一種單粒子效應(yīng)測試裝置的另一實施例的A-A面剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明公開提供了一種單粒子效應(yīng)測試裝置及系統(tǒng)，在該測試裝置中包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和與所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連的測試母板，所述測試母板上設(shè)置有多個測試子板，其中通過將被測器件安裝在測試子板上，并通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)根據(jù)控制請求驅(qū)動測試母板轉(zhuǎn)動或停止，每一測試子板接收加速器朝固定方向輻射的高能帶電粒子。在該測試裝置中，通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動測試母板，使得可以在測試母板上設(shè)置多個測試子板，進(jìn)而增加測試子板的數(shù)量，從而增加了被測器件的數(shù)量，減少了更換被測器件的次數(shù)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中，由于需要頻繁的更換被測器件而使得操作繁瑣的問題，且每次更換被測器件進(jìn)行抽真空操作浪費加速器的資源的問題。參見圖1，示出了本發(fā)明一種單粒子效應(yīng)測試裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。結(jié)合圖1，該測試裝置可以包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)100測試母板101、測試子板102，其中所述測試母板101上設(shè)置有多個測試子板102 ；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)100與所述測試母板101相連；每一測試子板102用于安裝被測器件102A ；其中，所述測試母板上設(shè)置有多個測試子板，每一測試子板上均可用于安裝被測器件102A ；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)100用于獲取控制請求，并根據(jù)控制請求帶動所述測試母板101轉(zhuǎn)動或者停止，使得每一測試子板102接收加速器朝固定方向產(chǎn)生的高能帶電粒子。其中，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可以有多種實現(xiàn)形式，能通過獲取控制請求并驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止即可。其中，所述控制請求可由旋轉(zhuǎn)機構(gòu)內(nèi)部相應(yīng)程序產(chǎn)成；也可通過外部的計算設(shè)備或系統(tǒng)生成后發(fā)送給該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；其中，所述控制請求可以包括轉(zhuǎn)動控制請求和停止控制請求,所述轉(zhuǎn)動控制請求能使得該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)轉(zhuǎn)動，所述停止控制請求可以使得該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)停止；在該測試裝置中，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可根據(jù)不同的控制請求驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或者停止，具體的，可先根據(jù)轉(zhuǎn)動控制請求驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動，當(dāng)轉(zhuǎn)動到某一位置時，可以使得處于該位置的測試子板接收加速朝固定方向輻射的高能帶電粒子，則根據(jù)停止控制請求驅(qū)動所述測試母板停止，當(dāng)位于該位置的測試子板上的被測器件完成單粒子效應(yīng)試驗后，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)再根據(jù)轉(zhuǎn)動控制請求驅(qū)動測試母板轉(zhuǎn)動，直至所述測試子板上的被測器件均能完成單粒子效應(yīng)試驗。需要說明的是，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動測試母板轉(zhuǎn)動的時間和停止的位置均可通過內(nèi)部程序或者外部系統(tǒng)程序進(jìn)行設(shè)置，使得該旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可以周期性的驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止，使得該測試母板上的不同測試子板上的被測器件均能夠進(jìn)行單粒子效應(yīng)試驗。其中，所述測試子板可以通過連接器插裝在所述測試母板上，其插裝的個數(shù)和位置并沒有具體限定；其中，測試子板可垂直的插裝在測試母板上，形成多邊形立體結(jié)構(gòu)；需要說明的是，測試子板的大小并沒有具體規(guī)定，測試子板可根據(jù)測試裝置的大小而選擇不同的尺寸；因此，每一個測試子板上安裝的被測器件的數(shù)量也沒有具體限定，可根據(jù)測試子板的大小和被測器件本身的尺寸，在測試子板上安裝合適數(shù)量的被測器件。