專利名稱：一種真空計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及力敏傳感器領(lǐng)域，尤其是涉及到用于真空探測(cè)的一種真空計(jì)。
背景技術(shù)：
力敏傳感器就是探測(cè)力的傳感器，利用材料的物理性質(zhì)在力的作用下發(fā)生變化的現(xiàn)象而制備。力敏傳感器是使用最廣泛的一種傳感器，它是檢測(cè)氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱，也包括測(cè)量高于大氣壓的壓力計(jì)以及測(cè)量低于大氣壓的真空計(jì)。傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)研制出半導(dǎo)體力敏傳感器，具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)。隨著 新材料的不斷發(fā)展，力敏傳感器進(jìn)一步發(fā)展成基于壓電材料、磁致伸縮材料等材料。對(duì)于真空計(jì)而言，高真空的探測(cè)有一定的難度，因此，高真空的真空計(jì)普遍比較昂貴。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種真空計(jì)，把氣壓差轉(zhuǎn)換為力，通過力對(duì)電阻的影響間接探測(cè)出真空，適于高真空的探測(cè)，且成本低。本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案為，一種真空計(jì)，包括真空密閉室、氣體、密封膠、力敏感層、檢測(cè)電路，其中，力敏感層與真空密閉室相連接，通過密封膠密封；真空密閉室內(nèi)填充有1-5個(gè)大氣壓的氣體；檢測(cè)電路與力敏感層相連接；力敏感層可以為金屬或者半導(dǎo)體材料。本實(shí)用新型的有益效果是利用真空密閉室內(nèi)外的氣壓差實(shí)現(xiàn)真空的探測(cè)，外界真空越高，所測(cè)得的信號(hào)越大，適于高真空探測(cè)，原理簡(jiǎn)單，成本低。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、真空密閉室，2、氣體，3、密封膠，4、力敏感層，5、檢測(cè)電路
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，真空密閉室I、氣體2、密封膠3、力敏感層4、檢測(cè)電路5，其中，力敏感層4與真空密閉室I相連接，通過密封膠3密封；真空密閉室I內(nèi)填充有1-5個(gè)大氣壓的氣體；檢測(cè)電路5與力敏感層4相連接；力敏感層4可以為金屬或者半導(dǎo)體材料。力敏感層4可以利用金屬的形變效應(yīng)或半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)實(shí)現(xiàn)力的探測(cè)。比如力敏感層4選半導(dǎo)體硅。利用真空密閉室I內(nèi)外的氣壓差實(shí)現(xiàn)真空的探測(cè)，外界真空越高，所測(cè)得的信號(hào)越大，適于高真空探測(cè)，原理簡(jiǎn)單，成本低。以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保 護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求1.一種真空計(jì)，包括真空密閉室、氣體、密封膠、力敏感層、檢測(cè)電路，其特征在于所述的力敏感層與真空密閉室相連接，通過密封膠密封，真空密閉室內(nèi)填充有1-5個(gè)大氣壓的氣體，檢測(cè)電路與力敏感層相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種真空計(jì)，其特征在于所述的力敏感層可以為金屬或者半導(dǎo)體材料。
專利摘要力敏傳感器就是探測(cè)力的傳感器，包括測(cè)量高于大氣壓的壓力計(jì)以及測(cè)量低于大氣壓的真空計(jì)。對(duì)于真空計(jì)而言，高真空的探測(cè)有一定的難度，因此，高真空的真空計(jì)普遍比較昂貴。本實(shí)用新型提供一種真空計(jì)，包括真空密閉室、氣體、密封膠、力敏感層、檢測(cè)電路，其中，力敏感層與真空密閉室相連接，通過密封膠密封；真空密閉室內(nèi)填充有1-5個(gè)大氣壓的氣體；檢測(cè)電路與力敏感層相連接；力敏感層可以為金屬或者半導(dǎo)體材料。本實(shí)用新型利用真空密閉室內(nèi)外的氣壓差實(shí)現(xiàn)真空的探測(cè)，外界真空越高，所測(cè)得的信號(hào)越大，適于高真空探測(cè)，原理簡(jiǎn)單，成本低。
文檔編號(hào)G01L21/00GK202442840SQ20122006336
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月21日
發(fā)明者林志娟 申請(qǐng)人:林志娟