專利名稱：便攜式氣體微流量校準裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及便攜式氣體微流量校準裝置，屬于測量技術領域，用于微小流量真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計的實驗室、現(xiàn)場和在線校準測試。
背景技術：
泄漏檢測技術在航天、表面、微電子、太陽能、光電子等科研生產(chǎn)中具有重要的意義，隨著科技進步與發(fā)展，需要對真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計進行現(xiàn)場或在線校準測試，這樣使校準條件與使用條件基本相同，不僅提高了泄漏檢測的精度，而且避免了因為停止工作系統(tǒng)送往實驗室校準的經(jīng)濟損失和時間浪費，因此在科研、生產(chǎn)制造中提出了在線氣體微流量校準測試的緊迫需求。文獻“固定流導法真空漏孔校準裝置”，《真空科學與技術學報》第26卷、2006年第5期、第358 362頁”，介紹了固定流導法校準真空漏孔的方法，需要多臺真空泵和真空規(guī)等，并且系統(tǒng)復雜龐大、成本昂貴，只適合在實驗室校準用，不能滿足現(xiàn)場真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計的校準需求。因此，本專利研制出具有結構簡單、精度高、重量小、體積小、便攜等特點，用于現(xiàn)場或者線真空漏孔、檢漏儀、氣體微流量計的校準測試系統(tǒng)及方法，系統(tǒng)總重量小于40公斤，總體尺寸小于50mmX 30mmX 60mm,校準范圍為10 7 I X 10 11PamVs,合成標準不確定度為3%，滿足了目前絕大多數(shù)領域?qū)φ婵章┛?、檢漏儀及氣體微流量計的現(xiàn)場或在線高精度校準需求。

實用新型內(nèi)容本實用新型針對真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計現(xiàn)場校準的需求，提出了便攜式氣體微流量校準裝置。本實用新型的目的是通過以下技術方案實現(xiàn)的本實用新型的便攜式氣體微流量校準裝置，包括機械泵1、分子泵2、第一真空閥門3、第二真空閥門4、第三真空閥門8、第四真空閥門10、第五真空閥門11、第六真空閥門15、第七真空閥門17、第八真空閥門19、校準室5、四極質(zhì)譜計6、被校準真空漏孔7、小孔9、微調(diào)閥12、氣源13、第一真空規(guī)14、第二真空規(guī)18和穩(wěn)壓室16 ；機械泵I與分子泵2的一端連接，分子泵2的另一端與第一真空閥門3的一端、第二真空閥門4的一端連接；第二真空閥門4的另一端與校準室5的底端連接；第一真空閥門3的另一端與穩(wěn)壓室16連接；校準室5的赤道法蘭上安裝四級質(zhì)譜計6和第八真空閥門19，校準室5的頂端與第三真空閥門8的一端、小孔9的一端、第四真空閥門10的一端連接；第三真空閥門8的另一端與被校準真空漏孔7連接；小孔9的另一端與第四真空閥門10的另一端、第五真空閥門11的一端連接；第四真空閥門10的另一端與第五真空閥門11的一端連接；第五真空閥門11的另一端與微調(diào)閥12的一端、穩(wěn)壓室16連接；微調(diào)閥12的另一端與氣源13連接；穩(wěn)壓室16上安裝第六真空閥門15和第七真空閥門17 ;第六真空閥門15的另一端與第一真空規(guī)14連接；第七真空閥門17的另一端與第二真空規(guī)18的一端連接；第二真空規(guī)18的另一端與第八真空閥門19連接；被校準真空漏孔7放置在采用泡沫保溫的恒溫箱中；上述各部分之間通過管路連接。采用小孔9在分子流條件下進樣獲得標準氣體微流量；采用質(zhì)譜計作為比較器，通過調(diào)節(jié)引入校準室中標準示漏氣體流量Qs，根據(jù)質(zhì)譜計對被校準漏孔的離子流Is和流量標準引起的離子流再考慮到本底殘余氣體離子流信號Itl，計算得到被校準漏孔的漏率
為
權利要求1.便攜式氣體微流量校準裝置，其特征在于包括機械泵(I)、分子泵(2)、第一真空閥門(3)、第二真空閥門(4)、第三真空閥門(8)、第四真空閥門(10)、第五真空閥門(11)、第六真空閥門(15)、第七真空閥門(17)、第八真空閥門(19)、校準室(5)、四極質(zhì)譜計(6)、被校準真空漏孔(7)、小孔(9)、微調(diào)閥(12)、氣源(13)、第一真空規(guī)(14)、第二真空規(guī)(18)和穩(wěn)壓室(16)； 機械泵(I)與分子泵(2)的一端連接，分子泵(2)的另一端與第一真空閥門(3)的一端、第二真空閥門(4)的一端連接；第二真空閥門(4)的另一端與校準室(5)的底端連接；第一真空閥門(3)的另一端與穩(wěn)壓室(16)連接；校準室(5)的赤道法蘭上安裝四級質(zhì)譜計6和第八真空閥門(19)，校準室(5)的頂端與第三真空閥門(8)的一端、小孔(9)的一端、第四真空閥門(10)的一端連接；第三真空閥門(8)的另一端與被校準真空漏孔(7)連接；小孔(9)的另一端與第四真空閥門(10)的另一端、第五真空閥門(11)的一端連接；第四真空閥門(10)的另一端與第五真空閥門(11)的一端連接；第五真空閥門(11)的另一端與微調(diào)閥(12)的一端、穩(wěn)壓室(16)連接；微調(diào)閥(12)的另一端與氣源(13)連接；穩(wěn)壓室(16)上安裝第六真空閥門(15)和第七真空閥門(17);第六真空閥門(15)的另一端與第一真空規(guī)(14)連接；第七真空閥門(17)的另一端與第二真空規(guī)(18)的一端連接；第二真空規(guī)(18)的另一端與第八真空閥門(19)連接；被校準真空漏孔(7)放置在采用泡沫保溫的恒溫箱中； 上述各部分之間通過管路連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的便攜式氣體微流量校準裝置，其特征在于第一真空規(guī)(14)是滿量程為ITorr的絕壓電容薄膜規(guī)，它的測量精度小于滿量程的O. 2%。
3.根據(jù)權利要求1所述的便攜式氣體微流量校準裝置，其特征在于小孔(9)的流導在10_9m3/s量級。
專利摘要本實用新型涉及便攜式氣體微流量校準裝置，屬于測量技術領域，用于微小流量真空漏孔、檢漏儀及氣體微流量計的實驗室、現(xiàn)場和在線校準測試。包括機械泵、分子泵、8個真空閥門、校準室、四極質(zhì)譜計、被校準真空漏孔、小孔、微調(diào)閥、氣源、2個真空規(guī)和穩(wěn)壓室。系統(tǒng)具有結構簡單、精度高、重量小、體積小、便攜等特點，用于現(xiàn)場或者線真空漏孔、檢漏儀、氣體微流量計的校準測試，系統(tǒng)不僅降低了建立系統(tǒng)的成本，提高了校準的效率，而且使校準環(huán)境與使用環(huán)境基本相同，提高了氣體微流量的量值傳遞精度，為科學研究、企業(yè)生產(chǎn)、對外貿(mào)易降低了成本。
文檔編號G01F25/00GK202885918SQ20122003575
公開日2013年4月17日 申請日期2012年2月6日 優(yōu)先權日2012年2月6日
發(fā)明者盧耀文 申請人:江蘇東方航天校準檢測有限公司