需要說明的是，測試母板的形狀和大小也并沒有具體限定，可根據(jù)測試子板插裝位置和結(jié)構(gòu)選擇不同形狀的測試母板，也根據(jù)加速器試驗平臺的大小選擇符合要求的測試母板；其中，測試母板可以設(shè)計成圓形結(jié)構(gòu)，保證在旋轉(zhuǎn)范圍內(nèi)測試母板面積的最大化。作為一個具體的實施例，以測試母板設(shè)置為圓形結(jié)構(gòu)，其設(shè)置有12個測試子板為例，可如圖1所示，在測試母板101上設(shè)置12個測試子板102，每塊測試子板102上均安裝被測器件102A，其中，測試子板垂直的插裝在測試母板上，12塊測試子板首尾相連，相鄰兩個測試子板可以形成90°角，相對的兩個測試子板相互平行，形成多邊形立體結(jié)構(gòu)；當(dāng)然還有其他的實現(xiàn)形式，在此不再一一贅述。本實施例中，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)與測試母板相連，測試母板上設(shè)置有多個測試子板，將被測器件安裝在測試子板上，通過旋轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動測試母板轉(zhuǎn)動或停止，使得每一測試子板上的被測器件均能接收加速器朝固定方向輻射的高能帶電粒子。由于該測試裝置可以旋轉(zhuǎn)，因此可以設(shè)置多個測試子板，從而增加安裝在測試子板上的被測器件的數(shù)量，使得在進(jìn)行單粒子效應(yīng)試驗時，減少了更換被測器件的次數(shù)，解決現(xiàn)有技術(shù)中，由于每次測試的被測器件數(shù)量有限，需要頻繁更換被測器件而使得操作繁瑣的問題，且每次更換被測器件時進(jìn)行抽真空操作，浪費加速器的資源的問題。所述控制請求可攜帶控制參數(shù)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可根據(jù)攜帶控制參數(shù)的控制請求驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或者停止；其中,所述控制參數(shù)包括時間參數(shù)、速度參數(shù)、方向參數(shù)和位移參數(shù)；時間參數(shù)可以包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的停止時間，也即旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動測試母板周期性進(jìn)行轉(zhuǎn)動和停止時，每轉(zhuǎn)動一次后即停止的預(yù)定時間；從而當(dāng)測試子板安裝有被測器件后，每一測試子板上的被測器件均可以接收加速器的輻射。該停止時間可以根據(jù)被測器件進(jìn)行單粒子效應(yīng)試驗所需的時間進(jìn)行設(shè)定；速度參數(shù)可以包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)轉(zhuǎn)動時的速度值或者加速度值，能使得所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)均速轉(zhuǎn)動或者加速轉(zhuǎn)動。方向參數(shù)可以包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的轉(zhuǎn)動方向，比如順時針轉(zhuǎn)動或者逆時針轉(zhuǎn)動等；位移參數(shù)可以包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的轉(zhuǎn)動位移，當(dāng)旋轉(zhuǎn)機構(gòu)按照所述位移參數(shù)轉(zhuǎn)動到某一特定位置，則處于某一特定位置的測試子板接收加速器朝固定方向輻射的高能帶電粒子。根據(jù)上述控制參數(shù)，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可按照該控制參數(shù)，驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止，當(dāng)一個測試子板上的被測器件完成單粒子效應(yīng)試驗后，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可以再次驅(qū)動該測試母板轉(zhuǎn)動，使得下一個測試子板在預(yù)定位置停止，接收到加速器輻射的高能帶電粒子。在該測試裝置中，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于獲取攜帶不同控制參數(shù)的控制請求，并根據(jù)攜帶控制參數(shù)的控制請求，驅(qū)動所述測試母板以某一固定的速度或者加速度，以及沿某一特定的方向轉(zhuǎn)動到某一特定的位置然后停止轉(zhuǎn)動，使得位于該特定位置的測試子板上的被測器件能夠接收到加速器朝固定方向福射的高能帶電粒子，進(jìn)行單粒子效應(yīng)試驗，當(dāng)該測試子板上的被測器件完成單粒子效應(yīng)試驗后，則旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可再次驅(qū)動測試母板轉(zhuǎn)動到下一測試子板能夠接收加速器朝固定方向輻射的高能帶電粒子的位置然后停止，進(jìn)而進(jìn)行單粒子效應(yīng)模擬試驗，通過周期性的轉(zhuǎn)動和停止，使得該測試母板上的測試子板的被測器件均接受到加速器福射的高能帶電粒子，完成單粒子效應(yīng)模擬試驗。參見圖2，示出了本發(fā)明一種單粒子效應(yīng)測試裝置的又一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3為該單粒子效應(yīng)測試裝置的A-A面剖視結(jié)構(gòu)示意圖。結(jié)合圖2和圖3，該測試裝置可以包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)200、測試母板201和測試子板202，所述測試母板201上設(shè)置有多個測試子板202，每一測試子板202上可以安裝被測器件202A，其中，該測試裝置的各個組成部分的功能可參見上述實施例；與上述實施例的不同之處在于，該測試裝置還包括設(shè)置有朝向所述加速器輻射方向的輻射口的外殼203，所述外殼203用于與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)200相連，并將所述測試母板201和所述測試子板202罩??；其中，所述外殼設(shè)置有輻射口，可使得處于該輻射口的測試子板接收加速器產(chǎn)生的高能帶電粒子，所述輻射口的形狀并沒有具體限定，能使得處于該輻射口的測試子板接收到加速器產(chǎn)生的高能帶電粒子即可。所述外殼的形狀沒有具體限定，可以采用長方體結(jié)構(gòu)或者圓柱形結(jié)構(gòu)；結(jié)合圖2和圖3，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)200可以包括旋轉(zhuǎn)軸200A、設(shè)置在轉(zhuǎn)軸上的執(zhí)行200B、以及與所述執(zhí)行單元連接的控制單元(圖中未示出)；所述轉(zhuǎn)軸可以與外殼203相連,通過外殼將其固定；所述測試母板201可以與所述執(zhí)行單元200B相連；所述控制單元具體可以用于根據(jù)控制請求驅(qū)動所述執(zhí)行單元200B繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動或停止，以帶動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止。其中，所述控制單元可以設(shè)置在旋轉(zhuǎn)機構(gòu)內(nèi)，與所述執(zhí)行單元連接，用于控制執(zhí)行單元的執(zhí)行。由于外殼將所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的轉(zhuǎn)軸固定，使得所述執(zhí)行單元可以繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動或停止，以帶動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止。該測試裝置還可以包括軸承204和連接件205，所述軸承外圈與所述外殼相連，由所述204內(nèi)圈通過所述連接件205與所述測試母板201相連，與所述測試母板一起轉(zhuǎn)動或停止。其中，所述連接件用于連接軸承和測試母板。所述軸承可以為交叉滾珠軸承；其中，所述軸承可以采用低摩擦系統(tǒng)的軸承，使得該測試裝置在軸承上的壓力能夠滿足旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的驅(qū)動，且所述軸承的重量和體積均可根據(jù)該測試裝置的情況進(jìn)行選擇。在該單粒子效應(yīng)測試裝置中，通過將軸承分別與外殼和測試母板相連，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)通過軸承可以更容易的帶動所述測試母板轉(zhuǎn)動或者停止，使得設(shè)置在測試母板上的每一測試子板上的被測器件均可接收加速器在固定方向產(chǎn)生的高能帶電粒子，從而進(jìn)行單粒子效應(yīng)模擬試驗。需要說明的是，所述測試子板可以通過連接器插裝在所述測試母板上，其插裝的個數(shù)和位置并沒有具體限定；其中，測試子板可垂直的插裝在測試母板上，形成多邊形立體結(jié)構(gòu)；需要說明的是，測試子板的大小并沒有具體規(guī)定，測試子板可根據(jù)測試裝置的大小而選擇不同的尺寸；因此，每一個測試子板上安裝的被測器件的數(shù)量也沒有具體限定，可根據(jù)測試子板的大小和被測器件本身的尺寸，在測試子板上安裝合適數(shù)量的被測器件。需要說明的是，測試母板的形狀和大小也并沒有具體限定，可根據(jù)測試子板插裝位置和結(jié)構(gòu)選擇不同形狀的測試母板，也根據(jù)測試平臺的大小選擇符合要求的測試母板；其中，測試母板可以設(shè)計成圓形結(jié)構(gòu)，保證在旋轉(zhuǎn)范圍內(nèi)測試母板面積的最大化。作為一個具體的實施例，以測試母板設(shè)置為圓形結(jié)構(gòu)，其設(shè)置有12個測試子板為例，可如圖2和圖3所示，在測試母板201上設(shè)置12個測試子板202，每塊測試子板202上安裝有3個被測器件202A，其中，測試子板垂直的插裝在測試母板上，12塊測試子板首尾相連，相鄰兩個測試子板可以形成90°角，相對的兩個測試子板相互平行，形成多邊形立體結(jié)構(gòu)；當(dāng)然還有其他的實現(xiàn)形式，在此不再一一贅述。其中，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可以采用閉環(huán)步進(jìn)電機控制系統(tǒng)或者伺服電機控制系統(tǒng)，通過產(chǎn)生力矩驅(qū)動測試母板的轉(zhuǎn)動。本實施例中，通過將外殼與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，軸承與外殼和測試母板相連，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)可能更容易的帶動測試母板旋轉(zhuǎn)，使得每一測試子板上的被測器件能接收加速器在固定方向產(chǎn)生的高能帶電粒子，完成單粒子效應(yīng)試驗試驗。本發(fā)明還公開了一種單粒子效應(yīng)測試系統(tǒng)，包括如上述所有實施例所述的測試裝置、加速器和加速器試驗平臺，所述加速器朝固定方向輻射高能帶電粒子，所述測試裝置設(shè)置在所述加速器試驗平臺上，且位于所述加速器的輻射方向上；在該測試系統(tǒng)中，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止時，可以使得每一測試子板接收加速器朝固定方向輻射的高能帶電粒子，使得位于測試子板上的被測器件進(jìn)行單粒子效應(yīng)模擬試驗，由于旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)，增減了測試子板的個數(shù)，從而增加了被測器件的數(shù)量，減少了更換被測器件的次數(shù)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中需要頻繁的更換被測器件，使得操作繁瑣的問題，且每次更換被測器件進(jìn)行抽真空操作浪費加速器資源的問題。本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言，由于其與實施例公開的方法相對應(yīng)，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求
1.一種單粒子效應(yīng)測試裝置，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和與所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連的測試母板，所述測試母板上設(shè)置有多個測試子板，其中每一測試子板用于安裝被測器件；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于獲取控制請求，并根據(jù)控制請求驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或者停止，使得每一測試子板接收加速器朝固定方向所輻射的高能帶電粒子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述控制請求攜帶控制參數(shù)，所述控制參數(shù)包括時間參數(shù)、速度參數(shù)、方向參數(shù)和位移參數(shù)，則所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)具體根據(jù)攜帶控制參數(shù)的控制請求按照所述控制參數(shù)驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、設(shè)置在轉(zhuǎn)軸上的執(zhí)行單元、以及與所述執(zhí)行單元連接的控制單元；所述測試母板具體與所述執(zhí)行單元相連；所述控制單元具體用于根據(jù)控制請求驅(qū)動所述執(zhí)行單元繞所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動或停止，以帶動所述測試母板轉(zhuǎn)動或停止。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置有朝向所述加速器輻射方向的輻照口的外殼，所述外殼用于與旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連，并將所述測試母板和所述測試子板罩住。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括軸承和連接件，所述軸承外圈與所述外殼相連，由所述外殼固定；所述軸承內(nèi)圈通過連接件與所述測試母板相連，與所述測試母板一起轉(zhuǎn)動或停止。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)采用閉環(huán)步進(jìn)電機控制系統(tǒng)或者伺服電機控制系統(tǒng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述測試子板通過連接器垂直的插裝在所述測試母板上，形成多邊形立體結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述測試母板為圓形結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述軸承為交叉滾珠軸承。
10.一種單粒子效應(yīng)測試系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1、任一項所述的測試裝置、加速器和加速器試驗平臺，所述加速器朝固定方向輻射高能帶電粒子，所述測試裝置設(shè)置在所述加速器試驗平臺上，且位于所述加速器的輻射方向上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種單粒子效應(yīng)測試裝置及系統(tǒng)，該測試裝置包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)和與所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)相連的測試母板，所述測試母板上設(shè)置有多個測試子板，其中每一測試子板用于安裝被測器件；所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)用于獲取控制請求，并根據(jù)控制請求驅(qū)動所述測試母板轉(zhuǎn)動或者停止，使得每一測試子板接收加速器朝固定方向輻射的高能帶電粒子。在該測試裝置中，增加了測試子板的個數(shù)和被測器件的數(shù)量，減少了更換被測器件的次數(shù)，解決了現(xiàn)有技術(shù)中，由于需要頻繁的更換被測器件而使得操作繁瑣的問題，且每次更換被測器件進(jìn)行抽真空操作浪費加速器的資源的問題。
文檔編號G01R31/00GK103063961SQ20121059023
公開日2013年4月24日 申請日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者王德坤, 謝朝輝, 趙明琦, 劉海南, 周玉梅, 黑勇 申請人:中國科學(xué)院微電子研究所